一种硅片清洗机用在线加热器的制作方法

1.本发明涉及在线加热器技术领域，具体为一种硅片清洗机用在线加热器。


背景技术：

2.在实际应用中硅片清洗机一般采用rca清洗+物理清洗+干燥组合工艺方案，干燥采用离心甩干并结合腔内洁净空气强对流干燥、马兰戈尼干燥、热氮气干燥、异丙醇气相干燥等方法。
3.在线式电加热器适用于加热各种气体及液体介质，属于间接型加热器，即加热介质不和加热元件直接接触，介质流经换热管，间接和电热元件进行高性能的热交换，同时结合对加热器本体及出口温度的温度控制，终实现满足工艺的温度要求。
4.当在使用硅片清洗机进行工作时，由于在线加热器对流的口是单向，无法进行循环，导致沉积，不易结晶，并且现有的在线加热器在不使用时，随意的放置容易粘积灰尘，长期会导致在线加热器受损，降低使用寿命。


技术实现要素：

5.针对现有技术的不足，本发明提供了一种硅片清洗机用在线加热器，解决了由于在线加热器对流的口是单向，无法进行循环，导致沉积，不易结晶，并且现有的在线加热器在不使用时，随意的放置容易粘积灰尘，长期会导致在线加热器受损，降低使用寿命的问题。
6.为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种硅片清洗机用在线加热器，包括ptfe铁氟龙桶身，所述ptfe铁氟龙桶身的左端设置有锁紧螺母，所述锁紧螺母的左侧设置有铁氟龙头，所述铁氟龙头的左侧连通有两个连通口，所述ptfe铁氟龙桶身的外壁上侧左右端均设置有安装带，所述安装带的一端固定连接有橡胶带，所述ptfe铁氟龙桶身的外壁底部左右侧均固定连接有卡合带，所述卡合带的一端与安装带的一端固定连接，所述卡合带的内部设置有插接口，所述橡胶带的末端贯穿插接口，两个所述卡合带的底部分别固定连接在u型架的两端，所述u型架的底部固定连接有条形块，所述条形块的中下部设置有滑槽，所述滑槽上滑动连接有两个滑块，所述滑块的底部转动连接有支腿，所述滑块的顶部固定连接有锥型齿，所述条形块的中上部设置有腔体，所述腔体的内部设置有齿条，所述u型架的中部左右端均螺纹连接有螺栓，两个所述螺栓的末端贯穿条形块分别转动连接在齿条的顶部左右端。
7.优选的，所述铁氟龙头的左侧固定连接有紧固片。
8.优选的，所述橡胶带的底部固定连接有勾面贴，所述卡合带的外壁固定连接有毛面贴。
9.优选的，所述齿条和锥型齿啮合连接。
10.优选的，所述腔体的左右端贯穿条形块，所述腔体的底部与滑槽的顶部连通。
11.优选的，所述滑槽的底部贯穿条形块的底部。
12.优选的，所述ptfe铁氟龙桶身的右端连通有排废水口。
13.工作原理：通过在ptfe铁氟龙桶身的左侧依次安装锁紧螺母和连通口，使连通口处形成循环对流，使在线加热器对流的口为循环设计，避免出现沉积，导致产生不易结晶的问题，并且通过滑块带动支腿滑动进行调节，移动至合适位置时，再通过锥型齿和齿条啮合固定，进行定位，从而避免加热器随意放置粘然灰尘，避免长期后导致受损，提高了使用寿命。
14.本发明提供了一种硅片清洗机用在线加热器。具备以下有益效果：
15.1、本发明通过排废水口、ptfe铁氟龙桶身、锁紧螺母、铁氟龙头和连通口的相互配合下，使在线加热器对流的口为循环设计，避免出现沉积，导致产生不易结晶的问题。
16.2、本发明通过滑块、支腿、u型架、滑槽、锥型齿、齿条和螺栓配合协作，使滑块带动支腿滑动进行调节，移动至合适位置时，再通过锥型齿和齿条啮合固定，进行定位，从而避免加热器随意放置粘然灰尘，避免长期后导致受损，提高了使用寿命。
附图说明
17.图1为本发明的立体图；
18.图2为本发明的正视图；
19.图3为本发明的剖视图；
20.图4为本发明的立体局部结构拆分图；
21.图5为本发明的加热器的局部结构拆分图。
22.其中，1、排废水口；2、ptfe铁氟龙桶身；3、锁紧螺母；4、铁氟龙头；5、连通口；6、紧固片；7、腔体；8、安装带；9、卡合带；10、橡胶带；11、插接口；12、u型架；13、条形块；14、滑槽；15、滑块；16、支腿；17、锥型齿；18、齿条；19、螺栓；20、毛面贴；21、勾面贴。
具体实施方式
23.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
24.实施例：
25.请参阅附图1-附图5，本发明实施例提供一种硅片清洗机用在线加热器，包括ptfe铁氟龙桶身2，ptfe铁氟龙桶身2的左端设置有锁紧螺母3，锁紧螺母3的左侧设置有铁氟龙头4，铁氟龙头4的左侧连通有两个连通口5，ptfe铁氟龙桶身2的外壁上侧左右端均设置有安装带8，安装带8的一端固定连接有橡胶带10，ptfe铁氟龙桶身2的外壁底部左右侧均固定连接有卡合带9，卡合带9的一端与安装带8的一端固定连接，卡合带9的内部设置有插接口11，橡胶带10的末端贯穿插接口11，两个卡合带9的底部分别固定连接在u型架12的两端，u型架12的底部固定连接有条形块13，条形块13的中下部设置有滑槽14，滑槽14上滑动连接有两个滑块15，滑块15的底部转动连接有支腿16，滑块15的顶部固定连接有锥型齿17，条形块13的中上部设置有腔体7，腔体7的内部设置有齿条18，u型架12的中部左右端均螺纹连接有螺栓19，两个螺栓19的末端贯穿条形块13分别转动连接在齿条18的顶部左右端。
26.通过在ptfe铁氟龙桶身2的左侧依次安装锁紧螺母3和连通口5，使连通口5处形成循环对流，使在线加热器对流的口为循环设计，避免出现沉积，导致产生不易结晶的问题，并且通过滑块15带动支腿16滑动进行调节，移动至合适位置时，再通过锥型齿17和齿条18啮合固定，进行定位，从而避免加热器随意放置粘然灰尘，避免长期后导致受损，提高了使用寿命。
27.铁氟龙头4的左侧固定连接有紧固片6。
28.通过紧固片6对连通口5和铁氟龙头4进行加强固定，防止掉落。
29.橡胶带10的底部固定连接有勾面贴21，卡合带9的外壁固定连接有毛面贴20。
30.通过勾面贴21和毛面贴20相互之间进行粘贴，使安装带8和卡合带9对ptfe铁氟龙桶身2进行锁紧。
31.齿条18和锥型齿17啮合连接。
32.通过齿条18和锥型齿17啮合连接，使齿条18下降挤压锥型齿17进行挤压固定。
33.腔体7的左右端贯穿条形块13，腔体7的底部与滑槽14的顶部连通。
34.方便齿条18安装在腔体7的内部上下移动，配合腔体7的底部与滑槽14的顶部连通，方便齿条18和锥型齿17啮合连接。
35.滑槽14的底部贯穿条形块13的底部。
36.方便支腿16的转动支撑。
37.ptfe铁氟龙桶身2的右端连通有排废水口1。
38.排废水口1用于进行废水的排放处理。
39.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种硅片清洗机用在线加热器，包括ptfe铁氟龙桶身(2)，其特征在于：所述ptfe铁氟龙桶身(2)的左端设置有锁紧螺母(3)，所述锁紧螺母(3)的左侧设置有铁氟龙头(4)，所述铁氟龙头(4)的左侧连通有两个连通口(5)，所述ptfe铁氟龙桶身(2)的外壁上侧左右端均设置有安装带(8)，所述安装带(8)的一端固定连接有橡胶带(10)，所述ptfe铁氟龙桶身(2)的外壁底部左右侧均固定连接有卡合带(9)，所述卡合带(9)的一端与安装带(8)的一端固定连接，所述卡合带(9)的内部设置有插接口(11)，所述橡胶带(10)的末端贯穿插接口(11)，两个所述卡合带(9)的底部分别固定连接在u型架(12)的两端，所述u型架(12)的底部固定连接有条形块(13)，所述条形块(13)的中下部设置有滑槽(14)，所述滑槽(14)上滑动连接有两个滑块(15)，所述滑块(15)的底部转动连接有支腿(16)，所述滑块(15)的顶部固定连接有锥型齿(17)，所述条形块(13)的中上部设置有腔体(7)，所述腔体(7)的内部设置有齿条(18)，所述u型架(12)的中部左右端均螺纹连接有螺栓(19)，两个所述螺栓(19)的末端贯穿条形块(13)分别转动连接在齿条(18)的顶部左右端。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用在线加热器，其特征在于：所述铁氟龙头(4)的左侧固定连接有紧固片(6)。3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用在线加热器，其特征在于：所述橡胶带(10)的底部固定连接有勾面贴(21)，所述卡合带(9)的外壁固定连接有毛面贴(20)。4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用在线加热器，其特征在于：所述齿条(18)和锥型齿(17)啮合连接。5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用在线加热器，其特征在于：所述腔体(7)的左右端贯穿条形块(13)，所述腔体(7)的底部与滑槽(14)的顶部连通。6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用在线加热器，其特征在于：所述滑槽(14)的底部贯穿条形块(13)的底部。7.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用在线加热器，其特征在于：所述ptfe铁氟龙桶身(2)的右端连通有排废水口(1)。

技术总结
本发明涉及在线加热器技术领域，公开了一种硅片清洗机用在线加热器，包括PTFE铁氟龙桶身，所述PTFE铁氟龙桶身的左端设置有锁紧螺母，所述锁紧螺母的左侧设置有铁氟龙头，所述铁氟龙头的左侧连通有两个连通口，所述PTFE铁氟龙桶身的外壁上侧左右端均设置有安装带，所述安装带的一端固定连接有橡胶带。通过在PTFE铁氟龙桶身的左侧依次安装锁紧螺母和连通口，使连通口处形成循环对流，使在线加热器对流的口为循环设计，避免出现沉积，导致产生不易结晶的问题，并且通过滑块带动支腿滑动进行调节，移动至合适位置时，再通过锥型齿和齿条啮合固定，进行定位，从而避免加热器随意放置粘然灰尘，避免长期后导致受损，提高了使用寿命。提高了使用寿命。提高了使用寿命。


技术研发人员：黄平龙 石清泉
受保护的技术使用者：深圳市元泰丰光电有限公司
技术研发日：2023.06.06
技术公布日：2023/9/9