光纤母材的制造方法与流程

1.本公开涉及光纤母材的制造方法。


背景技术：

2.专利文献1中公开了一种光纤母材的制造方法，其中将包层用透明玻璃体的中心部分穿孔而形成中空部，在该中空部插入芯用玻璃体并加热一体化。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开昭63-222042号公报


技术实现要素：

6.发明所要解决的课题
7.在专利文献1所公开的光纤母材的制造方法中，在制作圆柱状的包层用透明玻璃体后，利用超声波穿孔机在包层用透明玻璃体的中心部分开孔，然后用sf6蚀刻孔的内部，由此形成了中空形状的包层用透明玻璃体。然而，当想要全部通过蚀刻形成中空部时，能够开孔的长度和内径尺寸受限，例如，存在难以得到大型的中空形状的透明玻璃体之类的问题。另外，由于只能制作小型的光纤母材，因此制造成本增加。因此，期望能够提高使用中空形状的透明玻璃体制作的光纤母材的制造自由度并且降低制造成本的制造方法。
8.本公开的目的在于提供能够提高光纤母材的制造自由度并且降低制造成本的光纤母材的制造方法。
9.用于解决课题的手段
10.本公开涉及光纤母材的制造方法。该制造方法包括：在通过供给到燃烧器的可燃性气体的燃烧得到的火焰内由玻璃原料气体生成玻璃微粒，并使玻璃微粒沉积在二氧化硅玻璃管的外周上以制作中空的多孔玻璃母材的玻璃微粒沉积工序；将棒插入到二氧化硅玻璃管内的插入工序；在插入工序之后，加热多孔玻璃母材以使其透明玻璃化，从而获取透明玻璃母材的透明玻璃化工序；在透明玻璃化工序之后，从二氧化硅玻璃管拔出棒的拔出工序；以及在拔出工序之后，通过蚀刻从透明玻璃母材除去二氧化硅玻璃管的除去工序。
11.发明的效果
12.根据本公开，能够提高光纤母材的制造自由度并且降低制造成本。
附图说明
13.[图1]图1是通过本公开的一个实施方式涉及的制造方法制造的光纤母材的示例性剖面图。
[0014]
[图2]图2是用于说明制作包层用透明玻璃部件的方法的示意图。
[0015]
[图3]图3是用于说明从包层用透明玻璃部件除去二氧化硅玻璃管的除去工序的示意图。
[0016]
[符号的说明]
[0017]
10
…
光纤母材
[0018]
11
…
芯部
[0019]
12
…
包层部
[0020]
12a
…
玻璃微粒沉积体(多孔玻璃母材)
[0021]
12b
…
玻璃烧结体
[0022]
12c
…
加热部分
[0023]
13
…
护套部
[0024]
20
…
燃烧器
[0025]
21
…
二氧化硅玻璃管
[0026]
22
…
棒
[0027]
22a
…
第1端
[0028]
22b
…
第2端
[0029]
25
…
感应炉车床
[0030]
26
…
加热器
[0031]g…
蚀刻气体
具体实施方式
[0032]
[本公开的实施方式的说明]
[0033]
首先，列出本公开的实施方式的内容并进行说明。本公开的一个实施方式涉及的光纤母材的制造方法包括：在通过供给到燃烧器的可燃性气体的燃烧得到的火焰内由玻璃原料气体生成玻璃微粒，并使玻璃微粒沉积在二氧化硅玻璃管的外周上以制作中空的多孔玻璃母材的玻璃微粒沉积工序；将棒插入到二氧化硅玻璃管内的插入工序；在插入工序之后，加热多孔玻璃母材以使其透明玻璃化，从而获取透明玻璃母材的透明玻璃化工序；在透明玻璃化工序之后，从二氧化硅玻璃管拔出棒的拔出工序；以及在拔出工序之后，通过蚀刻从透明玻璃母材除去二氧化硅玻璃管的除去工序。
[0034]
在该光纤母材的制造方法中，在二氧化硅玻璃管的外周上制作多孔玻璃母材并使其透明玻璃化，并且通过蚀刻除去二氧化硅玻璃管以得到中空形状的透明玻璃母材。在这种情况下，通过使用二氧化硅玻璃管，预先确保了透明玻璃母材中的中空部分的区域，而且最终除去的部分变少。因此，可以不限定透明玻璃母材中的中空部分的长度和内径尺寸，而在比较自由的制造条件下制作中空形状的透明玻璃母材。另外，在该光纤母材的制造方法中，在管内插入棒之后进行透明玻璃化工序。在这种情况下，即使管的壁厚变薄，也可以防止管在透明玻璃化时的烧结中缩径，从而容易地得到所期望的内径。因此，使二氧化硅玻璃管的壁厚变薄，可以在除去工序中迅速且可靠地除去管。由此，根据该光纤母材的制造方法，能够提高使用中空形状的透明玻璃体制作的光纤母材的制造自由度，并且能够制作大型的光纤母材，从而能够降低制造成本。需要说明的是，根据该制造方法，能够容易地得到大型的中空形状的透明玻璃母材，因此也能够得到使用了大型的中空形状的透明玻璃母材的光纤母材。
[0035]
作为一个实施方式，二氧化硅玻璃管的外径可以为5mm以上100mm以下，二氧化硅
玻璃管的壁厚可以为0.5mm以上5mm以下。通过使二氧化硅玻璃管的外径为5mm以上，可以充分地确保玻璃微粒的沉积区域，提高沉积速度。另一方面，通过使二氧化硅玻璃管的外径为100mm以下，可以抑制在沉积的多孔玻璃母材中产生烟炱体(soot)裂纹。另外，通过使二氧化硅玻璃管的壁厚为0.5mm以上，可以防止沉积玻璃微粒时的管的变形。另一方面，通过使二氧化硅玻璃管的壁厚为5mm以下，可以缩短利用蚀刻除去管的时间。
[0036]
作为一个实施方式，棒的外径可以为4mm以上，并且可以比二氧化硅玻璃管的内径细0.1mm以上。通过使棒的外径为4mm以上，在将透明玻璃母材用作包层用透明玻璃体的情况下，可以插入更大型的芯而制作光纤母材。另外，通过使棒的外径比二氧化硅玻璃管的内径细0.1mm以上，可以容易地进行棒向二氧化硅玻璃管的插入和棒从二氧化硅玻璃管的拔出。
[0037]
作为一个实施方式，棒可以由熔点为1500℃以上、且热膨胀系数大于5
×
10-7
/k的材料形成。通过使形成棒的材料的熔点为1500℃以上，棒可以充分地承受烧结时的温度，防止二氧化硅玻璃管的变形，从而得到具有所期望的内径的透明玻璃母材。另外，棒的热膨胀系数大于二氧化硅的热膨胀系数(5.0
×
10-7
/k)，在从烧结中加热了的透明玻璃母材的二氧化硅玻璃管拔出棒时，棒比二氧化硅玻璃管容易收缩，因此可以容易地进行棒的拔出。
[0038]
作为一个实施方式，棒可以由熔点为1500℃以上、且热膨胀系数大于1
×
10-6
/k的材料形成。在这种情况下，棒的热膨胀系数比二氧化硅的热膨胀系数(5.0
×
10-7
/k)更大，在从烧结中加热了的透明玻璃母材的二氧化硅玻璃管拔出棒时，棒比二氧化硅玻璃管更容易收缩，因此可以更容易地进行棒的拔出。
[0039]
作为一个实施方式，棒可以由选自氧化铝、碳、氮化硅以及碳化硅中的1种以上的材料形成。在这种情况下，棒可以充分地承受烧结时的温度，防止二氧化硅玻璃管的变形，从而可以得到具有所期望的内径的透明玻璃母材。另外，在从烧结中加热了的透明玻璃母材的二氧化硅玻璃管拔出棒时，棒比二氧化硅玻璃管容易收缩，因此容易进行棒的拔出。此外，这些材料可以廉价地获得，因此可以降低制造成本。
[0040]
作为一个实施方式，棒可以具有第1端和与第1端相反侧的第2端，可以呈现从第2端朝向第1端变细的锥形。棒的锥形可以从第2端朝向第1端，每1000mm外径在0.1mm以上5mm以下的范围内变小。通过使棒具有锥形，在烧结后从二氧化硅玻璃管拔出棒时，可以容易地进行拔出。需要说明的是，通过使棒从第2端朝向第1端每1000mm外径在0.1mm以上的范围内变小，可以得到充分的拔出性。另一方面，通过使棒从第2端朝向第1端每1000mm外径在5mm以下的范围内变小，可以将光纤母材(或者拉丝后的光纤)的芯部的直径(对应于透明玻璃母材的内径)与包层部的直径(对应于透明玻璃母材的外径)之比在纵向方向上的变化率容纳在容许范围内。
[0041]
作为一个实施方式，光纤母材的制造方法可以进一步包括：在除去工序中除去了二氧化硅玻璃管的透明玻璃母材的内孔内插入玻璃制的芯部并加热一体化的一体化工序。
[0042]
[本公开的实施方式的详细情况]
[0043]
以下，参照附图对本公开涉及的光纤母材的制造方法的具体例进行说明。本发明不限于这些示例，而是由权利要求书所表示，并且意图包含与权利要求书等同的含义和范围内的所有改变。在附图的说明中，对相同的要素标注相同的符号，并且省略重复的说明。
[0044]
参照图1，对通过本公开的一个实施方式涉及的制造方法制造的光纤母材的一个
例子进行说明。如图1所示，光纤母材10具备芯部11、包层部12以及护套部13。芯部11例如由二氧化硅系玻璃构成。在芯部11中例如添加锗(ge)和氯(cl)中的至少一种，以折射率高于包层部12的方式构成。在芯部11中也可以添加碱金属组。包层部12设置在芯部11的外侧，以包围芯部11的方式构成。护套部13设置在包层部12的外侧，以包围包层部12的方式构成。包层部12和护套部13例如由二氧化硅系玻璃构成，可以添加氟(f)。护套部13是作为第2包层部发挥功能的部分，以折射率稍高于包层部12、且折射率低于芯部11的方式构成。
[0045]
接下来，参照图2和图3对与光纤母材10的包层部12对应的透明玻璃母材的制作方法进行说明。图2是用于说明制作包层用的透明玻璃母材的方法的示意图。图3是接着图2用于说明从包层用的透明玻璃母材除去二氧化硅玻璃管的除去工序的示意图。需要说明的是，在通过图2和图3所示的制造方法制作的中空形状的包层用的透明玻璃母材的内侧插入芯用的透明玻璃母材，然后将芯用的透明玻璃母材和包层用的透明玻璃母材加热一体化。然后，在包层部12的外侧进一步形成护套部13，从而成为图1所示的光纤母材10。
[0046]
首先，对包层用的透明玻璃母材的制作方法进行说明。该包层用的透明玻璃母材例如可以使用ovd(outside vapor deposition：外部气相沉积)法来制作，如图2的(a)部所示，使用横向设置的燃烧器20制作玻璃微粒沉积体12a(多孔玻璃母材)(玻璃微粒沉积工序)。在该玻璃微粒沉积工序中，一边通过烟炱体形成(
スス
付
け
)，使玻璃微粒沉积在作为靶材发挥功能的二氧化硅玻璃管21的周围，一边使二氧化硅玻璃管21旋转和上下横移(traverse)，从而制作玻璃微粒沉积体12a。该工序中制作的玻璃微粒沉积体12a对应于包层部12。更具体而言，在通过供给到燃烧器20的可燃性气体的燃烧得到的火焰内由玻璃原料气体生成玻璃微粒，并使玻璃微粒沉积在二氧化硅玻璃管21的外周上以制作中空的玻璃微粒沉积体12a。玻璃微粒沉积体12a的平均体积密度可以为0.2g/cm3以上1.0g/cm3以下，作为一个例子，为0.3g/cm3。
[0047]
玻璃微粒沉积工序中使用的二氧化硅玻璃管21为二氧化硅玻璃(热膨胀系数的一个例子：5.0
×
10-7
/k)制的管。在二氧化硅玻璃管21所使用的二氧化硅玻璃中可以添加氯(cl)或氟(f)。另一方面，当包层部12中混入oh基团时，将光纤母材10拉丝而作为光纤时的光学特性(例如波长1.38μm处的光通信中的光学特性)降低，因此二氧化硅玻璃管21中所含的oh基团可以为1ppm以下。对二氧化硅玻璃管21的各种尺寸没有特别地限定，例如管外径可以为5mm以上100mm以下，管壁厚可以为0.5mm以上5mm以下。
[0048]
在该玻璃微粒沉积工序中，更具体而言，在通过供给到燃烧器20的可燃性气体(例如氢气)的燃烧得到的火焰内由玻璃原料气体生成玻璃微粒，并使玻璃微粒沉积而制作玻璃微粒沉积体12a。在燃烧器20中，除了可燃性气体以外，还导入了从气体供给系统(未图示)供给的玻璃原料气体(例如sicl4)和氧气(o2)。根据需要，也可以从燃烧器20添加用于添加氟的气体(cf4等)。在燃烧器20的火焰内，通过以下所示的玻璃原料气体的水解反应和燃烧反应生成玻璃微粒(sio2)，并且在火焰内生成的玻璃微粒从燃烧器20喷到玻璃微粒沉积体12a上。
[0049][0050]
需要说明的是，上述对利用ovd法制作玻璃微粒沉积体12a的方法进行了说明，但是也可以使用vad法(vapor-phase axial deposition：轴向气相沉积)法来制作玻璃微粒沉积体12a。
[0051]
接着，当烟炱体形成结束时，如图2的(b)部所示，在二氧化硅玻璃管21内插入棒22(插入工序)。棒22是从内侧支持二氧化硅玻璃管21的圆柱状的棒部件，具有前端侧的第1端22a和相反侧的第2端22b。棒22具有比二氧化硅玻璃管21的内径稍细的外径，例如外径为4mm以上。由此，可以从内侧可靠地支持二氧化硅玻璃管21。另一方面，由于棒22进行向二氧化硅玻璃管21的插入和拔出，因此其形成为比二氧化硅玻璃管21的内径细至少0.1mm。
[0052]
由于棒22用于之后的透明玻璃工序中的烧结，因此其由熔点为1500℃以上的材料形成。另外，考虑到烧结后的拔出性，棒22可以由热膨胀系数大于二氧化硅的热膨胀系数的一个例子即5
×
10-7
/k的材料形成，作为一个例子，可以由热膨胀系数大于1
×
10-6
/k的材料形成。这样的棒22例如由选自氧化铝(热膨胀系数：7.2
×
10-6
/k)、碳(在石墨的情况下，热膨胀系数：4.7
×
10-6
/k)、氮化硅(热膨胀系数：2.8
×
10-6
/k)、以及碳化硅(热膨胀系数：3.7
×
10-6
/k)中的1种以上的材料形成。作为一个例子，棒22为高纯度的石墨(graphite)制的棒。
[0053]
另外，棒22可以是从第2端22b朝向第1端22a具有相同外径的圆柱状，也可以是从第2端22b朝向第1端22a外径变细的锥形。在棒22为锥形的情况下，可以提高向二氧化硅玻璃管21的插入性和从二氧化硅玻璃管21的拔出性。在棒22为锥形的情况下，棒22可以是从第2端22b朝向第1端22a，每1000mm的棒长外径在0.1mm以上5mm以下的范围内变小的形状。需要说明的是，上述插入工序在玻璃微粒沉积工序之后进行，但是也可以在玻璃微粒沉积工序之前进行，在二氧化硅玻璃管21内插入有棒22的状态下使玻璃微粒沉积在二氧化硅玻璃管21的外周上。
[0054]
接着，当将棒22插入到二氧化硅玻璃管21时，如图2的(c)部所示，对沉积在二氧化硅玻璃管21的外周上的玻璃微粒沉积体12a进行加热以使其透明玻璃化，从而获取玻璃烧结体12b(透明玻璃化工序)。在透明玻璃化工序中，首先，将玻璃微粒沉积体12a从炉温1000℃升温至1200℃左右，并在氯和氦的混合气氛中进行脱水处理。作为一个例子，在炉温为1150℃的炉内导入10体积％的氯(流量为1slm)和氦的混合气体，在氯气氛下进行玻璃微粒沉积体12a的脱水处理。通过脱水处理，除去玻璃微粒沉积体12a中的oh基团。
[0055]
当脱水处理结束时，将炉温升温至1300℃，在炉内导入10体积％的四氟化硅(sif4)和氦的混合气体，在该气氛下添加氟。由此，在玻璃微粒沉积体12a中添加了氟。然后，将炉温进一步升温至1500℃，在氦气氛下实施烧结。作为一个例子，烧结时的氦的导入流量为10slm。通过这样的烧结，玻璃微粒沉积体12a被烧结而透明玻璃化，成为中空形状的玻璃烧结体12b。在该透明玻璃化工序中，也可以通过在使玻璃微粒沉积体12a旋转的同时向下方横移，利用加热器进行加热。需要说明的是，虽然玻璃微粒沉积体12a因透明玻璃化工序(特别是烧结工序)中的升温而缩径，但是由于棒22从内侧支持二氧化硅玻璃管21，因此防止了二氧化硅玻璃管21的缩径(玻璃微粒沉积体12a的内径的缩径)。
[0056]
接着，当透明玻璃化工序中的烧结结束时，如图2的(d)部所示，从二氧化硅玻璃管21拔出棒22(拔出工序)。此时，由于棒22具有锥形、或者具有比二氧化硅玻璃管21的内径小的外径、并且由热膨胀系数大于二氧化硅玻璃管21的材料形成等，因此容易从二氧化硅玻璃管21拔出棒22。通过该拔出工序，成为除去了棒22的玻璃烧结体12b。
[0057]
接着，当从二氧化硅玻璃管21拔出棒22时，如图3所示，通过蚀刻从玻璃烧结体12b除去二氧化硅玻璃管21的部分(除去工序)。在该除去工序中，首先，将内部固定有二氧化硅玻璃管21的玻璃烧结体12b安装在感应炉车床25上。感应炉车床25具有加热器26。然后，一
边通过加热器26在炉温2000℃左右加热安装在感应炉车床25上的玻璃烧结体12b，一边从图示的箭头所示的方向向二氧化硅玻璃管21的内部导入蚀刻气体g。导入的蚀刻气体g例如为氟气，作为一个例子，为六氟化硫(sf6)。也可以是其他的蚀刻气体。需要说明的是，蚀刻气体g的导入流量可以为1slm左右，可以一边使感应炉车床25沿着母材的纵向方向横移一边进行蚀刻。此时的横移速度例如为6mm/分钟左右。通过这样的蚀刻，逐渐除去玻璃烧结体12b当中的被加热了的加热部分12c的二氧化硅玻璃管21。由此，得到了与包层部12对应的包层用的透明玻璃母材。
[0058]
接着，在除去工序中除去了二氧化硅玻璃管21的透明玻璃母材的内孔内插入玻璃制的芯部(芯用的透明玻璃母材)并加热一体化(一体化工序)。在该一体化工序中，在包层用的透明玻璃母材的内侧插入另外制作的与芯部11对应的芯管。然后，将炉温升温至2000℃左右，使管内差压为-10kpa左右，并且以横移速度10mm/分钟实施塌缩。由此，形成了芯部11和包层部12一体化的芯包层。
[0059]
接着，当形成了芯包层时，将该母材拉伸至所期望的长度，并且通过vad法在与护套部13对应的部分进行烟炱体形成并烧结，得到了图1所示的光纤母材10。需要说明的是，进行塌缩的一体化工序和护套制作工序可以使用传统的方法，因此这里省略详细的说明。
[0060]
以上，在本实施方式涉及的光纤母材的制造方法中，在二氧化硅玻璃管21的外周上制作玻璃微粒沉积体12a并使其透明玻璃化，通过蚀刻除去二氧化硅玻璃管21而得到了中空形状的透明玻璃母材即玻璃烧结体12b。在这种情况下，通过使用二氧化硅玻璃管21，预先确保了玻璃烧结体12b中的中空部分的区域，而且最终除去的部分变少。因此，不限定玻璃烧结体12b中的中空部分的长度和内径尺寸，而可以在比较自由的制造条件下制作中空形状的玻璃烧结体12b。另外，在该光纤母材的制造方法中，在将棒22插入到二氧化硅玻璃管21内后进行透明玻璃化工序。在这种情况下，即使二氧化硅玻璃管21的壁厚变薄，也可以防止二氧化硅玻璃管21在透明玻璃化时的烧结中缩径，从而容易得到所期望的内径。因此，使二氧化硅玻璃管21的壁厚变薄，可以在除去工序中迅速且可靠地除去管。由此，根据该光纤母材的制造方法，可以提高使用中空形状的玻璃烧结体12b制作的光纤母材10的制造自由度，并且能够制作大型的光纤母材，因此可以降低制造成本。需要说明的是，根据该制造方法，能够容易地得到大型的中空形状的玻璃烧结体12b，因此也能够得到使用了大型的中空形状的玻璃烧结体12b的光纤母材10。
[0061]
以上，对本公开的实施方式进行了详细地说明，但是本发明不限于上述实施方式，可以应用于各种实施方式。
[0062]
实施例
[0063]
以下，列举实施例并对本发明进行更具体的说明。但是，本发明不限于以下的实施例。
[0064]
在本实施例中，制作上述实施方式涉及的中空的透明玻璃母材，并使用该透明玻璃母材制造光纤母材。首先，在玻璃微粒沉积工序中，准备外径为40mm且壁厚为1.5mm的二氧化硅玻璃管21，利用ovd法对该二氧化硅玻璃管21实施烟炱体形成。该形成了烟炱体的玻璃微粒沉积体12a的平均体积密度为0.3g/cm3，尺寸为外径250mm且长度1000mm。
[0065]
接着，在上述玻璃微粒沉积体12a的二氧化硅玻璃管21内插入外径36mm的高纯度石墨制的棒22，进行透明玻璃工序(脱水和烧结)。在透明玻璃化工序中，首先，在炉温1000
℃导入10体积％的氯(流量1slm)和氦的混合气体以进行脱水处理。然后，将炉温升温至1250℃，导入10体积％的sif4(流量1slm)和氦的混合气体以添加氟。然后，将炉温进一步升温至1500℃，在氦气氛下(流量10slm)实施烧结。
[0066]
接着，从二氧化硅玻璃管21拔出棒22，并利用蚀刻除去二氧化硅玻璃管21。作为设备，使用感应炉车床25。在利用该蚀刻的除去工序中，将炉温设为2000℃，在二氧化硅玻璃管21内以流量1slm导入sf6，一边使炉沿着母材的纵向方向以6mm/分钟横移，一边实施蚀刻。由此，可以得到具有所期望的内径的包层用的透明玻璃母材。需要说明的是，在不将棒22插入到二氧化硅玻璃管21的情况下进行透明玻璃化工序的比较例中，内径缩小至5mm以下，无法得到所期望的内径。
[0067]
接着，在具有所期望的内径的包层用的透明玻璃母材的内侧插入外径39mm的芯管，在炉温2000℃、管的内差压-10kpa、横移速度10mm/分钟的条件下实施塌缩。由此，得到具有芯部11和包层部12的芯包层。
[0068]
接着，将上述芯包层拉伸至外径40mm，利用vad法实施护套形成，从而得到光纤母材。
[0069]
由上述实施例可以明显地确认：根据使用二氧化硅玻璃管21和棒22的制造方法，能够比较自由地制造具有所期望的内径的透明玻璃母材，并且能够降低制造成本。另外，可以确认：使用这样的透明玻璃母材，能够在制约更少的制造状态下制造具有芯部11、包层部12以及护套部13的光纤母材。

技术特征：
1.一种光纤母材的制造方法，包括：在通过供给到燃烧器的可燃性气体的燃烧得到的火焰内由玻璃原料气体生成玻璃微粒，并使所述玻璃微粒沉积在二氧化硅玻璃管的外周上以制作中空的多孔玻璃母材的玻璃微粒沉积工序；将棒插入到所述二氧化硅玻璃管内的插入工序；在所述插入工序之后，加热所述多孔玻璃母材以使其透明玻璃化，从而获取透明玻璃母材的透明玻璃化工序；在所述透明玻璃化工序之后，从所述二氧化硅玻璃管拔出所述棒的拔出工序；以及在所述拔出工序之后，通过蚀刻从所述透明玻璃母材除去所述二氧化硅玻璃管的除去工序。2.根据权利要求1所述的光纤母材的制造方法，其中，所述二氧化硅玻璃管的外径为5mm以上100mm以下，所述二氧化硅玻璃管的壁厚为0.5mm以上5mm以下。3.根据权利要求1或权利要求2所述的光纤母材的制造方法，其中，所述棒的外径为4mm以上，并且比所述二氧化硅玻璃管的内径细0.1mm以上。4.根据权利要求1至权利要求3中任1项所述的光纤母材的制造方法，其中，所述棒由熔点为1500℃以上、且热膨胀系数大于5
×
10-7
/k的材料形成。5.根据权利要求1至权利要求4中任1项所述的光纤母材的制造方法，其中，所述棒由熔点为1500℃以上、且热膨胀系数大于1
×
10-6
/k的材料形成。6.根据权利要求1至权利要求5中任1项所述的光纤母材的制造方法，其中，所述棒由选自氧化铝、碳、氮化硅以及碳化硅中的1种以上的材料形成。7.根据权利要求1至权利要求6中任1项所述的光纤母材的制造方法，其中，所述棒具有第1端和与所述第1端相反侧的第2端，呈现从所述第2端朝向所述第1端变细的锥形，所述锥形从所述第2端朝向所述第1端，每1000mm外径在0.1mm以上5mm以下的范围内变小。8.根据权利要求1至权利要求7中任1项所述的光纤母材的制造方法，进一步包括：在所述除去工序中除去了所述二氧化硅玻璃管的所述透明玻璃母材的内孔内插入玻璃制的芯部并加热一体化的一体化工序。

技术总结
[课题]提供能够提高光纤母材的制造自由度的光纤母材的制造方法。[解决手段]一种光纤母材的制造方法，包括：在通过供给到燃烧器的可燃性气体的燃烧得到的火焰内由玻璃原料气体生成玻璃微粒，并使玻璃微粒沉积在二氧化硅玻璃管的外周上以制作中空的多孔玻璃母材的玻璃微粒沉积工序；将棒插入到二氧化硅玻璃管内的插入工序；在插入工序之后，加热多孔玻璃母材以使其透明玻璃化，从而获取透明玻璃母材的透明玻璃化工序；在透明玻璃化工序之后，从二氧化硅玻璃管拔出棒的拔出工序；以及在拔出工序之后，通过蚀刻从透明玻璃母材除去二氧化硅玻璃管的除去工序。硅玻璃管的除去工序。硅玻璃管的除去工序。


技术研发人员：斋藤崇广 井上裕基 森田圭省
受保护的技术使用者：住友电气工业株式会社
技术研发日：2023.03.07
技术公布日：2023/9/11