一种晶圆盒信息处理方法、装置、系统及阅读器与流程

1.本技术涉及半导体物料搬运系统技术领域，具体涉及一种晶圆盒信息处理方法、装置、系统及阅读器。


背景技术：

2.半导体自动物料搬运系统(automatic material handing system，amhs)已经发展到自动化、智能化阶段。晶圆的加工处理涉及众多工艺步骤，而不同的工艺步骤需要不同的处理设备，因而晶圆需要在各个环节中进行存储、流转等处理过程。
3.在晶圆厂内，通常使用晶圆盒装载晶圆，有利于在处理设备和中转存储设备之间进行暂存、输送等。晶圆盒作为待搬运物品，其上一般设置有电子标签，电子标签中存储有物品的属性信息，例如物品的id、流转信息等，因而需要搬运设备或者存储库能够识别出待搬运物品上电子标签所记载的信息，以便于amhs系统在物品搬运及管理中进行调度控制。
4.现有方案中，阅读器及其读取方法仅简单读取操作，且读取方法固定，造成整体调度效率有待提升，因而阅读器的效率已经成为晶圆厂当前新产能提升的一个瓶颈。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本说明书实施例提供一种晶圆盒信息处理方法、装置、系统及阅读器，通过在阅读器中针对获取指令请求进行穿插处理，可以降低上位机对阅读器执行任务的等待时间，有利于提高晶圆盒在晶圆厂中存储、流转等环节中的整体效率。
6.本说明书实施例提供以下技术方案：
7.本说明书实施例提供一种晶圆盒信息处理方法，应用于阅读器，所述晶圆盒信息处理方法包括：
8.接收上位机下发的请求，所述请求中携带有指令，所述指令用于指示阅读器执行非标签交互任务或标签交互任务，其中：非标签交互任务为阅读器无需与电子标签交互的任务，并根据所述请求向上位机响应；标签交互任务为阅读器需与电子标签交互的任务，并根据所述请求向上位机响应；
9.在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；
10.在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务；其中：
11.所述电子标签设置在晶圆盒上，并且所述电子标签存储有记录晶圆盒的属性信息的标签数据。
12.与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益
效果至少包括：
13.针对上位机下发请求配置了不同的任务启动的条件，在阅读器与电子标签交互任务执行的过程中，可以接收并且执行非标签交互指令的相关任务并响应上位机，减少了上位机的等待时间，具有高的指令接收和处理效率，缓解了上位机与阅读器之间的交互等待。因此，只要每个数据获取环节能够被减少，就能够尽可能地节省时间，比如即使一个环节能够节省1秒，但对于晶圆厂需要进行海量晶圆盒信息处理环节来说，无疑提供了一种非常有力的保障条件，能够实现晶圆厂在新产能生产需求下的降本增效。
附图说明
14.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
15.图1是本技术中一种晶圆盒信息处理系统的结构示意图；
16.图2是本技术中一种应用于阅读器的晶圆盒信息处理方法流程示意图；
17.图3是本技术中阅读器分别与上位机、电子标签交互的流程示意图；
18.图4a是本技术中阅读器调整任务执行顺序的流程示意图；
19.图4b是本技术中阅读器执行与电子标签设备交互流程的示意图；
20.图5是本技术中应用于阅读器的晶圆盒信息处理装置的结构示意图；
21.图6是本技术中一种阅读器的结构示意图；
22.图7是本技术中一种阅读器的结构示意图；
23.图8是本技术中一种阅读器的结构示意图；
24.图9是本技术中一种阅读器的剖视图局部结构示意图；
25.图10是本技术中一种阅读器的剖视图局部结构示意图；
26.图11是本技术中一种阅读器的部分功能模块结构示意图；
27.图12是本技术中一种阅读器中发射器电路示意图；
28.图13是本技术中一种阅读器中接收器电路示意图；
29.图14是本技术中一种阅读器中检测模块电路结构示意图；
30.图15是本技术中一种阅读器中通信模块电路结构示意图；
31.图16是本技术中一种阅读器中指示模块电路结构示意图；
32.图17是本技术中一种阅读器中控制模块电路结构示意图。
具体实施方式
33.下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
34.以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
35.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本技术，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
36.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
37.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
38.近年来，市场对半导体需求旺盛，晶圆厂在该市场需求下驱动设备升级改造，以此满足新产能生产需要。
39.基于此，通过对amhs系统各个环节进行梳理，本技术从晶圆在存储、流转等环节的信息获取方面入手，并对上位机与阅读器之间、阅读器与电子标签之间等信交互息的环节进行分析和改进探索，发现：
40.现有方案中，因上位机与阅读器、阅读器与电子标签之间只有固定且简单的交互操作过程，因而造成了：当出现更多其他操作时，例如上位机向阅读器发送读取电子标签的请求，需要等待当前的交互任务完成并获得目标数据及响应上位机后，上位机向阅读器发送的新指令才能被接收和执行，即上位机需要等待阅读器顺序执行完任务，这时上位机从阅读器中获取信息的整体效率较低。
41.具体地，只通过固定且简单的请求及响应的交互步骤进行信息获取。例如，在上位机需要获取电子标签中的信息时，由上位机先向阅读器下发查询请求，然后由阅读器根据该查询请求与电子标签交互得到相关数据后，再由阅读器将从电子标签处获得的相关数据形成响应数据，再向上位机回传；在上位机需要获取阅读器本地数据时，由上位机先向阅读器下发查询请求，然后阅读器根据该请求形成响应数据，再向上位机回传，以响应上位机的请求。
42.因此，上位机与阅读器之间只能按照固定且简单的交互操作进行交互，以及阅读器只能对上位机当前的指令执行相应任务处理，而且阅读器并不对这些任务进行处理顺序的区分，只是简单地根据上位机下发的请求指令顺序相应地执行任务处理，虽然简化了阅读器的处理架构，但造成阅读器只有在执行完前一个任务后，才能执行下一个任务，因而上位机需要获取多个信息(比如分别获取阅读器和电子标签的信息)时，必然需要等待阅读器逐一执行完任务的等待过程。
43.在针对阅读器执行处理任务进行深入分析和改进探索中，进一步发现：
44.现有方案的阅读器，因未针对上位机所需要获取的信息进行大致划分，以及因阅读器的任务处理是顺序处理，导致上位机需要大量等待时间来等待阅读器完成信息的响应
反馈。因此，在阅读器改进中，可以先针对上位机所需要获取的这些信息大体上分为两大类：与电子标签相关的一些信息，与电子标签不相关但与阅读器相关的一些信息。相应地，在阅读器中可以将处理这两类信息对应的任务，分为标签交互任务和非标签交互任务。如果阅读器能够区分这两类指令及对应任务的执行，将有可能在根据指令来调整任务执行顺序后，使得阅读器响应上位机的顺序得到优化，进而能够减少上位机等待阅读器响应的等待过程。
45.在针对阅读器处理任务的顺序调整优化的改进探索中，进一步还发现：
46.阅读器完成非标签交互任务的执行时间通常较短，而且完成标签交互任务的执行时间相对于非标签交互任务而言长得多。这是因为：标签交互任务通常是基于标准的通信协议，例如传输协议标准secs-i(semi equipment communications standard i，半导体设备通讯标准，简记为secs-i)，因而需要多个通信交互步骤才能完成信息获取的整个交互操作过程，涉及的交互步骤多、完成任务的时间长。因此，若能在阅读器基于通信协议与电子标签的交互步骤中，或者是两个交互步骤之间，阅读器能够从中穿插处理一些非标签交互任务，则非标签交互任务将能够及时被处理完并及时反馈给上位机，从而无需等待正在处理中的前一个处理任务的完成才能执行当前任务，将能够显著地提高阅读器在响应上位机时的整体效率。
47.基于此，本说明书实施例提出了一种晶圆盒信息处理新思路：如图1所示，阅读器可以在处理任务的过程中，同时接收上位机下发的请求(即上位机可以随时向阅读器下发请求)，并在接收到请求后，及时判断该请求所携带的指令类型——非标签交互指令、标签交互指令，进而根据指令类型及时调整处理任务的执行顺序。其中，在收到请求后，若指令类型为标签交互指令，则判断是否已有与电子标签交互的当前任务在执行，并且在确定出已有与电子标签交互的当前任务在执行时，则响应上位机当前电子标签设备忙，使得上位机及时得知当前电子标签在交互中，便于调整后续指令下发操作；以及，在收到的请求涉及非标签交互指令后，或者在收到请求后的后续步骤中，可以及时启动相对应的任务，即阅读器的当前正在执行的标签交互指令所对应的任务无需全部完成，就能够及时地先将该非标签交互指令所对应的任务，穿插在当前标签交互任务中的步骤中或步骤之间进行执行，上位机不用等待阅读器的当前正在执行标签交互指令所对应的任务全部完成，而当前标签交互任务可以在该非标签交互任务完成后继续执行被中断的步骤。
48.具体地，在阅读器中，标签交互指令所对应的任务执行时间较长，非标签交互指令所对应的任务执行时间相对较短，此时可以在标签交互任务的执行过程中，插入执行非标签交互任务(相应地，上位机可以在标签交互任务的执行中，随时下发非标签交互指令)，阅读器可以针对非标签交互指令快速执行完毕并且响应上位机。而且，执行非标签交互任务的时长对恢复执行的标签交互任务的处理影响不大，有利于提高阅读器响应上位机的整体效率。
49.通过在上位机下发的请求中标记指令类型或者由阅读器存储各指令的类型信息，以及在阅读器中针对指令类型配置不同的任务启动条件，使得阅读器即使正在与电子标签进行交互任务，也可以接收上位机下发的请求，且在标签交互任务中执行非标签交互指令的相关任务及响应上位机，能够减少上位机的等待时间，具有高的指令接收和处理效率，能够有效地缓解上位机与阅读器之间的交互等待。
50.实施中，电子标签设置在晶圆盒上，并且电子标签存储有记录晶圆盒的属性信息的标签数据，例如晶圆盒的属性信息可以是：设备信息、与其存储的晶圆相关的生产信息等。
51.以下结合附图，说明本技术各实施例提供的技术方案。
52.如图2所示，本说明书实施例提出了一种在阅读器一侧进行晶圆盒信息处理的方法，其中该晶圆盒信息处理方法可以包括以下步骤：
53.步骤s10、接收上位机下发的请求。
54.实施中，可以在请求中携带指令，所述指令用于指示阅读器执行非标签交互任务或标签交互任务，其中：非标签交互任务为，例如，从阅读器中获取除电子标签记载的标签数据外的非标签数据，并将所述非标签数据向上位机响应；标签交互任务为，例如，阅读器从电子标签中获取标签数据并将所述标签数据向上位机响应。
55.因此，针对接收到的请求，可以根据其所携带的指令，可以分为两大类：用于阅读器执行非标签交互任务的非标签交互请求和用于阅读器执行标签交互任务的标签交互请求。具体地，可通过请求中携带有特定数据来定义这种类型请求，例如非标签交互指令代表非标签交互请求，标签交互指令代表标签交互请求。
56.具体地，非标签交互指令用于指示阅读器执行与电子标签的读写不相关的任务操作并响应请求操作。例如，通信地址查询指令，该指令为上位机查询阅读器的通信地址，该指令不涉及阅读器与电子标签的通信交互。
57.标签交互指令用于指示阅读器执行与电子标签的读写相关的任务操作并响应请求操作。例如，读取标签文件数据指令，该指令涉及阅读器与电子标签之间的通信交互。
58.在一些示例中，指令可以是针对阅读器的状态数据进行查询的获取指令，也可以是针对电子标签进行查询的读写指令。相应地，上位机发送给阅读器的指令可以是以下至少一种指令数据：查询阅读器的设备信息、查询阅读器的通信地址、查询阅读器是否被遮挡的状态信息、查询电子标签的设备信息、读取电子标签的标签数据、向电子标签写入标签数据。需要说明的是，指令及其对应的指令类型数据，可以根据实际应用进行设置，这里不作限定。
59.在一些示例中，可以针对电子标签在晶圆盒的使用需要，将标签数据设置为文件数据格式，方便数据传输、存储及读写等。例如，标签数据包括以下至少一种数据：lcd文件数据(如用于液晶屏显示的数据文件)，标签文件数据。
60.在获取到上位机的请求触发后，阅读器可以通过中断方式监听或者持续接收该上位机随时下发的请求，这里不对接收方式作限定。
61.因此，在接收到请求触发后，可以先判断该请求所携带的指令类型——非标签交互指令、标签交互指令，然后根据指令类型对应任务的执行需要，来调整当前执行任务的执行顺序。
62.步骤s20、在接收到所述请求后，判断所述请求中携带的指令(例如根据指令类型数据)是否属于标签交互指令，若是则执行步骤s30，若否则执行步骤s40。
63.步骤s30、当所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若已有当前标签交互任务在执行中，则向所述上位机反馈设备忙信号，否则启动执行所述请求对应的标签交互任务。
64.由于当前已有标签交互任务，阅读器在当前标签交互任务未结束前，不适合处理阅读器新的标签交互指令，此时可以向上位机反馈电子标签设备忙信号，使得上位机能够及时得知电子标签状态，便于安排后续标签交互指令的下发操作，也可以在当前标签交互任务执行中，通过新下发请求将优先级高的非标签交互执行及时下发给阅读器，由阅读器调整任务执行顺序，而及时响应上位机提出的非标签交互指令。
65.步骤s40、当所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若已有当前标签交互任务在执行中，则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务。
66.通过在阅读器中针对任务执行顺序的触发条件进行相关设置，可以在接收上位机下发请求的触发下，及时根据请求携带的指令调整当前执行任务的顺序，使得执行时间短的非标签交互任务，可以穿插在标签交互任务的执行中，能够快速地响应上位机从阅读器中获取数据的效率，不再需要上位机等待阅读器完成前一个任务后才能下发新请求。
67.在一些实施方式中，可根据标签交互任务中各个通信步骤中被请求触发而发生中断的情况，来完成执行任务的调整。
68.在一些示例中，当前标签交互任务中，阅读器通常基于半导体设备通讯标准(如secs-i)与电子标签之间进行交互，所以交互过程中涉及到以下至少一个通信子步骤：建立通信连接，传输目标数据，确认传输数据，结束通信连接。例如，建立通信连接步骤中是用于在阅读器和电子标签之间建立出通信通道；传输目标数据步骤是在通信连接后，阅读器将数据向电子标签传输，或者是电子标签将数据向阅读器传输；在数据传输中，可以通过确认传输数据步骤对数据传输过程进行确认；在结束阶段，可以通过双方确认结束信号后撤销原先建立的通信通道。
69.因此，在这些通信步骤中(也可以是在这些通信步骤之间)，在正在执行的当前标签交互任务所涉及到的当前通信子步骤中，一旦接收到上位机下发若干新请求的触发时，则暂停执行当前通信子步骤，并接收及存储这些新请求携带的指令。
70.通过在通信子步骤中进行接收请求的操作，即在阅读器采用本技术的技术方案后，上位机可以随时地下发请求，也可以一次下发多个请求，不再需要每次只能下发一个请求，甚至是需要等待阅读器执行完前一个任务后才能下发新请求。
71.在一些实施方式中，当标签交互任务的通信子步骤中，一旦接收到新指令，可以根据新指令来调整当前任务执行的顺序。
72.例如，若新指令为标签交互指令，则只需向上位机反馈电子标签设备忙信号，而且若是先前已响应过的标签交互指令，可以再次地将原响应数据向上位机进行响应反馈。
73.例如，若新请求携带的指令类型数据为指示阅读器执行非标签交互任务，此时启动执行对应的非标签交互任务，并在任务完成后向上位机反馈执行结果。
74.在一些实施方式中，当一次接收到多个请求并进行存储后，可以及时恢复当前标签交互任务中被中断的当前通信子步骤。
75.例如，当前通信子步骤完成后，可以按前述示意的任务顺序调整逐一地完成响应操作。其中，在响应每个指令的操作中，判断是否存储有用于指示待执行任务的所述若干新请求的指令，并且在判断该指令用于指示标签交互任务时，向所述上位机反馈设备忙信号，
或者，在判断该指令用于指示非标签交互任务时，启动执行所述请求对应的非标签交互任务。
76.例如，在存储的所有新请求的指令中，若所有的指令均已被响应过，则恢复执行当前通信子步骤之后的后续步骤，继续执行当前标签交互任务。
77.在一些实施方式中，在晶圆盒信息处理中，可以结合一些检测手段来提升信息处理的准确性和效率。
78.因此，在执行标签交互任务前，先获取遮挡状态信息，并在遮挡状态信息为有效时，再执行标签交互任务，即前述示例中的通信子步骤。
79.例如，阅读器设置于搬运设备上，当检测到被遮挡时：
80.当所述遮挡状态信息用于表征前方障碍，则控制所述搬运设备移动并且避开所述障碍；
81.或者，当所述遮挡状态信息用于表征到达靠近晶圆盒的预设位置，则启动阅读器与电子标签之间的通信交互。
82.另外，遮挡状态信息可以为第一传感器被遮挡时发出的状态信息，并当第一传感器被晶圆盒遮挡时输出被遮挡对应的状态信息。例如第一传感器设置于阅读器中，而阅读器设置于抓取晶圆盒的机械手上，则当阅读器跟随机械手移动到取放晶圆盒操作的预设位置时，此时晶圆盒的遮挡将触发第一传感器输出传感检测结果。需要说明的是，传感器可以是下述阅读器示例的传感器，也可以是其他形式的传感器，这里不作限定。
83.在一些实施方式中，在处理过程中，可针对上位机下发请求中的指令的正确性进行判断，并当指令不合法时及时向上位机反馈，便于上位机重新下发合法的指令。
84.例如，在接收到请求携带的指令时，确定所述指令是否符合预设条件，若否则向上位机反馈指令不合法或指令属于异常指令，使得上位机在接收到反馈后，及时地将正确的指令重新通过下发携带新指令的新请求。
85.在一些实施方式中，可针对阅读器进行“喂狗”复位，避免阅读器在工作中存在异常操作而不能正常地与上位机和/或电子标签进行晶圆盒信息交互。例如，可以在预设时间内，没有正在执行的标签交互任务，也未接收到上位机下发请求的触发时，则执行预设的喂狗任务(watch dog task)，使得阅读器保持在可以随时被上位机下发请求进行触发的准备状态。其中，喂狗任务可以根据实际需要进行设置，这里不作限定。
86.在一些实施方式中，可以在阅读器中，通过指示单元进行状态指示，便于从阅读器指示信息中得知任务执行情况、调整情况等。例如，在执行所述请求的对应任务中，对任务执行状态进行状态信息指示，所述状态信息用于反映任务被执行的状态。
87.在一种示例中，可采用指示灯的简易指示方式，这时状态信息包括灯光信息，从而通过指示灯发出的灯光信息，来获知阅读器的指示结果。其中，指示灯可以设置于阅读器中并露出于阅读器表面，便于外界从指示灯的指示信息进行状态判断。
88.下面再理解部分示例，对阅读器中进行信息处理作示意说明。
89.如图3所示，在上位机、电子标签阅读器及电子标签之间进行晶圆盒信息处理中，阅读器可以在上电后基于本地设备信息正常启动，进而进入等待上位机指令的空闲工作状态。然后，当接收到上位机下发指令请求时，例如下发的是阅读器设备相关的指令请求，如上位机需要读取阅读器接口信息的指令请求，阅读器可以在接收到请求后，判断指令的合
法性，并在指令合法时执行非标签交互任务，进而将任务执行结果返回上位机以响应该非标签交互指令的请求。
90.相应地，当接收到上位机下发的是电子标签设备相关的指令请求，如上位机需要读取电子标签数据的指令请求，阅读器可以在接收到请求后，判断指令的合法性，并在指令合法时执行标签交互任务，其中标签交互任务可以是阅读器根据通信协议(如secs-i)与电子标签进行通信交互的任务，并在标签交互任务得到标签数据后，将标签数据向上位机反馈以响应该标签交互指令的请求。
91.另外，当指令非法或者异常时，阅读器还可以向上位机及时反馈指令问题，便于上位机重新下发指令请求。
92.以及，电子标签可以基于通信协议(如secs-i)配合阅读器完成标签交互任务，例如阅读器对标签数据进行读取操作时，则电子标签从本地获取存储数据后向阅读器返回；例如阅读器对标签数据进行写操作时，电子标签接收阅读器下发的标签数据，并将该数据写入标签的存储器中。另外，电子标签可以在上电后，基于本地设备信息进入工作状态，并处于等待阅读器指令的空闲状态。
93.如图4a所示，在上位机、电子标签阅读器及电子标签之间进行晶圆盒信息处理中，阅读器在加载相关驱动并初始化本地功能外设后，可以从存储器读取本地相关设备信息，从而进入等待上位机下发指令状态中。
94.当未接收到上位机指令时，若已有与电子标签交互流程启动，则处理与电子标签设备交互的流程(即标签交互任务)，在该任务未完成时则执行控制指示灯状态任务(如控制指示灯进行状态指示)，而当该任务完成后，则将与电子标签设备交互结果信息向上位机上报(即响应上位机)，同时通过执行控制指示灯状态任务进行状态显示。
95.在收到上位机收到指令后，判断所述指令是否合法，不合法则及时向上位机反馈。其中，判断条件包括指令是否完整、是否为有效/错误指令、或者是否存在校验错误等。
96.在指令收到合法指令后，在执行前还判断指令类型，并根据判断结果执行指令对应的任务：
97.当判断为非标签交互指令，则执行该指令对应的非标签交互任务并且向上位机发送指令响应信息；在启动执行与本地设备相关指令动作(即执行非电子标签交互任务流程)的同时，如果有与电子标签交互流程执行中，则暂停该电子标签交互流程，待非电子标签交互任务流程完成后，除了将执行结果反馈上位机外，还恢复暂停的电子标签交互流程的继续执行过程；
98.当判断为标签交互指令，则首先判断是否已有标签交互流程在执行中，若是则上报上位机目前电子标签设备忙信息，若否则启动执行该指令对应的标签交互任务流程，例如根据半导体设备通讯标准secs-i与电子标签交互通信，且完成后向上位机发送指令响应信息。
99.需要说明的是，上述电子标签设备交互流程无论是否执行完，均可以通过执行控制指示灯任务进行状态指示；另外，上述电子标签设备交互流程执行完后，则将电子标签设备交互结果信息上报上位机。
100.在另一些实施方式中，当接收到请求并进行存储后，恢复当前标签交互任务中被中断的当前通信子步骤，等待该当前通信子步骤完成后，读取前述被存储的请求的指令，若
该指令属于标签交互指令，则向上位机响应电子标签设备忙。
101.图4b示出“执行与电子标签设备交互流程”的一种交互流程，其具体有4个判断子流程：
102.阅读器设置有一个缓存区，用于存储电子标签发来的数据，或者状态指令，以供交互流程中步骤的进行判断、处理。首先是判断该缓存区是否非空，如果是空，说明没有数据或者步骤需要处理，交互流程空转一次并且回到图4a所示的主流程，如果有数据则对应非空状态，则进入交互流程的后续步骤，例如：
103.判断是否在等待握手响应：进入该判断步骤时，缓存区中已经判断为存在数据，并且如果已经接收到电子标签发来的握手响应，则本步骤中判为非等待握手响应状态并且进入下一个判断步骤，如果没有接收到电子标签发来的握手响应则本步骤中判为等待握手响应状态并且进入握手处理步骤，在握手处理结束后，即可结束当前流程，回到图4a所示的主流程，当前交互流程的余下需要执行的步骤则等待主流程循环一次后再次进入交互流程后继续再执行。
104.因此，上述4个判断子流程中，可以依次判断，但进入一个子流程结束后就回到主流程。因此，当前执行时接收到新的请求，只是暂停当前的子流程来接收新请求，接收后随即恢复现场完成当前被暂停的子流程，该子流程完成后，回到主流程时，根据条件判断流转至指令类型的判断步骤。
105.另外，也可以在标签交互指令所对应的任务中，在当前的一个子步骤完成后，先判断是否有新接收的指令：
106.如果有新接收的指令，且该指令是标签交互指令则向上位机响应电子标签设备忙，该新接收的指令已经响应且不再执行，然后继续执行前述多个子步骤中的后续步骤；
107.如果有新接收的指令，且该指令是非标签交互指令，则立即执行该指令对应的任务并且向上位机发送指令响应信息，然后继续执行前述多个子步骤中的后续步骤；
108.如果没有新接收的指令，继续执行前述多个子步骤中的后续步骤，直到该任务完成并且向上位机响应执行结果。
109.因此，可以在标签交互指令所对应的任务执行时间较长的过程中插入执行非标签交互指令，这样非标签交互指令所对应的任务执行时间相对较短，能够快速执行完毕并且响应上位机。
110.在一些示例中，阅读器非空转的执行过程中，可以连续或者间断地接收多个指令，这些指令被存储下来，等待当前的一个子步骤完成后，顺序地或者按照优先级地执行前述多个指令所对应的任务，使得上位机的指令有效地被响应。当所有接收到的指令所对应的任务均已结束，阅读器空转，等待接收上位机的指令。
111.基于相同发明构思，本说明书实施例还提供一种应用于阅读器的晶圆盒信息处理装置。
112.如图5所示，应用于阅读器的晶圆盒信息处理装置110包括：
113.接收模块1101，用于接收上位机下发的请求，所述请求中携带有指令，所述指令用于指示阅读器执行非标签交互任务或标签交互任务，其中非标签交互任务为阅读器无需与电子标签交互的任务，例如从阅读器中获取除电子标签记载的标签数据外的非标签数据，并将所述非标签数据向上位机响应，又例如向阅读器写入非标签数据，并向上位机响应写
入结果；标签交互任务为阅读器需与电子标签交互的任务，例如阅读器从电子标签中获取标签数据并将所述标签数据向上位机响应，又例如阅读器向电子标签写入标签数据，并将写入结果向上位机响应；
114.任务顺序调整模块1103，用于根据所述请求的触发调整当前任务的执行顺序操作，其中调整操作如下：
115.在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；
116.在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务。
117.需要说明的是，鉴于应用于阅读器的晶圆盒信息处理装置110，可以是与前述方法示例对应的装置，因而装置的其他功能及其模块组成结构，本领域的技术人员可以参见前述方法示例说明进行实施，这里不再展开。
118.基于相同发明构思，本说明书实施例还提供一种应用于上位机的晶圆盒信息处理方法及装置。
119.实施中，应用于上位机的一种晶圆盒信息处理方法可以包括：向阅读器下发请求，以使所述阅读器在接收到所述请求的触发后，根据所述请求中携带的指令调整当前任务的执行顺序操作。
120.需要说明的是，阅读器根据上位机下发的指令而调整当前任务的执行顺序操作，可以参见前述应用于阅读器的处理方法相关示例，这里不再展开。
121.优选地，上位机在接收到阅读器反馈的电子标签设备忙信号时，可以根据上位机获取数据的需要，进而向阅读器下发新请求，其中在新请求中携带有新的指令，以通过该新的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，使得新请求优先于旧请求被执行。这里，旧请求可以理解为已下发至阅读器中并等待阅读器执行对应的标签交互任务后进行响应的请求。因此，上位机可以在发现阅读器已经在执行与电子标签设备交互的任务时，没有必要再下发标签交互指令，而可以将需要优先执行的非标签交互指令下发给阅读器，使得阅读器可以通过暂定当前的标签交互任务而快速响应非标签交互指令，减少上位机等待，提高上位机获取数据的整体效率。
122.另外，应用于上位机的晶圆盒信息处理装置，可以通过发送模块向阅读器下发请求，以使所述阅读器在接收到所述请求的触发后，根据所述请求中携带的指令或者根据指令的类型调整当前任务的执行顺序操作。
123.综上，上位机和阅读器之间，可以通过各自的接收和发送模块进行通信交互，上述示例仅示出上位机下发请求和阅读器接收请求的示意内容，本领域的技术人员可以基于阅读器和上位机之间的通信需要设置相关模块，这里作限定和展开说明。
124.基于相同发明构思，本说明书实施例还提供一种晶圆盒信息处理系统。
125.可以参考前述图1示意，一种晶圆盒信息处理系统可以包括：
126.上位机5，用于向阅读器3下发请求，其中所述请求中携带有指令，所述指令用于指
示阅读器3执行非标签交互任务或标签交互任务。其中，非标签交互任务为阅读器3无需与电子标签交互的任务，例如非标签交互任务用于从阅读器3中获取除电子标签2记载的标签数据外的非标签数据，并将所述非标签数据向上位机5响应；标签交互任务为阅读器需与电子标签交互的任务，例如标签交互任务用于阅读器3从电子标签2中获取标签数据并将所述标签数据向上位机5响应；
127.阅读器3，用于根据所述请求的触发，调整当前任务的执行顺序操作；
128.其中，调整当前任务的执行顺序操作包括：
129.在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；
130.在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务；
131.电子标签2，用于在阅读器3执行所述标签交互任务中，基于预设的通信协议与阅读器进行通信交互，以配合阅读器3调整当前任务的执行顺序操作。
132.需要说明的是，关于上位机、阅读器及电子标签在系统中的其他功能，本领域的技术人员可参见前述示例对应内容后进行相关实施，不再展开说明。
133.基于相同发明构思，本说明书实施例还提供一种阅读器。
134.如图6至图11所示，阅读器3设置在移载设备4的左端的端部位置。移载设备4的上端面可托举晶圆盒1，当晶圆盒1置于移载设备4上时，阅读器3朝向晶圆盒1上的电子标签2。阅读器的电路板及外壳上的窗口是向右侧倾斜(即朝向电子标签这一侧，参见图6的示意)的。
135.其中，阅读器3包括：壳体300和电路板30；其中，电路板30安装于壳体300的内部，电路板30包括控制模块301、读取模块31和通讯模块302。
136.通讯模块302用于阅读器3与上位机(可参见前述图1示意的上位机)通信连接，以基于通信连接接收上位机下发请求和向上位机响应请求；
137.读写模块31用于在控制模块301的控制下读写电子标签(可参见前述图1示意的电子标签)的数据；
138.控制模块301用于根据上位机下发的请求的触发，调整当前任务的执行顺序操作；
139.其中，控制模块301调整当前任务的执行顺序操作包括：
140.在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；
141.在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务。
142.如图6示意，可以在晶圆盒1上设置电子标签2，标签中存储晶圆盒相关的设备信
息、与生产相关的数据等信息；以及，在存储设备或者移载设备4上设置有阅读器3，便于阅读器3在与电子标签2相对时，能够读取电子标签2上存储的信息。当然，电子标签2也可以进行写操作，如写入文件/数据等。
143.如图6至图9示意，阅读器3可以包括外壳300和电路板30，电路板30设置在外壳300内，外壳为电路板提供防护。在一种示例中，外壳可与移载设备连接而将阅读器固定地设置在移载设备上。
144.在一些实施方式中，在外壳300上进行一些针对性设置，以此来提高阅读器的性能。
145.如图6至图10示意，外壳300上还设有与读写模块31对应的第一开窗304，与电光开关32对应的第二开窗305；电路板30是悬挂地固定在外壳300内。电路板30上设有第一通孔306，外壳300上设有第二通孔303，其中，第一通孔306与第二通孔303成对设置为多个，以及在外壳300与电路板30之间设有连接柱50，连接柱50的两端均具有螺孔，使用螺丝将外壳300与连接柱50的一端固定在一起，使用另一螺丝将连接柱50的另一端与电路板30固定在一起，各连接柱50均夹在外壳300的同一侧板与电路板之间。
146.连接柱50可以呈圆柱状，且连接柱50轴向的两端分别与电路板30和壳体300内表面抵接。其中，连接柱50轴向的两端可以分别开设有连接孔，且连接柱50两端的连接孔类型均为螺孔，电路板30设置有第一通孔306，以及壳体300上开设有供螺丝通过的第二通孔303，因而连接柱50的两端通过螺丝分别连接于电路板30和壳体300之间，连接柱50可以很好地支撑电路板30，使得电路板30悬挂于壳体300内部，悬挂构成的间隙可以成为缓冲空间，例如在壳体300受到外力作用时，壳体300与电路板30之间发生相对移动、吸收动能等的缓冲空间。
147.壳体300的上下表面均设置为平板状板材，下底板322和上顶板332为板材，在上顶板和下底板之间，依次设置有倾斜的第一斜侧板324和第二斜侧板325，以及第一直立板321和第二直立板323。
148.需要说明的是，上顶板332、第一斜侧板324、第二斜侧板325、第一直立板321和第二直立板323共同形成封闭的壳体主体部分，下底板322与该壳体主体部分之间设置为可拆卸，便于电路板30从壳体下部镶嵌地进入到壳体内部安装。
149.在一种示例中，下底板322的四个边角均分别设置于用于螺丝连接的螺钉孔331，以便于可拆卸地与壳体主体部分连接。需要说明的是，下底板322与壳体主体部分之间连接方式还可以为卡扣连接，这不作限定。
150.在一种示例中，壳体300与搬运设备上的安装连接方式，可以是通过下底板322上设置的安装孔330实现固定连接，这里不作限定。
151.在一些示例中，上顶板332和下底板322可为平行设置或其他设置方式，以及第一斜侧板324与第二斜侧板325可为对称设置或其他设置方式，第一直立板321与第二直立板323可为对称设置或其他设置方式，这里不作限定。
152.在一些示例中，第二斜侧板325设置为平行于电子标签，以使得阅读器的读写模块31(如发射器310和接收器311)、检测模块(如光电开关32)正对电子标签，可以有效保证对电子标签读取的可靠性。
153.在一些示例中，壳体300内部设置有滤光片40，即对应于前述第一开窗304的位置，
设置有覆盖开窗的滤光片40，以使滤光片40至少覆盖第一开窗304的区域，利用滤光片阻止外部光噪声进入读写模块31(如发射器310和接收器311)，能够降低环境光的光噪影响，可以提升红外光的发射器、接收器的性能。
154.在一些示例中，壳体300通过电连接器350与外部设备连接，例如上位机、搬运设备等，以便通过该电连接器350进行供电、数据等传输连接。其中，电连接器的形式不作限定。相应地，为了方便接线，壳体300的两端至少有一端面开设有与内部连通的接线安装孔，接线安装孔用于供电连接器(也可以是接线端子)安装连接，当两端均开设孔时，不需要使用的一端开孔可以使用螺钉进行封闭(可参见图7、图8的示意)。
155.在一些示例中，第一斜侧板324上开设有空口329，便于指示灯33外露与壳体表面，方便外部从指示灯33的指示信息中获取阅读器的状态。
156.如图11示意，电路板30上的电路模块可以包括控制模块301、与控制模块301电连接的通讯模块302(比如rs485模块)和读写模块31。
157.在一种示例中，阅读器上的读写模块被配置为在阅读器靠近电子标签时朝向该电子标签，两者通过红外无线通信进行交互。
158.下面以红外机制下的阅读器和电子标签为示例进行示意说明。
159.如图10、图11示意，读写模块31具有红外的发射器310和接收器311，其中，发射器向电子标签发射信号，接收器接收电子标签返回的信号。
160.本说明书实施例提供一种用于驱动发射器310工作的驱动电路示例，即发射器310基于相应的发射放大单元进行驱动后，对外发生红外光信息。其中，发射放大单元可以为两级放大电路，即第一级进行预放大，第二级为功率放大，使得发射的红外光功率符合使用要求，有利于可靠地获取电子标签信息。
161.如图12示意，发射放大单元包括第一放大电路和第二放大电路，所述第一放大电路基于第一电源对输入的红外调制信号ir_txd进行预放大，所述第二放大电路基于第二电源对红外调制信号进行功率放大后输出，其中第一电源的电压值低于第二电源的电压值。需要说明的是，放大电路的选型可以是集成电路，也可以是分立器件。
162.在一种示例中，放大单元采用分立器件形式的晶体管电路，有利于降低阅读器的功耗，提高阅读器的可靠性。
163.如图12示意，第一放大电路包括第二三极管q2、第二电阻r2、第三电阻r3和第四电阻r4，第二三极管q2的集电极和第二电阻r2的一端与第一电源(如vdd)连接，第二三极管q2的基极与第三电阻r3的一端连接，第三电阻r3的另一端和第二电阻r2的另一端连接后用于输入所述红外调制信号，第二三极管q2的发射极通过第四电阻r4接地，所述第二三极管的发射极作为输出端用于输出放大后的所述红外调制信号。
164.在一种示例中，第四电阻r4可以为分压电阻电路形式，如由r29和r30组成，这时输出从分压端输出。
165.如图12示意，第二放大电路包括第三三极管q3、第五电阻r5和第六电阻r6。其中，所述第一放大电路输出的所述红外调制信号经第五电阻r5输入至第三三极管q3的基极，第三三极管q3的发射极接地，第三三极管q3的集电极通过第六电阻r6将放大后的所述红外调制信号传输至红外发射器d3的一端，红外发射器d3的另一端连接第二电源(如dc直流)。其中，前述的发射器310可为红外发射器d3。
166.上述示例中，红外发射器d3耦接于第二级放大的一输出端与dc电源之间，该第二级放大的另一输出端接地，该第二级放大的输入端与第一级放大的一输出端耦接(例如通过第五电阻r5、电阻r30耦接地)，第一级放大的另一输出端连接电源vdd，第一级放大的输入端借助第三电阻r3耦接输入红外调制信号，同时借助第二电阻r2一上拉耦接至电源vdd。
167.另外，红外发射器d3可以为红外发光管，第一级放大、第二级放大构成两级放大电路，能够使红外发射器稳定可靠地向电子标签发送携带预设数据/指令的红外信号。
168.需要说明的是，发射器电路可以是其他电路形式，上述示例仅作为其中之一的示例进行示意说明。
169.本说明书实施例提供一种对接收器311的接收信号进行处理的信号调理电路示例，即接收器311接收的红外光信号，鉴于电子标签发送的相应光信号比较弱，采用接收放大单元进行信号调理电路，便于后续对处理器进行数字信号处理，例如采用两级放大电路对接收信号进行放大调理。
170.如图13示意，用于信号调理的接收放大单元包括第三放大电路和第四放大电路，其中第三放大电路基于第二电源对红外接收器输出的电信号进行预放大，所述第四放大电路基于第一电源对第三放大电路输出的所述电信号进行电压放大后输出，其中第一电源的电压值低于第二电源的电压值。
171.如图13所示，第三放大电路包括第四三极管q4、第七电阻r7和第八电阻r8；红外接收器q10输出的电信号经第七电阻r7输入至第四三极管q4的基极，第四三极管q4的发射极连接第二电源(如dc直流)，第四三极管q4的集电极通过第八电阻接地，所述第四三极管的集电极作为输出端用于输出放大后的所述电信号。
172.如图13所示，第四放大电路包括第五三极管q5、第九电阻r9和第十电阻r10。其中，所述第三放大电路输出的所述电信号经第九电阻r9输入至第五三极管q5的基极，第五三极管q5的发射极接地，第五三极管q5的集电极通过第十电阻r10连接第一电源(比如vdd)，第五三极管q5的集电极作为输出端用于输出放大后的电信号。
173.需要说明的是，红外接收器q10耦接于地与dc电源之间(如通过电阻r11进行耦接)，红外接收器q10集电极与第三放大电路的输入端耦接，第三放大电路的两输出端耦接于地与dc电源之间，第四放大电路的一输出端接地，第四放大电路的另一输出端作为电信号输出，其中输出时借助第十电阻r10上拉耦接至电源vdd。其中，前述的接收器311可为红外接收器q10。
174.另外，红外接收器q10为光电接收管，可接收电子标签响应的光信号，并且将光电信号转换为电信号，该电信号经过前述两级放大电路处理，然后有红调制解调器完成解调输出。
175.在一些实施方式中，所述阅读器还包括：遮挡检测模块，用于在检测到被遮挡时，输出遮挡信号，所述遮挡信号用于触发所述控制模块控制，以使所述控制模块控制所述读写模块对所述电子标签进行读写操作。
176.本说明书实施例提供一种遮挡检测模块的电路示例，可以基于该电路实现遮挡检测。
177.如图10、图11示意，阅读器设置有光电开关32，与控制模块301电连接。光电开关32的信号方向设置为与读取模块的信号方向大致相同，均为阅读器的前方，这样可以检测阅
读器前方的遮挡状态。因此，在针对取放晶圆盒的信息获取及处理中，可以通过光电开关32检测前方是否被晶圆盒遮挡，进而在被遮挡后执行信息处理操作。
178.如图14的示意，本说明书提供一种利用光电开关32(即反射式光电传感器)实现遮挡检测的电路示例，反射式光电传感器可以在触发信号(比如搬运设备或者amhs系统提供的电平控制信号)的触发控制下发射光信号，并可以接收该光信号被反射回来的反射信号，以及在接收到反射信号后，将反射信号(即光反射信号)生成对应的电压信号。该电压信号可以由比较器处理后输出对应电平。其中，比较器的第一输入端(比如反相输入端)输入该电压信号，而比较器的第二输入端(比如同相输入端)输入参考电平，这时比较器能够在该电压信号的作用下发生反转而输出对应的电平值，使得反转电平能够表征出障碍物被检测到，进而利用该反转电平可以用于避障、电子标签信息读取触发等控制，这里不再限定。
179.在一种示例中，触发光电开关发生红外信号的触发信号可以为pwm信号，进而在pwm信号的触发下，检测电路中反射式光电传感器的发射端可以是周期性的工作，也可以是变周期性的间歇工作，有利于降低功耗实现节能，也能够降低电路发热。
180.在一种示例中，pwm信号通过电子开关后再用于驱动检测电路中反射式光电传感器的发射端。因此，所述检测电路还包括pwm开关电路，其中pwm开关电路用于根据pwm信号形成开关信号，并将该开关信号用于控制所述反射式光电传感器的工作。
181.如图14所示，电子开关电路选用三极管电路形式，这时pwm信号通过第一电阻r1输入至第一三极管q1的基极，该三极管根据pwm信号形成开关信号，从而能够控制反射式光电传感器的工作。
182.需要说明的是，遮挡检测电路以光电开关32(即反射式光电传感器)为核心，该传感器的发射电路具有两个对外引脚，该传感器的接收电路同样具有两个对外引脚。因此，该传感器的发射电路第一引脚耦接至dc电源，第二引脚与第一三极管q1的集电极连接，第一三极管q1的发射极接地，这时第一三极管q1可以构成一级放大电路的电子开关，进而在基极输入pwm信号后，第一三极管q1形成开关信号驱动反射式光电传感器的工作，使得反射式光电传感器可以间歇式地发射光信号。
183.另外，接收电路的第三引脚耦接电源vdd(如通过r16电阻)及比较器的反相输入端(如经过r34电阻)，接收电路的第四引脚接地，以及比较器的同相输入端接参考电平(例如由r17与r18两电阻对电压vdd分压得到的参考电压)，比较器的输出端通过r25上拉电阻完成上拉，并通过r35接口串接电阻输出检测电平。
184.在发射的光信号未被反射时，接收电路无电压信号输出，则没有该电压信号的作用下比较器输出第一电平，该第一电平可以用于标识检测结果为无障碍物。而一旦发射的光信号被障碍物反射，则将被接收电路接收，并转换为电信号从第三引脚输出，此时电信号输入至比较器，使得比较器的输出电平从第一电平翻转为第二电平输出，此时第二电平可以用于标识确定检测到障碍物。
185.本说明书实施例提供一种通信模块302基于rs485接口的电路示例，上位机和阅读器之间通过该电路进行通信，其中通信模块的核心为rs485通讯芯片，因而通信模块可以是基于rs485通讯芯片(比如max14783)构建的通信接口电路。
186.如图15示意，在通信模块302中，rs485通讯芯片u1的2号、3号引脚用于接收复位触发信号rst1(该触发信号可以是控制模块提供)；rs485通讯芯片u1的1号引脚用于向控制模
块传输rxd1信号；rs485通讯芯片u1的4号引脚用于向控制模块传输txd1信号；rs485通讯芯片u1的6号引脚和7号引脚分别通过r46、r45电阻耦接至通信接口p2(rs485_n、rs485_p)。通信接口p2的引脚3和引脚4之间还耦接有静电保护器d4。
187.因此，阅读器可以借助通信接口p2，方便地实现可插拔连接。
188.在一些实施方式中，阅读器还包括指示模块，用于根据所述控制模块输出的指示信号进行状态指示。
189.本说明书实施例提供一种指示模块基于指示灯进行状态指示的电路示例，通过指示灯可以从阅读器外部及时获知阅读器状态信息。
190.如图6、图11和图16示意，指示模块包括指示灯33(如图6示出的指示灯可以连接与图16示意的指示装置对应位置)，其中在阅读器上设置有露出于外壳300的指示灯33，该指示灯33与控制模块301电连接。当任务执行完成后，控制指示灯33发出指示信号，r61、r62、63、q60在led信号作用下，使得指示灯完成状态指示。需要说明的是，除了指示灯外，也可以是其他形式的指示装置，例如声音装置(如蜂鸣器)。
191.本说明书实施例提供一种控制模块301基于单片机的电路示例，阅读器中的控制模块采用单片机，通过单片机来实现前述各个示例中的控制功能。
192.如图17示意，单片机u2用于向前述各个功能模块提供相应接口信号，例如rs485接口的txd1、rxd1，复位触发信号rst1等信号；例如发射器和接收器对应的ir_txd、ir_rxd、ir_pwm等信号；例如指示灯控制信息led等；例如单片机程序烧录接口p3的icedat、iceclk、icerst等信号。
193.需要说明的是，本领域的技术人员应当能够理解，单片机是用于实现控制处理的简易处理器，因此其功能实现可以根据前述各个示例需要，通过设置相应功能单元来实现。另外，单片机外围还可以设置其他辅助电路，如为单片机提供时钟信号的晶振电路(如图17示出的晶振u3及其外围电阻构成的电路)，如进行单片机程序烧录接口p3、供电电路等，不再一一展开。
194.需要说明的是，控制模块可以是基于单片机实现，也可以是基于其他形式的处理器，这里不作限定。
195.本说明书中，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的实施例而言，描述比较简单，相关之处参见前述实施例的部分说明即可。
196.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种晶圆盒信息处理方法，应用于阅读器，其特征在于，所述晶圆盒信息处理方法包括：接收上位机下发的请求，所述请求中携带有指令，所述指令用于指示阅读器执行非标签交互任务或标签交互任务，其中：非标签交互任务为阅读器无需与电子标签交互的任务，并根据所述请求向上位机响应；标签交互任务为阅读器需与电子标签交互的任务，并根据所述请求向上位机响应；其中：在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务；其中：所述电子标签设置在晶圆盒上，并且所述电子标签存储有记录晶圆盒的属性信息的标签数据。2.根据权利要求1所述的晶圆盒信息处理方法，其特征在于，所述当前标签交互任务包括阅读器与电子标签之间进行交互的以下至少一个通信子步骤：建立通信连接，传输目标数据，确认传输数据，结束通信连接；所述晶圆盒信息处理方法还包括：在执行所述当前标签交互任务中的当前通信子步骤中，当接收到上位机下发若干新请求的触发时，则暂停执行所述当前通信子步骤，并接收及存储所述若干新请求携带的指令。3.根据权利要求2所述的晶圆盒信息处理方法，其特征在于，所述若干新请求的指令被接收存储后，恢复执行被暂停的所述当前通信子步骤；其中：所述当前通信子步骤完成后，判断是否存储有用于指示待执行任务的所述若干新请求的指令，并且在判断该指令用于指示标签交互任务时，向所述上位机反馈设备忙信号，或者，在判断该指令用于指示非标签交互任务时，启动执行所述请求对应的非标签交互任务；若当前存储的所有新请求的指令均已被响应过，则恢复执行所述当前通信子步骤的后续步骤。4.根据权利要求1所述的晶圆盒信息处理方法，其特征在于，在执行标签交互任务前，所述晶圆盒信息处理方法还包括：获取遮挡状态信息，并在遮挡状态信息为有效时，执行所述标签交互任务的通信步骤；其中，遮挡状态信息为第一传感器被遮挡时发出的状态信息，所述第一传感器设置于阅读器中，并当第一传感器被晶圆盒遮挡时输出被遮挡对应的遮挡状态信息；其中，所述阅读器设置于搬运设备上；检测到被遮挡时：当所述遮挡状态信息用于表征前方障碍，则控制所述搬运设备移动并且避开所述障碍；或者，当所述遮挡状态信息用于表征到达靠近晶圆盒的预设位置，则启动阅读器与电子标签之间的通信交互。
5.根据权利要求1所述的晶圆盒信息处理方法，其特征在于，所述晶圆盒信息处理方法还包括：在接收到请求携带的指令时，确定所述指令是否符合预设条件，若否则向所述上位机反馈指令不合法或指令属于异常指令；和/或，在预设时间内未接收到上位机下发请求的触发时，执行预设的喂狗任务；和/或，在执行所述请求的对应任务中，对任务执行状态进行状态信息指示，所述状态信息用于反映任务被执行的状态；其中：所述状态信息包括灯光信息，所述灯光信息为由指示灯发出的信息，所述指示灯设置于阅读器中并露出于阅读器表面。6.根据权利要求1-5中任意一项所述的晶圆盒信息处理方法，其特征在于，所述指令包括以下至少一种指令数据：查询阅读器的设备信息、查询阅读器的通信地址、查询阅读器是否被遮挡的状态信息、查询电子标签的设备信息、读取电子标签的标签数据、向电子标签写入标签数据；其中：所述标签数据包括以下至少一种数据：lcd文件数据，标签文件数据。7.一种晶圆盒信息处理方法，应用于上位机，其特征在于，所述晶圆盒信息处理方法包括：向阅读器下发请求，以使所述阅读器在接收到所述请求的触发后，根据所述请求中携带的指令的类型调整当前任务的执行顺序操作；其中，阅读器调整当前任务的执行顺序操作包括：若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务。8.根据权利要求7所述的晶圆盒信息处理方法，其特征在于，所述晶圆盒信息处理方法还包括：若接收到阅读器反馈的设备忙信号，向阅读器下发新请求，其中所述新请求中携带有新指令，所述新指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，以使所述新请求优先于旧请求，其中所述旧请求为已下发至阅读器中并等待阅读器执行对应的标签交互任务后进行响应的请求。9.一种晶圆盒信息处理装置，应用于阅读器，其特征在于，所述晶圆盒信息处理装置包括：接收模块，用于接收上位机下发的请求，所述请求中携带有指令，所述指令用于指示阅读器执行非标签交互任务或标签交互任务，其中：非标签交互任务为阅读器无需与电子标签交互的任务，并根据所述请求向上位机响应；标签交互任务为阅读器需与电子标签交互的任务，并根据所述请求向上位机响应；任务顺序调整模块，用于根据所述请求的触发调整当前任务的执行顺序操作，其中调整操作如下：在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈
设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务。10.一种晶圆盒信息处理装置，应用于上位机，其特征在于，所述晶圆盒信息处理装置包括：发送模块，用于向阅读器下发请求，以使所述阅读器在接收到所述请求的触发后，根据所述请求中携带的指令的类型调整当前任务的执行顺序操作；其中，阅读器调整当前任务的执行顺序操作包括：若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务。11.一种晶圆盒信息处理系统，其特征在于，包括：上位机，用于向阅读器下发请求，其中所述请求中携带有指令，所述指令用于指示阅读器执行非标签交互任务或标签交互任务，其中：非标签交互任务为阅读器无需与电子标签交互的任务，并根据所述请求向上位机响应；标签交互任务为阅读器需与电子标签交互的任务，并根据所述请求向上位机响应；阅读器，用于根据所述请求的触发，调整当前任务的执行顺序操作；其中，调整当前任务的执行顺序操作包括：在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务；电子标签，用于在阅读器执行所述标签交互任务中，基于预设的通信协议与阅读器进行通信交互，以配合阅读器调整当前任务的执行顺序操作。12.一种阅读器，其特征在于，包括：壳体；电路板，所述电路板安装于所述壳体的内部，所述电路板包括控制模块、读取模块和通讯模块；其中，通讯模块用于与上位机通信连接，以基于通信连接接收上位机下发请求和向上位机响应请求；
读写模块用于在控制模块的控制下读写电子标签的数据；控制模块用于根据所述请求的触发，调整当前任务的执行顺序操作；其中，调整当前任务的执行顺序操作包括：在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则向所述上位机反馈设备忙信号，若否则启动执行所述请求对应的标签交互任务；在接收到所述请求后，若所述请求中的指令用于指示阅读器执行非标签交互任务，则判断是否已有与电子标签进行交互的当前标签交互任务在执行中，若是则暂停执行所述当前标签交互任务，并启动执行所述请求对应的当前非标签交互任务，以及待所述当前非标签交互任务完成后，恢复执行被暂停的所述当前标签交互任务。13.根据权利要求12所述的阅读器，其特征在于，所述阅读器还包括：遮挡检测模块，用于在检测到被遮挡时，输出遮挡信号，所述遮挡信号用于触发所述控制模块控制，以使所述控制模块控制所述读写模块对所述电子标签进行读写操作；和/或，所述阅读器还包括：指示模块，用于根据所述控制模块输出的指示信号进行状态指示。

技术总结
本申请提供一种晶圆盒信息处理方法、装置、系统及阅读器，应用于半导体物料搬运系统技术领域。在阅读器接收到上位机下发请求的触发后，可以根据请求调整当前执行任务的顺序，例如在当前执行标签交互任务中，一旦接收到上位机下发的非标签交互指令请求，则可以暂定执行当前执行标签交互任务，进而穿插地执行非标签交互任务，不仅解决了上位机需要等待阅读器执行前一个任务才能下发请求的制约，而且能够减少上位机获取数据时的等待时间，有效地提高了数据整体处理效率，为晶圆厂的新产能生产需要提供非常有效的有力保障条件。要提供非常有效的有力保障条件。要提供非常有效的有力保障条件。


技术研发人员：杨复来 谭璜 缪峰
受保护的技术使用者：弥费科技（上海）股份有限公司
技术研发日：2023.05.11
技术公布日：2023/8/16