一种方形多层组合偏振光源的制作方法

1.本实用新型涉及机器视觉检测产品功能技术领域，尤其是指一种方形多层组合偏振光源。


背景技术：

2.随着工业自动化的发展，对于工业产品的检测，通常会用到led光源配合智能相机完成检测。根据被检测物的反光特性，选用不同的光源。
3.晶圆在生产过程中的表面瑕疵检测需要通过显微光学系统拍照，系统根据照片反馈的信息来判断是否合格。随着晶圆半导体工艺的不断进步，集成电路的尺寸越来越小，这些在晶圆上形成的缺陷过于细微，难以发现。
4.现有技术中的检测机台在检测晶圆外观表面时，通常采用同轴光源作为补充光源增加光线的强度，便于发现细小的缺陷，但是晶圆在检测过程中由于本身材质的特性，晶圆的表面会产生较强的反光，拍照后的照片中会出现光线干涉，拍摄的照片难以发现缺陷所在，经常会出现漏检，导致检测效率低的问题。


技术实现要素：

5.为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中晶圆的检测难以消除反射光的问题，容易出现漏检，检测效率低。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种方形多层组合偏振光源，包括：
7.无影光组件，所述无影光组件包括外框、内框和中空底座，所述外框套设在所述内框的外侧，所述内框套设在中空底座的外侧，所述中空底座与所述内框之间套设有第一灯板，所述第一灯板发光的一侧设置有第一漫射板；所述内框与所述外框之间套设有第二灯板，且所述第二灯板发光的一侧设置有偏振片；
8.同轴光组件，所述同轴光组件包括外壳，所属外壳与所述外框连接，所述外壳的两端分别设置有第一出光口和第二出光口，且所述第一出光口正对所述中空底座。
9.在本实用新型的一个实施例中，所述第一漫射板的形状与所述第一灯板的形状相匹配，所述偏振片的形状与所述第二灯板的形状相匹配。
10.在本实用新型的一个实施例中，所述外框的尺寸与所述外壳的尺寸大小相等。
11.在本实用新型的一个实施例中，所述外框的外壁上设置有接线盒，所述接线盒上设置有压板。
12.在本实用新型的一个实施例中，所述外壳包括第一立板、第二立板和两个侧板，两个侧板平行设置，且第一立板和第二立板均与所述侧板垂直安装。
13.在本实用新型的一个实施例中，所述同轴光组件还包括第三灯板、第二漫射板和分光片，所述第三灯板设置在靠近所述第一立板的一侧且所述第三灯板平行于所述第一立板设置，所述分光片倾斜于所述第三灯板成45
°
设置，所述第二漫射板设置在所述第三灯板和分光片之间，且所述第二漫射板平行于所述第三灯板设置。
14.在本实用新型的一个实施例中，两个所述侧板上对称设置有第一安装槽、第二安装槽和第三安装槽，所述第一安装槽内卡设所述第三灯板，所述第二安装槽内卡设所述第二漫射板，所述第三安装槽内卡设所述分光片。
15.在本实用新型的一个实施例中，所述第一灯板、第二灯板和第三灯板上均设置有led灯珠。
16.在本实用新型的一个实施例中，所述第二出光口的一端设置有端盖，所述端盖中心开设有通光口。
17.在本实用新型的一个实施例中，所述通光口处设置有透光板。
18.本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
19.本实用新型所述的一种方形多层组合偏振光源，通过第一灯板的端口增加第一漫射板可以发出均匀的光线，其次第二灯板的端口增加偏振片经过偏振片后扩散原理，使光源发光区域达到无影状态，可以消除反光同时不消除检测物表面的缺陷带来的散射光。同时采用同轴光源提供足够的光源亮度，保证相机拍照可以识别到产品表面的缺陷，提高产品的检漏率。
附图说明
20.为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
21.图1是本实用新型的整体结构示意图；
22.图2是本实用新型的整体结构剖视图；
23.图3为图1中无影光组件的内部结构示意图；
24.图4为图1中同轴光组件的结构示意图；
25.说明书附图标记说明：1、无影光组件；2、同轴光组件；11、外框；12、内框；13、中空底座；14、第一灯板；15、第一漫射板；16、第二灯板；17、偏振片；21、外壳；22、第一出光口；23、第二出光口；24、第三灯板；25、第二漫射板；26、分光片；27、端盖；28、透光板；3、接线盒；31、压板；211、第一立板；212、第二立板；213、侧板；2131、第一安装槽；2132、第二安装槽；2133、第三安装槽。
具体实施方式
26.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
27.参照图1-4所示，本实用新型公开了一种方形多层组合偏振光源，包括：
28.无影光组件1，无影光组件1包括外框11、内框12和中空底座13，外框11套设在内框12的外侧，内框12套设在中空底座13的外侧，中空底座13与内框12之间套设有第一灯板14，第一灯板14发光的一侧设置有第一漫射板15；内框12与外框11之间套设有第二灯板16，且第二灯板16发光的一侧设置有偏振片17；
29.可以看出，无影光组件1的主要结构在于两个套合的光源结构，在对同一个物体进行照射的过程中，具体地，第一灯板14的端部设置有第一漫射板15，可以将发出的光线变的均匀，减少视觉光源的指向性；其次，第二灯板16的光线经过偏振片17后会扩散，使光源发
光区域达到无影状态，在消除反光同时不消除检测物表面的缺陷带来的散射光，有利于发现产品表面的细小缺陷，从而降低机器视觉系统的检漏率。
30.同轴光组件2，同轴光组件2包括外壳21，所属外壳21与外框11连接，外壳21的两端分别设置有第一出光口22和第二出光口23，且第一出光口22正对中空底座13。
31.将同轴光源与上述无影光源进行组合的方式，一方面作为补充光源可以提供足够的光源亮度，另一方面利用同轴光源特殊的结构，两个出光口，方便与相机镜头的配合，在本实用新型中，第一出光口22朝向中空底座13，最后射向产品的表面，第二出光口23朝向智能相机的镜头，作为镜头的补充光源。
32.本实用新型通过第一灯板14的端口增加第一漫射板15可以发出均匀的光线，其次第二灯板16的端口增加偏振片17经过偏振片17后扩散原理，使光源发光区域达到无影状态，可以消除反光同时不消除检测物表面的缺陷带来的散射光。同时采用同轴光源提供足够的光源亮度，保证相机拍照可以识别到产品表面的缺陷，提高产品的检漏率。
33.进一步地，第一漫射板15的形状与第一灯板14的形状相匹配，偏振片17的形状与第二灯板16的形状相匹配。具体地，整个无影光源的结构是中空结构的，因此，第一灯板14和第二灯板16均为环形灯板，而所对应的第一漫射板15和偏振片17均为环形板状结构。
34.进一步地，为了保证无影光源和同轴光源的紧密连接，外框11的尺寸与外壳21的尺寸大小相等。
35.进一步地，外壳21包括第一立板211、第二立板212和两个侧板213，两个侧板213平行设置，且第一立板211和第二立板212均与侧板213垂直安装。
36.进一步地，同轴光组件2还包括第三灯板24、第二漫射板25和分光片26，第三灯板24设置在靠近第一立板211的一侧且第三灯板24平行于第一立板211设置，分光片倾斜于第三灯板24成45
°
设置，第二漫射板25设置在第三灯板24和分光片26之间，且第二漫射板25平行于第三灯板24设置。
37.具体地，同轴光源的结构在于将光源的位置不对产品形成直射，将第三灯板24与分光片26成45
°
设置，将第三灯板24射出的光线通过分光片26从两个出光口射出。同时为了保证光线射出的均匀性，在第三灯板24和分光片26之间增加第二漫射板25。
38.进一步的，两个侧板213上对称设置有第一安装槽2131、第二安装槽2132和第三安装槽2133，第一安装槽2131内卡设第三灯板24，第二安装槽2132内卡设第二漫射板25，第三安装槽2133内卡设分光片26。
39.具体地，外壳21的结构采用拼接式组合，而内部的第三灯板24、第二漫射板25和分光片26与外壳21之间均采用卡槽插固定连接。
40.进一步地，外框11的外壁上设置有接线盒3，接线盒3上设置有压板31。具体地，接线盒3的安装位置应该在靠近第三灯板24的一侧，方便线束的接入，同时为了保证线束接续的防水性能，采用在接线盒3上增加压板31，将线束压紧在接线盒3内。
41.进一步地，作为本实用新型的优选方案，第一灯板14、第二灯板16和第三灯板24上均设置有led灯珠，将多个led灯珠焊接在灯板上。
42.进一步地，第二出光口23的一端设置有端盖27，端盖27中心开设有通光口，通光口处设置有透光板28。具体地，端盖27的作用在于对光源进行防尘作用，避免灰尘进入，同时端盖27的一端需要与相机镜头配合，将透明玻璃安装在通光孔，正对相机镜头。
43.综上，本实用新型介绍了一种方形多层组合偏振光源，通过第一灯板14的端口增加第一漫射板15可以发出均匀的光线，其次第二灯板16的端口增加偏振片17经过偏振片17后扩散原理，使光源发光区域达到无影状态，可以消除反光同时不消除检测物表面的缺陷带来的散射光。同时采用同轴光源提供足够的光源亮度，保证相机拍照可以识别到产品表面的缺陷，提高产品的检漏率。在本实用新型的结构方面，采用台阶扣合面装配方式，外壳21选用铝材加大散热量。
44.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

技术特征：
1.一种方形多层组合偏振光源，其特征在于，包括：无影光组件，所述无影光组件包括外框、内框和中空底座，所述外框套设在所述内框的外侧，所述内框套设在中空底座的外侧，所述中空底座与所述内框之间套设有第一灯板，所述第一灯板发光的一侧设置有第一漫射板；所述内框与所述外框之间套设有第二灯板，且所述第二灯板发光的一侧设置有偏振片；同轴光组件，所述同轴光组件包括外壳，所属外壳与所述外框连接，所述外壳的两端分别设置有第一出光口和第二出光口，且所述第一出光口正对所述中空底座。2.根据权利要求1所述的方形多层组合偏振光源，其特征在于：所述第一漫射板的形状与所述第一灯板的形状相匹配，所述偏振片的形状与所述第二灯板的形状相匹配。3.根据权利要求1所述的方形多层组合偏振光源，其特征在于：所述外框的尺寸与所述外壳的尺寸大小相等。4.根据权利要求1所述的方形多层组合偏振光源，其特征在于：所述外框的外壁上设置有接线盒，所述接线盒上设置有压板。5.根据权利要求1所述的方形多层组合偏振光源，其特征在于：所述外壳包括第一立板、第二立板和两个侧板，两个侧板平行设置，且第一立板和第二立板均与所述侧板垂直安装。6.根据权利要求5所述的方形多层组合偏振光源，其特征在于：所述同轴光组件还包括第三灯板、第二漫射板和分光片，所述第三灯板设置在靠近所述第一立板的一侧且所述第三灯板平行于所述第一立板设置，所述分光片倾斜于所述第三灯板成45
°
设置，所述第二漫射板设置在所述第三灯板和分光片之间，且所述第二漫射板平行于所述第三灯板设置。7.根据权利要求6所述的方形多层组合偏振光源，其特征在于：两个所述侧板上对称设置有第一安装槽、第二安装槽和第三安装槽，所述第一安装槽内卡设所述第三灯板，所述第二安装槽内卡设所述第二漫射板，所述第三安装槽内卡设所述分光片。8.根据权利要求6所述的方形多层组合偏振光源，其特征在于：所述第一灯板、第二灯板和第三灯板上均设置有led灯珠。9.根据权利要求1所述的方形多层组合偏振光源，其特征在于：所述第二出光口的一端设置有端盖，所述端盖中心开设有通光口。10.根据权利要求9所述的方形多层组合偏振光源，其特征在于：所述通光口处设置有透光板。

技术总结
本实用新型涉及一种方形多层组合偏振光源，包括：无影光组件和同轴光组件，无影光组件包括外框、内框和中空底座，外框套设在内框的外侧，内框套设在中空底座的外侧，中空底座与内框之间套设有第一灯板，第一灯板发光的一侧设置有第一漫射板；内框与外框之间套设有第二灯板，且第二灯板发光的一侧设置有偏振片；同轴光组件包括外壳，所属外壳与外框连接，外壳的两端设分别设置有第一出光口和第二出光口，且第一出光口正对中空底座。本实用新型可以保证相机拍照可以识别到产品表面的缺陷，提高产品的检漏率。品的检漏率。品的检漏率。


技术研发人员：陈思远
受保护的技术使用者：浙江华周智能装备有限公司
技术研发日：2023.01.31
技术公布日：2023/9/13