一种旋转靶的绑定装置的制作方法

1.本发明属于旋转靶绑定技术领域，涉及一种旋转靶的绑定装置。


背景技术：

2.旋转靶呈中空管状，内部用于放置磁铁组件，一般由管状靶材和背管组成。相较平面靶，旋转靶具有结构紧凑、利用率高等优点，已广泛应用于太阳能电池、光学薄膜和平板显示等行业。
3.现有技术公开了一种旋转靶材绑定方法，包括：准备一块金属丝网，在金属丝网的一面焊接，固定焊料；对旋转靶材的外壁进行均匀加热，然后将金属丝网塞入旋转靶材内，使金属丝网的另一面与旋转靶材的内壁紧贴；继续对旋转靶材均匀加热，并同时旋转其旋转靶材；待金属丝网上的焊料逐渐融化并在离心力的作用下完全在旋转靶材的内壁铺开后，在背管的外壁涂一层融化的焊料，然后将背管旋进旋转靶材中；继续旋转该旋转靶材和背管，并慢慢停止加热,待焊料凝固完成后停止旋转该旋转靶材和背管。
4.现有技术还公开了一种铝旋转靶的热等静压扩散焊接的方法，包括：不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管和低碳钢管进行装配得到套管，套管由内到外依次为不锈钢管、高纯铝管和低碳钢管，不锈钢管、高纯铝管和低碳钢管之间分别预留缝隙；套管经不锈钢圆环焊接对两端进行密封；焊接密封后的套管进行脱气；脱气后的套管进行热等静压处理，得到焊接结合的铝旋转靶与不锈钢管。
5.现有技术还公开了一种旋转靶绑定设备，包括基座，基座安装有振动装置，基座的安装有工装夹具，工装夹具用于固定旋转靶的尾盖和端头，工装夹具包括支架、底座、延长端和固定护套，基座的侧方设置有支架，旋转靶的尾盖安装于底座，延长端的一端连接于旋转靶的端头，固定护套的一侧套装于延长端，固定护套的另一侧固定于支架，基座插设有内加热装置，内加热装置位于旋转靶的内侧，旋转靶的外侧设置有外加热装置，外加热装置设置有多个外加热部，外加热部的一端固定于支架，外加热部的另一端与旋转靶的外侧面间隙配合，绑定设备包括水冷环装置。
6.但是，目前现有的焊接工艺还存在过程复杂、成本高昂、焊接结合效果不稳定等问题，因此，亟需一种旋转靶的绑定装置，克服现有技术缺陷，以满足实际应用需求。


技术实现要素：

7.针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种旋转靶的绑定装置，在本发明中，通过基座、旋转靶、引爆件、爆炸层和固定模具的具体设置，可以轻易绑定旋转靶的靶材和背管，结构简单，成本低廉，且焊接效果优良，焊接结合率和结合强度完全满足靶材的使用要求，安全性和稳定性俱佳，适合推广使用。
8.为达此目的，本发明采用以下技术方案：
9.本发明提供了一种旋转靶的绑定装置，所述绑定装置包括基座和固定模具，所述基座的顶部固定连接所述固定模具，所述固定模具内用于放置旋转靶；所述旋转靶包括由
内向外依次套设的背管和靶材，所述背管为中空结构，所述中空结构内填充设置有爆炸层，所述背管的顶部设置有引爆件，所述引爆件的一端设置在所述爆炸层内用于引爆所述爆炸层。
10.在本发明中，通过基座、旋转靶、引爆件、爆炸层和固定模具的具体设置，可以轻易绑定旋转靶的靶材和背管，结构简单，成本低廉，且焊接效果优良，焊接结合率和结合强度完全满足靶材的使用要求，安全性和稳定性俱佳，适合推广使用。
11.作为本发明一种优选的技术方案，在所述固定模具内，所述基座沿所述背管的径向边缘周向设置有第一间隙环，所述第一间隙环用于分隔所述背管和所述靶材之间的距离。
12.优选地，所述第一间隙环的高度为靶材长度的1～3％，例如可以是1％、1.2％、1.4％、1.6％、1.8％、2％、2.2％、2.4％、2.6％、2.8％、3％等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
13.优选地，所述第一间隙环的宽度为1～3mm，例如可以是1mm、1.2mm、1.4mm、1.6mm、1.8mm、2mm、2.2mm、2.4mm、2.6mm、2.8mm、3mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
14.本发明限定了第一间隙环的高度为靶材长度的1～3％，以及宽度为1～3mm，是因为在此尺寸范围内使得旋转靶的结合率和结合强度最好。
15.作为本发明一种优选的技术方案，所述旋转靶和所述固定模具同轴设置。
16.需要说明的是，本发明中旋转靶和固定模具同轴设置，是因为该结构使得旋转靶整体受力均匀，结构稳定，且保证了同一截面上的靶材和背管同时接触。
17.作为本发明一种优选的技术方案，所述背管的底部嵌入所述基座内。
18.优选地，所述背管的顶部伸出所述固定模具外。
19.本发明限定了背管的具体结构，是因为在此结构下使得旋转靶的结合率和结合强度最好，且焊接后整体尺寸更加稳定。
20.作为本发明一种优选的技术方案，所述背管靠近顶部的外侧边缘沿径向周向设置有第二间隙环，所述第二间隙环的内壁和所述背管的外壁接触连接，所述第二间隙环的外壁和所述固定模具的内壁接触连接。
21.优选地，所述第二间隙环的顶部和所述固定模具的顶部齐平。
22.优选地，所述第二间隙环靠近所述背管外壁的一侧设置有凸起，所述凸起用于分隔所述背管和所述靶材之间的距离。
23.优选地，所述凸起的宽度为1～3mm，例如可以是1mm、1.2mm、1.4mm、1.6mm、1.8mm、2mm、2.2mm、2.4mm、2.6mm、2.8mm、3mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
24.本发明限定了凸起的宽度为1～3mm，是因为靶材受爆炸压力冲击，以一定速度与背管碰撞结合，间隙过大或过小均影响碰撞速度，在该间隙范围内达到的碰撞速度使得旋转靶的结合率和结合强度最好。
25.作为本发明一种优选的技术方案，所述背管内部设置有防侵蚀层。
26.优选地，所述防侵蚀层的材质为黄油。
27.需要说明的是，本发明防侵蚀层的材质选用为黄油，是因为黄油可以隔绝爆炸产
物侵蚀背管。作为本发明一种优选的技术方案，所述爆炸层的材质为炸药。
28.优选地，所述爆炸层的爆炸速度为2200～2600m/s，例如可以是2200m/s、2250m/s、2300m/s、2350m/s、2400m/s、2450m/s、2500m/s、2550m/s、2600m/s等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
29.本发明限定了爆炸层的爆炸速度为2200～2600m/s，是因为在此范围内使得旋转靶的结合率和结合强度最好；若不在该范围内，会导致旋转靶的结合率低，或产品严重变形。
30.作为本发明一种优选的技术方案，所述引爆件为雷管。需要说明的是，本发明中采用了雷管，是因为雷管引爆稳定性更高。
31.作为本发明一种优选的技术方案，所述靶材和所述固定模具之间围设呈环形空腔。
32.优选地，所述环形空腔内设置有填充层。
33.优选地，所述填充层为金刚砂注水层，所述填充层用于防止靶材变形。
34.需要说明的是，本发明中的填充层作为靶材与固定模具之间的填充物，不仅能够防止焊后靶材变形，同时避免靶材与固定模具结合，造成脱模困难的风险。
35.作为本发明一种优选的技术方案，所述基座的弹性模量≥150gpa，例如可以是150gpa、155gpa、160gpa、165gpa、170gpa、175gpa、180gpa、185gpa等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
36.优选地，所述固定模具的弹性模量≥150gpa，例如可以是150gpa、155gpa、160gpa、165gpa、170gpa、175gpa、180gpa、185gpa等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
37.本发明限定了基座的弹性模量≥150gpa，以及固定模具的弹性模量≥150gpa，是因为在此范围内使得旋转靶的结合率和结合强度最好；若不在该范围内，会导致产品结构不稳定，影响结合率和结合强度，也可能导致产品变形。
38.示例性地，本发明中旋转靶的绑定装置的绑定方法包括：
39.将旋转靶放入固定模具中固定后，在靶材和固定模具之间放置填充层，将靶材进行稳固后，在背管和靶材的端部分别放置第一间隙环和第二间隙环分隔开背管和靶材，在背管内加入爆炸层，并用引爆件进行引爆，从而使得背管和靶材进行绑定。
40.与现有技术相比，本发明的有益效果为：
41.在本发明中，通过基座、旋转靶、引爆件、爆炸层和固定模具的具体设置，可以轻易绑定旋转靶的靶材和背管，结构简单，成本低廉，且焊接效果优良，焊接结合率和结合强度完全满足靶材的使用要求，安全性和稳定性俱佳，适合推广使用。
附图说明
42.图1为本发明一个具体实施方式提供的绑定装置的结构示意图；
43.其中，1-基座；2-固定模具；3-背管；4-靶材；5-填充层；6-爆炸层；7-引爆件；8-第二间隙环。
具体实施方式
44.需要理解的是，在本发明的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
45.需要说明的是，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
46.本领域技术人员理应了解的是，本发明中必然包括用于实现工艺完整的必要管线、常规阀门和通用泵设备，但以上内容不属于本发明的主要发明点，本领域技术人员可以基于工艺流程和设备结构选型可以自行增设布局，本发明对此不做特殊要求和具体限定。
47.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
48.在一个具体实施方式中，本发明提供了一种旋转靶的绑定装置，如图1所示，所述绑定装置包括基座1和固定模具2，基座1的顶部固定连接固定模具2，固定模具2内用于放置旋转靶；旋转靶包括由内向外依次套设的背管3和靶材4，背管3为中空结构，中空结构内填充设置有爆炸层6，背管3的顶部设置有引爆件7，引爆件7的一端设置在爆炸层6内用于引爆爆炸层6。
49.在本发明中，通过基座1、旋转靶、引爆件7、爆炸层6和固定模具2的具体设置，可以轻易绑定旋转靶的靶材4和背管3，结构简单，成本低廉，且焊接效果优良，焊接结合率和结合强度完全满足靶材4的使用要求，安全性和稳定性俱佳，适合推广使用。
50.进一步地，在固定模具2内，基座1沿背管3的径向边缘周向设置有第一间隙环，第一间隙环用于分隔背管3和靶材4之间的距离。
51.进一步地，第一间隙环的高度为靶材4长度的1～3％，例如可以是1％、1.2％、1.4％、1.6％、1.8％、2％、2.2％、2.4％、2.6％、2.8％、3％等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
52.进一步地，第一间隙环的宽度为1～3mm，例如可以是1mm、1.2mm、1.4mm、1.6mm、1.8mm、2mm、2.2mm、2.4mm、2.6mm、2.8mm、3mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
53.进一步地，旋转靶和固定模具2同轴设置。
54.进一步地，背管3的底部嵌入基座1内，背管3的顶部伸出固定模具2外。
55.进一步地，背管3靠近顶部的外侧边缘沿径向周向设置有第二间隙环8，第二间隙环8的内壁和背管3的外壁接触连接，第二间隙环8的外壁和固定模具2的内壁接触连接。
56.进一步地，第二间隙环8的顶部和固定模具2的顶部齐平。
57.进一步地，第二间隙环8靠近背管3外壁的一侧设置有凸起，凸起用于分隔背管3和靶材4之间的距离。
58.进一步地，凸起的宽度为1～3mm，例如可以是1mm、1.2mm、1.4mm、1.6mm、1.8mm、2mm、2.2mm、2.4mm、2.6mm、2.8mm、3mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
59.进一步地，背管3内部设置有防侵蚀层，防侵蚀层的材质为黄油。需要说明的是，本发明防侵蚀层的材质选用为黄油，是因为黄油可以隔绝爆炸产物侵蚀背管3。
60.进一步地，爆炸层6的材质为炸药。
61.进一步地，爆炸层6的爆炸速度为2200～2600m/s，例如可以是2200m/s、2250m/s、2300m/s、2350m/s、2400m/s、2450m/s、2500m/s、2550m/s、2600m/s等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
62.进一步地，引爆件7为雷管。进一步地，靶材4和固定模具2之间围设呈环形空腔，环形空腔内设置有填充层5，填充层5为金刚砂注水层，填充层5用于防止靶材4变形。需要说明的是，本发明中的填充层5作为靶材4与固定模具2之间的填充物，不仅能够防止焊后靶材4变形，同时避免靶材4与固定模具2结合，造成脱模困难的风险。
63.进一步地，基座1的弹性模量≥150gpa，例如可以是150gpa、155gpa、160gpa、165gpa、170gpa、175gpa、180gpa、185gpa等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
64.进一步地，固定模具2的弹性模量≥150gpa，例如可以是150gpa、155gpa、160gpa、165gpa、170gpa、175gpa、180gpa、185gpa等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
65.示例性地，本发明中旋转靶的绑定装置的绑定方法包括：
66.将旋转靶放入固定模具2中固定后，在靶材4和固定模具2之间放置填充层5，将靶材4进行稳固后，在背管3和靶材4的端部分别放置第一间隙环和第二间隙环8分隔开背管3和靶材4，在背管3内加入爆炸层6，并用引爆件7进行引爆，从而使得背管3和靶材4进行绑定。
67.实施例1
68.本实施例提供了一种旋转靶的绑定装置，其中：
69.绑定装置包括基座1和固定模具2，基座1的顶部固定连接固定模具2，固定模具2内用于放置旋转靶；旋转靶和固定模具2同轴设置，旋转靶包括由内向外依次套设的背管3和靶材4，背管3为中空结构，中空结构内填充设置有爆炸层6，背管3的顶部设置有引爆件7，引爆件7的一端设置在爆炸层6内用于引爆爆炸层6。
70.在固定模具2内，基座1沿背管3的径向边缘周向设置有第一间隙环，第一间隙环用于分隔背管3和靶材4之间的距离。第一间隙环的高度为靶材4长度的1％，第一间隙环的宽度为1mm。
71.背管3的底部嵌入基座1内，背管3的顶部伸出固定模具2外。
72.背管3靠近顶部的外侧边缘沿径向周向设置有第二间隙环8，第二间隙环8的内壁和背管3的外壁接触连接，第二间隙环8的外壁和固定模具2的内壁接触连接。
73.第二间隙环8的顶部和固定模具2的顶部齐平，第二间隙环8靠近背管3外壁的一侧
设置有凸起，凸起用于分隔背管3和靶材4之间的距离，凸起的宽度为1mm。
74.背管3内部设置有防侵蚀层，防侵蚀层的材质为黄油。爆炸层6的材质为炸药。爆炸层6的爆炸速度为2200m/s。引爆件7为雷管。
75.靶材4和固定模具2之间围设呈环形空腔，环形空腔内设置有填充层5，填充层5为金刚砂注水层，填充层5用于防止靶材4变形。基座1的弹性模量为150gpa，固定模具2的弹性模量为150gpa。
76.实施例2
77.本实施例提供了一种旋转靶的绑定装置，其中：
78.绑定装置包括基座1和固定模具2，基座1的顶部固定连接固定模具2，固定模具2内用于放置旋转靶；旋转靶和固定模具2同轴设置，旋转靶包括由内向外依次套设的背管3和靶材4，背管3为中空结构，中空结构内填充设置有爆炸层6，背管3的顶部设置有引爆件7，引爆件7的一端设置在爆炸层6内用于引爆爆炸层6。
79.在固定模具2内，基座1沿背管3的径向边缘周向设置有第一间隙环，第一间隙环用于分隔背管3和靶材4之间的距离。第一间隙环的高度为靶材4长度的2％，第一间隙环的宽度为2mm。
80.背管3的底部嵌入基座1内，背管3的顶部伸出固定模具2外。
81.背管3靠近顶部的外侧边缘沿径向周向设置有第二间隙环8，第二间隙环8的内壁和背管3的外壁接触连接，第二间隙环8的外壁和固定模具2的内壁接触连接。
82.第二间隙环8的顶部和固定模具2的顶部齐平，第二间隙环8靠近背管3外壁的一侧设置有凸起，凸起用于分隔背管3和靶材4之间的距离，凸起的宽度为2mm。
83.背管3内部设置有防侵蚀层，防侵蚀层的材质为黄油。爆炸层6的材质为炸药。爆炸层6的爆炸速度为2400m/s。引爆件7为雷管。
84.靶材4和固定模具2之间围设呈环形空腔，环形空腔内设置有填充层5，填充层5为金刚砂注水层，填充层5用于防止靶材4变形。基座1的弹性模量为170gpa，固定模具2的弹性模量为170gpa。
85.实施例3
86.本实施例提供了一种旋转靶的绑定装置，其中：
87.绑定装置包括基座1和固定模具2，基座1的顶部固定连接固定模具2，固定模具2内用于放置旋转靶；旋转靶和固定模具2同轴设置，旋转靶包括由内向外依次套设的背管3和靶材4，背管3为中空结构，中空结构内填充设置有爆炸层6，背管3的顶部设置有引爆件7，引爆件7的一端设置在爆炸层6内用于引爆爆炸层6。
88.在固定模具2内，基座1沿背管3的径向边缘周向设置有第一间隙环，第一间隙环用于分隔背管3和靶材4之间的距离。第一间隙环的高度为靶材4长度的3％，第一间隙环的宽度为3mm。
89.背管3的底部嵌入基座1内，背管3的顶部伸出固定模具2外。
90.背管3靠近顶部的外侧边缘沿径向周向设置有第二间隙环8，第二间隙环8的内壁和背管3的外壁接触连接，第二间隙环8的外壁和固定模具2的内壁接触连接。
91.第二间隙环8的顶部和固定模具2的顶部齐平，第二间隙环8靠近背管3外壁的一侧设置有凸起，凸起用于分隔背管3和靶材4之间的距离，凸起的宽度为3mm。
92.背管3内部设置有防侵蚀层，防侵蚀层的材质为黄油。爆炸层6的材质为炸药。爆炸层6的爆炸速度为2600m/s。引爆件7为雷管。
93.靶材4和固定模具2之间围设呈环形空腔，环形空腔内设置有填充层5，填充层5为金刚砂注水层，填充层5用于防止靶材4变形。基座1的弹性模量为180gpa，固定模具2的弹性模量为180gpa。
94.实施例4
95.本实施例和实施例1相比，不同的是第一间隙环的高度为靶材4长度的0.8％，其他条件和实施例1均相同。
96.实施例5
97.本实施例和实施例1相比，不同的是第一间隙环的高度为靶材4长度的3.2％，其他条件和实施例1均相同。
98.实施例6
99.本实施例和实施例1相比，不同的是凸起的宽度为0.9mm，其他条件和实施例1均相同。
100.实施例7
101.本实施例和实施例1相比，不同的是凸起的宽度为3.1mm，其他条件和实施例1均相同。
102.实施例8
103.本实施例和实施例1相比，不同的是爆炸层6的爆炸速度为2100m/s，其他条件和实施例1均相同。
104.实施例9
105.本实施例和实施例1相比，不同的是爆炸层6的爆炸速度为2700m/s，其他条件和实施例1均相同。
106.实施例10
107.本实施例和实施例1相比，不同的是基座1的弹性模量为140gpa，其他条件和实施例1均相同。
108.实施例11
109.本实施例和实施例1相比，不同的是固定模具2的弹性模量为140gpa，其他条件和实施例1均相同。
110.对比例1
111.本对比例和实施例1相比，不同的是没有设置爆炸层6和引爆件7，其他条件和实施例1均相同。
112.对上述实施例和对比例中的绑定装置绑定的旋转靶进行剪切强度的测试，其中剪切强度反映材料抵抗剪切滑动的能力，在数值上等于剪切面上的切向应力值，即剪切面上形成的剪切力与破坏面积之比，具体测试方法参考gb/t7124-2008；c型超声波检测焊接的结合率(焊合面积占焊接面积的比例)，结果如下表1所示：
113.表1实施例和对比例中旋转靶的测试结果
[0114][0115][0116]
从上述表1得知：
[0117]
实施例1中旋转靶的剪切强度和结合率优于实施例4、5中旋转靶的剪切强度和结合率，这是由于本技术中限定第一间隙环的高度为靶材4长度的1～3％，若高度过小，焊接结构不稳定，焊接位置容易偏离，会降低焊接结合率和结合强度；若高度过大，靶材初始受到阻力大，降低了初始碰撞速度，影响了剪切强度和结合率。
[0118]
实施例1中旋转靶的剪切强度和结合率优于实施例6、7中旋转靶的剪切强度和结合率，这是由于本技术中限定凸起的宽度为1～3mm，若间隙过小，靶材与背管初始碰撞速度大，容易造成过熔，降低结合强度，影响结合率；若间隙过大，靶材运动时受到的阻力增大，靶材与背管初始碰撞速度降低，使结合强度降低。。
[0119]
实施例1中旋转靶的剪切强度和结合率优于实施例8、9中旋转靶的剪切强度和结合率，这是由于本技术中限定爆炸层6的爆炸速度为2200～2600m/s，若爆速过小，靶材与背管初始碰撞速度低，使结合强度低；若爆速过大，靶材与背管初始碰撞速度大，容易造成过熔，降低结合强度，影响结合率。
[0120]
实施例1中旋转靶的剪切强度和结合率优于实施例10、11中旋转靶的剪切强度和结合率，这是由于本技术中限定基座1的弹性模量≥150gpa以及固定模具2的弹性模量≥150gpa，使得旋转靶整体结构稳定，受冲击也不易变形，且保证了整个焊接过程中靶材和背管之间的间隙和碰撞速度保持在一个稳定的水平。
[0121]
实施例1中绑定装置的稳定性优于对比例1中绑定装置的稳定性，这是由于本技术
通过基座1、旋转靶、引爆件7、爆炸层6和固定模具2的具体设置，可以轻易绑定旋转靶的靶材4和背管3，结构简单，成本低廉，且焊接效果优良，焊接结合率和结合强度完全满足靶材4的使用要求，安全性和稳定性俱佳。
[0122]
以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

技术特征：
1.一种旋转靶的绑定装置，其特征在于，所述绑定装置包括基座和固定模具，所述基座的顶部固定连接所述固定模具，所述固定模具内用于放置旋转靶；所述旋转靶包括由内向外依次套设的背管和靶材，所述背管为中空结构，所述中空结构内填充设置有爆炸层，所述背管的顶部设置有引爆件，所述引爆件的一端设置在所述爆炸层内用于引爆所述爆炸层。2.根据权利要求1所述的绑定装置，其特征在于，在所述固定模具内，所述基座沿所述背管的径向边缘周向设置有第一间隙环，所述第一间隙环用于分隔所述背管和所述靶材之间的距离；优选地，所述第一间隙环的高度为靶材长度的1～3％；优选地，所述第一间隙环的宽度为1～3mm。3.根据权利要求1或2所述的绑定装置，其特征在于，所述旋转靶和所述固定模具同轴设置。4.根据权利要求1-3任一项所述的绑定装置，其特征在于，所述背管的底部嵌入所述基座内；优选地，所述背管的顶部伸出所述固定模具外。5.根据权利要求1-4任一项所述的绑定装置，其特征在于，所述背管靠近顶部的外侧边缘沿径向周向设置有第二间隙环，所述第二间隙环的内壁和所述背管的外壁接触连接，所述第二间隙环的外壁和所述固定模具的内壁接触连接；优选地，所述第二间隙环的顶部和所述固定模具的顶部齐平；优选地，所述第二间隙环靠近所述背管外壁的一侧设置有凸起，所述凸起用于分隔所述背管和所述靶材之间的距离；优选地，所述凸起的宽度为1～3mm。6.根据权利要求1-5任一项所述的绑定装置，其特征在于，所述背管内部设置有防侵蚀层；优选地，所述防侵蚀层的材质为黄油。7.根据权利要求1-6任一项所述的绑定装置，其特征在于，所述爆炸层的材质为炸药；优选地，所述爆炸层的爆炸速度为2200～2600m/s。8.根据权利要求1-7任一项所述的绑定装置，其特征在于，所述引爆件为雷管。9.根据权利要求1-8任一项所述的绑定装置，其特征在于，所述靶材和所述固定模具之间围设呈环形空腔；优选地，所述环形空腔内设置有填充层；优选地，所述填充层为金刚砂注水层，所述填充层用于防止靶材变形。10.根据权利要求1-9任一项所述的绑定装置，其特征在于，所述基座的弹性模量≥150gpa；优选地，所述固定模具的弹性模量≥150gpa。

技术总结
本发明提供了一种旋转靶的绑定装置，所述绑定装置包括基座和固定模具，所述基座的顶部固定连接所述固定模具，所述固定模具内用于放置旋转靶；所述旋转靶包括由内向外依次套设的背管和靶材，所述背管为中空结构，所述中空结构内填充设置有爆炸层，所述背管的顶部设置有引爆件，所述引爆件的一端设置在所述爆炸层内用于引爆所述爆炸层。在本发明中，通过基座、旋转靶、引爆件、爆炸层和固定模具的具体设置，可以轻易绑定旋转靶的靶材和背管，结构简单，成本低廉，且焊接效果优良，焊接结合率和结合强度完全满足靶材的使用要求，安全性和稳定性俱佳，适合推广使用。适合推广使用。适合推广使用。


技术研发人员：姚力军 潘杰 陈石 廖培君 沈学峰
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2023.07.26
技术公布日：2023/9/7