一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体晶圆硅片研磨加工技术领域，具体涉及一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置。


背景技术：

2.晶硅棒经过多线切割以后形成的硅片，表面有一定的损伤层，损伤层存在晶格畸变、划痕以及较大起伏度，为了获得光滑而平整的晶体表面，需要将损伤层去除。因此需用研磨方式，来去除损伤层，现有技术中常采用硅片研磨机对硅片进行研磨。硅片研磨机的磨盘在研磨过程中，由于磨盘磨损强度不均匀会导致研磨盘不平整，磨盘的上下盘面会发生改变，在后面研磨的工件质量会变得参数不一致，而且磨盘表面磨粒与粘结剂形成的微孔会被磨屑淤塞，造成磨削效率下降，所以硅片研磨机就必须采用修正轮来对磨盘进行修整，使其露出新的、平整的研磨表面。磨盘的修整采用修正轮与磨盘互研的方法，将修正轮放置在上下磨盘之间，并使修正轮外圆周的齿轮与硅片研磨机上的中心齿轮、外齿圈啮合，通过调整中心齿轮、外齿圈以及上下磨盘的转速，让修正轮在上下磨盘间做行星游轮运动，以达到对磨盘进行均匀的研磨修整。盘面的平整决定研磨后硅片的平整度，所以磨盘需要用修正轮定时进行盘面修复，修正轮的好坏直接影响硅片研磨机的磨盘盘面能否达到加工产品的要求，因此，修正轮的存放就需要一定的要求，保证修正轮的存放完好，进而确保对研磨机磨盘修复符合加工产品的要求。因为修正轮本身较重，搬运、叠放过程中可能会有磕碰现象，修正轮表面的磕碰损伤、锈蚀、沾污均会影响修盘效果，甚至会损伤磨盘本身，故需要一种修正轮放置柜存放修正轮，避免修正轮在存放过程中发生磕碰，同时要去除修正轮上的锈蚀、污物。


技术实现要素：

3.为解决上述修正轮存放易发生磕碰、锈蚀、沾污的技术问题，本实用新型提供一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置。
4.本实用新型的目的是采用以下技术方案来实现。依据本实用新型提出的一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，包括存放柜，所述存放柜内腔并列设置多个竖直的间隔栏，相邻间隔栏之间的空腔下方转动设置至少两个齿轮，间隔栏之间的空腔放入修正轮后，修正轮外圆周的齿轮与间隔栏下方的齿轮啮合；间隔栏上方设置喷淋装置，齿轮下方设置回收槽，回收槽底部设置排液管；所述存放柜的腔室密封。
5.与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：
6.通过该装置的间隔栏、齿轮将修正轮竖直放置且隔开，防止修正轮发生磕碰，避免修盘后磨盘表面达不到生产加工要求，从而避免影响正常生产；该装置的喷淋装置可以喷淋防锈油，修正轮使用完毕且表面的研磨液冲洗干净后进行喷涂防锈剂存放，防止修正轮发生锈蚀；存放柜密封设置可以防尘、防大颗粒物附落，避免对修正轮的沾污，避免将大颗粒硬杂质带入磨盘上，从而避免了因修正轮损伤导致磨盘盘面达不到加工产品的要求、影
响生产效率。
7.进一步的，所述存放柜底部设置万向轮。
8.与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：
9.该装置可移动至生产现场，可以便捷地取放、保存修正轮。
10.进一步的，所述间隔栏为直角三角形板，间隔栏的其中一直角边固定在存放柜的后侧内壁，另一直角边朝向存放柜下方。
11.与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：
12.该间隔栏可以方便地将修正轮放入两个间隔栏之间，并使修正轮的上部位于两个间隔栏外部，方便存取。
13.进一步的，所述齿轮与回收槽之间设置承接槽，承接槽可拆卸设置在存放柜内部；承接槽上下贯通，承接槽上部的开口尺寸大于下部的开口尺寸。
14.与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：
15.通过该结构将废液汇聚至回收槽，并可以拆下来清洗，保证修正轮存放处的清洁。
16.进一步的，所述存放柜左右两侧内壁水平设置挡板，承接槽的两侧设置搭接在挡板上的放置板。
17.进一步的，所述存放柜前部设置柜门，柜门的内壁环绕设置密封条，柜门关闭时，密封条压在存放柜前侧开口周围的外壁上。
18.与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：
19.通过该柜门，存取修正轮，并确保对存放柜的密封。
20.进一步的，所述存放柜转动设置两个齿轮组，每个齿轮组中齿轮的数量与能够存放的修正轮数量相同，两个齿轮组对应的齿轮在前后方向对齐，每个齿轮组上的齿轮设置在同一个撑杆上。
21.与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：
22.清洗或对修正轮防锈喷淋时，方便转动修正轮，对修正轮进行充分均匀地清洗及防锈。
23.进一步的，所述撑杆的两端固定在存放柜左右两侧，齿轮组中的齿轮转动设置在对应的撑杆上。
24.进一步的，其中一个所述撑杆转动设置在存放柜内且与对应齿轮组中的齿轮固定连接，并且该撑杆的端部伸出存放柜，另一撑杆固定设置在存放柜内且与对应齿轮组中的齿轮转动连接。
25.与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：
26.通过该结构，可以在对修正轮进行清洗机防锈时，关闭柜门，在存放柜外侧进行操作，及时对修正轮进行密封保存，防止污染物进入。
27.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
28.图1为本实用新型一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置实施例的示意图；
29.图2为图1去柜门及存放柜的前侧柜体后的示意图；
30.图3为现有技术中的修正轮的示意图。
31.【附图标记】
32.1-存放柜，2-间隔栏，3-修正轮，4-喷淋装置，401-输油管，402-喷嘴，5-承接槽，6-回收槽，601-排液管，7-柜门，8-密封条，9-齿轮组，10-撑杆，11-万向轮，k-开关。
具体实施方式
33.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.本实用新型一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置的实施例，如图1至图2所示，包括存放柜1，存放柜1内腔的上部竖直设置多个间隔栏2，修正轮3的放置方式为竖直放置，一组修正轮的数量一般有3-4个，因此，通过多个间隔栏2将存放柜的上部空间竖直分隔成3-4个，每个修正轮3竖直放置在间隔栏2对应隔开的空间内，各个修正轮3通过间隔栏2隔开，避免放置修正轮3时，修正轮3相互间磕碰造成修正轮的盘面损伤。在本实施例中，间隔栏2为直角三角形板，间隔栏2的一直角边固定在存放柜1的后侧内壁，另一直角边朝向存放柜下方，方便将修正轮3放入两个间隔栏2之间，并使修正轮3的上部位于两个间隔栏外部。
35.存放柜的顶部设置喷淋装置4，喷淋装置4包含高压泵、输油管401、喷嘴402、开关k、储油箱，储油箱内储存有防锈油，高压泵通过输油管401将防锈油输送至喷嘴402，喷淋装置4的外侧壁设置开关k，按下开关k，启动高压泵，可以实现按键自动喷淋功能，此为现有技术，在此不再赘述。喷淋装置4的喷嘴402位于存放柜内腔的顶部。
36.存放柜1下部设置承接槽5、回收槽6，承接槽5位于间隔栏2的下方，回收槽6位于承接槽5的下方。承接槽5可以承接冲洗修正轮3的废水以及溢流的防锈液等废液，承接槽5可拆卸设置在存放柜1内部，可以取出进行刷洗；在本实施例中，存放柜1左右两侧内壁水平设置挡板，承接槽5的两侧设置搭接在挡板上的放置板；承接槽5上下贯通，在本实施例中，承接槽5上部的开口大于下部的开口，并且其上部的开口尺寸接近存放柜水平截面尺寸，使得从修正轮3上流出的废液能够完全落入承接槽5中，并由承接槽5汇聚后流入回收槽6。回收槽6顶部开口，底部设置排液管601，排液管601穿过存放柜1底部，用于排出回收槽6内的废液。
37.在本实施例中，存放柜1采用腔室密封设计，存放柜1前部设置的柜门7关闭后可以防尘、防大颗粒物附落在修正轮3上，避免将大颗粒硬杂质带入磨盘上，防止对硅片研磨形成划伤风险。在本实施例中，柜门7的内壁环绕设置密封条8，当关闭柜门7时，密封条8压在存放柜1前侧开口周围的存放柜1外壁上，对存放柜1的前侧开口进行密封。
38.在本实施例中，存放柜1内腔在间隔栏2与承接槽5之间转动设置两个齿轮组9，每个齿轮组9中齿轮的数量与存放的修正轮的数量相同，两个齿轮组9中对应的齿轮在前后方向对齐。在本实施例中，存放柜1内设置两个撑杆10，撑杆10的两端固定在存放柜1左右两侧内壁，每个撑杆10上分布设置多个轴承，轴承的数量与每个齿轮组9中齿轮的数量相等，齿轮组9中的齿轮通过对应的轴承转动设置在撑杆10上。放入修正轮3后，修正轮3外圆周的齿
轮与两个齿轮组9中对应的齿轮同时啮合，然后对修正轮3进行清洗，待修正轮的外侧清洗完毕，转动修正轮3，与之啮合的两个齿轮同时转动，将修正轮的内侧转动至外侧，继续清洗修正轮3，实现对修正轮3的完全清洗；修正轮3清洗后，对修正轮3喷淋防锈油，待修正轮3的上部喷淋防锈油后，转动修正轮3，使修正轮3的下部转动至上部，继续喷淋防锈油，实现对修正轮的全面均匀防锈。
39.在其他实施例中，可将其中一个齿轮组中的齿轮与对应的撑杆固定连接，该撑杆转动设置在存放柜1上，撑杆的一端延伸出存放柜，并在撑杆的外部设置把手或连接电机，在对修正轮进行清洗或防锈时，转动该撑杆，使撑杆带动其上的齿轮转动，进而带动修正轮转动，修正轮与另一个齿轮组转动啮合，操作者可以在存放柜外侧转动修正轮，操作更加方便快捷。
40.存放柜的底部四角各安装有一个万向轮11，可以将该装置移动至硅片研磨机，修正轮3放置的高度与硅片研磨机磨盘面高度相符合，方便取放修正轮3，不需要弯腰搬重物。
41.在使用修正轮3对研磨机磨盘盘面进行修复后，将修正轮3依次放入存放柜的间隔栏2之间，并将修正轮与对应的齿轮啮合，修正轮3上未冲洗干净的研磨液可以用高压水枪将其冲洗干净，然后关上柜门7，按下电子按键阀门开关k，对修正轮喷淋防锈油，流下的废水、防锈液可以用下方的回收槽6存放，回收槽6底部有排液管601，排液管601上设置阀门，打开阀门后，可以将废液排掉，最后关上柜门，对修正轮3进行密封保存。
42.该装置可移动至生产现场，可以便捷地取放、保存修正轮3，修正轮3重量较重，从人机工程学考虑，该装置的放置高度与磨盘高度持平，减少取放搬运时弯腰，避免工人负重引起的腰部劳损，并能够有效避免修正轮的磕碰损伤；通过该装置将修正轮竖直放置，并通过间隔栏隔开，防止修正轮发生磕碰，避免修盘后磨盘表面达不到生产加工要求，从而避免影响正常生产；该装置带有防锈油喷淋功能，修正轮使用完毕且表面的研磨液冲洗干净后进行喷涂防锈剂存放，防止修正轮发生锈蚀；柜门关闭后可以防尘、防大颗粒物附落，避免对修正轮的沾污，避免将大颗粒硬杂质带入磨盘上，从而避免了因修正轮损伤导致磨盘盘面达不到加工产品的要求、影响生产效率；因此，本实用新型具有良好的实用性及广阔的应用前景。
43.尽管已经展示和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，包括存放柜，其特征在于：所述存放柜内腔并列设置多个竖直的间隔栏，相邻间隔栏之间的空腔下方转动设置至少两个齿轮，间隔栏之间的空腔放入修正轮后，修正轮外圆周的齿轮与间隔栏下方的齿轮啮合；间隔栏上方设置喷淋装置，齿轮下方设置回收槽，回收槽底部设置排液管；所述存放柜的腔室密封。2.根据权利要求1所述的一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，其特征在于：所述存放柜底部设置万向轮。3.根据权利要求1所述的一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，其特征在于：所述间隔栏为直角三角形板，间隔栏的其中一直角边固定在存放柜的后侧内壁，另一直角边朝向存放柜下方。4.根据权利要求1所述的一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，其特征在于：所述齿轮与回收槽之间设置承接槽，承接槽可拆卸设置在存放柜内部；承接槽上下贯通，承接槽上部的开口尺寸大于下部的开口尺寸。5.根据权利要求4所述的一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，其特征在于：所述存放柜左右两侧内壁水平设置挡板，承接槽的两侧设置搭接在挡板上的放置板。6.根据权利要求1所述的一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，其特征在于：所述存放柜前部设置柜门，柜门的内壁环绕设置密封条，柜门关闭时，密封条压在存放柜前侧开口周围的外壁上。7.根据权利要求1所述的一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，其特征在于：所述存放柜转动设置两个齿轮组，每个齿轮组中齿轮的数量与能够存放的修正轮数量相同，两个齿轮组对应的齿轮在前后方向对齐，每个齿轮组上的齿轮设置在同一个撑杆上。8.根据权利要求7所述的一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，其特征在于：所述撑杆的两端固定在存放柜左右两侧，齿轮组中的齿轮转动设置在对应的撑杆上。9.根据权利要求7所述的一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，其特征在于：其中一个所述撑杆转动设置在存放柜内且与对应齿轮组中的齿轮固定连接，并且该撑杆的端部伸出存放柜，另一撑杆固定设置在存放柜内且与对应齿轮组中的齿轮转动连接。

技术总结
一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，包括存放柜，所述存放柜内腔并列设置多个竖直的间隔栏，相邻间隔栏之间的空腔下方转动设置至少两个齿轮，间隔栏之间的空腔放入修正轮后，修正轮外圆周的齿轮与间隔栏下方的齿轮啮合；间隔栏上方设置喷淋装置，齿轮下方设置回收槽，回收槽底部设置排液管；所述存放柜的腔室密封。通过该装置的间隔栏、齿轮将修正轮竖直放置且隔开，防止修正轮发生磕碰；该装置的喷淋装置可以喷淋防锈油，修正轮使用完毕且表面的研磨液冲洗干净后进行喷涂防锈剂存放，防止修正轮发生锈蚀；存放柜密封设置可以防尘、防大颗粒物附落，避免对修正轮的沾污。避免对修正轮的沾污。避免对修正轮的沾污。


技术研发人员：宋亚峰 张志林 周涛 赵娜
受保护的技术使用者：洛阳鸿泰半导体有限公司
技术研发日：2023.03.10
技术公布日：2023/8/19