光刻胶清洗装置及光刻胶剥离设备的制作方法

1.本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种光刻胶清洗装置及光刻胶剥离设备。


背景技术：

2.在显示面板制造工艺的湿法剥离过程中，剥离设备通常包括喷洒剥离液的剥离装置以及清洗光刻胶和剥离液反应液的清洗装置。剥离装置将剥离液喷洒至显示面板，使得显示面板上的光刻胶与剥离液反应，随后该显示面板会经过清洗装置进行清洗。
3.现有技术中，当清洗装置对显示面板上的剥离液和光刻胶的反应液进行清洗时，容易造成清洗装置的清洗部堵塞。
4.所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。


技术实现要素：

5.本公开的目的在于提供一种光刻胶清洗装置及光刻胶剥离设备，有助于避免光刻胶清洗装置的的清洗部堵塞。
6.为实现上述发明目的，本公开采用如下技术方案：
7.根据本公开的第一个方面，提供一种光刻胶清洗装置，包括：
8.清洗部；
9.传输管道，包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道和所述第二管道的输出端与所述第三管道输入端连通，所述第三管道的输出端与所述清洗部连接；
10.供应室，包括第一供应室和第二供应室，所述第一供应室用于装载清洗液，所述第一管道的输入端与所述第一供应室连通，所述第二供应室用于装载气体，所述第二管道的输入端与所述第二供应室连通。
11.在本公开的一种示例性实施例中，所述第三管道具有至少三个输出端，所述第三管道的至少三个输出端分别与所述清洗部的不同位置连接。
12.在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶清洗装置还包括：
13.第一控制阀，连接于所述第一管道；
14.第二控制阀，连接于所述第二管道。
15.在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶清洗装置还包括：
16.第一控制系统，用于控制所述第一控制阀和所述第二控制阀的开启或关闭，并用于控制所述第一控制阀和所述第二控制阀在开启状态下的开启量大小。
17.在本公开的一种示例性实施例中，所述清洗部包括：
18.清洗部本体，内部为中空结构，所述中空结构形成流通腔；
19.流通通道，连接所述清洗部本体内部的所述流通腔与外界；
20.其中，所述第三管道的输出端与所述清洗部内部的所述流通腔连通。
21.在本公开的一种示例性实施例中，所述第三管道的至少三个输出端分别从不同位
置处与所述清洗部本体内部的所述流通腔连通。
22.在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶清洗装置还包括：
23.第一过滤器，连接于所述第一管道；
24.第二过滤器，连接于所述第二管道。
25.根据本公开第二个方面，提供一种光刻胶剥离设备，包括：
26.多个剥离室；
27.剥离装置，包括剥离喷头，所述剥离喷头设于所述剥离室内，用于喷射剥离液至待剥离样品；
28.如第一方面所述的光刻胶清洗装置，所述光刻胶清洗装置设于所述剥离室的出口处，所述光刻胶清洗装置用于去除待剥离样品上光刻胶和剥离液的反应液。
29.在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶剥离设备还包括：
30.第二控制系统，用于检测所述光刻胶剥离设备的工作状态；
31.当所述光刻胶清洗装置还包括所述第一控制系统时，所述第二控制系统还用于将检测获得的所述光刻胶剥离设备的工作状态输出至所述第一控制系统；
32.所述第一控制系统根据获得的所述光刻胶剥离设备的工作状态控制所述第一控制阀或第二控制阀的开启或关闭。
33.在本公开的一种示例性实施例中，所述光刻胶剥离设备的工作状态包括是否有待剥离样品在进行光刻胶剥离；
34.当有待剥离样品在进行光刻胶剥离时，所述第一控制系统控制所述第一控制阀关闭，控制所述第二控制阀开启，以向所述清洗部传输气体；
35.当无待剥离样品在进行光刻胶剥离时，所述第一控制系统控制所述第一控制阀开启，控制所述第二控制阀关闭，以向所述清洗部传输清洗液；或所述第一控制系统控制所述第一控制阀开启并同时控制所述第二控制阀开启，以向所述清洗部同时传输清洗液和气体。
36.本公开提供的光刻胶清洗装置，包括清洗部、传输管道和供应室。传输管道包括第一管道、第二管道和第三管道。供应室包括第一供应室和第二供应室，第一供应室用于装载清洗液，第二供应室用于装载气体。第一管道和第二管道的输出端与第三管道输入端连通，第三管道的输出端与清洗部连接，以向清洗部传输气体和清洗液。气体和清洗液可用于清洗清洗部，从而避免清洗装置的的清洗部堵塞。
附图说明
37.通过参照附图详细描述其示例实施方式，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
38.图1是本公开示例性实施例中光刻胶清洗装置结构示意图；
39.图2是本公开示例性实施例中光刻胶剥离设备结构示意图；
40.图3是本公开示例性实施例中控制系统控制过程结构示意图；
41.图4是本公开示例性实施例中清洗部结构示意图；
42.图5是本公开示例性实施例中剥离装置结构示意图。
43.图中主要元件附图标记说明如下：
44.100-清洗部；110-清洗部本体；111-流通腔；120-流通通道；210-第一管道；211-第一控制阀；212-第一过滤器；220-第二管道；221-第二控制阀；222-第二过滤器；230-第三管道；310-第一供应室；320-第二供应室；410-第一控制系统；420-第二控制系统；500-剥离喷头；610-第四管道；611-第三控制阀；612-第三过滤器；710-第三供应室；800-剥离室；900-待剥离样品。
具体实施方式
45.现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。
46.在图中，为了清晰，可能夸大了区域和层的厚度。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。
47.所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、材料等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本公开的主要技术创意。
48.当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。
49.用语“一个”、“一”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。用语“第一”和“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。
50.在显示面板制造工艺的湿法剥离过程中，剥离设备通常包括喷洒剥离液的剥离装置以及清洗光刻胶和剥离液反应液的清洗装置。剥离装置通常设置在剥离室内，当显示面板位于剥离室内时，剥离装置的喷头喷洒剥离液至显示面板上，剥离液与显示面板上的光刻胶进行反应，以使光刻胶从显示面板上剥离下来。一般情况下，剥离室的数量为多个，显示面板可经过多个剥离室。
51.相关技术中，在剥离室的出口处设置有清洗装置，清洗装置具有刀头，该刀头可吹出一定压强的气体至显示面板上，以将显示面板上的剥离液和光刻胶吹除。在该过程中，显示面板上光刻胶可能会在刀头的气体吹动下溅射至刀头上，长期如此，导致刀头的出气口堵塞。
52.如图1所示，本公开提供一种光刻胶清洗装置，包括清洗部100、传输管道和供应室，其中，传输管道包括第一管道210、第二管道220和第三管道230，第一管道210和第二管道220的输出端与第三管道230输入端连通，第三管道230的输出端与清洗部100连接；供应室包括第一供应室310和第二供应室320，第一供应室310用于装载清洗液，第一管道210的输入端与第一供应室310连通，第二供应室320用于装载气体，第二管道220的输入端与第二
供应室320连通。
53.本公开提供的光刻胶清洗装置，包括清洗部100、传输管道和供应室。传输管道包括第一管道210、第二管道220和第三管道230。供应室包括第一供应室310和第二供应室320，第一供应室310用于装载清洗液，第二供应室320用于装载气体。第一管道210和第二管道220的输出端与第三管道230输入端连通，第三管道230的输出端与清洗部100连接，以向清洗部100传输气体和清洗液。气体和清洗液可用于清洗清洗部100，从而避免清洗装置的的清洗部100堵塞。
54.下面将结合附图和说明书对本公开提供的光刻胶清洗装置的各部件进行详细说明：
55.如图1、图2和图4所示，本公开提供的光刻胶清洗装置，可用于待剥离样品900，如显示面板，制造工艺的湿法剥离过程，其可作为光刻胶剥离设备的一部分，在待剥离样品900上的光刻胶与剥离液反应后，用于清洗待剥离样品900上的光刻胶与剥离液的反应液。该光刻胶清洗装置包括清洗部100、传输管道和供应室。
56.在本公开一些实施例中，光刻胶清洗装置的清洗部100可安装在剥离室800的出口处，具体可安装两个，分别对待剥离样品900的上表面和下表面的光刻胶和剥离液的反应液进行清洗去除。如图4所示，清洗部100可包括清洗部本体110，清洗部本体110为内部中空结构，该中空结构形成流通腔111，清洗部100还包括连通清洗部本体110内部流通腔111和外界的流通通道120。具体在一实施例中，清洗部100可采用气刀结构。
57.传输管道包括第一管道210、第二管道220和第三管道230，第一管道210和第二管道220的输出端与第三管道230输入端连通，第三管道230的输出端与清洗部100连接。具体地，第三管道230的输出端与清洗部本体110内部的流通腔111连通。由第一管道210和第二管道220传输的物质可经过第三管道230后进入清洗部本体110的流通腔111内，随后通过流通通道120向外界喷出，如喷射至待剥离样品900的表面。
58.在本公开一些实施例中，第三管道230具有至少三个输出端，第三管道230的至少三个输出端分别与清洗部100的不同位置连接。在该实施例中，三个输出端可分别从不同的方向与清洗部本体110内部的流通腔111连通。举例而言，清洗部本体110大致为圆形、长方形或正多边形结构，第三管道230的输出端分别从清洗部本体110的中心和距离该中心位置大致相等的位置处与清洗部本体110内的流通腔111连通，从而使得第三管道230输出的物质能更为均匀地从流通通道120向外界喷出。在此需说明的是，第三管道230也可以包括四个、五个或更多个输出端，第三管道230的多个输出端的分布位置可根据清洗部本体110的形状、清洗部本体110内部的流通腔111形状以及清洗部100所具有流通通道120的分布位置等进行设定，具体本公开可不做特殊限定。
59.供应室包括第一供应室310和第二供应室320，第一供应室310用于装载清洗液，第一管道210的输入端与第一供应室310连通，第二供应室320用于装载气体，第二管道220的输入端与第二供应室320连通。第一管道210连接第一供应室310和清洗部100，用于将第一供应室310内的物质传输至清洗部100。具体地，将第一供应室310内的清洗液传输至清洗部100的流通腔111内。第二管道220连接第二供应室320和清洗部100，用于将第二供应室320内的物质传输至清洗部100。具体地，将第二供应室320内的气体传输至清洗部100的流通腔111内。
60.进一步地，清洗液可以为水等液体，气体可以为空气或惰性气体等气体。在实际应用中，第二供应室320内的气体可用于对待剥离样品900上的光刻胶和剥离液的反应液进行去除，通过清洗部100的流通通道120向外界待剥离样品900吹出具有一定压强的气体，该气体可将待剥离样品900上的光刻胶和剥离液的反应液吹除。此外，第二供应室320内的气体也可用于对清洗部本体110内部的流通腔111以及清洗部100所包含的流通通道120进行清洗，通过具有一定压强的气体将残留在清洗部本体110或流通通道120口的光刻胶等残留液去除。
61.同样地，第一供应室310内的清洗液可用于对待剥离样品900上的光刻胶和剥离液的反应液进行去除，通过清洗部100的流通通道向外界待剥离样品900吹出具有一定压强的清洗液，该清洗液可将待剥离样品900上的光刻胶和剥离液的反应液清洗去除。此外，第一供应室310内的清洗液也可用于对清洗部本体110内部的流通腔111以及清洗部100所包含的流通通道120进行清洗，通过具有一定压强的清洗液将残留在清洗部本体110或流通通道120口的光刻胶等残留液去除。
62.在本公开一些实施例中，光刻胶清洗装置还包括第一控制阀211和第二控制阀221，其中，第一控制阀211连接于第一管道210；第二控制阀221连接于第二管道220。在实际应用中，可通过调节第一控制阀211控制清洗液的流速及压力等，通过调节第二控制阀221控制气体的流速及压力等。第一控制阀211和第二控制阀221可以是手动调节阀，也可以是电磁阀。优选地，第一控制阀211和第二控制阀221为电磁阀。
63.在本公开一些实施例中，光刻胶清洗装置还包括第一过滤器212和第二过滤器222，其中，第一过滤器212连接于第一管道210，用于对第一管道210内传输的清洗液进行过滤。第二过滤器222连接于第二管道220，用于对第二管道220内传输的气体进行过滤，以免杂质等堵塞清洗部100所包含的流通通道120。
64.在本公开中，第一供应室310、第二供应室320内的物质可单独传输至清洗部100，也可两者同时传输至清洗部100，其可通过手动控制也可由控制系统自动控制。
65.如图3所示，在本公开一些实施例中，光刻胶清洗装置还包括第一控制系统410，用于控制第一控制阀211和第二控制阀221的开启或关闭。同时，第一控制系统410还可以控制第一控制阀211和第二控制阀221在开启状态下的开启量大小，进而控制清洗液的流量或压力，以及气体的流量或压力。
66.如图1、图2和图5所示，本公开还提供一种光刻胶剥离设备，包括多个剥离室800、剥离装置和上述任一实施例中的光刻胶清洗装置。剥离装置包括剥离喷头500，剥离喷头500设于剥离室800内，用于喷射剥离液至待剥离样品900。光刻胶清洗装置设于剥离室800的出口处，光刻胶清洗装置用于去除待剥离样品900上光刻胶和剥离液的反应液。
67.在本公开一些实施例中，剥离装置还包括第四管道610和第三供应室710，第四管道610输入端与第三供应室710连通，第四管道610的输出端与剥离喷头500连通。第三供应室710用于装载剥离液。进一步地，剥离装置还包括第三控制阀611和第三过滤器612，连接于第四管道610上。第三控制阀611用于控制第四管道610内传输的剥离液的流速和压强，第三过滤器612用于对第四管道610内传输的剥离液进行过滤。
68.如图2和图3所示，在本公开一些实施例中，光刻胶剥离设备还包括第二控制系统420，用于检测光刻胶剥离设备的工作状态。光刻胶剥离设备的工作状态包括是否有待剥离
样品900在进行光刻胶剥离。
69.当光刻胶清洗装置还包括第一控制系统410时，第二控制系统420还用于将检测获得的光刻胶剥离设备的工作状态输出至第一控制系统410；第一控制系统410根据获得的光刻胶剥离设备的工作状态控制第一控制阀211或第二控制阀221的开启或关闭。
70.当有待剥离样品900在进行光刻胶剥离时，第一控制系统410控制第一控制阀211关闭，控制第二控制阀221开启，以向清洗部100传输气体；
71.当无待剥离样品900在进行光刻胶剥离时，第一控制系统410控制第一控制阀211开启，控制第二控制阀221关闭，以向清洗部100传输清洗液；或第一控制系统410控制第一控制阀211开启并同时控制第二控制阀221开启，以向清洗部100同时传输清洗液和气体。
72.在本公开中，清洗液可单独使用，对溅射至清洗部100上的光刻胶等进行清洗去除。清洗液也可与气体同时使用，两个结合可形成高压液体流，用其对溅射至清洗部100上的光刻胶等进行清洗，清洗效果更好。
73.应可理解的是，本公开不将其应用限制到本说明书提出的部件的详细结构和布置方式。本公开能够具有其他实施方式，并且能够以多种方式实现并且执行。前述变形形式和修改形式落在本公开的范围内。应可理解的是，本说明书公开和限定的本公开延伸到文中和/或附图中提到或明显的两个或两个以上单独特征的所有可替代组合。所有这些不同的组合构成本公开的多个可替代方面。本说明书的实施方式说明了已知用于实现本公开的最佳方式，并且将使本领域技术人员能够利用本公开。

技术特征：
1.一种光刻胶清洗装置，其特征在于，包括：清洗部；传输管道，包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道和所述第二管道的输出端与所述第三管道输入端连通，所述第三管道的输出端与所述清洗部连接；供应室，包括第一供应室和第二供应室，所述第一供应室用于装载清洗液，所述第一管道的输入端与所述第一供应室连通，所述第二供应室用于装载气体，所述第二管道的输入端与所述第二供应室连通。2.根据权利要求1所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述第三管道具有至少三个输出端，所述第三管道的至少三个输出端分别与所述清洗部的不同位置连接。3.根据权利要求1所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述光刻胶清洗装置还包括：第一控制阀，连接于所述第一管道；第二控制阀，连接于所述第二管道。4.根据权利要求3所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述光刻胶清洗装置还包括：第一控制系统，用于控制所述第一控制阀和所述第二控制阀的开启或关闭，并用于控制所述第一控制阀和所述第二控制阀在开启状态下的开启量大小。5.根据权利要求2所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述清洗部包括：清洗部本体，内部为中空结构，所述中空结构形成流通腔；流通通道，连接所述清洗部本体内部的所述流通腔与外界；其中，所述第三管道的输出端与所述清洗部内部的所述流通腔连通。6.根据权利要求5所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述第三管道的至少三个输出端分别从不同位置处与所述清洗部本体内部的所述流通腔连通。7.根据权利要求1所述的光刻胶清洗装置，其特征在于，所述光刻胶清洗装置还包括：第一过滤器，连接于所述第一管道；第二过滤器，连接于所述第二管道。8.一种光刻胶剥离设备，其特征在于，包括：多个剥离室；剥离装置，包括剥离喷头，所述剥离喷头设于所述剥离室内，用于喷射剥离液至待剥离样品；如权利要求1-7任一项所述的光刻胶清洗装置，所述光刻胶清洗装置设于所述剥离室的出口处，所述光刻胶清洗装置用于去除待剥离样品上光刻胶和剥离液的反应液。9.根据权利要求8所述的光刻胶剥离设备，其特征在于，所述光刻胶剥离设备还包括：第二控制系统，用于检测所述光刻胶剥离设备的工作状态；当所述光刻胶清洗装置还包括所述第一控制系统时，所述第二控制系统还用于将检测获得的所述光刻胶剥离设备的工作状态输出至所述第一控制系统；所述第一控制系统根据获得的所述光刻胶剥离设备的工作状态控制所述第一控制阀或第二控制阀的开启或关闭。10.根据权利要求9所述的光刻胶剥离设备，其特征在于，所述光刻胶剥离设备的工作状态包括是否有待剥离样品在进行光刻胶剥离；当有待剥离样品在进行光刻胶剥离时，所述第一控制系统控制所述第一控制阀关闭，
控制所述第二控制阀开启，以向所述清洗部传输气体；当无待剥离样品在进行光刻胶剥离时，所述第一控制系统控制所述第一控制阀开启，控制所述第二控制阀关闭，以向所述清洗部传输清洗液；或所述第一控制系统控制所述第一控制阀开启并同时控制所述第二控制阀开启，以向所述清洗部同时传输清洗液和气体。

技术总结
本公开提供了一种光刻胶清洗装置及光刻胶剥离设备，属于显示技术领域。该光刻胶清洗装置，包括：清洗部；传输管道，包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道和所述第二管道的输出端与所述第三管道输入端连通，所述第三管道的输出端与所述清洗部连接；供应室，包括第一供应室和第二供应室，所述第一供应室用于装载清洗液，所述第一管道的输入端与所述第一供应室连通，所述第二供应室用于装载气体，所述第二管道的输入端与所述第二供应室连通。本公开有助于避免光刻胶清洗装置的的清洗部堵塞。堵塞。堵塞。


技术研发人员：姜秀强 谢超 邱双 罗旋 吴丹 王勇
受保护的技术使用者：成都京东方显示科技有限公司
技术研发日：2023.05.22
技术公布日：2023/8/16