微机械陀螺仪及电子产品的制作方法

1.发明涉及陀螺仪技术领域，尤其涉及一种微机械陀螺仪及电子产品。


背景技术：

2.微机械陀螺仪是一种典型的角速度传感器，由于其体积小、功耗低成本低、可集成化等优势在消费电子市场有着非常广泛的应用。近年来随着微机械陀螺仪性能的逐步提升，在很多应用领域受到密切关注。
3.现有技术的微机械陀螺仪灵敏度高且结构简单，但是无法实现所有轴的差分检测，存在较大误差。
4.因此，有必要提供一种新的微机械陀螺仪以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种微机械陀螺仪及电子产品，能够实现差分检测，有效免疫加速度冲击以及正交误差的影响。
6.本发明的技术方案如下：提供一种微机械陀螺仪，所述微机械陀螺仪包括：驱动组件、检测组件、两个第一连接组件和两个第二连接组件。其中，所述驱动组件包括第一驱动件、第二驱动件和驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述第一驱动件和所述第二驱动件运动，以使所述第一驱动件沿第一方向运动时，所述第二驱动件能够沿与所述第一方向垂直的第二方向运动；所述检测组件包括沿第三方向布置的两个第一检测件、沿第四方向布置的两个第二检测件和检测装置，所述检测装置用于检测所述第一检测件和/或所述第二检测件沿第五方向的运动距离；两个所述第一连接组件沿所述第四方向分布，每个所述第一连接组件均连接于相邻布置的所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第一检测件，所述第一连接组件绕其圆心转动，以使所述第二检测件能够沿所述第三方向往复运动；两个所述第二连接组件沿所述第三方向分布，每个所述第二连接组件均连接于相邻布置的所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第二检测件，所述第二连接组件绕其圆心转动，以使所述第一检测件能够沿所述第四方向往复运动；所述第一方向与所述第三方向存在预设夹角，所述第五方向垂直于所述第一方向和所述第三方向。
7.在一种可能的设计中，沿所述第一方向，所述驱动装置控制两个所述第一驱动件反向运动；沿所述第二方向，所述驱动装置控制两个所述第二驱动件反向运动；当两个所述第一驱动件相互靠近时，两个所述第二驱动件相互远离；当两个所述第一驱动件相互远离时，两个所述第二驱动件相互靠近。
8.在一种可能的设计中，所述第一驱动件和所述第二驱动件均设置有安装孔，所述驱动装置位于所述安装孔内；沿所述第五方向，所述检测装置位于所述第一检测件的上方且与所述第一检测件之间具有间隙；和/或，沿所述第五方向，所述检测装置位于所述第二检测件的上方且与所述第二检测件之间具有间隙。
9.在一种可能的设计中，所述第一连接组件和所述第二连接组件均包括转动件、连
接梁和第一柔性梁，所述微机械陀螺仪还包括第一固定件；两个所述第一驱动件和两个所述第二驱动件均分别沿所述转动件对称分布，且两个所述第一驱动件和两个所述第二驱动件均分别通过所述连接梁与所述转动件连接，以驱动所述转动件相对于所述第一固定件转动；所述第一检测件和/或所述第二检测件通过所述第一柔性梁与所述转动件连接。
10.在一种可能的设计中，所述第一连接组件和所述第二连接组件均包括第二柔性梁，所述第二柔性梁的一端与所述转动件连接，另一端与所述第一固定件连接。
11.在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括第二固定件和导向梁，所述导向梁的一端与所述第二固定件连接，另一端与所述第一驱动件或所述第二驱动件连接；沿所述第一驱动件和/或所述第二驱动件的周向，多个所述第二固定件间隔设置，以限制所述第一驱动件和/或所述第二驱动件的运动。
12.在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括第三固定件和第三柔性梁，所述第三柔性梁的一端与所述第三固定件连接，另一端与所述第一检测件或所述第二检测件连接，以限制所述第一检测件或所述第二检测件的运动。
13.在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括中心连接件和第四柔性梁，沿所述第三方向，所述中心连接件的两端通过所述第四柔性梁分别与两个所述第一检测件连接；沿所述第四方向，所述中心连接件的两端通过所述第四柔性梁分别与两个所述第二检测件连接。
14.在一种可能的设计中，所述驱动装置与所述第一驱动件和/或所述第二驱动件之间形成有驱动电容；所述检测装置与所述第一检测件和/或第二检测件之间形成有检测电容。
15.本发明采用的另一个技术方案是：提供一种电子产品，所述电子产品包括：
16.本体；
17.微机械陀螺仪，安装于所述本体，所述微机械陀螺仪为以上所述的微机械陀螺仪。
18.本发明的有益效果在于：第一检测件和第二检测件分别沿第三方向和第四方向成对设置，第一检测件能够用于施加在检测微机械陀螺仪的第三方向上的角速度大小，第二检测件能够用于施加在检测微机械陀螺仪的第四方向上的角速度大小，实现分轴检测，降低检测误差，且两个第一检测件和两个第二检测件分别对称设置，能够增加第一检测件和第二检测件运动的平稳性，便于实现差分检测，有效免疫加速度冲击以及正交误差的影响。
19.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本发明。
附图说明
20.图1为本发明所提供的微机械陀螺仪在一种实施例中的结构示意图；
21.图2为图1中a部分的放大图；
22.图3为图1中b部分的放大图；
23.图4为图1的侧视图。
24.附图标记：
25.1-驱动组件；
26.11-第一驱动件；
27.111-安装孔；
28.12-第二驱动件；
29.2-检测组件；
30.21-第一检测件；
31.22-第二检测件；
32.23-检测装置；
33.231-检测电容；
34.3-第一连接组件；
35.31-转动件；
36.32-连接梁；
37.33-第一柔性梁；
38.34-第二柔性梁；
39.4-第二连接组件；
40.5-第一固定件；
41.6-第二固定件；
42.61-导向梁；
43.7-第三固定件；
44.71-第三柔性梁；
45.8-中心连接件；
46.81-第四柔性梁；
47.l-第一方向；
48.k-第二方向；
49.x-第三方向；
50.y-第四方向；
51.z-第五方向。
52.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
具体实施方式
53.下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。
54.在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
55.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
56.需要注意的是，本技术实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本技术实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另
一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”时。
57.本发明的实施例提供一种微机械陀螺仪，如图1所示，该微机械陀螺仪包括：驱动组件1、检测组件2、两个第一连接组件3和两个第二连接组件4。其中，所述驱动组件1包括第一驱动件11、第二驱动件12和驱动装置，驱动装置用于驱动第一驱动件11和第二驱动件12运动，以使第一驱动件11沿第一方向l运动时，第二驱动件12能够沿与第一方向垂直的第二方向k运动；检测组件2包括沿第三方向x布置的两个第一检测件21、沿第四方向y布置的两个第二检测件22和检测装置23，检测装置用于检测第一检测件21和/或第二检测件22沿第五方向z的运动距离；两个第一连接组件3沿第四方向y分布，每个第一连接组件3均连接于相邻布置的第一驱动件11、第二驱动件12和第一检测件21，第一连接组件3绕其圆心转动，以使第二检测件22能够沿第三方向x往复运动；两个第二连接组件4沿第三方向x分布，每个第二连接组件4均连接于相邻布置的第一驱动件11、第二驱动件12和第二检测件22，第二连接组件4绕其圆心转动，以使第一检测件21能够沿第四方向y往复运动。
58.本发明中，该微机械陀螺仪为双轴微机械陀螺仪，即用于检测第三方向x和第四方向y上角速度的大小，以下任一实施例的第一方向l与第三方向x均存在45
°
的预设夹角，此时，第三方向x为0
°
方向，第一方向l为45
°
方向，第四方向y为90
°
方向，第二方向k为135
°
方向，且第五方向z垂直于第一方向l和第三方向x所在的平面。
59.在本实施例中，微机械陀螺仪存在驱动模态和检测模态，如图1的实施例所示，当微机械陀螺仪处于驱动模态时，驱动装置能够控制第一驱动件11沿第一方向运动l的同时，第二驱动件12沿第二方向k运动，从而通过第二连接组件4带动第一检测件21沿第四方向y往复运动，或者通过第一连接组件3带动第二检测件22沿第三方向x往复运动。当微机械陀螺仪收到外界施加的角速度时，根据哥氏原理，第一检测件21或第二检测件22将会受到哥氏力的作用，从而产生在第五方向z上的位移，此时，检测装置23能够检测第一检测件21或第二检测件22的移动距离，并将检测结果传输至计算系统(图中未示出)，计算系统根据接收的数据计算出施加在微机械陀螺仪上的角速度的大小。
60.其中，第一检测件21和第二检测件22分别沿第三方向x和第四方向y成对设置，第一检测件21能够用于检测施加在微机械陀螺仪的第三方向x上的角速度大小，第二检测件22能够用于施加在检测微机械陀螺仪的第四方向y上的角速度大小，实现分轴检测，降低检测误差，且两个第一检测件21和两个第二检测件22分别对称设置，能够增加第一检测件21和第二检测件22运动的平稳性，便于实现差分检测，有效免疫加速度冲击以及正交误差的影响。
61.具体地，第一驱动件11和第二驱动件12分别沿第一方向l和第二方向k成对设置，当微机械陀螺仪处于驱动模态时，驱动装置能够控制两个第一驱动件11沿第一方向l反向运动的同时，两个第二驱动件12沿第二方向k反向运动。
62.当第一驱动件11和第二驱动件12分别沿图1中实施例所示的方向运动时，能够带动第一连接组件3和第二连接组件4沿图1中所示的方向绕其圆心转动，从而使与第一连接组件3和第二连接组件4相连接的第二检测件22和第一检测件21沿图1中所示的方向运动，此时，两个第一检测件21能够沿第四方向y反向运动，两个第二检测件22能够沿第三方向x反向运动，实现差分检测，且第三方向x和第四方向y上的检测模态互不干扰，能够降低检测误差。
63.其中，当两个第一驱动件11沿第一方向l相互靠近时，两个第二驱动件12沿第二方向k相互远离，当两个第一驱动件11沿第一方向l相互远离时，两个第二驱动件12沿第二方向k相互靠近，以便实现第一检测件21和第二检测件22的往复运动，且两个第一驱动件11和两个第二驱动件12分别对称设置，能够实现差分驱动，有效提高微机械陀螺仪的驱动稳定性。
64.在一种具体的实施例中，第一连接组件3和第二连接组件4均包括转动件31、连接梁32和第一柔性梁33，微机械陀螺仪还包括第一固定件5。
65.两个第一驱动件11和两个第二驱动件12均分别沿转动件31对称分布，且两个第一驱动件11和两个第二驱动件12均分别通过连接梁32与转动件31连接，以驱动转动件31相对于第一固定件5转动，第一检测件21和/或第二检测件22通过第一柔性梁33与转动件31连接。
66.以第一连接组件3为例.如图2所示，第一驱动件11和第二驱动件12沿第一连接组件3对称设置，且分别通过连接梁32与转动件31连接，当微机械陀螺仪处于驱动模态时，第一驱动件11沿第一方向l运动且第二驱动件12沿第二方向k运动，能够通过连接梁32带动转动件31绕第一固定件5转动，从而使与转动件31连接的第二检测件22能够沿第三方向x往复运动。在此过程中，第一柔性梁33的两端分别连接转动件31和第二检测件22，从而限制第二检测件22沿第三方向x的位移；当微机械陀螺仪处于检测模态时，第二检测件22沿第五方向z运动，此时，第一柔性梁33能够限制第二检测件22沿第五方向z的位移。同理，第一柔性梁33还能够限制第一检测件21沿第四方向y的位移和沿第五方向z的位移。连接梁32和第一柔性梁33在运动过程中，均能够发生变形，避免了在较大的作用力下发生损坏，从而延长了连接梁32和第一柔性梁33的使用寿命，增加了第一驱动件11、第二驱动件12、第一检测件21和第二检测件22的运动稳定性，进而增加了微机械陀螺仪的使用寿命和工作的稳定性。
67.其中，第一连接组件3和第二连接组件4均包括第二柔性梁34，如图2所示，第二柔性梁34的一端与转动件31连接，另一端与第一固定件5连接。第二柔性梁34能够限制转动件31的转动角度，增加转动件31的运动稳定性，从而限制第一驱动件11沿第一方向l的位移以及第二驱动件12沿第二方向k的位移，进一步提高驱动模态的稳定性。
68.本实施例中，当微机械陀螺仪仅存在驱动模态时，第一驱动件11和第二驱动件12通过第一连接组件3和第二连接组件4带动第一检测件21沿第四方向y往复运动、第二检测件22沿第三方向x往复运动，此时，第一检测件21和第二检测件22在第五方向z轴上处于无位移状态，防止计算出错误的角速度；当微机械陀螺仪的检测模态被激活时，第一检测件21和第二检测件22沿第五方向z运动.此时，第一驱动件11和第二驱动件12处于无位移状态，从而降低了检测结果的误差。通过设置第一连接组件3和第二连接组件4能够避免微机械陀螺仪的驱动模态与检测模态互相干扰，提高驱动稳定性的同时，能够减小测量误差。
69.在一种具体的实施例中，如图3所示，微机械陀螺仪还包括第二固定件6和导向梁61，导向梁61的一端与第二固定件6连接，另一端与第一驱动件11或第二驱动件12连接，沿第一驱动件11和/或第二驱动件12的周向，多个第二固定件6间隔设置，以限制第一驱动件11和/或第二驱动件12的运动。
70.以第一驱动件11为例，导向梁61的一端与第二固定点6固定连接，另一端与第一驱动件11固定连接，能够限制第一驱动件11沿第一方向l的位移，提高第一驱动件11的运动稳
定性；同理，导向梁61还能够限制第二驱动件12沿第二方向k的位移，提高第二驱动件12的运动稳定性。
71.本发明对第二固定点6的数量和位置不做特殊限定，如图3的实施例所示，当沿第一驱动件11和/或第二驱动件12的周向，设置有多个第二固定点6时，能够进一步限制第一驱动件11和第二驱动件12的运动方向，避免第一驱动件11沿第二方向k产生位移，或者避免第二驱动件12沿第一方向l产生位移。
72.在一种具体的实施例中，如图2所示，微机械陀螺仪还包括第三固定件7和第三柔性梁71，第三柔性梁71的一端与第三固定件7连接，另一端与第一检测件21或第二检测件22连接，以限制第一检测件21或第二检测件22的运动。
73.以第二检测件22为例，当微机械陀螺仪处于驱动模态时，第二检测件22沿第三方向x往复运动，第三柔性梁71能够限制第二检测件22在第三方向x上的位移；当微机械陀螺仪处于检测模态时，第二检测件22沿第五方向z运动，第三柔性梁71能够限制第二检测件22在第五方向z上的位移；同理，第三柔性梁71也能够限制第一检测件21在第四方向y上的位移和第五方向z上的位移，提高第一检测件21和第二检测件22的运动稳定性。
74.在一种具体的实施例中，如图1所示，微机械陀螺仪还包括中心连接件8和第四柔性梁81，沿第三方向x，中心连接件8的两端通过第四柔性梁81分别与两个第一检测件21连接，沿第四方向y，中心连接件8的两端通过第四柔性梁81分别与两个第二检测件22连接。
75.沿第三方向x设置的两个第一检测件21和沿第四方向y设置的两个第二检测件22通过中心连接件8进行耦合，使得该微机械陀螺仪的在第三方向x和第四方向y上的检测模态均能实现反相振动，结构总力矩平衡，有效实现差分检测，从而有效免疫加速度冲击和正交误差对检测结果的影响，能够提高微机械陀螺仪的检测精度和灵敏度。
76.其中，本技术对中心连接件8的具体形状不做限制，可以为图1实施例中所示的十字结构，也可以为矩形结构或菱形结构等，只需能够将两个第一检测件21和两个第二检测件22的检测模态进行耦合即可。具体地，如图1所示，第一驱动件11和第二驱动件12均设置有安装孔111，驱动装置位于安装孔111内，如图4所示，沿第五方向z，检测装置23位于第一检测件21的上方且与第一检测件21之间具有间隙，和/或，沿第五方向z，检测装置23位于第二检测件22的上方，且与第二检测件22之间具有间隙。
77.本实施例中，驱动装置用于驱动第一驱动件11和第二驱动件12的运动，检测装置23用于检测第一检测件21和第二检测件22沿第五方向运动的距离。其中，如图1的实施例所示，驱动装置安装于安装孔111内，简化了安装结构，接能够节省微机陀螺仪的整体体积，便于轻量化；如图4所示，检测装置23安装于微机械陀螺仪的驱动面外，位于第一检测件21沿第五方向z的上方，且与第一检测件21之间具有间隙，或者位于第二检测件22的上方，且与第二检测件22之间具有间隙，使得检测装置23的布置面积能够增大，有效提高了微机械陀螺仪检测的机电耦合系数，从而提高微机械陀螺仪的检测灵敏度和信噪比，进一步减小检测误差。
78.具体地，驱动装置与第一驱动件11和/或第二驱动件12之间形成有驱动电容，当微机械陀螺仪处于驱动模态时，驱动装置的正极结构和负极结构之间的距离发生变化，从而使得第一驱动件11能够沿第一方向l运动、第二驱动件12能够沿第二方向k运动。如图4的实施例所示，检测装置23与第一检测件21和/或第二检测件22之间形成有检测电容231，当微
机械陀螺仪处于检测模态时，第一检测件21和第二检测件22受到哥氏力的作用，沿第五方向z产生位移，使得检测电容231的正极结构和负极结构之间的距离发生变化，以检测第一检测件21和/或第二检测件22的运动距离，检测电容231将电容变化值传递至计算系统，计算系统通过接收到的数值计算出施加于微机械陀螺仪上的角速度的大小。驱动电容和检测电容231便于对第一驱动件11、第二驱动件12、第一检测件21和第二检测件22的运动进行控制，同时能够简化驱动装置和检测装置23的结构，进而简化微机械陀螺仪的结构，节省微机械陀螺仪的安装空间。
79.本发明还提供了一种电子产品，该电子产品包括本体和以上任一实施例中所述的微机械陀螺仪，该微机械陀螺仪安装于本体，能够用于计算该电子产品的角速度，以便于对电子产品进行控制。由于该微机械陀螺仪具有上述技术效果，包括该微机械陀螺仪的电子产品也应具有相应的技术效果，此处不再赘述。
80.以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪包括：驱动组件(1)，所述驱动组件(1)包括第一驱动件(11)、第二驱动件(12)和驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述第一驱动件(11)和所述第二驱动件(12)运动，以使所述第一驱动件(11)沿第一方向(l)运动时，所述第二驱动件(12)能够沿与所述第一方向(l)垂直的第二方向(k)运动；检测组件(2)，所述检测组件(2)包括沿第三方向(x)布置的两个第一检测件(21)、沿第四方向(y)布置的两个第二检测件(22)和检测装置(23)，所述检测装置(23)用于检测所述第一检测件(21)和/或所述第二检测件(22)沿第五方向(z)的运动距离；两个第一连接组件(3)，两个所述第一连接组件(3)沿所述第四方向(y)分布，每个所述第一连接组件(3)均连接于相邻布置的所述第一驱动件(11)、所述第二驱动件(12)和所述第一检测件(21)，所述第一连接组件(3)绕其圆心转动，以使所述第二检测件(22)能够沿所述第三方向(x)往复运动；两个第二连接组件(4)，两个所述第二连接组件(4)沿所述第三方向(x)分布，每个所述第二连接组件(4)均连接于相邻布置的所述第一驱动件(11)、所述第二驱动件(12)和所述第二检测件(22)，所述第二连接组件(4)绕其圆心转动，以使所述第一检测件(21)能够沿所述第四方向(y)往复运动；其中，所述第一方向(l)与所述第三方向(x)存在预设夹角，所述第五方向(z)垂直于所述第一方向(l)和所述第三方向(x)。2.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于，沿所述第一方向(l)，所述驱动装置控制两个所述第一驱动件(11)反向运动；沿所述第二方向(k)，所述驱动装置控制两个所述第二驱动件(12)反向运动；当两个所述第一驱动件(11)相互靠近时，两个所述第二驱动件(12)相互远离；当两个所述第一驱动件(11)相互远离时，两个所述第二驱动件(12)相互靠近。3.根据权利要求2所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第一驱动件(11)和所述第二驱动件(12)均设置有安装孔(111)，所述驱动装置位于所述安装孔(111)内；沿所述第五方向(z)，所述检测装置(23)位于所述第一检测件(21)的上方且与所述第一检测件(21)之间具有间隙；和/或，沿所述第五方向(z)，所述检测装置(23)位于所述第二检测件(22)的上方且与所述第二检测件(22)之间具有间隙。4.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第一连接组件(3)和所述第二连接组件(4)均包括转动件(31)、连接梁(32)和第一柔性梁(33)，所述微机械陀螺仪还包括第一固定件(5)；两个所述第一驱动件(11)和两个所述第二驱动件(12)均分别沿所述转动件(31)对称分布，且两个所述第一驱动件(11)和两个所述第二驱动件(12)均分别通过所述连接梁(32)与所述转动件(31)连接，以驱动所述转动件(31)相对于所述第一固定件(5)转动；所述第一检测件(21)和/或所述第二检测件(22)通过所述第一柔性梁(33)与所述转动件(31)连接。5.根据权利要求4所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第一连接组件(3)和所述第二连接组件(4)均包括第二柔性梁(34)，所述第二柔性梁(34)的一端与所述转动件(31)连
接，另一端与所述第一固定件(5)连接。6.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪还包括第二固定件(6)和导向梁(61)，所述导向梁(61)的一端与所述第二固定件(6)连接，另一端与所述第一驱动件(11)或所述第二驱动件(12)连接；沿所述第一驱动件(11)和/或所述第二驱动件(12)的周向，多个所述第二固定件(6)间隔设置，以限制所述第一驱动件(11)和/或所述第二驱动件(12)的运动。7.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪还包括第三固定件(7)和第三柔性梁(71)，所述第三柔性梁(71)的一端与所述第三固定件(7)连接，另一端与所述第一检测件(21)或所述第二检测件(22)连接，以限制所述第一检测件(21)或所述第二检测件(22)的运动。8.根据权利要求1所述微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪还包括中心连接件(8)和第四柔性梁(81)；沿所述第三方向(x)，所述中心连接件(8)的两端通过所述第四柔性梁(81)分别与两个所述第一检测件(21)连接；沿所述第四方向(y)，所述中心连接件(8)的两端通过所述第四柔性梁(81)分别与两个所述第二检测件(22)连接。9.根据权利要求3所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述驱动装置与所述第一驱动件(11)和/或所述第二驱动件(12)之间形成有驱动电容；所述检测装置(23)与所述第一检测件(21)和/或第二检测件(22)之间形成有检测电容(231)。10.一种电子产品，其特征在于，所述电子产品包括：本体；微机械陀螺仪，安装于所述本体，所述微机械陀螺仪为权利要求1-9任一项所述的微机械陀螺仪。

技术总结
本发明提供了一种微机械陀螺仪及电子产品，该微机械陀螺仪包括驱动组件、检测组件、两个第一连接组件和两个第二连接组件。其中，驱动组件包括第一驱动件、第二驱动件和驱动装置，驱动装置用于驱动第一驱动件和第二驱动件运动；检测组件包括沿第三方向布置的两个第一检测件、沿第四方向布置的两个第二检测件和检测装置，检测装置用于检测第一检测件和/或第二检测件沿第五方向的运动距离；第一连接组件和第二连接组件分别绕其圆心转动，以使第二检测件能够沿第三方向往复运动、第一检测件能够沿第四方向往复运动。本发明的微机械陀螺仪及电子产品可以实现差分检测，有效免疫加速度冲击以及正交误差的影响。击以及正交误差的影响。击以及正交误差的影响。


技术研发人员：马昭 占瞻 阚枭 杨珊 严世涛 彭宏韬 李杨 黎家健 陈秋玉 洪燕
受保护的技术使用者：瑞声声学科技（深圳）有限公司
技术研发日：2022.03.04
技术公布日：2023/9/12