一种蓝膜全自动贴附机的制作方法

1.本实用新型涉及自动化设备领域，尤其涉及一种蓝膜全自动贴附机。


背景技术：

2.在tft芯片或晶圆生产过程中，需要对tft芯片和晶圆背面贴附一层具有一定粘度的扩晶膜，因为扩晶膜颜色一般为蓝色，因此称为蓝膜，为保护整个芯片以及方便后续tft芯片或晶圆生产，需要在tft芯片或晶圆之外扩晶膜再贴附一个铁环，贴附蓝膜和铁环在tft芯片或晶圆背面的装置称之为蓝膜贴附装置。在蓝膜贴附完成后，需要将多余的蓝膜裁切掉。
3.传统蓝膜贴附装置一般采取借助简单的手动贴附设备完成贴附。手动贴服设备具有以下缺点：
4.贴附精度低，包括tft芯片或晶圆产品放置和铁环放置都是依靠人工定位，定位精度较低，因此贴附精度低；
5.需要人工上下料(包括产品和铁环)，需要人工完成贴膜和裁切多余废膜，生产效率很低，不能满足大量生产的需求；
6.需要人工搬运物料和上下料，人工贴膜，人工不停开关手动贴附装置上盖，人工裁切多余废膜，工人生产劳动强度很大。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的是提供一种蓝膜全自动贴附机，以解决现有技术中蓝膜贴附精度低、生产效率低、工人生产劳动强度大的问题。
8.为实现上述目的，采用以下技术方案：
9.一种蓝膜全自动贴附机，包括：
10.第一上料机构，所述第一上料机构包括用于承载料盘并对所述料盘进行提升的升降组件、用于承载所述料盘且带动所述料盘移动的第一传送组件、用于从所述升降组件中将所述料盘抓取至所述第一传送组件的第一分盘组件、用于抓取所述料盘中的产品后放置在治具平台上的第一机械手组件和用于取走所述料盘的第二分盘组件，所述治具平台位于一由直线电机带动其直线移动的第二传送组件上；
11.第二上料机构，所述第二上料机构包括一个或多个用于存放铁环的料仓和用于抓取所述料仓中的所述铁环后放置于所述治具上的第二机械手组件，所述第二机械手组件横跨于所述第二传送组件上；
12.贴膜机构，所述贴膜机构设置于所述第二传送组件上，所述贴膜机构包括卷绕有膜材的放卷组件、对膜材进行收卷的收卷组件、设置于所述放卷组件和所述收卷组件之间的形成对膜材下压而使得在产品被所述传送组件带动经过时膜材贴合在产品上的贴合组件、用于对贴合后的膜材机进行旋转切割的裁切组件；
13.下料机构，所述下料机构用于承接贴膜后的产品。
14.进一步的，所述传送组件包括用于装载所述料盘的托盘和用于带动所述托盘直线移动的第一直线模组，所述托盘横架于所述第一直线模组上，所述第一直线模组具有供所述料盘通过的空间，所述第一分盘组件和所述第二分盘组件均包括可形成对上述料盘夹持的第一夹持手和驱动所述第一夹持手沿z轴方向移动的第一气缸。
15.进一步的，所述传送组件上方设置有用于对所述料盘及产品进行拍照定位的预对位组件。
16.进一步的，所述第一上料机构还包括上料翻转组件，所述上料翻转组件包括用于抓取所述治具平台上的产品的第二夹持手、驱动所述第二夹持手转动的第一电机和驱动所述第一电机沿着x轴方向和z轴方向移动的第一执行组件。
17.进一步的，所述第一上料机构和所述第二上料机构之间还设置有精对位组件，所述精对位组件包括用于对由所述第二传送组件带动经过产品进行拍照定位的ccd相机。
18.进一步的，所述第二上料机构还包括二次对位组件，所述二次对位组件包括承载用于承载铁环的定位架和设置于所述定位架中形成对对铁环的内侧挤压的对位块，所述对位块由第一驱动组件驱动，所述对位块至少有四个，至少四个所述对位块同圆心等距分布。
19.进一步的，多个所述料仓设置一带动其移动的第三传送组件上。
20.进一步的，所述放卷组件包括放卷轴和放卷调速电机，所述收卷组件包括收卷轴和收卷调速电机，所述贴合组件包括至少一个可形成对上述治具平台上产品进行挤压的第一滚轮、至少一个可形成对所述铁环进行挤压的第二滚轮、驱动所述第一滚轮和所述第二滚轮升降的第二气缸和用于调节所述第二气缸压力的电气比例阀。
21.进一步的，所述裁切组件包括刀片、驱动所述刀片在y轴方向移动的第二直线模组、驱动所述第二直线模组在z轴方向上移动的升降电机和驱动所述第二直线模组旋转的旋转电机。
22.进一步的，所述下料机构包括下料翻转组件、第三机械手组件、下料拨料组件、提篮，所述下料翻转组件包括用于抓取贴膜后产品的第三夹持手、驱动所述第三夹持手沿z轴方向移动的第二执行组件和驱动所述第三夹持手垂直转动的第二电机，所述下料拨料组件包括承接产品的基座和安装于所述基座上的第三直线模组，所述第三直线模组具有将基座上的产品推向所述提篮的推板，所述第三机械手组件用于将所述夹持手中的产品抓取至所述基座上，所述提篮具有多个可形成对产品限位的槽位及所述提篮可移动设置。
23.采用上述方案，本实用新型的有益效果是：
24.采用全自动上料、下料和膜材贴附，大大减少了人工操作，贴附过程无需人工干预，有效地提高了贴附精度和贴附效率，减少了生产成本，提高了生产效率。
附图说明
25.图1为本实用新型实施例的蓝膜全自动贴附机的结构示意图；
26.图2为本实用新型实施例的第一上料机构的结构示意图；
27.图3为本实用新型实施例的第二上料机构的结构示意图；
28.图4为本实用新型实施例的贴膜机构的结构示意图；
29.图5为本实用新型实施例的下料机构的结构示意图；
30.图6为本实用新型实施例的治具平台、精对位组件、第二传送组件的结构示意图。
31.其中，附图标识说明：
32.1、第一上料机构；11、升降组件；12、第一传送组件；121、托盘；122、第一直线模组；13、第一分盘组件；14、第一机械手组件；15、第二分盘组件；151、第一夹持手；152、第一气缸；16、预对位组件；17、上料翻转组件；171、第二夹持手；172、第一电机；173、第一执行组件；
33.2、第二上料机构；21、料仓；22、第二机械手组件；23、二次对位组件；231、定位架；232、对位块；233、第一驱动组件；24、第三传送组件；
34.3、贴膜机构；31、放卷组件；311、放卷轴；312、放卷调速电机；32、收卷组件；321、收卷轴；322、收卷调速电机；33、贴合组件；331、第一滚轮；332、第二气缸；333、电气比例阀；34、裁切组件；341、切刀；342、第二直线模组；343、升降电机；344、旋转电机；
35.4、下料机构；41、下料翻转组件；411、第三夹持手；412、第二执行组件；413、第二电机；42、第三机械手组件；43、下料拨料组件；431、基座；432、第三直线模组；4321、推板；44、提篮；441、槽位；
36.5、治具平台；6、第二传送组件；7、精对位组件。
具体实施方式
37.体现本实用新型特征与优点的典型实施方式将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本实用新型能够在不同的实施方式上具有各种的变化，其皆不脱离本实用新型的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非用以限制本实用新型。
38.如图1-6所示，一种蓝膜全自动贴附机，包括：第一上料机构1，第一上料机构1包括用于承载料盘并对料盘进行提升的升降组件11、用于承载料盘且带动料盘移动的第一传送组件12、用于从升降组件11中将料盘抓取至第一传送组件12的第一分盘组件13、用于抓取料盘中的产品后放置在治具平台5上的第一机械手组件14和用于取走料盘的第二分盘组件15，治具平台5位于一由直线电机带动其直线移动的第二传送组件6上，即第二传送组件6中包含有直线电机。
39.具体的，传送组件包括用于装载料盘的托盘121和用于带动托盘121直线移动的第一直线模组122，托盘121横架于第一直线模组122上，第一直线模组122具有供料盘通过的空间，第一分盘组件13和第二分盘组件15均包括可形成对上述料盘夹持的第一夹持手151和驱动第一夹持手151沿z轴方向移动的第一气缸152。传送组件上方设置有用于对料盘及产品进行拍照定位的预对位组件16。
40.第一上料机构1还包括上料翻转组件17，某些芯片是需要对背面进行贴膜的，设置了上料翻转组件17，使得该芯片产品可以被翻转。上料翻转组件17包括用于抓取治具平台5上的产品的第二夹持手171、驱动第二夹持手171转动的第一电机172和驱动第二夹持手171和第一电机172沿着x轴方向和z轴方向移动的第一执行组件173。
41.第一上料机构1和第二上料机构2之间还设置有精对位组件7，精对位组件7包括用于对由第二传送组件6带动经过产品进行拍照定位的ccd相机。
42.第二上料机构2，第二上料机构2包括一个或多个用于存放铁环的料仓21和用于抓取料仓21中的铁环后放置于治具上的第二机械手组件22，第二机械手组件22横跨于第二传送组件6上。
43.具体的，第二上料机构2还包括二次对位组件23，二次对位组件23包括承载用于承载铁环的定位架231和设置于定位架231中形成对对铁环的内侧挤压的对位块232，对位块232由第一驱动组件233驱动，对位块232至少有四个，至少四个对位块232同圆心等距分布。多个料仓21设置一带动其移动的第三传送组件24上。另外，第一驱动组件可以是直线模组，即包含有直线电机的驱动机构。
44.贴膜机构3，贴膜机构3设置于第二传送组件6上，贴膜机构3包括卷绕有膜材的放卷组件31、对膜材进行收卷的收卷组件32、设置于放卷组件31和收卷组件32之间的形成对膜材下压而使得在产品被传送组件带动经过时膜材贴合在产品上的贴合组件33、用于对贴合后的膜材机进行旋转切割的裁切组件34。
45.具体的，放卷组件31包括放卷轴311和放卷调速电机312，收卷组件32包括收卷轴321和收卷调速电机322，贴合组件33包括至少一个可形成对上述治具平台5上产品进行挤压的第一滚轮331、至少一个可形成对铁环进行挤压的第二滚轮、驱动第一滚轮331和第二滚轮升降的第二气缸332和用于调节第二气缸332压力的电气比例阀333。裁切组件34包括刀片、驱动刀片在y轴方向移动的第二直线模组342、驱动第二直线模组342在z轴方向上移动的升降电机343和驱动第二直线模组342旋转的旋转电机344。
46.下料机构4，下料机构4用于承接贴膜后的产品。
47.具体的，下料机构4包括下料翻转组件41、第三机械手组件42、下料拨料组件43、提篮44，下料翻转组件41包括用于抓取贴膜后产品的第三夹持手411、驱动第三夹持手411沿z轴方向移动的第二执行组件412和驱动第三夹持手411垂直转动的第二电机413，下料拨料组件43包括承接产品的基座431和安装于基座431上的第三直线模组432，第三直线模组432具有将基座431上的产品推向提篮44的推板4321，第三机械手组件42用于将夹持手中的产品抓取至基座431上，提篮44具有多个可形成对产品限位的槽位441及提篮44可移动设置。
48.工作原理：
49.全自动贴附装置包括第一上料机构1、预对位组件16、上料翻转组件17、第二上料组件、精对位组件7、贴膜机构3，下料机构4。下面将分别描述各部分功能实现方式。
50.第一上料机构1，如图2所示：
51.人工上料一叠装满产品的料盘，升降组件11中可以设置感应器，在感应器感知后，将装满料盘的托盘121升起，当中，升降组件11可以是采用电机带动滚珠丝杠机构的形式。升降机构中可以设置有调整组件，具体的，调整组件可以包括压块和驱动压块的第三气缸，压块至少有三个，基于此，至少三个压块从至少三个方向顶向料盘，将料盘调整对位，避免料盘放置倾斜。
52.第一分盘组件13开始对料盘进行分盘，将最上面的一个料盘放置于托盘121上，第一直线模组122带动料盘运行至预对位组件16下方，经安装在此处的感应器感知后，预对位组件16开始对料盘中的产品进行预定位拍照，进而，可以根据拍照后的位置可以调整第一机械手组件14的取料位置，便于以正确方式抓取产品。
53.第一直线模组122带动产品运行至第一机械手组件14的抓取位置，在抓取产品后，放置于治具平台5上。
54.上料翻转组件17通过第二夹持手171和第一执行组件173对治具平台5上抓取产品后，通过第一电机172进行翻转后，重新放置于治具平台5上；
55.第二分盘组件15将第一机械手组件14取完产品后的空料盘取走，堆叠在其下方，待空料盘堆叠到一定数量，安装在此的感应器感知后，通知人工将空料盘取出,用小拖车拉走。另外，第二分盘组件15下方也可以安装有类似于升降组件11的机构，进而通过升降组件11实现空料盘的逐级下降。
56.预对位组件16，请继续参阅图2：
57.治具平台5中可以设置有加热装置，当第一机械手组件14或者上料翻转组件17交片到治具平台5上时，治具平台5可以进行加热，软化产品，当产品完全贴紧治具平台5上的载板后，第二传送组件6带动治具平台5的产品运行至精对位组件7下方，ccd相机对产品进行对位拍照，检查产品中心与蓝膜贴附位置和铁环中心位置是否可以重合，在不重合而无法自校正时，则第一机械手组件14可以重新将产品取起并重新放料，定位完成后将产品放入治具平台5上并吸附住；另外，ccd相机可以由对应的直线模组带动运动，以适应不同规格的产品。
58.第二上料机构2，请参阅图3：
59.第二上料机构2包含多个存放铁环的料仓21，每个料仓21都可由底下的第三传送组件24带动运行至铁环上料工位，第二机械手组件22从铁环上料工位抓取铁环后放至二次对位组件23的定位架231；第一驱动组件233带动对位块232分别完成铁环的x轴和y轴对位，第二机械手组件22抓取铁环运行至铁环下料工位后放置在治具平台5上。另外，治具平台5可以设置有卡槽来卡住铁环，卡槽底部四周有磁铁吸住铁环，治具平台5还可以有用于调整产品和铁环的相对位置的精密调整平台，治具平台5还有对中xy手动滑台，用于调整，治具平台5与切刀的位置，保证切刀旋转中心，与铁环的中心重合。
60.贴膜机构3，请参阅图4：
61.贴膜机构3由放卷组件31、收卷组件32、贴合组件33、裁切组件34组成；
62.放卷组件31和收卷组件32：膜材从放卷轴311伸出，收卷轴321带动膜材回收，放卷轴311、收卷轴321均采用调速电机带动，可以精确调整收放料速度；收卷轴321的两侧可以设置有撑膜组件，撑膜组件主要是将膜材往两边撑紧，保证膜材贴膜时，张力不变，保证膜不皱褶。
63.贴合组件33：第一滚轮331和第二滚轮可以采用包胶滚轮，第一滚轮331和第二滚轮采用不同的长度，较短的滚轮用于挤压贴附产品，较长的滚轮用于挤压贴附铁环，滚轮贴附力量可通过电器比例阀控制。
64.裁切组件34：刀片可以是圆刀片，裁切组件34在裁切时，旋转电机344带动第二直线模组342及升降电机343旋转，保证刀片沿裁切中心旋转，从而在膜材上裁切出圆形；在裁剪半径需要调整时，可以由第二直线模组342带动刀片移动，具体的，第二直线模组342可以包括同步带、同步轮、滑轨、同步电机，刀片安装在滑轨上幷与同步带相连接，同步电机带动同步带转动时，刀片在滑轨上移动，实现刀片位置的调整；通过同步电机调整刀片位置适应不同规格的铁环。
65.下料机构4，请参阅图5：
66.下料翻转组件41：下料翻转组件41的第三夹持手411从贴膜治具平台5上取走已贴完膜的产品，第二执行组件412带动第三夹持手411上升到一定高度后水平翻转180
°
，以恢复产品的正面朝上，然后等待第三机械手组件42将产品搬运到下料拨料组件43中。
67.下料拨杆组件：其主要是将产品拨入提篮44中，具体是通过第三直线模组432推入，保证产品完全推入下料提篮44仓内；基座431中可以设置，沿z轴方向移动的升降直线模组，进而可以调整产品滑入提篮44的高度，分别对应提篮44中不同的槽位441间隔；为方便产品推入，可以在基座431上安装多个万向滚珠。
68.提篮44：提篮44可以有多个。提篮44底下可以安装有直线模组，直线模组带动左右提篮44运行至下料工位，下料完成后，由直线模组移走。
69.以上所介绍的蓝膜全自动贴附机，采用全自动上料、下料和膜材贴附，大大减少了人工操作，贴附过程无需人工干预，有效地提高了贴附精度和贴附效率，减少了生产成本，提高了生产效率。
70.虽然已参照几个典型实施方式描述了本公开，但应当理解，所用的术语是说明和示例性、而非限制性的术语。由于本公开能够以多种形式具体实施而不脱离实用新型的精神或实质，所以应当理解，上述实施方式不限于任何前述的细节，而应在随附权利要求所限定的精神和范围内广泛地解释，因此落入权利要求或其等效范围内的全部变化和改型都应为随附权利要求所涵盖。

技术特征：
1.一种蓝膜全自动贴附机，其特征在于，包括：第一上料机构，所述第一上料机构包括用于承载料盘并对所述料盘进行提升的升降组件、用于承载所述料盘且带动所述料盘移动的第一传送组件、用于从所述升降组件中将所述料盘抓取至所述第一传送组件的第一分盘组件、用于抓取所述料盘中的产品后放置在治具平台上的第一机械手组件和用于取走所述料盘的第二分盘组件，所述治具平台位于一由直线电机带动其直线移动的第二传送组件上；第二上料机构，所述第二上料机构包括一个或多个用于存放铁环的料仓和用于抓取所述料仓中的所述铁环后放置于所述治具上的第二机械手组件，所述第二机械手组件横跨于所述第二传送组件上；贴膜机构，所述贴膜机构设置于所述第二传送组件上，所述贴膜机构包括卷绕有膜材的放卷组件、对膜材进行收卷的收卷组件、设置于所述放卷组件和所述收卷组件之间的形成对膜材下压而使得在产品被所述传送组件带动经过时膜材贴合在产品上的贴合组件、用于对贴合后的膜材机进行旋转切割的裁切组件；下料机构，所述下料机构用于承接贴膜后的产品。2.根据权利要求1所述的蓝膜全自动贴附机，其特征在于，所述传送组件包括用于装载所述料盘的托盘和用于带动所述托盘直线移动的第一直线模组，所述托盘横架于第一直线模组上，所述第一直线模组中具有供所述料盘通过的空间，所述第一分盘组件和所述第二分盘组件均包括可形成对上述料盘夹持的第一夹持手和驱动所述第一夹持手沿z轴方向移动的第一气缸。3.根据权利要求1所述的蓝膜全自动贴附机，其特征在于，所述传送组件上方设置有用于对所述料盘及产品进行拍照定位的预对位组件。4.根据权利要求1所述的蓝膜全自动贴附机，其特征在于，所述第一上料机构还包括上料翻转组件，所述上料翻转组件包括用于抓取所述治具平台上的产品的第二夹持手、驱动所述第二夹持手转动的第一电机和驱动所述第一电机沿着x轴方向和z轴方向移动的第一执行组件。5.根据权利要求1所述的蓝膜全自动贴附机，其特征在于，所述第一上料机构和所述第二上料机构之间还设置有精对位组件，所述精对位组件包括用于对由所述第二传送组件带动经过产品进行拍照定位的ccd相机。6.根据权利要求1所述的蓝膜全自动贴附机，其特征在于，所述第二上料机构还包括二次对位组件，所述二次对位组件包括承载用于承载铁环的定位架和设置于所述定位架中形成对对铁环的内侧挤压的对位块，所述对位块由第一驱动组件驱动，所述对位块至少有四个，至少四个所述对位块同圆心等距分布。7.根据权利要求1所述的蓝膜全自动贴附机，其特征在于，多个所述料仓设置一带动其移动的第三传送组件上。8.根据权利要求1所述的蓝膜全自动贴附机，其特征在于，所述放卷组件包括放卷轴和放卷调速电机，所述收卷组件包括收卷轴和收卷调速电机，所述贴合组件包括至少一个可形成对上述治具平台上产品进行挤压的第一滚轮、至少一个可形成对所述铁环进行挤压的第二滚轮、驱动所述第一滚轮和所述第二滚轮升降的第二气缸和用于调节所述第二气缸压力的电气比例阀。
9.根据权利要求1所述的蓝膜全自动贴附机，其特征在于，所述裁切组件包括刀片、驱动所述刀片在y轴方向移动的第二直线模组、驱动所述第二直线模组在z轴方向上移动的升降电机和驱动所述第二直线模组旋转的旋转电机。10.根据权利要求1所述的蓝膜全自动贴附机，其特征在于，所述下料机构包括下料翻转组件、第三机械手组件、下料拨料组件、提篮，所述下料翻转组件包括用于抓取贴膜后产品的第三夹持手、驱动所述第三夹持手沿z轴方向移动的第二执行组件和驱动所述第三夹持手垂直转动的第二电机，所述下料拨料组件包括承接产品的基座和安装于所述基座上的第三直线模组，所述第三直线模组具有将基座上的产品推向所述提篮的推板，所述第三机械手组件用于将所述夹持手中的产品抓取至所述基座上，所述提篮具有多个可形成对产品限位的槽位及所述提篮可移动设置。

技术总结
本实用新型提供一种蓝膜全自动贴附机，包括一种蓝膜全自动贴附机，包括实现产品自动上料的第一上料机构和实现铁环自动上料的第二上料机构，以及，包括贴膜机构，贴膜机构包括卷绕有膜材的放卷组件、对膜材进行收卷的收卷组件、设置于放卷组件和收卷组件之间的形成对膜材下压而使得在产品被传送组件带动经过时膜材贴合在产品上的贴合组件、用于对贴合后的膜材机进行旋转切割的裁切组件；下料机构，下料机构用于承接贴膜后的产品。本实用新型采用全自动上料、下料和膜材贴附，大大减少了人工操作，贴附过程无需人工干预，有效地提高了贴附精度和贴附效率，减少了生产成本，提高了生产效率。效率。效率。


技术研发人员：胡志刚 邓海翔 石德意
受保护的技术使用者：深圳奥图美特技术有限公司
技术研发日：2023.03.30
技术公布日：2023/9/1