配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备及总控装置与流程

1.本说明书涉及设备制造技术领域，更具体地说，涉及一种配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备、总控装置、计算设备及计算机可读存储介质。


背景技术：

2.设备在出厂交付使用之前，可以为其设置相应的配置文件，以降低用户在使用设备时的部署难度，简化部署流程。特别是对于一些中大型设备来说，这些设备的配置参数众多，为这些设备设置配置文件具有重要意义。
3.但目前，设备的配置文件生成方法所需耗费的时间较长。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本说明书提供了一种配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备及总控装置，以实现降低配置文件生成方法所需耗费的时间的目的。
5.为实现上述技术目的，本说明书实施例提供了如下技术方案：
6.第一方面，本说明书实施方式提供了一种配置文件的生成方法，所述配置文件的生成方法用于生成目标设备的配置文件，所述目标设备包括上位机和下位机，所述配置文件的生成方法包括：
7.响应于生成指令，通过数据获取接口获取配置参数，所述配置参数包括上位机参数和下位机参数，所述上位机参数用于描述所述上位机的配置信息，所述下位机参数用于描述所述下位机的配置信息；
8.基于所述配置参数，生成配置文件。
9.在一些实施方式中，所述生成指令包括携带有配置参数的类型信息的第一生成指令，所述响应于生成指令，通过数据获取接口获取配置参数包括：
10.响应于所述第一生成指令，通过所述数据获取接口，获取与所述配置参数的类型信息对应的配置参数。
11.在一些实施方式中，所述生成指令包括携带有生成方式的第二生成指令，所述生成方式包括配置文件的首次生成方式，所述通过数据获取接口获取配置参数包括：通过所述数据获取接口，获取与所述生成方式对应的配置参数；所述基于所述配置参数，生成配置文件包括：
12.若所述第二生成指令指示所述生成方式为所述配置文件的首次生成方式，根据获取的所述配置参数，生成所述配置文件。
13.在一些实施方式中，所述根据获取的所述配置参数，生成所述配置文件包括：
14.响应于参数选择指令，根据所述参数选择指令对应的配置参数，生成所述配置文件；
15.所述参数选择指令与至少一个所述配置参数对应。
16.在一些实施方式中，所述生成方式还包括配置文件的更新生成方式；
17.若所述第二生成指令指示所述生成方式为所述配置文件的更新生成方式；
18.所述获取与所述生成方式对应的配置参数包括：
19.从所述上位机和所述下位机中获取当前的配置参数；
20.所述基于所述配置参数，生成配置文件包括：
21.解析所述第二生成指令携带的待更新的配置文件，以获得待更新的配置参数；
22.基于所述当前的配置参数和所述待更新的配置参数，生成更新后的配置文件。
23.在一些实施方式中，所述基于所述当前的配置参数和所述待更新的配置参数，生成更新后的配置文件包括：
24.响应于参数选择指令，根据所述待更新的配置参数和与所述参数选择指令对应的区别配置参数，生成所述更新后的配置文件；
25.所述区别配置参数包括存在于所述当前的配置参数中，且不存在于所述待更新的配置参数中的配置参数；所述参数选择指令与至少一个所述区别配置参数对应。
26.在一些实施方式中，所述基于所述配置参数，生成配置文件之前，还包括：
27.将所述上位机参数和所述下位机参数在展示页面上分组显示。
28.在一些实施方式中，所述配置文件的生成方法还包括：
29.为所述配置参数分配身份标识，所述身份标识包括位置标识和参数标识，所述位置标识用于表征所述配置参数在所述目标设备中的存储位置，所述参数标识用于区别存储于同一存储位置中的多个配置参数。
30.在一些实施方式中，所述通过数据获取接口获取配置参数包括：
31.通过所述数据获取接口与所述上位机的控制系统建立通信连接；所述上位机的控制系统用于控制所述下位机运行；
32.基于建立的通信连接以及预先配置的第一参数位置，从所述上位机中获取所述上位机参数；所述第一参数位置用于描述所述上位机参数在所述上位机中的存储位置；
33.将读取指令和预先配置的第二参数位置发送给所述上位机的控制系统，并接收所述上位机的控制系统返回的下位机参数所述读取指令用于指示所述上位机的控制系统根据所述第二参数位置从所述下位机中获取所述下位机参数，并返回给所述读取指令的请求方；所述第二参数位置用于描述所述下位机参数在所述下位机中的存储位置。
34.第二方面，本说明书实施方式提供了一种配置文件的生成装置，所述配置文件的生成装置用于生成目标设备的配置文件，所述目标设备包括上位机和下位机，所述目标设备的配置文件生成装置包括：
35.数据获取接口，用于响应于生成指令，获取配置参数，所述配置参数包括上位机参数和下位机参数，所述上位机参数用于描述所述上位机的配置信息，所述下位机参数用于描述所述下位机的配置信息；
36.文件生成模块，用于基于所述配置参数，生成配置文件。
37.在一些实施方式中，所述生成指令包括携带有配置参数的类型信息的第一生成指令，所述数据获取接口具体用于：
38.响应于所述第一生成指令，获取与所述配置参数的类型信息对应的配置参数。
39.在一些实施方式中，所述生成指令包括携带有生成方式的第二生成指令，所述生成方式包括配置文件的首次生成方式，所述数据获取接口获取配置参数具体用于：获取与
所述生成方式对应的配置参数；所述文件生成模块具体用于：
40.若所述第二生成指令指示所述生成方式为所述配置文件的首次生成方式，根据获取的所述配置参数，生成所述配置文件。
41.在一些实施方式中，所述文件生成模块根据获取的所述配置参数，生成所述配置文件具体用于：响应于参数选择指令，根据所述参数选择指令对应的配置参数，生成所述配置文件；
42.所述参数选择指令与至少一个所述配置参数对应。
43.在一些实施方式中，所述生成方式还包括配置文件的更新生成方式；
44.若所述第二生成指令指示所述生成方式为所述配置文件的更新生成方式；
45.所述数据获取接口获取与所述生成方式对应的配置参数具体用于从所述上位机和所述下位机中获取当前的配置参数；
46.所述文件生成模块具体用于：
47.解析所述第二生成指令携带的待更新的配置文件，以获得待更新的配置参数；
48.基于所述当前的配置参数和所述待更新的配置参数，生成更新后的配置文件。
49.在一些实施方式中，所述文件生成模块基于所述当前的配置参数和所述待更新的配置参数，生成更新后的配置文件具体用于：
50.响应于参数选择指令，根据所述待更新的配置参数和与所述参数选择指令对应的区别配置参数，生成所述更新后的配置文件；
51.所述区别配置参数包括存在于所述当前的配置参数中，且不存在于所述待更新的配置参数中的配置参数；所述参数选择指令与至少一个所述区别配置参数对应。
52.在一些实施方式中，所述文件生成模块还用于将所述上位机参数和所述下位机参数在展示页面上分组显示。
53.在一些实施方式中，所述文件生成模块还用于为所述配置参数分配身份标识，所述身份标识包括位置标识和参数标识，所述位置标识用于表征所述配置参数在所述目标设备中的存储位置，所述参数标识用于区别存储于同一存储位置中的多个配置参数。
54.在一些实施方式中，数据获取接口具体用于：与所述上位机的控制系统建立通信连接；所述上位机的控制系统用于控制所述下位机运行；
55.基于建立的通信连接以及预先配置的第一参数位置，从所述上位机中获取所述上位机参数；所述第一参数位置用于描述所述上位机参数在所述上位机中的存储位置；
56.将读取指令和预先配置的第二参数位置发送给所述上位机的控制系统，并接收所述上位机的控制系统返回的下位机参数所述读取指令用于指示所述上位机的控制系统根据所述第二参数位置从所述下位机中获取所述下位机参数，并返回给所述读取指令的请求方；所述第二参数位置用于描述所述下位机参数在所述下位机中的存储位置。
57.第三方面，本说明书实施方式提供了一种半导体工艺设备，包括：上位机和与所述上位机连接的下位机；
58.所述上位机包括控制系统和配置文件的生成装置，所述控制系统用于控制所述下位机运行；
59.所述配置文件的生成装置用于执行上述任一项所述的配置文件的生成方法，以生成所述半导体工艺设备的配置文件。
60.第四方面，本说明书实施方式提供了一种总控装置，包括：
61.发送模块，用于向如上述的半导体工艺设备发送第一服务指令；
62.接收模块，用于接收所述半导体工艺设备响应于所述第一服务指令返回的配置文件中的配置参数；所述第一服务指令用于指示所述半导体工艺设备返回配置文件中的配置参数。
63.在一些实施方式中，所述发送模块还用于，向所述半导体工艺设备发送第二服务指令；所述接收模块，还用于接收所述半导体工艺设备响应于所述第二服务指令，返回的与订阅的配置参数对应的数据；所述第二服务指令，用于指示所述半导体工艺设备反馈与订阅的配置参数对应的数据。
64.第五方面，本说明书实施方式提供了一种计算设备，包括：处理器和存储器；
65.其中，所述存储器与所述处理器连接，所述存储器用于存储计算机程序；
66.所述处理器，用于通过运行所述存储器中存储的计算机程序，实现如上述任一项所述的配置文件的生成方法。
67.第六方面，本说明书实施方式提供了一种存储介质，所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时，实现如上述任一项所述的配置文件的生成方法。
68.第七方面，本说明书的一个实施方式提供了一种计算机程序产品或计算机程序，所述计算机程序产品或计算机程序包括计算机指令，所述计算机指令存储在计算机可读存储介质中；所述计算机设备的处理器从所述计算机可读存储介质读取所述计算机指令，所述处理器执行所述计算机指令时实现上述的配置文件的生成方法的步骤。
69.从上述技术方案可以看出，本说明书实施例提供了一种配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备及总控装置，其中，所述配置文件的生成方法在配置文件的生成过程中，通过数据获取接口自动获取目标设备的上位机参数和下位机参数，并基于获取的上述配置参数，生成配置文件，在配置文件的生成过程中无需人工依次访问上位机参数和下位机参数的存储地址查阅各参数，解决了人工查询配置参数可能导致的疏漏或所需时间较长的问题，实现了降低配置文件的生成方法所需耗费的时间和人力成本的目的。另外，所述配置文件的生成方法获取的配置参数包括下位机参数和上位机参数，使得工厂端用户可以根据该配置文件全面了解目标设备的上位机和下位机的配置信息，并根据获悉的配置信息进行参数订阅等对于配置参数的配置操作，简化了工厂端用户对配置参数进行配置时的流程。
附图说明
70.为了更清楚地说明本说明书实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
71.图1为一种生产场景；
72.图2为本说明书的一个实施方式提供的一种配置文件的生成方法的可行应用场景；
73.图3为本说明书的一个实施方式提供的一种配置文件的生成方法可能应用的系统
架构；
74.图4为本说明书的另一个实施方式提供的一种配置文件的生成方法可能应用的系统架构；
75.图5为本说明书的一个实施方式提供的一种配置文件的生成方法的流程示意图；
76.图6为本说明书的一个实施方式提供的一种选择指令的生成方式；
77.图7为本说明书的另一个实施方式提供的一种选择指令的生成方式；
78.图8为本说明书的一个实施方式提供的一种配置参数分组显示的示意图；
79.图9为本说明书的一个实施方式提供的一种身份标识的示意图；
80.图10为本说明书的一个实施方式提供的一种获取配置参数的信令流程图；
81.图11为本说明书的一个具体实施方式提供的一种配置文件的生成过程的流程示意图；
82.图12为本说明书的另一个具体实施方式提供的一种配置文件的生成过程的流程示意图；
83.图13为本说明书的一个实施方式提供的一种配置文件的生成装置的结构示意图；
84.图14为本说明书的一个实施方式提供的一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
85.除非另外定义，本说明书实施例使用的技术术语或者科学术语应当为本说明书所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本说明书实施例使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来避免构成要素的混同而设置的。
86.除非上下文另有要求，否则，在整个说明书中，“多个”表示“至少两个”，“包括”被解释为开放、包含的意思，即为“包含，但不限于”。在说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例性实施例”、“示例”、“特定示例”或“一些示例”等旨在表明与该实施例或示例相关的特定特征、结构、材料或特性包括在本说明书的至少一个实施例或示例中。上述术语的示意性表示不一定是指同一实施例或示例。
87.下面将结合本说明书实施例中的附图，对本说明书实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本说明书一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本说明书中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本说明书保护的范围。
88.概述
89.如背景技术中所述，一些设备在出厂交付给用户使用之前，会在设备中配置相应的配置文件，该配置文件可以用于指定设备的操作参数和设置，以确保用户可以根据配置文件正确地执行其功能。例如，设备的配置文件可以包括设备的硬件配置参数、软件配置参数、通信协议参数、警报(alarm)参数、参数变量(variable)和其他相关配置。配置文件的使用可以简化工厂端用户对于设备的配置参数的配置操作，提高生产效率和质量，并确保设备在不同的环境和应用中能够正确地工作。
90.特别是在需要多台设备协同工作的应用场景下，单台设备的正确配置是多台设备能够协同工作的关键，而每台设备的配置文件可以很好地帮助用户实现设备的正确配置。
91.例如，在图1所示的生产场景中，多台设备(例如图1中的设备1、设备2、设备3等设备)在总控装置4的控制下协同工作，完成某一产品的自动化生产。在各设备进入生产状态之前，产品生产商需要根据设备各自的配置参数进行部署，以完成各设备的初始化，使各设备之间可以协同工作。
92.在对各设备进行配置时，如果依靠产品生产商对生产线上各台设备的配置参数进行研究和获取，无疑需要庞大的工作量。特别是对于生产半导体产品的生产线来说，不仅构成生产线的设备数量众多，而且各设备的配置参数庞杂，依靠产品生产商对各设备的单个配置参数进行获取和研究后再部署的难度较高，且过程繁琐。因此，提前对配置参数进行整合的设备配置文件可以使产品生产商通过简单地读取配置文件的方式获取设备所需配置的各类配置参数，可以简化产品生产商对于配置参数的获取难度，提高设备的配置效率。
93.在一些生产场景下，仍然参考图1，当新设备接入生产线时，总控装置4可以获取新设备的配置文件中的配置参数，并订阅获取的配置参数中的部分或全部参数，使得新设备在生成过程中上报订阅的配置参数的对应数据。
94.为了在各设备中集成配置文件，以简化设备的工厂端用户(例如上文提及的产品生产商)的配置操作，这就要求设备在出厂之前就存储有配置文件。目前的配置文件的生成过程还是依靠软件工程师收集设备的所有配置参数，然后将获取到的配置参数按照一定的格式组织成为配置文件并存储到设备中。这种配置文件的生成方法高度依赖软件工程师对于设备软硬件结构的熟悉程度，对软件工程师的专业技能要求较高，且一些设备的配置参数数量众多，导致软件工程师手动生成配置文件的难度较高，且耗时较长。
95.为了简化配置文件的生成方法，减少配置文件生成过程所需消耗的人力成本和时间成本，发明人经过研究发现，可以在配置文件的生成过程中，通过数据获取接口自动获取目标设备的上位机参数和下位机参数，并基于获取的上述配置参数，生成配置文件，在配置文件的生成过程中无需人工依次访问上位机参数和下位机参数的存储地址查阅各参数，解决了人工查询配置参数可能导致的疏漏或所需时间较长的问题，实现了降低配置文件的生成方法所需耗费的时间和人力成本的目的。另外，所述配置文件的生成方法获取的配置参数包括下位机参数和上位机参数，使得工厂端用户(例如产品生产商)可以根据该配置文件全面了解目标设备的上位机和下位机的配置信息，并根据获悉的配置信息进行参数订阅等对于配置参数的配置操作，简化了工厂端用户对配置参数进行配置时的流程。
96.基于上述构思，下面将对本说明书实施方式提供的配置文件的生成方法进行示例性描述。
97.场景示例与系统架构
98.参考图2，图2示出了一种配置文件的生成方法的可行应用场景，在该应用场景下，设备10在出厂之前需要在内部布置配置文件，在布置了配置文件后，设备10出厂交付给用户。用户根据设备10的配置文件进行设备10的部署使用。
99.图3和图4示出了配置文件的生成方法可能应用的系统架构，在图3中，设备10制备完成后，设备管理人员(例如可以是上文提到的软件工程师)通过计算设备20执行配置文件的生成方法，即实施配置文件的生成操作，使计算设备20响应与生成操作对应的生成指令，执行配置参数(该配置参数可以包括上位机11的配置参数和下位机12的配置参数)的获取和配置文件的生成等操作，最终将配置文件存储于设备10中(例如可以是存储到设备10的
上位机11中)。在图3所示的系统架构中，执行配置文件的生成方法的计算设备20可以是设备10之外单独配置的设备。
100.参考图4，图4示出了另一种配置文件的生成方法可能应用的另一种系统架构，在该应用场景下，设备10制备完成后，配置文件的生成方法以软件程序(例如图4中的配置文件的生成装置)等方式配置于上位机11内部，通过上位机11中的配置文件生成装置及其与控制系统进行的数据交互，操作人员能够在设备10中完成配置文件的生成及存储。
101.示例性方法
102.本说明书实施方式提供了一种配置文件的生成方法，如图5所示，所述配置文件的生成方法用于生成目标设备的配置文件，所述目标设备包括上位机和下位机，所述配置文件的生成方法包括：
103.s501：响应于生成指令，通过数据获取接口获取配置参数，所述配置参数包括上位机参数和下位机参数，所述上位机参数用于描述所述上位机的配置信息，所述下位机参数用于描述所述下位机的配置信息。
104.生成指令可以是针对目标设备的管理人员的生成操作生成的电信号指令，所述生成操作可以是管理人员针对某一或某些按钮的触发操作，也可以是管理人员针对展示页面中某一或某些元素的触发操作(例如针对文本框的数据填写和针对虚拟按键的点击操作等)，本说明书对此并不做限定。
105.上位机可以具备对下位机的管理功能，例如在一些情况下，上位机可以控制下位机进行工作。以目标设备为刻蚀机台为例，刻蚀机台可以包括传输模块和多个工艺模块，每个工艺模块称为一台下位机，刻蚀机台的上位机可以对传输模块和多个工艺模块进行管理，控制工艺模块执行具体的刻蚀功能。在一些实施方式中，上位机参数可以存储于上位机中，下位机参数可以存储于下位机中，如此可以在获取配置参数时，根据配置参数的来源来分辨哪些属于上位机参数，哪些属于下位机参数。如前文所述，配置参数可以包括目标设备的硬件配置参数、软件配置参数、通信协议参数、警报参数、参数变量和其他相关配置。
106.数据获取接口可以是具备通讯功能的接口，在一些实施方式中，所述数据获取接口还可以具备数据格式定义以及配置参数的位置存储功能。在一些实施方式中，数据获取接口可以包括一个通讯模块和数据格式定义模块，其中，通讯模块用于与上位机建立通信连接，在一些实施方式中，通讯模块可以是一个标准通信库，该标准通信库可以是基于通信协议(所述通信信息例如可以是tcp/ip协议(transmission control protocol/internet protocol，传输控制协议/网际协议))封装的组件(component)，该组件可以提供一个应用进程与另一个应用进程之间的通信接口。数据格式定义模块可以负责配置文件的生成装置与上位机之间交互的数据格式以及存储配置参数在目标设备中的存储位置。在一些实施方式中，数据格式定义模块可以是一个封装好的特定软件模块或软件库。
107.s502：基于所述配置参数，生成配置文件。
108.在获取了上述的配置参数后，可以基于所述配置参数，生成配置文件。根据目标设备的不同，生成的配置文件的格式也可以有所不同，以半导体设备为例，配置文件的格式需要满足semi标准(半导体标准)，例如，所述配置文件可以是xml(extensible markup language，可扩展的标记语言)格式的配置文件，也可以是数据库文件格式的配置文件。
109.为了便于对不同类型的配置参数的配置文件进行管理，可以针对不同类型的配置
参数生成对应的配置文件，以使配置文件中存储的配置参数类型更加一致，便于用户对各个配置文件的管理，具体地，在一些实施方式中，所述生成指令可以包括携带有配置参数的类型信息的第一生成指令，所述响应于生成指令，通过数据获取接口获取配置参数包括：
110.响应于所述第一生成指令，通过所述数据获取接口，获取与所述配置参数的类型信息对应的配置参数。
111.在本实施方式中，第一生成指令可以携带有配置参数的类型信息，例如在一些目标设备中，可能存在类型信息为警报参数和参数变量的配置参数，警报参数和参数变量的参数数量庞大，如果集成在一个配置文件中，可能存在配置文件过大和参数不便查找的问题，因此，可以使第一生成指令携带配置参数的类型信息(例如警报参数)，通过响应该第一生成指令，获取类型信息为警报参数的配置参数，实现包括警报参数的配置文件的生成。
112.除了可以指定配置文件中的配置参数的类型信息之外，还可以指定配置文件的生成方式，例如，在本说明书的一个实施方式中，所述生成指令包括携带有生成方式的第二生成指令，所述生成方式包括配置文件的首次生成方式，所述通过数据获取接口获取配置参数包括：通过所述数据获取接口，获取与所述生成方式对应的配置参数；所述基于所述配置参数，生成配置文件包括：
113.若所述第二生成指令指示所述生成方式为所述配置文件的首次生成方式，根据获取的所述配置参数，生成所述配置文件。
114.在本实施方式中，对于首次生成配置文件，支持设备的管理人员选择生成方式，该生成方式的选择可以通过按压对应的按钮实现，也可以通过展示页面上对相应选项的勾选实现。在生成方式为配置文件的首次生成方式时，在生成配置文件的过程中可以直接根据获得的所述配置参数生成满足要求的配置文件。
115.对于首次生成配置文件的过程中，可以支持对配置参数的选择，具体地，在一个实施方式中，所述根据获取的所述配置参数，生成所述配置文件包括：
116.响应于参数选择指令，根据所述参数选择指令对应的配置参数，生成所述配置文件；
117.所述参数选择指令与至少一个所述配置参数对应。
118.在一些情况下，可能获取到的配置参数并不完全需要写入到配置文件中，为了减少配置文件中无需写入的配置参数数量，减少配置文件的复杂度和占据的存储空间，在本实施方式中提供了配置参数的选择。具体地，例如，参考图6，图6所示的展示页面中示出了获取到的配置参数(例如图6中的配置参数1、配置参数2和配置参数3)，其中的某些配置参数(例如配置参数3)可能是不需要写入到配置文件中的，此时管理人员可以对展示页面中展示的配置参数进行选择，选择完成后点击确认选择按钮后，即可对应生成与配置参数1和配置参数2对应的参数选择指令，并响应该参数选择指令，将参数选择指令对应的配置参数1和配置参数2生成配置文件。
119.如此，可以在生成配置文件之前对所需写入配置文件的配置参数进行筛选，避免配置文件中的参数过多、过杂，也有利于减小配置文件所需的存储空间。
120.如前文所述，在一些实施方式中，所述配置文件的生成方法可以由图4所示的上位机执行，在另一些实施方式中，所述配置文件的生成方法可以由图3所示的计算设备20执行。
121.生成方式除了包括配置文件的首次生成方式之外，在一些实施方式中，还可以支持配置文件的更新生成方式，实现满足旧版配置文件的更新需求，具体地，所述生成方式还包括配置文件的更新生成方式；
122.若所述第二生成指令指示所述生成方式为所述配置文件的更新生成方式；
123.所述获取与所述生成方式对应的配置参数包括：
124.从所述上位机和所述下位机中获取当前的配置参数；
125.所述基于所述配置参数，生成配置文件包括：
126.解析所述第二生成指令携带的待更新的配置文件，以获得待更新的配置参数；
127.基于所述当前的配置参数和所述待更新的配置参数，生成更新后的配置文件。
128.在本实施方式中，对于存在旧版的配置文件(即所述待更新的配置文件)的情况下，可以通过解析待更新的配置文件获得的待更新的配置参数和最新获取的当前的配置参数，进行更新后的配置文件的生成，如此可以满足当某一已经投产的目标设备配置更新后配置文件的更新需求，扩展了配置文件的生成方法的适用性。
129.在一些实施方式中，支持对配置参数进行选择，具体地，所述基于所述当前的配置参数和所述待更新的配置参数，生成更新后的配置文件包括：
130.响应于参数选择指令，根据所述待更新的配置参数和与所述参数选择指令对应的区别配置参数，生成所述更新后的配置文件；
131.所述区别配置参数包括存在于所述当前的配置参数中，且不存在于所述待更新的配置参数中的配置参数；所述参数选择指令与至少一个所述区别配置参数对应。
132.在一些情况下，可能获取到的配置参数并不完全需要写入到配置文件中，为了减少配置文件中无需写入的配置参数数量，减少配置文件的复杂度和占据的存储空间，在本实施方式中提供了配置参数的选择。具体地，例如，参考图7，图7所示的展示页面中示出了待更新的配置参数(例如图7所示的配置参数a和配置参数b)、当前的配置参数(例如图7所示的配置参数a、配置参数b、配置参数c和配置参数d)以及区别配置参数(例如图7所示的配置参数c和配置参数d)，在区别配置参数中，支持对所需写入配置文件的区别配置参数的选择(例如图7中选择了配置参数c)，如此在点击图7中所示的确认选择按钮后，即可对应生成与配置参数c对应的参数选择指令，并响应该参数选择指令，将参数选择指令对应的配置参数c与待更新的配置参数一起生成更新后的配置文件。相应的，在生成更新后的配置文件的过程中，对区别配置参数的选择可以避免配置文件中的参数过多、过杂，也有利于减小配置文件所需的存储空间。
133.关于选择指令的生成方式，图6和图7示出了一些示例性的方式，当然地，在其他实施方式中，也可以通过其他的方式确定所述选择指令对应的配置参数，本说明书对此并不做限定。
134.在一些实施方式中，为了使目标设备的管理人员明确参数来源，参考图8，所述基于所述配置参数，生成配置文件之前，还包括：
135.将所述上位机参数和所述下位机参数在展示页面上分组显示。
136.所述展示页面可以是图3中的计算设备20或图4中的上位机11提供的人机交互界面。将上位机参数和下位机参数在展示页面上分组显示，可以使目标设备的管理人员明确参数来源，便于对于配置参数的选择和管理。此外，在一些实施方式中，在分组显示各配置
参数时，可以对配置参数的从属关系进行分组显示，以使各个配置参数的从属关系更加明确。
137.例如，在图8中，将配置参数a1、a2和a3在上位机参数栏显示，将配置参数b1、b11、b12、b2和b3在下位机参数栏显示，同时将配置参数b11和b12以配置参数b1的子级参数的方式显示，便于管理人员对各配置参数的管理。
138.为了便于对于故障的快速定位，在一些实施方式中，所述配置文件的生成方法还包括：
139.为所述配置参数分配身份标识，所述身份标识包括位置标识和参数标识，所述位置标识用于表征所述配置参数在所述目标设备中的存储位置，所述参数标识用于区别存储于同一存储位置中的多个配置参数。
140.通过配置参数的位置标识，可以快速定位配置参数在所述目标设备中的存储位置，而配置参数的存储位置通常表示该配置参数所属的具体设备模块。通过配置参数的参数标识，可以确定该设备模块的具体出现的具体问题类型。
141.参数标识是配置参数在生成时自带的参数，通过该参数标识可以将存储于同一存储位置的配置参数区别开来。例如，存储于上位机的配置参数包括配置参数1、2、3，这三个配置参数分别携带不同的参数标识，以与其他的配置参数区别开来。
142.具体地，参考图9，图9中的配置参数的身份标识为01010001，其中，前四位参数可以为配置参数的位置标识，后四位参数可以为配置参数的参数标识。位置标识中前两位和后两位可以以不同的粒度描述配置参数的存储位置，例如，位置标识中的前两位可以描述配置参数所属的较大粒度的设备，位置标识中的后两位可以描述配置参数所属的较大粒度的设备下的具体模块。仍然以目标设备为刻蚀机台为例，刻蚀机台可以由一个用于传输的传输模块、多个用于刻蚀工艺的工艺模块以及一个用于整体调度控制的集簇设备管理模块构成，可以以位置标识中前两位(可以称为所属设备id)描述配置参数属于上述的哪一个大模块，例如以00表示配置参数属于集簇设备管理模块，以90表示配置参数属于传输模块，以01～04分别表示配置参数属于哪一具体工艺模块(以刻蚀机台具有4个工艺模块为例)。此外，可以以位置标识中后两位(可以称为所属模块id)描述配置参数属于上述的哪一个大模块下的小模块，例如对于工艺模块来说，从功能上可以划分为气路模块、下电极模块、上电极模块、温控模块、真空模块等等，可以以位置标识中的后两位描述配置参数所属的具体小模块，例如以01描述该配置参数属于气路模块。参数标识(可以称为参数id)可以描述具体的配置参数的特征信息，例如，针对刻蚀机台的工艺模块的气路模块，0001可以表示第一路气体的量程。
143.假设在上述的刻蚀机台中新增了一个工艺模块，则可以按已有的工艺机台的所属设备id按顺序新增一个05作为新增的工艺模块的所属设备id。
144.在本实施方式中，提出了一种工厂配置文件中上报参数唯一id(即配置参数的身份标识)的生成方法，该方法通过系统对参数来源的分组将身份标识的不同字段赋予不同含义，在目标设备产生问题上报参数时可以通过身份标识各字段的不同含义快速定位问题来源，提高问题定位的效率。
145.在一些实施方式中，以图4所示的系统架构为例，参考图10，所述通过数据获取接口获取配置参数包括：
146.通过所述数据获取接口与所述上位机的控制系统建立通信连接；所述上位机的控制系统用于控制所述下位机运行；
147.基于建立的通信连接以及预先配置的第一参数位置，从所述上位机中获取所述上位机参数；所述第一参数位置用于描述所述上位机参数在所述上位机中的存储位置；
148.将读取指令和预先配置的第二参数位置发送给所述上位机的控制系统，并接收所述上位机的控制系统返回的下位机参数。所述读取指令用于指示所述上位机的控制系统根据所述第二参数位置从所述下位机中获取所述下位机参数，并返回给所述读取指令的请求方；所述第二参数位置用于描述所述下位机参数在所述下位机中的存储位置。
149.在本实施方式中，配置文件的生成方法可以以软件程序(例如配置文件的生成装置)的方式设置于上位机的硬件架构中，该配置文件的生成装置可以基于上位机中的硬件结构执行所述配置文件的生成方法，无需额外配置硬件结构，有利于降低执行该方法所需的成本。此外，通过上位机响应读取指令获取下位机参数并返回给配置文件的生成装置，有利于简化下位机参数的获取方式，无需配置文件的生成装置与每个上位机均建立通信连接，有利于降低在建立通信连接的过程中出错的概率。
150.在一些实施方式中，所述第一参数位置和所述第二参数位置可以预先配置于所述数据获取接口中。
151.此外，在一些实施方式中，在通过所述数据获取接口与所述上位机的控制系统建立通信连接之前，所述配置文件的执行方法还可以包括：确认所述上位机与所述下位机之间的连接是否正常，在所述上位机与所述下位机之间的连接正常时，才与所述上位机建立通信连接，保障配置文件的生成方法的顺利执行。
152.下面以具体的实施方式对本说明书实施方式提供的配置文件的生成方法的可行执行过程进行示例性描述。
153.在一个可行的实施方式中，以生成指令包括第一生成指令和第二生成指令，所述第一生成指令携带的配置参数的类型信息为警报参数，所述第二生成指令携带的生成方式为配置文件的首次生成方式为例，参考图11，该配置文件的生成过程可以包括：
154.s11：通过数据获取接口与上位机建立通信连接；
155.s12：判断设备的上位机与下位机是否连接成功，若成功，则进入步骤s13，若失败，则进入步骤s19：退出，并保存异常日志；所述异常日志可以记录日常发生时间，异常类型：上位机与下位机连接失败等信息；
156.s13：用户选择配置参数的类型信息为报警参数；
157.s14：用户选择生成方式为配置文件的首次生成方式；
158.s15：从上位机和下位机获得对应的警报参数，这些警报参数可以包括参数标识、报警名称、报警描述和恢复措施等；
159.s16：按照警报参数的来源将其分组显示在展示页面上，同时按照其来源，为其赋予位置标识；可以根据报警参数的参数标识和位置标识生成该参数的身份标识；例如参考图8，假设配置参数a1、a2、a3的来源为上位机，配置参数b1、b11、b12、b2和b3的来源为下位机，则按照其来源在页面上分组显示。另外，来自上位机的配置参数a1、a2、a3可以赋予位置标识0100，该位置标识0100可以表示其来自于上位机。来自下位机的配置参数b1、b11、b12、b2和b3可以赋予位置标识020x，x＝1、2、3、4、5；其中，位置标识的前两位02表示配置参数来
自下位机，位置标识的后两位0x表示配置参数来自下位机的具体模块(例如可以用0201表示来自下位机的气路模块、0202表示来自下位机的温控模块等等)。
160.在生成身份标识的过程中，以配置参数a1、a2、a3为例，假设配置参数a1、a2、a3各自携带的参数标识分别为0001、0002和0003，则为这三个配置参数生成的身份标识可以为：01000001、01000002和01000003。
161.s17：目标设备的管理人员可以对展示页面上分组显示的警报参数进行删除或修改，编辑完成后点击确认选择，生成参数选择指令；
162.仍然以图8所示的页面为例，在分组显示警报参数后，目标设备的管理人员可以对分组显示的配置参数a1、a2、a3、b1、b11、b12、b2和b3进行删除或修改，选择需要的配置参数，例如目标设备的管理人员删除了配置参数a3、b12、b2和b3，并将配置参数a1修改为a4，则参数选择指令对应的配置参数包括a2、a4、b1和b11。
163.s18：响应于更改参数选择指令，将警报参数按照配置文件类型结点-参数节点-参数属性节点的树结构组织生成xml格式的配置文件。
164.仍然以上面的例子为例，假设参数选择指令对应的配置参数包括a2、a4、b1和b11，则生成的配置文件中的树结构组织中的各个信息可以包括如下：配置文件类型结点-警报参数配置文件；参数节点-配置参数a2、a4、b1和b11，参数属性节点-配置参数a2、a4、b1和b11的属性(例如参数的名称(name)等信息)。
165.在另一个实施方式中，以生成指令包括第一生成指令和第二生成指令，所述第一生成指令携带的配置参数的类型信息为参数变量，所述第二生成指令携带的生成方式为配置文件的更新生成方式为例，参考图12，该配置文件的生成过程可以包括：
166.s21：在确认目标设备的上位机与下位机连接正常的情况下，通过数据获取接口与上位机的控制系统建立通信连接；
167.s22：解析第二生成指令携带的待更新的配置文件，以获得待更新的配置参数；将待更新的配置参数在展示页面上进行分组显示；
168.s23：基于建立的通信连接以及预先配置的第一参数位置，从所述上位机中获取所述上位机参数；
169.s24：将读取指令和预先配置的第二参数位置发送给所述上位机的控制系统，并接收上位机的控制系统返回的下位机参数；
170.s25：将获取的上位机参数、下位机参数作为当前的配置参数，并将当前的配置参数在展示页面上分组显示；
171.s26：通过比对当前的配置参数和待更新的配置参数，确定区别配置参数，将区别配置参数分组显示在展示页面上；同时按照区别配置参数来源，为区别配置参数赋予位置标识；可以根据配置参数的参数标识和位置标识生成该参数的身份标识；
172.s27：目标设备的管理人员可以对展示页面上分组显示的区别配置参数进行删除或修改，编辑完成后点击确认选择，生成参数选择指令；
173.s28：响应于参数选择指令，将待更新的配置参数和参数选择指令对应的区别配置参数按照配置文件类型结点-参数节点-参数属性节点的树结构组织生成xml格式的配置文件。
174.示例性装置
175.本说明书的一个实施方式还提供了一种配置文件的生成装置，如图13所示，所述配置文件的生成装置用于生成目标设备的配置文件，所述目标设备包括上位机和下位机，所述目标设备的配置文件生成装置包括：
176.数据获取接口1101，用于响应于生成指令，获取配置参数，所述配置参数包括上位机参数和下位机参数，所述上位机参数用于描述所述上位机的配置信息，所述下位机参数用于描述所述下位机的配置信息；
177.文件生成模块1102，用于基于所述配置参数，生成配置文件。
178.在一些实施方式中，所述数据获取接口1101可以包括一个通讯模块和数据格式定义模块，其中，通讯模块用于与上位机建立通信连接，在一些实施方式中，通讯模块可以是一个标准通信库，该标准通信库可以是基于通信协议(例如tcp/ip协议(transmission control protocol/internet protocol，传输控制协议/网际协议))封装的组件(component)，该组件可以提供一个应用进程与另一个应用进程之间的通信接口。数据格式定义模块可以负责配置文件的生成装置与上位机之间交互的数据格式以及存储上文提及的第一参数位置和第二参数位置。在一些实施方式中，数据格式定义模块可以是一个封装好的特定软件模块或软件库。
179.所述文件生成模块1102可以包括参数分组模块、参数对比模块、用户交互模块和配置生成模块，其中，参数分组模块用于将数据获取接口1101获取的配置参数按照来源进行分组；
180.参数对比模块用于在生成方式为配置文件的更新生成方式时，比对待更新的配置参数和当前的配置参数，以获得区别配置参数；
181.用户交互模块，用于提供与管理人员进行交互的展示页面；
182.配置生成模块，用于生成最终的配置文件。
183.本实施方式提供的配置文件的生成装置，与本技术上述实施例所提供的配置文件的生成方法属于同一申请构思，可执行本技术上述任意实施例所提供的配置文件的生成方法，具备执行该配置文件的生成方法相应的功能模块和有益效果。未在本实施例中详尽描述的技术细节，可参见本技术上述实施例提供的配置文件的生成方法的具体处理内容，此处不再加以赘述。
184.示例性设备及生成系统
185.在本说明书的一个实施方式中，还提供了一种半导体工艺设备，包括：上位机和与所述上位机连接的下位机；
186.所述上位机包括控制系统和配置文件的生成装置，所述控制系统用于控制所述下位机运行；
187.所述配置文件的生成装置用于执行上述任一项所述的配置文件的生成方法，以生成所述半导体工艺设备的配置文件。
188.在本说明书的一个实施方式中，还提供了一种总控装置，该总控装置包括：
189.发送模块，用于向如上述任一实施例所述的半导体工艺设备发送第一服务指令；
190.接收模块，用于接收所述半导体工艺设备响应于所述第一服务指令返回的配置文件中的配置参数；所述第一服务指令用于指示所述半导体工艺设备返回配置文件中的配置参数。
191.所述第一服务指令可以包括遵循半导体(semi)标准的报文，该报文可以包括校验位、数据字段等信息，其中的数据字段可以用于描述第一服务指令的具体指令内容。
192.工厂端用户可以通过总控装置提供的人机交互界面形成所述第一服务指令并向所述半导体工艺设备发送。当半导体工艺设备的上位机接收到所述第一服务指令时，可以解析上位机中存储的配置参数，并将解析获得的配置参数返回给总控装置，总控装置接收到配置参数后，可以通过上述的人机交互界面显示。
193.在一些实施方式中，所述发送模块还用于，向所述半导体工艺设备发送第二服务指令；所述接收模块，还用于接收所述半导体工艺设备响应于所述第二服务指令，返回的与订阅的配置参数对应的数据；所述第二服务指令，用于指示所述半导体工艺设备反馈与订阅的配置参数对应的数据。
194.类似的，第二服务指令与第一服务指令可以通过相同的方式生成和发送。在总控装置接收到半导体工艺设备返回的配置参数后，可以通过在人机交互界面上勾选等方式选择想要订阅的配置参数，并生成所述第二服务指令。半导体工艺设备在接收到该第二服务指令后，会在运行过程中，将订阅的配置参数对应的数据上报给总控装置，使得工厂端用户可以通过返回的这些数据监控半导体工艺设备的运行情况。
195.示例性电子设备
196.本说明书另一实施例还提出一种电子设备，参见图14所示，本说明书的一个示例性实施例还提供了一种电子设备，包括：存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时执行本说明书上述实施例中描述的根据本说明书各种实施例的配置文件的生成方法中的步骤。
197.该电子设备的内部结构可以如图14所示，该电子设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口和输入装置。其中，该电子设备的处理器用于提供计算和控制能力。该电子设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统和计算机程序。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该电子设备的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以本说明书上述实施例中描述的根据本说明书各种实施例的配置文件的生成方法中的步骤。
198.处理器可包括主处理器，还可包括基带芯片、调制解调器等。
199.存储器中保存有执行本发明技术方案的程序，还可以保存有操作系统和其他关键业务。具体地，程序可以包括程序代码，程序代码包括计算机操作指令。更具体的，存储器可以包括只读存储器(read-only memory，rom)、可存储静态信息和指令的其他类型的静态存储设备、随机存取存储器(random access memory，ram)、可存储信息和指令的其他类型的动态存储设备、磁盘存储器、flash等等。
200.处理器可以是通用处理器，例如通用中央处理器(cpu)、微处理器等，也可以是特定应用集成电路(application-specific integrated circuit，asic)，或一个或多个用于控制本发明方案程序执行的集成电路。还可以是数字信号处理器(dsp)、专用集成电路(asic)、现成可编程门阵列(fpga)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。
201.输入设备可包括接收用户输入的数据和信息的装置，例如键盘、鼠标、摄像头、扫
描仪、光笔、语音输入装置、触摸屏、计步器或重力感应器等。
202.输出设备可包括允许输出信息给用户的装置，例如显示屏、打印机、扬声器等。
203.通信接口可包括使用任何收发器一类的装置，以便与其他设备或通信网络通信，如以太网，无线接入网(ran)，无线局域网(wlan)等。
204.处理器执行存储器中所存放的程序，以及调用其他设备，可用于实现本说明书上述实施例所提供的任意一种配置文件的生成方法的各个步骤。
205.该电子设备还可以包括显示组件和语音组件，该显示组件可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，该电子设备的输入装置可以是显示组件上覆盖的触摸层，也可以是电子设备外壳上设置的按键、轨迹球或触控板，还可以是外接的键盘、触控板或鼠标等。
206.本领域技术人员可以理解，图14中示出的结构，仅仅是与本说明书方案相关的部分结构的框图，并不构成对本说明书方案所应用于其上的电子设备的限定，具体的电子设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。
207.示例性计算机程序产品和存储介质
208.除了上述方法和设备以外，本说明书实施例提供的配置文件的生成方法还可以是计算机程序产品，其包括计算机程序指令，所述计算机程序指令在被处理器运行时使得所述处理器执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本说明书各种实施例的配置文件的生成方法中的步骤。
209.所述计算机程序产品可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本说明书实施例操作的程序代码，所述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言，诸如java、c++等，还包括常规的过程式程序设计语言，诸如“c”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算设备上部分在远程计算设备上执行、或者完全在远程计算设备或服务器上执行。
210.此外，本说明书实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本说明书各种实施例的配置文件的生成方法中的步骤。
211.本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本说明书所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(rom)、可编程rom(prom)、电可编程rom(eprom)、电可擦除可编程rom(eeprom)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(ram)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，ram以多种形式可得，诸如静态ram(sram)、动态ram(dram)、同步dram(sdram)、双数据率sdram(ddrsdram)、增强型sdram(esdram)、同步链路(synchlink)dram(sldram)、存储器总线(rambus)直接ram(rdram)、直接存储器总线动态ram(drdram)、以及存储器总线动态ram(rdram)等。
212.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
213.以上所述实施例仅表达了本说明书的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本说明书实施例提供的方案范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本说明书构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本说明书的保护范围。因此，本说明书专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种配置文件的生成方法，其特征在于，所述配置文件的生成方法用于生成目标设备的配置文件，所述目标设备包括上位机和下位机，所述配置文件的生成方法包括：响应于生成指令，通过数据获取接口获取配置参数，所述配置参数包括上位机参数和下位机参数，所述上位机参数用于描述所述上位机的配置信息，所述下位机参数用于描述所述下位机的配置信息；基于所述配置参数，生成配置文件。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述生成指令包括携带有配置参数的类型信息的第一生成指令，所述响应于生成指令，通过数据获取接口获取配置参数包括：响应于所述第一生成指令，通过所述数据获取接口，获取与所述配置参数的类型信息对应的配置参数。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述生成指令包括携带有生成方式的第二生成指令，所述生成方式包括配置文件的首次生成方式，所述通过数据获取接口获取配置参数包括：通过所述数据获取接口，获取与所述生成方式对应的配置参数；所述基于所述配置参数，生成配置文件包括：若所述第二生成指令指示所述生成方式为所述配置文件的首次生成方式，根据获取的所述配置参数，生成所述配置文件。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据获取的所述配置参数，生成所述配置文件包括：响应于参数选择指令，根据所述参数选择指令对应的配置参数，生成所述配置文件；所述参数选择指令与至少一个所述配置参数对应。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述生成方式还包括配置文件的更新生成方式；若所述第二生成指令指示所述生成方式为所述配置文件的更新生成方式；所述获取与所述生成方式对应的配置参数包括：从所述上位机和所述下位机中获取当前的配置参数；所述基于所述配置参数，生成配置文件包括：解析所述第二生成指令携带的待更新的配置文件，以获得待更新的配置参数；基于所述当前的配置参数和所述待更新的配置参数，生成更新后的配置文件。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于所述当前的配置参数和所述待更新的配置参数，生成更新后的配置文件包括：响应于参数选择指令，根据所述待更新的配置参数和与所述参数选择指令对应的区别配置参数，生成所述更新后的配置文件；所述区别配置参数包括存在于所述当前的配置参数中，且不存在于所述待更新的配置参数中的配置参数；所述参数选择指令与至少一个所述区别配置参数对应。7.根据权利要求1～6任一项所述的方法，其特征在于，所述基于所述配置参数，生成配置文件之前，还包括：将所述上位机参数和所述下位机参数在展示页面上分组显示。8.根据权利要求1～6任一项所述的方法，其特征在于，还包括：为所述配置参数分配身份标识，所述身份标识包括位置标识和参数标识，所述位置标
识用于表征所述配置参数在所述目标设备中的存储位置，所述参数标识用于区别存储于同一存储位置中的多个配置参数。9.根据权利要求1～6任一项所述的方法，其特征在于，所述通过数据获取接口获取配置参数包括：通过所述数据获取接口与所述上位机的控制系统建立通信连接；所述上位机的控制系统用于控制所述下位机运行；基于建立的通信连接以及预先配置的第一参数位置，从所述上位机中获取所述上位机参数；所述第一参数位置用于描述所述上位机参数在所述上位机中的存储位置；将读取指令和预先配置的第二参数位置发送给所述上位机的控制系统，并接收所述上位机的控制系统返回的下位机参数，所述读取指令用于指示所述上位机的控制系统根据所述第二参数位置从所述下位机中获取所述下位机参数，并返回给所述读取指令的请求方；所述第二参数位置用于描述所述下位机参数在所述下位机中的存储位置。10.一种配置文件的生成装置，其特征在于，所述配置文件的生成装置用于生成目标设备的配置文件，所述目标设备包括上位机和下位机，所述目标设备的配置文件生成装置包括：数据获取接口，用于响应于生成指令，获取配置参数，所述配置参数包括上位机参数和下位机参数，所述上位机参数用于描述所述上位机的配置信息，所述下位机参数用于描述所述下位机的配置信息；文件生成模块，用于基于所述配置参数，生成配置文件。11.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括：上位机和与所述上位机连接的下位机；所述上位机包括控制系统和配置文件的生成装置，所述控制系统用于控制所述下位机运行；所述配置文件的生成装置用于执行权利要求1～9任一项所述的配置文件的生成方法，以生成所述半导体工艺设备的配置文件。12.一种总控装置，其特征在于，包括：发送模块，用于向如权利要求11所述的半导体工艺设备发送第一服务指令；接收模块，用于接收所述半导体工艺设备响应于所述第一服务指令返回的配置文件中的配置参数；所述第一服务指令用于指示所述半导体工艺设备返回配置文件中的配置参数。13.根据权利要求12所述的总控装置，其特征在于，所述发送模块还用于，向所述半导体工艺设备发送第二服务指令；所述接收模块，还用于接收所述半导体工艺设备响应于所述第二服务指令，返回的与订阅的配置参数对应的数据；所述第二服务指令，用于指示所述半导体工艺设备反馈与订阅的配置参数对应的数据。14.一种计算设备，其特征在于，包括：处理器和存储器；其中，所述存储器与所述处理器连接，所述存储器用于存储计算机程序；所述处理器，用于通过运行所述存储器中存储的计算机程序，实现如权利要求1～9任一项所述的配置文件的生成方法。15.一种存储介质，其特征在于，所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时，实现如权利要求1～9任一项所述的配置文件的生成方法。

技术总结
本申请公开了一种配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备及总控装置，其中，该方法在配置文件的生成过程中，通过数据获取接口自动获取目标设备的上下位机参数，基于获取的上述参数，生成配置文件，在配置文件的生成过程中无需人工依次访问上位机参数和下位机参数的存储地址查阅各参数，解决了人工查询配置参数可能导致的疏漏或所需时间较长的问题，实现了降低配置文件的生成方法所需耗费的时间和人力成本的目的。另外，工厂端用户可以通过该方法获得配置文件中的配置参数，以全面了解目标设备的上位机和下位机的配置信息，并根据获悉的配置信息进行参数订阅等对于配置参数的配置操作，简化了工厂端用户对配置参数进行配置时的流程。时的流程。时的流程。


技术研发人员：李云飞 刘丹
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2023.05.23
技术公布日：2023/9/6