一种便于清洁的涂胶显影机的制作方法

1.本实用新型涉及涂胶显影机领域，尤其涉及一种便于清洁的涂胶显影机。


背景技术：

2.经检索，中国专利公开了一种优化涂胶的显影机(授权公告号cn115097696b)，该专利技术包括有机框、移动轮和机门等；机框中部设置有一个分隔板，用于将机框分成上下两腔室；机框下侧四角分别固定连接有一个移动轮；机框前侧活动连接有四个机门，并且四个机门呈矩形分布。本发明通过吸附单元和对中单元的设置，将硅片对中后吸附固定，然后检测硅片的平整度是否达标，如此在显影机内直接对中避免转移过程中硅片偏移，同时防止硅片平整度不达标影响光刻胶的喷涂效果，极大的优化了光刻胶的喷涂效果，但是，该专利技术在实际的应用过程中，涂胶显影机没有设置除尘功能，不便于对设备内部进行除尘，设备内的灰尘极大影响了光刻涂胶的效果。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种便于清洁的涂胶显影机，可以对涂胶显影机内的灰尘进行除尘，大大提升了涂胶显影机对芯片的光刻效果。
4.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
5.一种便于清洁的涂胶显影机，包括涂胶显影机本体，所述涂胶显影机本体的一侧固定连接有箱体，所述箱体的内壁设置有除尘机构；
6.所述除尘机构包括滤板，所述滤板与箱体固定连接，所述涂胶显影机本体的内部固定连接有电机，所述电机的输出端延伸至箱体的内部且固定连接有往复丝杆，所述往复丝杆的外壁螺纹连接有配合滤板使用的刮板，所述箱体的内壁且位于往复丝杆的上方固定连接有滑杆，所述滑杆的一端贯穿箱体且固定连接有固定板，所述往复丝杆与固定板转动连接，启动所述电机，可以带动刮板往复移动；
7.通过上述技术方案，将涂胶显影机本体内部的灰尘抽入箱体内，通过降水对灰尘进行沉淀，防止灰尘在箱体内飘扬，沉淀后的灰尘落在滤板上，多余的水沿着滤板向下流，当滤板上积攒大量灰尘后，会影响对灰尘的过滤效果，启动电机，带动往复丝杆转动，使刮板沿着滑杆往复左右移动，当刮板移出箱体时，可以将滤板上的灰尘刮出箱体，保证滤板的使用性能。
8.进一步地，所述涂胶显影机本体的内壁固定连接有管道，所述管道的内部设置有风机；
9.通过上述技术方案，启动风机，可以将涂胶显影机本体内部的灰尘抽入箱体内。
10.进一步地，所述管道与箱体之间设置有空槽，所述空槽的内部设置有单向阀；
11.通过上述技术方案，通过设置的单向阀，使灰尘不会重新进行入涂胶显影机本体。
12.进一步地，所述箱体内壁的顶部设置有喷头；
13.通过上述技术方案，启动喷头，可以对箱体内的灰尘进行喷水降尘。
14.进一步地，所述箱体的内壁且位于滤板的下方固定连接有固定架，所述固定架的顶部设置有斜槽；
15.通过上述技术方案，降尘落下的灰尘积累在滤板上，多余的水沿着滤板向下流入固定架内。
16.进一步地，所述固定架的内部设置有砂石层，所述砂石层的底部设置有滤布层，所述滤布层的底部设置有活性炭层；
17.通过上述技术方案，水经过砂石层、滤布层、活性炭层被过滤的更加干净，使水资源可以循环利用，有利于保护水资源。
18.进一步地，所述箱体的外壁固定连接有水泵，所述水泵的输出端连接有水管，所述水管的一端与喷头连接，所述水管的另一端延伸至固定架的下方；
19.通过上述技术方案，启动水泵，可以将水抽至喷头处。
20.本实用新型具有如下有益效果：
21.本实用新型中，将涂胶显影机本体内部的灰尘抽入箱体内，通过降水对灰尘进行沉淀，防止灰尘在箱体内飘扬，沉淀后的灰尘落在滤板上，多余的水沿着滤板向下流，当滤板上积攒大量灰尘后，会影响对灰尘的过滤效果，启动电机，带动往复丝杆转动，使刮板沿着滑杆往复左右移动，当刮板移出箱体时，可以将滤板上的灰尘刮出箱体，保证滤板的使用性能。
附图说明
22.图1为本实用新型提出的一种便于清洁的涂胶显影机的立体图；
23.图2为本实用新型提出的一种便于清洁的涂胶显影机的剖视图；
24.图3为本实用新型提出的一种便于清洁的涂胶显影机的a处放大图；
25.图4为本实用新型提出的一种便于清洁的涂胶显影机的b处放大图。
26.图例说明：
27.1、涂胶显影机本体；2、箱体；3、管道；4、风机；5、单向阀；6、喷头；7、固定板；8、电机；9、往复丝杆；10、刮板；11、滑杆；12、滤板；13、固定架；14、斜槽；15、砂石层；16、滤布层；17、活性炭层；18、水泵；19、水管。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种便于清洁的涂胶显影机，包括涂胶显影机本体1，涂胶显影机本体1的一侧固定连接有箱体2，箱体2的内壁设置有除尘机构；
30.除尘机构包括滤板12，滤板12与箱体2固定连接，涂胶显影机本体1的内部固定连接有电机8，电机8的输出端延伸至箱体2的内部且固定连接有往复丝杆9，往复丝杆9的外壁螺纹连接有配合滤板12使用的刮板10，箱体2的内壁且位于往复丝杆9的上方固定连接有滑
杆11，滑杆11的一端贯穿箱体2且固定连接有固定板7，往复丝杆9与固定板7转动连接，启动电机8，可以带动刮板10往复移动。
31.将涂胶显影机本体1内部的灰尘抽入箱体2内，通过降水对灰尘进行沉淀，防止灰尘在箱体2内飘扬，沉淀后的灰尘落在滤板12上，多余的水沿着滤板12向下流，当滤板12上积攒大量灰尘后，会影响对灰尘的过滤效果，启动电机8，带动往复丝杆9转动，使刮板10沿着滑杆11往复左右移动，当刮板10移出箱体2时，可以将滤板12上的灰尘刮出箱体2，保证滤板12的使用性能。
32.涂胶显影机本体1的内壁固定连接有管道3，管道3的内部设置有风机4；管道3与箱体2之间设置有空槽，空槽的内部设置有单向阀5；箱体2内壁的顶部设置有喷头6；箱体2的内壁且位于滤板12的下方固定连接有固定架13，固定架13的顶部设置有斜槽14；固定架13的内部设置有砂石层15，砂石层15的底部设置有滤布层16，滤布层16的底部设置有活性炭层17；箱体2的外壁固定连接有水泵18，水泵18的输出端连接有水管19，水管19的一端与喷头6连接，水管19的另一端延伸至固定架13的下方。
33.启动风机4，将涂胶显影机本体1内部的灰尘抽入箱体2内，通过设置的单向阀5，使灰尘不会重新进行入涂胶显影机本体1，启动喷头6，对箱体2内的灰尘进行喷水降尘，落下的灰尘积累在滤板12上，多余的水沿着滤板12向下流入固定架13内，经过砂石层15、滤布层16、活性炭层17被过滤的更加干净，使水资源可以循环利用，有利于保护水资源，过滤干净的水沉积在箱体2的底部，启动水泵18，可以将水抽至喷头6处。
34.工作原理：启动风机4，将涂胶显影机本体1内部的灰尘抽入箱体2内，通过设置的单向阀5，使灰尘不会重新进行入涂胶显影机本体1，启动喷头6，对箱体2内的灰尘进行喷水降温，落下的灰尘积累在滤板12上，当滤板12上积攒大量灰尘后，会影响对灰尘的过滤效果，启动电机8，带动往复丝杆9转动，使刮板10沿着滑杆11往复左右移动，当刮板10移出箱体2时，可以将滤板12上的灰尘刮出箱体2，保证滤板12的使用性能，多余的水沿着滤板12向下流入固定架13内，经过砂石层15、滤布层16、活性炭层17被过滤的更加干净，使水资源可以循环利用，有利于保护水资源，过滤干净的水沉积在箱体2的底部，启动水泵18，可以将水抽至喷头6处。
35.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种便于清洁的涂胶显影机，包括涂胶显影机本体(1)，其特征在于：所述涂胶显影机本体(1)的一侧固定连接有箱体(2)，所述箱体(2)的内壁设置有除尘机构；所述除尘机构包括滤板(12)，所述滤板(12)与箱体(2)固定连接，所述涂胶显影机本体(1)的内部固定连接有电机(8)，所述电机(8)的输出端延伸至箱体(2)的内部且固定连接有往复丝杆(9)，所述往复丝杆(9)的外壁螺纹连接有配合滤板(12)使用的刮板(10)，所述箱体(2)的内壁且位于往复丝杆(9)的上方固定连接有滑杆(11)，所述滑杆(11)的一端贯穿箱体(2)且固定连接有固定板(7)，所述往复丝杆(9)与固定板(7)转动连接，启动所述电机(8)，可以带动刮板(10)往复移动。2.根据权利要求1所述的一种便于清洁的涂胶显影机，其特征在于：所述涂胶显影机本体(1)的内壁固定连接有管道(3)，所述管道(3)的内部设置有风机(4)。3.根据权利要求2所述的一种便于清洁的涂胶显影机，其特征在于：所述管道(3)与箱体(2)之间设置有空槽，所述空槽的内部设置有单向阀(5)。4.根据权利要求1所述的一种便于清洁的涂胶显影机，其特征在于：所述箱体(2)内壁的顶部设置有喷头(6)。5.根据权利要求1所述的一种便于清洁的涂胶显影机，其特征在于：所述箱体(2)的内壁且位于滤板(12)的下方固定连接有固定架(13)，所述固定架(13)的顶部设置有斜槽(14)。6.根据权利要求5所述的一种便于清洁的涂胶显影机，其特征在于：所述固定架(13)的内部设置有砂石层(15)，所述砂石层(15)的底部设置有滤布层(16)，所述滤布层(16)的底部设置有活性炭层(17)。7.根据权利要求5所述的一种便于清洁的涂胶显影机，其特征在于：所述箱体(2)的外壁固定连接有水泵(18)，所述水泵(18)的输出端连接有水管(19)，所述水管(19)的一端与喷头(6)连接，所述水管(19)的另一端延伸至固定架(13)的下方。

技术总结
本实用新型涉及涂胶显影机领域，公开了一种便于清洁的涂胶显影机，包括涂胶显影机本体，涂胶显影机本体的一侧固定连接有箱体，箱体的内壁设置有除尘机构；除尘机构包括滤板，滤板与箱体固定连接，涂胶显影机本体的内部固定连接有电机，电机的输出端延伸至箱体的内部且固定连接有往复丝杆。本实用新型中，将涂胶显影机本体内部的灰尘抽入箱体内，通过降水对灰尘进行沉淀，防止灰尘在箱体内飘扬，沉淀后的灰尘落在滤板上，多余的水沿着滤板向下流，当滤板上积攒大量灰尘后，会影响对灰尘的过滤效果，启动电机，带动往复丝杆转动，使刮板沿着滑杆往复左右移动，当刮板移出箱体时，可以将滤板上的灰尘刮出箱体，保证滤板的使用性能。保证滤板的使用性能。保证滤板的使用性能。


技术研发人员：江海军 江馨 汪伟
受保护的技术使用者：昆山超鹏机电科技有限公司
技术研发日：2023.03.08
技术公布日：2023/9/1