一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置的制作方法

1.本实用新型涉及配比装置技术领域，尤其涉及一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置。


背景技术：

2.电镀就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到防止金属氧化，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性及增进美观等作用。不少硬币的外层亦为电镀。
3.当需要对集成电路用电镀溶液进行生产时，就需要使用到配比装置，通过配比装置生产出集成电路用电镀溶液，现有的集成电路用电镀溶液的配比方法是把需要进行配比的不同溶液倒入配比装置内部，通过配比装置内部搅拌叶对配比溶液进行搅拌工作，但是现有的搅拌叶功能单一，只能对配比溶液进行单一方向的搅拌工作，使配比装置内部的配比液不能充分的进行融合，需要长时间的搅拌才能使进行充分的融合，导致降低了工作效率。
4.且现有的配比装置，不能对沉淀在配比装置底部的颗粒物进行搅拌，导致颗粒物一直在配比装置的底部，不能进行有效的配比混合工作。


技术实现要素：

5.针对现有技术中对于存在的上述问题，现提供一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置。
6.具体技术方案如下：
7.设计一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，包括罐体、搅拌叶和搅拌柱，所述罐体一端设有电机，所述电机通过输出轴固定连接驱动齿轮一侧，所述驱动齿轮啮合从动齿轮，所述从动齿轮固定连接旋转柱一端，所述旋转柱通过焊接的形式连接所述搅拌柱一端，所述搅拌柱远离所述旋转柱的一端活动连接转轴一侧，所述转轴远离所述搅拌柱的一侧活动连接所述搅拌叶，所述旋转柱远离所述从动齿轮的一端设有拨动板，所述拨动板一侧贴合所述罐体内壁底部，所述旋转柱内部设有制冷管，所述制冷管一端设有制冷装置。
8.优选的，所述罐体顶部设有第一进料口，所述第一进料口通过贯穿的形式连接所述罐体，所述第一进料口一侧设有第二进料口，所述第二进料口通过贯穿的形式连接所述罐体顶部。
9.优选的，所述旋转柱一端活动连接所述罐体底部，所述旋转柱远离所述罐体底部的一端贯穿所述罐体顶部固定连接所述从动齿轮，所述从动齿轮啮合所述驱动齿轮。
10.优选的，所述电机通过紧固件连接所述罐体，所述电机通过输出轴固定连接所述驱动齿轮。
11.优选的，所述搅拌柱一端通过焊接的形式连接所述旋转柱，所述搅拌柱远离所述旋转柱的一端通过紧固件连接所述搅拌叶。
12.优选的，所述旋转柱远离所述从动齿轮的一端通过紧固件连接所述拨动板一端，所述拨动板一侧贴合所述罐体底部。
13.优选的，所述制冷管通过嵌入的形式连接所述旋转柱内部，所述制冷管一端通过线路连接所述制冷装置，所述制冷装置通过紧固件连接所述旋转柱一端。
14.上述技术方案具有如下优点或有益效果：
15.1.通过设置了搅拌柱和搅拌叶，当需要对倒入罐体内部的液体进行搅拌配比时，打开电机，电机通过输出轴带动驱动齿轮进行旋转，驱动齿轮带动从动齿轮旋转，从动齿轮旋转带动旋转柱进行旋转，旋转柱通过搅拌柱带动搅拌叶进行旋转，搅拌叶旋转通过罐体内部液体的推动通过转轴以搅拌柱为圆心进行转动，通过搅拌柱和搅拌叶对罐体内部的液体进行不同方位的搅拌，使罐体内部的不同液体进行混合工作，无需单一的搅拌叶进行长时间的搅拌，提高了工作效率。
16.2.通过设置了旋转柱和拨动板，当旋转柱进行旋转时，带动拨动板进行旋转，拨动板旋转拨动沉淀在罐体底部的颗粒物通过液体进行移动，使其移动到搅拌叶处，通过搅拌叶对其进行配比工作，防止了颗粒物一直沉淀在罐体的底部，体现了此装置的实用性。
附图说明
17.参考所附附图，以更加充分的描述本实用新型的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本实用新型范围的限制。
18.图1为本实用新型提出的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置的结构示意图；
19.图2为本实用新型提出的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置的剖视图；
20.图3为本实用新型提出的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置其中的从动齿轮和驱动齿轮结构示意图；
21.图4为本实用新型提出的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置其中的搅拌柱和转轴结构示意图。
22.上述附图标记表示：罐体1、第一进料口2、第二进料口3、电机4、旋转柱5、搅拌叶6、拨动板7、制冷管8、制冷装置9、驱动齿轮10、从动齿轮11、转轴12、搅拌柱13。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
25.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
26.参照图1-4，一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，包括罐体1、搅拌叶6和搅拌柱13，罐体1一端设有电机4，电机4通过输出轴固定连接驱动齿轮10一侧，驱动齿轮10啮
合从动齿轮11，从动齿轮11固定连接旋转柱5一端，旋转柱5通过焊接的形式连接搅拌柱13一端，搅拌柱13远离旋转柱5的一端活动连接转轴12一侧，转轴12远离搅拌柱13的一侧活动连接搅拌叶6，旋转柱5远离从动齿轮11的一端设有拨动板7，拨动板7一侧贴合罐体1内壁底部，旋转柱5内部设有制冷管8，制冷管8一端设有制冷装置9，通过设置了搅拌柱13和搅拌叶6，当需要对倒入罐体1内部的液体进行搅拌配比时，打开电机4，电机4通过输出轴带动驱动齿轮10进行旋转，驱动齿轮10带动从动齿轮11旋转，从动齿轮11旋转带动旋转柱5进行旋转，旋转柱5通过搅拌柱13带动搅拌叶6进行旋转，搅拌叶6旋转通过罐体1内部液体的推动通过转轴12以搅拌柱13为圆心进行转动，通过搅拌柱13和搅拌叶6对罐体1内部的液体进行不同方位的搅拌，使罐体1内部的不同液体进行混合工作，无需单一的搅拌叶6进行长时间的搅拌，提高了工作效率，通过设置了旋转柱5和拨动板7，当旋转柱5进行旋转时，带动拨动板7进行旋转，拨动板7旋转拨动沉淀在罐体1底部的颗粒物通过液体进行移动，使其移动到搅拌叶6处，通过搅拌叶6对其进行配比工作，防止了颗粒物一直沉淀在罐体1的底部，体现了此装置的实用性。
27.进一步的，罐体1顶部设有第一进料口2，第一进料口2通过贯穿的形式连接罐体1，第一进料口2一侧设有第二进料口3，第二进料口3通过贯穿的形式连接罐体1顶部，通过第一进料口2和第二进料口3往罐体1的内部放入不同的需要进行配比的物质。
28.进一步的，旋转柱5一端活动连接罐体1底部，旋转柱5远离罐体1底部的一端贯穿罐体1顶部固定连接从动齿轮11，从动齿轮11啮合驱动齿轮10，电机4通过驱动齿轮10和从动齿轮11带动旋转柱5进行旋转，旋转柱5通过罐体1进行旋转，旋转柱5旋转带动搅拌柱13和搅拌叶6对罐体1内部的液体进行搅拌工作。
29.进一步的，电机4通过紧固件连接罐体1，电机4通过输出轴固定连接驱动齿轮10，电机4和输出轴为一体，电机4通过输出轴进行旋转。
30.进一步的，搅拌柱13一端通过焊接的形式连接旋转柱5，搅拌柱13远离旋转柱5的一端通过紧固件连接搅拌叶6，搅拌叶6通过罐体1内部液体的推动以搅拌柱13为圆心进行旋转。
31.进一步的，旋转柱5远离从动齿轮11的一端通过紧固件连接拨动板7一端，拨动板7一侧贴合罐体1底部，拨动板7用于拨动沉淀在罐体1底部的颗粒物漂浮起来，通过搅拌叶6的搅拌继续进行配比工作。
32.进一步的，制冷管8通过嵌入的形式连接旋转柱5内部，制冷管8一端通过线路连接制冷装置9，制冷装置9通过紧固件连接旋转柱5一端，制冷装置9用于当罐体1内部的温度过高时，对罐体1内部的温度进行降温工作，防止温度过高导致不能进行有效的配比工作。
33.工作原理：在使用此装置时，首先通过第一进料口2和第二进料口3往罐体1的内部加入不同的需要进行配比的物质，然后打开电机4，电机4通过输出轴带动驱动齿轮10进行旋转，驱动齿轮10带动从动齿轮11旋转，从动齿轮11旋转带动旋转柱5进行旋转，旋转柱5通过搅拌柱13带动搅拌叶6进行旋转，搅拌叶6旋转通过罐体1内部液体的推动，搅拌叶6通过转轴12以搅拌柱13为圆心进行转动，当旋转柱5进行旋转时，带动拨动板7进行旋转，拨动板7旋转拨动沉淀在罐体1底部的颗粒物通过液体漂浮起来，使其漂浮到搅拌叶6处，通过搅拌叶6对其进行配比，即可完成工作。
34.以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及
保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

技术特征：
1.一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，其特征在于：包括罐体(1)、搅拌叶(6)和搅拌柱(13)，所述罐体(1)一端设有电机(4)，所述电机(4)通过输出轴固定连接驱动齿轮(10)一侧，所述驱动齿轮(10)啮合从动齿轮(11)，所述从动齿轮(11)固定连接旋转柱(5)一端，所述旋转柱(5)通过焊接的形式连接所述搅拌柱(13)一端，所述搅拌柱(13)远离所述旋转柱(5)的一端活动连接转轴(12)一侧，所述转轴(12)远离所述搅拌柱(13)的一侧活动连接所述搅拌叶(6)，所述旋转柱(5)远离所述从动齿轮(11)的一端设有拨动板(7)，所述拨动板(7)一侧贴合所述罐体(1)内壁底部，所述旋转柱(5)内部设有制冷管(8)，所述制冷管(8)一端设有制冷装置(9)。2.根据权利要求1所述的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，其特征在于：所述罐体(1)顶部设有第一进料口(2)，所述第一进料口(2)通过贯穿的形式连接所述罐体(1)，所述第一进料口(2)一侧设有第二进料口(3)，所述第二进料口(3)通过贯穿的形式连接所述罐体(1)顶部。3.根据权利要求1所述的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，其特征在于：所述旋转柱(5)一端活动连接所述罐体(1)底部，所述旋转柱(5)远离所述罐体(1)底部的一端贯穿所述罐体(1)顶部固定连接所述从动齿轮(11)，所述从动齿轮(11)啮合所述驱动齿轮(10)。4.根据权利要求1所述的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，其特征在于：所述电机(4)通过紧固件连接所述罐体(1)，所述电机(4)通过输出轴固定连接所述驱动齿轮(10)。5.根据权利要求1所述的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，其特征在于：所述搅拌柱(13)一端通过焊接的形式连接所述旋转柱(5)，所述搅拌柱(13)远离所述旋转柱(5)的一端通过紧固件连接所述搅拌叶(6)。6.根据权利要求1所述的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，其特征在于：所述旋转柱(5)远离所述从动齿轮(11)的一端通过紧固件连接所述拨动板(7)一端，所述拨动板(7)一侧贴合所述罐体(1)底部。7.根据权利要求1所述的一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，其特征在于：所述制冷管(8)通过嵌入的形式连接所述旋转柱(5)内部，所述制冷管(8)一端通过线路连接所述制冷装置(9)，所述制冷装置(9)通过紧固件连接所述旋转柱(5)一端。

技术总结
本实用新型涉及配比装置技术领域，尤其是一种集成电路用电镀溶液生产用配比装置，包括罐体、搅拌叶和搅拌柱，所述罐体一端设有电机，所述电机通过输出轴固定连接驱动齿轮一侧，所述驱动齿轮啮合从动齿轮，电机通过输出轴带动驱动齿轮进行旋转，驱动齿轮带动从动齿轮旋转，从动齿轮旋转带动旋转柱进行旋转，旋转柱通过搅拌柱带动搅拌叶进行旋转，搅拌叶旋转通过罐体内部液体的推动通过转轴以搅拌柱为圆心进行转动，通过搅拌柱和搅拌叶对罐体内部的液体进行不同方位的搅拌，使罐体内部的不同液体进行混合工作，无需单一的搅拌叶进行长时间的搅拌，提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。


技术研发人员：杨东风 鲁文锋 刘晓霞
受保护的技术使用者：上海赛夫特半导体材料有限公司
技术研发日：2023.03.21
技术公布日：2023/8/19