一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构的制作方法

1.本实用新型属于碳化硅晶体生长炉技术领域，具体涉及一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构。


背景技术：

2.碳化硅晶体生长炉的加热方式采用固定的高频线圈，存在以下不足：无法根据坩埚的高度调节炉内与坩埚高度匹配的温度梯度，另一方面，不便于炉内坩埚的取放以及物料的取放，为此，我们提出了一种一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在上述的缺点，而提出的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构。该碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构可调节炉内轴向温度梯度，另外，该升降机构可将炉体进行提升，使坩埚外露，方便坩埚的取放，可提高工作效率。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
5.设计一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，包括轨道架，所述轨道架固定在操作台上，所述轨道架设置在炉体的一侧，并高于炉体，所述轨道架内设有适配的移动架，所述移动架的两侧设有滑轮，所述轨道架的两侧设有与限位滑轮适配的滑槽，所述滑轮滑动连接在滑槽内，所述轨道架上设有用于驱动移动架升降的直线驱动机构；所述移动架的朝向炉体的一侧固定连接有支架立板，所述支架立板的两端固定设有半圆结构的上叉臂和下叉臂，所述上叉臂和下叉臂之间固定有加热高频线圈，所述加热高频线圈套设在炉体的外侧，所述炉体的外部固定有贯穿在上叉臂和下叉臂的支撑杆，所述支撑杆与上叉臂和下叉臂之间滑动连接；所述支撑杆的下部一侧设有限位槽，所述下叉臂的侧部对应限位槽的位置设有销轴，所述销轴与限位槽重合时，销轴可插入至限位槽内，使所述炉体随下叉臂一起向上移动。
6.进一步的，所述轨道架的两侧固定设有三脚架结构的加强支架。
7.进一步的，所述直线驱动机构包括横置在轨道架底部的减速电机，所述减速电机的输出端通过联轴器连接有丝杆，所述丝杆贯穿设置在移动架内，所述移动架上固定设有两个移动块，所述丝杆贯穿移动块，并与移动块螺纹连接。
8.进一步的，所述上叉臂与支撑杆之间设有轴套，所述轴套套设在支撑杆上，并固定设置在上叉臂上。
9.进一步的，所述炉体在直线驱动机构的驱动下，最大提升高度大于坩埚的总高度。
10.本实用新型提出的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，有益效果在于：本实用新型的碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构可调节加热高频线圈的高度，可根据不同高度的坩埚调节出炉内轴向最佳温度梯度，另外，该升降机构可将炉体进行提升，使坩埚外露，方便坩埚的取放，以及坩埚的上料和下料，可提高工作效率。
附图说明
11.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
12.图1是本实用新型装配在操作台上的示意图；
13.图2是本实用新型与炉体装配的立体结构示意图；
14.图3是本实用新型的后视结构示意图；
15.图4是本实用新型提升炉体的示意图；
16.图中标记为：1、轨道架；11、滑槽；12、加强支架；2、减速电机；3、移动架；31、滑轮；32、移动块；4、丝杆；5、炉体；51、支撑杆；52、限位槽；53、轴套；6、加热高频线圈；7、支架立板；71、上叉臂；72、下叉臂；8、销轴；9、坩埚。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
19.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
20.现结合说明书附图，详细说明本实用新型的结构特点。
21.参见图1-4，一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，包括轨道架1，轨道架1固定在操作台上，轨道架1设置在炉体5的一侧，并高于炉体5，轨道架1高过炉体5是为了能够足够高的提升炉体5，为了提供轨道架1的稳定性，在轨道架1的两侧固定设有三脚架结构的加强支架12，轨道架1内设有适配的移动架3，移动架3的两侧设有滑轮31，为了提供足够强的支撑性和稳定性，移动架3一侧的滑轮31数量至少设置两个，轨道架1的两侧设有与限位滑轮31适配的滑槽11，滑轮31滑动连接在滑槽11内，在滑轮31与滑槽11配合下，可实现轨道架1稳定在轨道架1上下移动，轨道架1上设有用于驱动移动架3升降的直线驱动机构，该直线驱动机构包括横置在轨道架1底部的减速电机2，减速电机2的输出端通过联轴器连接有丝杆4，丝杆4的另一端通过轴承固定在轨道架1的顶部，丝杆4贯穿设置在移动架3内，移动架3上固定设有两个移动块32，丝杆4贯穿移动块32，并与移动块32螺纹连接，通过减速电机2驱动丝杆4正向或反向转动，从而驱动轨道架1上下移动。
22.移动架3的朝向炉体5的一侧固定连接有支架立板7，支架立板7的两端固定设有半
圆结构的上叉臂71和下叉臂72，上叉臂71和下叉臂72之间固定有加热高频线圈6，加热高频线圈6套设在炉体5的外侧，炉体5的外部固定有贯穿在上叉臂71和下叉臂72的支撑杆51，支撑杆51与上叉臂71和下叉臂72之间滑动连接，为了使支撑杆51与上叉臂71和下叉臂72更好的滑动，上叉臂71与支撑杆51之间设有轴套53，轴套53套设在支撑杆51上，并固定设置在上叉臂71上。支架立板7、上叉臂71、下叉臂72和加热高频线圈6形成一个整体，在直线驱动机构的驱动下，可调节对炉体5的加热高度，可根据不同高度的坩埚调节出炉内轴向最佳温度梯度。
23.支撑杆51的下部一侧设有限位槽52，下叉臂72的侧部对应限位槽52的位置设有销轴8，销轴8与限位槽52重合时，销轴8可插入至限位槽52内，使炉体5随下叉臂72一起向上移动。在需要在炉体5内放置坩埚9时，需要将下叉臂72降低至最低位置，此时，销轴8与限位槽52重合，将销轴8插入至限位槽52内，使下叉臂72与支撑杆51之间形成固定的连接，通过直线驱动机构可将炉体5升高，使内部的坩埚9显露，为了使坩埚9更加方便的取放，炉体5在直线驱动机构的驱动下，最大提升高度大于坩埚9的总高度，如此一来，通过一起升降炉体的方式，使坩埚外露，方便坩埚的取放，以及坩埚的上料和下料，可提高工作效率。
24.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，包括轨道架(1)，所述轨道架(1)固定在操作台上，其特征在于，所述轨道架(1)设置在炉体(5)的一侧，并高于炉体(5)，所述轨道架(1)内设有适配的移动架(3)，所述移动架(3)的两侧设有滑轮(31)，所述轨道架(1)的两侧设有与限位滑轮(31)适配的滑槽(11)，所述滑轮(31)滑动连接在滑槽(11)内，所述轨道架(1)上设有用于驱动移动架(3)升降的直线驱动机构；所述移动架(3)的朝向炉体(5)的一侧固定连接有支架立板(7)，所述支架立板(7)的两端固定设有半圆结构的上叉臂(71)和下叉臂(72)，所述上叉臂(71)和下叉臂(72)之间固定有加热高频线圈(6)，所述加热高频线圈(6)套设在炉体(5)的外侧，所述炉体(5)的外部固定有贯穿在上叉臂(71)和下叉臂(72)的支撑杆(51)，所述支撑杆(51)与上叉臂(71)和下叉臂(72)之间滑动连接；所述支撑杆(51)的下部一侧设有限位槽(52)，所述下叉臂(72)的侧部对应限位槽(52)的位置设有销轴(8)，所述销轴(8)与限位槽(52)重合时，销轴(8)可插入至限位槽(52)内，使所述炉体(5)随下叉臂(72)一起向上移动。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，其特征在于，所述轨道架(1)的两侧固定设有三脚架结构的加强支架(12)。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，其特征在于，所述直线驱动机构包括横置在轨道架(1)底部的减速电机(2)，所述减速电机(2)的输出端通过联轴器连接有丝杆(4)，所述丝杆(4)贯穿设置在移动架(3)内，所述移动架(3)上固定设有两个移动块(32)，所述丝杆(4)贯穿移动块(32)，并与移动块(32)螺纹连接。4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，其特征在于，所述上叉臂(71)与支撑杆(51)之间设有轴套(53)，所述轴套(53)套设在支撑杆(51)上，并固定设置在上叉臂(71)上。5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，其特征在于，所述炉体(5)在直线驱动机构的驱动下，最大提升高度大于坩埚(9)的总高度。

技术总结
本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，涉及碳化硅晶体生长炉技术领域，包括轨道架，轨道架固定在操作台上，轨道架设置在炉体的一侧，并高于炉体，轨道架内设有适配的移动架，轨道架上设有用于驱动移动架升降的直线驱动机构；移动架的朝向炉体的一侧固定连接有支架立板，支架立板的两端固定设有半圆结构的上叉臂和下叉臂，上叉臂和下叉臂之间固定有加热高频线圈，加热高频线圈套设在炉体的外侧，炉体的外部固定有贯穿在上叉臂和下叉臂的支撑杆，支撑杆的下部与下叉臂之间设有销轴。本实用新型可调节炉内轴向温度梯度，另外，该升降机构可将炉体进行提升，使坩埚外露，方便坩埚的取放，可提高工作效率。可提高工作效率。可提高工作效率。


技术研发人员：于永澔 李光
受保护的技术使用者：南京宏泰晶智能装备科技有限公司
技术研发日：2023.03.08
技术公布日：2023/9/13