空中搬送车系统的制作方法

1.本发明的一个方面涉及空中搬送车系统。


背景技术：

2.已知沿着设置在工厂等建筑物的顶棚等上的行驶轨道行驶的空中搬送车。例如，专利文献1(国际公布2012/157319号公报)中公开了一种具备在行驶轨道上行驶的行驶部、和保持物品的主体部的空中搬送车。在专利文献1的空中搬送车中，行驶部在形成为方筒状的行驶轨道的筒内部行驶，主体部借助设于行驶轨道的下表面部的狭缝而相对于行驶部被悬挂支承。
3.在这种结构的空中搬送车中，有时构成行驶部的行驶车轮的一部分会因在弯道区间行驶时的离心力而浮起，导致行驶部倾斜。在该情况下，存在行驶部的各部分与行驶轨道碰撞、行驶部的各部分损坏的隐患。


技术实现要素：

4.因此，本发明的一个方面的目的在于，提供一种能够抑制行驶部在弯道区间行驶时的行驶车轮的浮起量的空中搬送车系统。
5.本发明的一个方面的空中搬送车系统具备：空中搬送车，该空中搬送车具备具有行驶车轮的行驶部、和借助悬挂部被支承于行驶部并保持被搬送物的主体部；和筒状的行驶轨道，该筒状的行驶轨道具有在行驶部行驶时能够供悬挂部移动的狭缝部以及供行驶车轮滚动的滚动部，并形成有供行驶部行驶的内部空间，在弯道区间中的行驶轨道的内部空间内，在供在滚动部上滚动的弯道外侧的行驶车轮通过的通过区域的上方，沿着行驶轨道的延伸方向配置有供从滚动部浮起规定量的行驶车轮接触的浮起限制部。
6.在该结构的空中搬送车系统中，在弯道区间的行驶轨道的内部空间内，沿着行驶轨道的延伸方向配置有供弯道外侧的行驶车轮在从滚动部浮起规定量时接触的浮起限制部。由此，能够在弯道区间防止弯道外侧的行驶车轮从滚动部以大于规定量的方式浮起。因此，能够抑制行驶部在弯道区间行驶时的行驶车轮的浮起量。
7.在本发明的一个方面的空中搬送车系统中，也可以是，行驶轨道具有与滚动部交叉的侧面部，浮起限制部从侧面部向内部空间侧突出。在该结构中，能够利用行驶轨道的侧面部容易地构成浮起限制部。
8.在本发明的一个方面的空中搬送车系统中，也可以是，空中搬送车还具有在行驶轨道的分岔部位用于分岔的分岔滚轮，在行驶轨道上行驶的空中搬送车的分岔滚轮和浮起限制部以在与行驶轨道的延伸方向和铅垂方向这两者正交的宽度方向上相互对置的方式设置，在浮起限制部形成有与分岔滚轮对置的端面，在直道区间中的内部空间内设有在从铅垂方向观察的俯视时将端面与侧面部连接的锥面。在该结构中，即使在俯视时空中搬送车的分岔滚轮保持着与浮起限制部的端面相比位于外侧的状态到达了弯道区间的入口，分岔滚轮也不会与浮起限制部的延伸方向上的端部碰撞，而是会由锥面顺利地引导至浮起限
制部的端面。由此，能够防止分岔滚轮及浮起限制部中的至少一方损坏。
9.在本发明的一个方面的空中搬送车系统中，也可以是，空中搬送车具有控制行驶部的各部分的控制部，分岔滚轮以能够在宽度方向上移动的方式设置，控制部以在行驶部进入弯道区间之前或进入的同时使分岔滚轮在宽度方向上向弯道内侧移动的方式进行控制。在该结构中，能够更可靠地防止分岔滚轮及浮起限制部中的至少一方因分岔滚轮与浮起限制部的碰撞而损坏。
10.根据本发明的一个方面，能够抑制行驶部在弯道区间行驶时的行驶车轮的浮起量。
附图说明
11.图1是一个实施方式的空中搬送车系统的概略结构图。
12.图2是从前方观察图1的空中搬送车的主视图。
13.图3是放大表示图2的行驶轨道部分的剖视图。
14.图4是表示浮起限制部的配置部位的俯视图。
15.图5是表示在行驶轨道的内部空间行驶的行驶部的图。
具体实施方式
16.以下，参照附图对本发明的一个方面的一个优选实施方式进行详细说明。需要说明的是，在附图的说明中，对相同的要素标注相同的附图标记并省略重复说明。在图2及图3中，为了便于说明而定义“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”方向。
17.如图1及图2所示，空中搬送车系统1是用于使用能够沿着行驶轨道4移动的空中搬送车6(以下称为“搬送车6”)在载置部9之间搬送物品(被搬送物)10的系统。物品10例如包括像储存多个半导体晶圆的foup(front opening unified pod：前开式晶圆传送盒)及储存玻璃基板的标线片盒等那样的容器、和一般零件等。空中搬送车系统1具备行驶轨道4、多个搬送车6及多个载置部9。
18.如图1所示，载置部9沿着行驶轨道4配置，并设于搬送车6能够交接物品10的位置。载置部9包括缓冲区及交接口。缓冲区是暂时载置物品10的载置部。缓冲区例如是在因在作为目标的交接口载置有其他物品10等理由而无法将搬送车6正在搬送的物品10移载到该交接口的情况下暂时载置物品10的载置部。交接口是用于相对于例如以清洗装置、成膜装置、光刻装置、蚀刻装置、热处理装置、平坦化装置为代表的半导体的处理装置(未图示)进行物品10的交接的载置部。需要说明的是，处理装置并无特别限定，可以是各种装置。
19.例如，载置部9配置在行驶轨道4的侧方。在该情况下，搬送车6通过利用横向送出部24将升降驱动部28等横向送出、并使升降台30升降，从而在与载置部9之间交接物品10。需要说明的是，虽未图示，但载置部9也可以配置在行驶轨道4的正下方。在该情况下，搬送车6通过使升降台30升降而在与载置部9之间交接物品10。
20.行驶轨道4例如铺设在作为作业人员的头上空间的顶棚附近。行驶轨道4例如从顶棚悬挂。行驶轨道4是用于使搬送车6行驶的预先确定的行驶路径。搬送车6在行驶轨道4上向预先确定的一个方向移动。行驶轨道4由支柱4a、4a支承。
21.如图2及图3所示，行驶轨道4具有：方筒状的轨道主体部40，其由一对下表面部(滚
动部)41、41、一对侧面部42、42和上表面部43构成；供电部45；和磁板46。轨道主体部40形成供搬送车6的行驶部50行驶的内部空间s。下表面部41沿搬送车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的下表面。下表面部41是供搬送车6的行驶滚轮(行驶车轮)51滚动而使行驶部50行驶的板状部件。侧面部42从下表面部41竖立设置(交叉)。侧面部42沿搬送车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的侧面。上表面部43沿搬送车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的上表面。
22.在与行驶轨道4的延伸方向正交的宽度方向(左右方向)上对置的一对下表面部41、41之间，形成有供在后详述的行驶部50的悬挂部8在行驶时通过的狭缝部g。狭缝部g沿着行驶轨道4的延伸方向延伸。
23.供电部45是向搬送车6的供电铁芯57供给电力、并相对于供电铁芯57进行信号收发的部位。供电部45分别固定在一对侧面部42、42上，并沿着行驶方向延伸。供电部45以非接触的状态对供电铁芯57供给电力。磁板46使搬送车6的ldm(linear dc motor：直线直流电动机)59产生用于行驶或停止的磁力。磁板46固定在上表面部43，并沿着行驶方向延伸。
24.搬送车6沿着行驶轨道4行驶并搬送物品10。搬送车6构成为能够移载物品10。搬送车6是空中行驶式无人搬送车。空中搬送车系统1所具备的搬送车6的台数为多台，并无特别限定。搬送车6具有主体部7、行驶部50和主体控制器(控制部)35。主体部7具有主体框架22、横向送出部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30和罩33。
25.主体框架22借助悬挂部8与行驶部50连接，并支承横向送出部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30和罩33。横向送出部24将θ驱动器26、升降驱动部28及升降台30一并向与行驶轨道4的行驶方向正交的宽度方向(左右方向)横向送出。θ驱动器26使升降驱动部28及升降台30中的至少任一个在水平面内且在规定的角度范围内转动。升降驱动部28通过卷绕或放出线材、绳索及带等吊持材料而使升降台30升降。在升降台30上设有卡盘，自由地进行物品10的握持或释放。罩33例如在搬送车6的行驶方向的前后设为一对。罩33使未图示的爪等出没来防止物品10在搬送过程中落下。
26.如图3及图5所示，行驶部50使搬送车6沿着行驶轨道4行驶。行驶部50具有两个主体部50a、50b，两个主体部50a、50b相互连结。两个主体部50a、50b分别具有行驶滚轮51、侧滚轮52、分岔滚轮53、辅助滚轮54、倾斜滚轮55、供电铁芯57及ldm59。
27.行驶滚轮51配置在行驶部50的前后的左右两端。行驶滚轮51在轨道主体部40的一对下表面部41、41的内表面41a、41a上滚动。侧滚轮52以在前后方向上分别夹着行驶滚轮51的方式配置。侧滚轮52设为能够与轨道主体部40的侧面部42的内表面42a接触。
28.分岔滚轮53以从上下方向夹着侧滚轮52的方式配置。分岔滚轮53是为了切换搬送车6(行驶部50)在行驶轨道4的分岔部位直线行驶或分岔行驶而设置的。更详细地说，分岔滚轮53通过被设于分岔部位的引导部件选择性地引导来切换搬送车6的行驶方向。分岔滚轮53相对于一个主体部50a(50b)设有四个。分岔滚轮53安装于以能够在宽度方向上移动的方式设置的支承部件53a上。支承部件53a通过由驱动部53b进行驱动而在宽度方向上移动。即，通过支承部件53a在宽度方向上移动而使四个分岔滚轮53一体地在宽度方向上移动。驱动部53b的驱动由主体控制器35控制。
29.侧滚轮52设为能够与配置在行驶轨道4的连接部或分岔部等上的引导件(未图示)接触。辅助滚轮54是设于行驶部50的前后的、三个为一组的滚轮组。辅助滚轮54是为了防止
当行驶部50因加减速等而向前后倾斜时ldm59及供电铁芯57等与配置在行驶轨道4的上表面部43上的磁板46接触而设置的。倾斜滚轮55以相对于前后方向倾斜的状态配置。倾斜滚轮55是为了防止由行驶部50在弯道区间行驶时的离心力引起的倾斜而设置的。
30.供电铁芯57以在左右方向上夹着ldm59的方式配置于行驶部50的前后，并在与配置于行驶轨道4上的供电部45之间进行非接触方式的供电、和非接触方式的各种信号的收发。供电铁芯57在与主体控制器35之间交换信号。ldm59设于行驶部50的前后。ldm59通过电磁铁在与配置于行驶轨道4的上表面部43上的磁板46之间产生用于行驶或停止的磁力。
31.行驶部50由在后详述的搬送控制器90以借助主体控制器35的状态进行控制。具体而言，来自搬送控制器90的指令被发送至主体控制器35，接收到该指令的主体控制器35控制行驶部50。
32.主体控制器(控制部)35是由cpu(central processing unit：中央处理器)、rom(read only memory：只读存储器)及ram(random access memory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。主体控制器35控制搬送车6中的各种动作。具体而言，主体控制器35控制行驶部50、横向送出部24、θ驱动器26、升降驱动部28和升降台30。主体控制器35能够构成为例如将储存在rom内的程序加载到ram上并由cpu执行该程序的软件。主体控制器35也可以构成为基于电子回路等的硬件。主体控制器35利用行驶轨道4的供电部45(馈线)等与搬送控制器90(参照图1)进行通信。
33.搬送控制器90是由cpu、rom及ram等构成的电子控制单元。搬送控制器90在与主体控制器35之间通过有线或无线进行通信，并向主体控制器35发送使搬送车6搬送物品10的搬送指令。
34.如图4所示，行驶轨道4由直道区间4s和弯道区间4c构成。如图2～图4所示，在本实施方式中，在弯道区间4c中的行驶轨道4的内部空间s内，在供在下表面部41的内表面41a上滚动的弯道外侧的行驶滚轮51通过的通过区域r的上方且在上表面部43的下方，沿着行驶轨道4的延伸方向配置有供从下表面部41浮起规定量的行驶滚轮51接触的浮起限制部81。浮起限制部81以侧面部42的内表面42a为基端向内部空间s侧延伸至顶端。换言之，浮起限制部81的顶端与侧面部42的内表面42a相比向内部空间s侧突出。
35.浮起限制部81例如由不锈钢等形成，既可以与侧面部42一体地形成，也可以相对于侧面部42借助托架等进行安装。需要说明的是，上述规定量根据相对于行驶滚轮51的浮起量的、行驶轨道4与行驶部50的各部分的碰撞状态而适当设定。即，在即使行驶滚轮51浮起，行驶轨道4与行驶部50的各部分也不碰撞的情况下，容许此时的浮起量。
36.需要说明的是，在俯视构成行驶轨道4的一对侧面部42、42的情况下，行驶轨道4中的弯道外侧是指曲线半径大(曲率小)的一侧的侧面部42侧，行驶轨道4中的弯道内侧是指曲线半径小(曲率大)的一侧的侧面部42侧。另外，在下表面部41、侧面部42及上表面部43中，将与上述内部空间s接触的一侧的面称为内表面，并将内表面的相反侧的面、即与外部空间接触的一侧的面称为外表面。
37.浮起限制部81以相对于在行驶轨道4上行驶的搬送车6的分岔滚轮53在宽度方向上对置的方式设置。如图3所示，浮起限制部81的内部空间s侧的顶端构成为端面81a。端面81a的铅垂方向上的尺寸大于分岔滚轮53的铅垂方向上的尺寸。即，浮起限制部81的端面81a构成为能够使分岔滚轮53滚动。在弯道区间4c的入口部分及出口部分(即直道区间4s中
的与弯道区间4c的边界部)配置有锥形部83。锥形部83也与浮起限制部81同样地安装于构成行驶轨道4的侧面部42。
38.锥形部83具有将侧面部42的内表面42a与浮起限制部81的端面81a平滑地连接的锥面83a。锥面83a的铅垂方向上的尺寸大于分岔滚轮53的铅垂方向上的尺寸，且与端面81a大致相同。通过这种锥形部83的结构，分岔滚轮53能够在侧面部42的内表面、锥面83a和端面81a上连续滚动。
39.在本实施方式中，主体控制器35以在行驶部50进入弯道区间4c之前或进入的同时使分岔滚轮53在宽度方向上向弯道内侧(图5所示的分岔滚轮53的位置)移动的方式进行控制。更详细地说，主体控制器35控制驱动部53b的驱动而使支承部件53a移动，由此使分岔滚轮53移动。在本实施方式中，主体控制器35使分岔滚轮53在宽度方向上移动到浮起限制部81的端面81a的位置、或移动到与浮起限制部81的端面81a的位置相比靠内侧的位置。
40.对上述实施方式的空中搬送车系统1的作用效果进行说明。在上述实施方式的空中搬送车系统1中，在弯道区间4c的行驶轨道4的内部空间s内配置有浮起限制部81。浮起限制部81是供弯道外侧的行驶滚轮51在从下表面部41浮起规定量时接触的部位，且沿着行驶轨道4的延伸方向配置。由此，能够在弯道区间4c中防止弯道外侧的行驶滚轮51从下表面部41以大于规定量的方式浮起。因此，能够抑制行驶部50在弯道区间4c行驶时的行驶滚轮51的浮起量。由此，例如能够抑制行驶部50(例如ldm59、供电铁芯57)及行驶轨道4(例如供电部45、磁板46)中的至少一方损坏。
41.在上述实施方式的空中搬送车系统1中，浮起限制部81以从侧面部42向内部空间s侧突出的方式构成。由此，能够利用行驶轨道4的侧面部42容易地构成浮起限制部81。
42.在上述实施方式的空中搬送车系统1中，在行驶轨道4上行驶的搬送车6的分岔滚轮53和浮起限制部81以在宽度方向上相互对置的方式设置，在浮起限制部81形成有与分岔滚轮53对置的端面81a，在直道区间4s中的内部空间s设有在俯视时将端面81a与侧面部42连接的锥面83a。由此，即使在俯视时搬送车6的分岔滚轮53保持着与浮起限制部81的端面81a相比位于外侧的状态到达了弯道区间4c的入口，分岔滚轮53也不会与浮起限制部81的延伸方向上的端部碰撞，而是会由锥面83a顺利地引导至浮起限制部81的端面81a。由此，能够防止分岔滚轮53及浮起限制部81中的至少一方损坏。
43.在上述实施方式的空中搬送车系统1中，主体控制器35也可以以在行驶部50进入弯道区间4c之前或进入的同时使分岔滚轮53在宽度方向上向弯道内侧移动的方式进行控制。由此，能够更可靠地防止分岔滚轮53及浮起限制部81中的至少一方因分岔滚轮53与浮起限制部81的碰撞而损坏。
44.以上，对一个实施方式进行了说明，但本发明的一个方面并不限于上述实施方式。在不脱离发明主旨的范围内能够进行各种变更。
45.在上述实施方式中，列举供行驶滚轮51滚动的滚动面构成为行驶轨道4的下表面部41的例子进行了说明，但并不限定于此。供行驶滚轮51滚动的滚动面也可以在比行驶轨道4的下表面靠上方的位置另行形成。
46.在上述实施方式及变形例中，列举在搬送车6进入弯道区间4c之前使分岔滚轮53在宽度方向上移动的例子进行了说明，但这种控制并不是必须的，另外，搬送车6也并不必须具备分岔滚轮53。
47.在上述实施方式及变形例中，列举浮起限制部81安装在行驶轨道4的侧面部42的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，浮起限制部81也可以构成为从行驶轨道4的上表面部43等悬挂等、只要设于供在下表面部41的内表面41a上滚动的弯道外侧的行驶滚轮51通过的通过区域r的上方即可。
48.在上述实施方式及变形例中，列举浮起限制部81设于供在下表面部41的内表面41a上滚动的弯道外侧的行驶滚轮51通过的通过区域r的上方的例子进行了说明，但也可以在该结构的基础上，还设于供在下表面部41的内表面41a上滚动的弯道内侧的行驶滚轮51通过的通过区域的上方。

技术特征：
1.一种空中搬送车系统，其特征在于，具备：空中搬送车，该空中搬送车具备具有行驶车轮的行驶部、和借助悬挂部被支承于所述行驶部并保持被搬送物的主体部；和筒状的行驶轨道，该筒状的行驶轨道具有在所述行驶部行驶时能够供所述悬挂部移动的狭缝部以及供所述行驶车轮滚动的滚动部，并形成有供所述行驶部行驶的内部空间，在弯道区间中的所述行驶轨道的所述内部空间内，在供在所述滚动部上滚动的弯道外侧的所述行驶车轮通过的通过区域的上方，沿着所述行驶轨道的延伸方向配置有供从所述滚动部浮起规定量的所述行驶车轮接触的浮起限制部。2.根据权利要求1所述的空中搬送车系统，其特征在于，所述行驶轨道具有与所述滚动部交叉的侧面部，所述浮起限制部从所述侧面部向所述内部空间侧突出。3.根据权利要求2所述的空中搬送车系统，其特征在于，所述空中搬送车还具有在所述行驶轨道的分岔部位用于分岔的分岔滚轮，在所述行驶轨道上行驶的所述空中搬送车的所述分岔滚轮和所述浮起限制部以在与所述行驶轨道的延伸方向和铅垂方向这两者正交的宽度方向上相互对置的方式设置，在所述浮起限制部形成有与所述分岔滚轮对置的端面，在直道区间中的所述内部空间内设有在从铅垂方向观察的俯视时将所述端面与所述侧面部连接的锥面。4.根据权利要求3所述的空中搬送车系统，其特征在于，所述空中搬送车具有控制所述行驶部的各部分的控制部，所述分岔滚轮以能够在所述宽度方向上移动的方式设置，所述控制部以在所述行驶部进入所述弯道区间之前或进入的同时使所述分岔滚轮在所述宽度方向上向弯道内侧移动的方式进行控制。

技术总结
空中搬送车系统(1)具备：空中搬送车(6)，其具备具有行驶车轮(51)的行驶部(50)、和借助悬挂部(8)被支承于行驶部(50)并保持被搬送物(10)的主体部(7)；和筒状的行驶轨道(4)，其具有在行驶部(50)行驶时能够供悬挂部(8)移动的狭缝部(G)及供行驶车轮(51)滚动的滚动部(41)，并形成有供行驶部(50)行驶的内部空间(S)。在弯道区间(4C)中的行驶轨道(4)的内部空间(S)内，在供在滚动部(41)上滚动的弯道外侧的行驶车轮(51)通过的通过区域(R)的上方，沿着行驶轨道(4)的延伸方向配置有供从滚动部(41)浮起规定量的行驶车轮(51)接触的浮起限制部(81)。制部(81)。制部(81)。


技术研发人员：小林诚
受保护的技术使用者：村田机械株式会社
技术研发日：2023.03.09
技术公布日：2023/9/14