一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置的制作方法

1.本实用新型涉及混合装置技术领域，尤其是一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置。


背景技术：

2.电镀液是指可以扩大金属的阴极电流密度范围、改善镀层的外观、增加溶液抗氧化的稳定性等特点的液体。
3.在生产集成电路用电镀溶液时需要按照配比将不同的原料混合均匀，这个过程需要使用密封混合装置，但多数混合装置在对溶液进行混合时需要使用多个动力源带动不同的混合组件运动，需要消耗大量能源，生产成本高，同时仅通过内部的混合组件进行搅拌不能快速的将溶液混合均匀，工作效率低。


技术实现要素：

4.针对现有技术中对于存在的上述问题，现提供一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置。
5.具体技术方案如下：
6.设计一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置，包括混合筒、搅拌杆和转动齿轮，所述混合筒顶部固定连接有旋转电机，所述旋转电机底部活动连接有旋转柱，所述旋转柱上固定连接有四个所述搅拌杆，所述旋转柱远离所述旋转电机的一端固定连接有所述转动齿轮，所述混合筒内设有内筒，所述内筒下方设有底座，所述底座上固定连接有引导齿轮，所述引导齿轮内设有从动齿轮。
7.优选的，所述内筒内壁固定连接有四个衔接板，所述衔接板远离所述内筒的一端固定连接有混合板，所述衔接板以所述旋转杆为圆心均匀排列在所述内筒内壁。
8.优选的，所述内筒外部活动连接有两个稳定环，所述稳定环远离所述内筒的一侧固定连接在所述混合筒内部，所述搅拌杆上固定连接有若干个混合块，所述混合块均匀分布在所述搅拌杆外部。
9.优选的，所述旋转杆贯穿所述内筒与所述混合筒顶端，并活动连接在所述底座上，所述旋转杆与所述内筒上下两端连接处均活动连接有密封圈，两个所述密封圈位于所述内筒内部。
10.优选的，所述从动齿轮与所述转动齿轮啮合连接，所述从动齿轮顶部活动连接有转轴，所述转轴顶部固定连接有连接块，所述连接块顶部固定连接在所述内筒底部。
11.优选的，所述引导齿轮与所述从动齿轮相对应的一侧设有齿槽，所述从动齿轮通过齿槽与所述引导齿轮啮合连接。
12.上述技术方案具有如下优点或有益效果：
13.通过外部控制终端开启旋转电机，带动转动齿轮与从动齿轮同时旋转，在从动齿轮旋转时会外侧与引导齿轮啮合连接，使得从动齿轮沿着引导齿轮内开始的齿槽进行圆周
活动，进而带动内筒进行旋转，在内筒旋转时会通过内部的衔接板与混合板对内部溶液进行搅拌混合，同时旋转电机通过旋转柱带动搅拌杆转动，搅拌杆通过混合块对内筒内部的溶液进行搅拌，旋转电机可以同时带动搅拌杆与内筒同时进行不同方向的转动，进而可以提高混合效率，不仅节省了能源使用，减少了成本，且混合的更加彻底。
附图说明
14.参考所附附图，以更加充分的描述本实用新型的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本实用新型范围的限制。
15.图1为本实用新型提出的一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置的结构示意图；
16.图2为本实用新型提出的一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置剖面结构示意图；
17.图3为本实用新型提出的一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置内部组件的结构示意图；
18.图4为本实用新型提出的一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置引导齿轮的结构示意图。
19.上述附图标记表示：混合筒1、旋转电机2、内筒3、旋转柱4、搅拌杆5、混合块6、衔接板7、混合板8、转动齿轮9、从动齿轮10、转轴11、连接块12、引导齿轮13、底座14、稳定环15、密封圈16。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
22.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
23.参照图1-4，一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置，包括混合筒1、搅拌杆5和转动齿轮9，混合筒1顶部固定连接有旋转电机2，旋转电机2底部活动连接有旋转柱4，旋转柱4上固定连接有四个搅拌杆5，旋转柱4远离旋转电机2的一端固定连接有转动齿轮9，混合筒1内设有内筒3，内筒3下方设有底座14，底座14上固定连接有引导齿轮13，引导齿轮13内设有从动齿轮10，通过外部控制终端开启旋转电机2，带动转动齿轮9与从动齿轮10同时旋转，在从动齿轮10旋转时会外侧与引导齿轮13啮合连接，使得从动齿轮10沿着引导齿轮13内开始的齿槽进行圆周活动，进而带动内筒3进行旋转，在内筒3旋转时会通过内部的衔接板7与混合板8对内部溶液进行搅拌混合，同时旋转电机2通过旋转柱4带动搅拌杆5转动，搅拌杆5通过混合块6对内筒3内部的溶液进行搅拌，旋转电机2可以同时带动搅拌杆5与内筒3同时进行不同方向的转动，进而可以提高混合效率，且混合的更加彻底。
24.进一步的，内筒3内壁固定连接有四个衔接板7，衔接板7远离内筒3的一端固定连接有混合板8，衔接板7以旋转杆为圆心均匀排列在内筒3内壁，衔接板7与混合板8用以对内筒3内部的溶液进行搅拌混合。
25.进一步的，内筒3外部活动连接有两个稳定环15，稳定环15远离内筒3的一侧固定连接在混合筒1内部，搅拌杆5上固定连接有若干个混合块6，混合块6均匀分布在搅拌杆5外部，稳定环15可以在内筒3旋转时保持内筒3的稳定。
26.进一步的，旋转杆贯穿内筒3与混合筒1顶端，并活动连接在底座14上，旋转杆与内筒3上下两端连接处均活动连接有密封圈16，两个密封圈16位于内筒3内部，设置两个密封圈16可以保证内筒3内部的密封性。
27.进一步的，从动齿轮10与转动齿轮9啮合连接，从动齿轮10顶部活动连接有转轴11，转轴11顶部固定连接有连接块12，连接块12顶部固定连接在内筒3底部，从动齿轮10通过与转动齿轮9啮合连接可以在转动齿轮9旋转时被带动旋转。
28.进一步的，引导齿轮13与从动齿轮10相对应的一侧设有齿槽，从动齿轮10通过齿槽与引导齿轮13啮合连接，两者啮合连接可以在从动齿轮10自转的同时沿着引导齿轮13的圆心进行公转，进而带动内筒3旋转，将内部溶液混合的更加彻底。
29.工作原理：在使用此装置时，将溶液导入内筒3内，后通过外部控制终端开启旋转电机2，旋转电机2通过旋转柱4带动搅拌杆5转动，搅拌杆5通过混合块6对内筒3内部的溶液进行搅拌，在旋转杆4旋转的同时，会带动转动齿轮9同时进行旋转，由于从动齿轮10与转动齿轮9啮合连接，则转动齿轮9会带动从动齿轮10向反方向旋转，在从动齿轮10旋转时会外侧与引导齿轮13啮合连接，使得从动齿轮10沿着引导齿轮13内开始的齿槽进行圆周活动，进而通过连接块12带动内筒3进行旋转，在内筒3旋转时会通过内部的衔接板7与混合板8对内部溶液进行搅拌混合。
30.以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

技术特征：
1.一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置，其特征在于：包括混合筒(1)、搅拌杆(5)和转动齿轮(9)，所述混合筒(1)顶部固定连接有旋转电机(2)，所述旋转电机(2)底部活动连接有旋转柱(4)，所述旋转柱(4)上固定连接有四个所述搅拌杆(5)，所述旋转柱(4)远离所述旋转电机(2)的一端固定连接有所述转动齿轮(9)，所述混合筒(1)内设有内筒(3)，所述内筒(3)下方设有底座(14)，所述底座(14)上固定连接有引导齿轮(13)，所述引导齿轮(13)内设有从动齿轮(10)。2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置，其特征在于：所述内筒(3)内壁固定连接有四个衔接板(7)，所述衔接板(7)远离所述内筒(3)的一端固定连接有混合板(8)，所述衔接板(7)以所述旋转柱为圆心均匀排列在所述内筒(3)内壁。3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置，其特征在于：所述内筒(3)外部活动连接有两个稳定环(15)，所述稳定环(15)远离所述内筒(3)的一侧固定连接在所述混合筒(1)内部，所述搅拌杆(5)上固定连接有若干个混合块(6)，所述混合块(6)均匀分布在所述搅拌杆(5)外部。4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置，其特征在于：所述旋转柱贯穿所述内筒(3)与所述混合筒(1)顶端，并活动连接在所述底座(14)上，所述旋转柱与所述内筒(3)上下两端连接处均活动连接有密封圈(16)，两个所述密封圈(16)位于所述内筒(3)内部。5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置，其特征在于：所述从动齿轮(10)与所述转动齿轮(9)啮合连接，所述从动齿轮(10)顶部活动连接有转轴(11)，所述转轴(11)顶部固定连接有连接块(12)，所述连接块(12)顶部固定连接在所述内筒(3)底部。6.根据权利要求1所述的一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置，其特征在于：所述引导齿轮(13)与所述从动齿轮(10)相对应的一侧设有齿槽，所述从动齿轮(10)通过齿槽与所述引导齿轮(13)啮合连接。

技术总结
本实用新型涉及混合装置技术领域，尤其是一种用于集成电路用电镀溶液的密封混合装置，包括混合筒、搅拌杆和转动齿轮，所述混合筒顶部固定连接有旋转电机，所述旋转电机底部活动连接有旋转柱，所述旋转柱上固定连接有四个所述搅拌杆，旋转电机通过旋转柱带动搅拌杆转动，搅拌杆通过混合块对内筒内部的溶液进行搅拌，旋转电机可以同时带动搅拌杆与内筒同时进行不同方向的转动，进而可以提高混合效率，不仅节省了能源使用，减少了成本，且混合的更加彻底。彻底。彻底。


技术研发人员：马子珺 杨东风
受保护的技术使用者：上海赛夫特半导体材料有限公司
技术研发日：2023.05.08
技术公布日：2023/8/19