一种模块式真空测量装置的制作方法

1.2mm。
10.上述的模块式真空测量装置，所述测量管件为不锈钢管。
11.上述的模块式真空测量装置，所述u形气路管由不锈钢气路管及两端的vcr接头焊接制成。
12.本实用新型的有益效果是：
13.1、将高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表集成于同一测量管件上，使用时，测量管件利用松套法兰接口与真空炉真空接口连接，高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表满足真空炉真空测量需求，而真空炉只需要提供一个真空接口，解决了现有真空炉炉体上真空接口多的问题，在保证测量需求的情况下，通过减少真空接口减少真空炉加工、焊接、装配难度，减小维护成本。
14.2、将高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表集成于同一测量管件上，便于模块化生产，除应用于碳化硅晶体炉外，还可推广用于其他所有真空炉系统，应用范围广。
15.3、利用测量管件和u形气路管保证高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表均竖直向上布置。一方面起到规管防污染作用，另一方面真空压力表竖直向上，便于观察。
附图说明
16.图1是本实用新型的结构示意图；
17.图2是本实用新型的测量管件的结构示意图；
18.图3是本实用新型的u形气路管的结构示意图。
19.图中：1.测量管件、11.低真空规接口、12.高真空规接口、13.薄膜规接口、14.压力表接口、15.松套法兰接口、2.u形气路管、21.不锈钢气路管、22.vcr接头、23.vcr接头、3.高真空规、4.低真空规、5.薄膜规、6.真空压力表。
实施方式
20.根据说明书附图对本实用新型作详细描述。
21.如图1～图3所示，该模块式真空测量装置，包括高真空规3、低真空规4、薄膜规5和真空压力表6。其中，所述高真空规3、低真空规4、薄膜规5通过各自的真空接口共同组装于同一测量管件1上。
22.所述测量管件1为直角管件，直角管件的水平段一端设有用于与真空炉真空接口连接的松套法兰接口15，直角管件的垂直段上端设有高真空规接口12，直角管件的水平段顶面设有低真空规接口11，所述水平段侧面设有两个间隔布置的直角形薄膜规接口13。在水平方向上，其中一个直角形薄膜规接口13位于松套法兰接口15和低真空规接口11之间，另一个直角形薄膜规接口13位于高真空规接口12和低真空规接口11之间。
23.所述直角管件的拐点底面设有压力表接口14，所述压力表接口14连接有u形气路管2，所述u形气路管2一端与压力表接口14连接，另一端连接真空压力表6，所述高真空规3、低真空规4、薄膜规5和真空压力表6均竖直向上布置。
24.本实施例中，所述测量管件1的直径为40mm，壁厚为3mm；所述u形气路管2的直径为8mm，壁厚为0.9mm。所述测量管件1为不锈钢管，其上焊接高真空规接口12、低真空规接口11、薄膜规接口13和压力表接口14。所述u形气路管2由不锈钢气路管21及两端的vcr接头
22、23焊接制成。
25.工作原理：
26.将高真空规3、低真空规4、薄膜规5和真空压力表6集成于同一测量管件1上，形成一个模块化结构。使用时，测量管件1利用松套法兰接口15与真空炉真空接口连接，高真空规3、低真空规4、薄膜规5和真空压力表6满足真空炉真空测量需求，而真空炉只需要提供一个真空接口，解决了现有真空炉炉体上真空接口多的问题，在保证测量需求的情况下，便于生产加工、更换和维修。工作时，高真空规3、低真空规4、薄膜规5和真空压力表6均竖直向上布置。一方面起到规管防污染作用，另一方面真空压力表6竖直向上，便于观察。
27.以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型创造范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。


技术特征：
1.一种模块式真空测量装置，包括高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表，其特征在于：所述高真空规、低真空规、薄膜规通过各自的真空接口共同组装于同一测量管件上，所述测量管件为直角管件，直角管件的水平段一端设有用于与真空炉真空接口连接的松套法兰接口，直角管件的垂直段上端设有高真空规接口，直角管件的水平段顶面设有低真空规接口，所述水平段侧面设有两个间隔布置的直角形薄膜规接口，所述直角管件的拐点底面设有压力表接口，所述压力表接口连接有u形气路管，所述u形气路管一端与压力表接口连接，另一端连接真空压力表，所述高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表均竖直向上布置。2.根据权利要求1所述的模块式真空测量装置，其特征在于：在水平方向上，其中一个直角形薄膜规接口位于松套法兰接口和低真空规接口之间，另一个直角形薄膜规接口位于高真空规接口和低真空规接口之间。3.根据权利要求1所述的模块式真空测量装置，其特征在于：所述测量管件的直径为40mm-45mm；壁厚为2mm-3mm。4.根据权利要求1所述的模块式真空测量装置，其特征在于：所述u形气路管的直径为6mm-8mm；壁厚为0.9mm-1.2mm。5.根据权利要求1所述的模块式真空测量装置，其特征在于：所述测量管件为不锈钢管。6.根据权利要求1所述的模块式真空测量装置，其特征在于：所述u形气路管由不锈钢气路管及两端的vcr接头焊接制成。

技术总结
本实用新型涉及一种模块式真空测量装置，包括高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表，其技术要点是：高真空规、低真空规、薄膜规通过各自的真空接口共同组装于同一测量管件上，测量管件的水平段一端设有用于与真空炉真空接口连接的松套法兰接口，测量管件的垂直段上端设有高真空规接口，水平段顶面设有低真空规接口，水平段侧面设有两个直角形薄膜规接口，直角管件的拐点底面设有压力表接口，压力表接口利用U形气路管与压力表接口连接，真空压力表，高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表均竖直向上布置。本装置解决了现有真空炉炉体上真空接口多的问题，通过减少真空接口减少真空炉加工、焊接、装配难度，减小维护成本。减小维护成本。减小维护成本。


技术研发人员：佟辉
受保护的技术使用者：沈阳中科汉达科技有限公司
技术研发日：2023.04.19
技术公布日：2023/8/26