流程监控方法、装置、存储介质和电子设备与流程

1.本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种流程监控方法、装置、存储介质和电子设备。


背景技术：

2.在半导体生产过程中，需要对生产线当前的生产时间与生产批次进行实时监控，并提醒相关工作人员当前的生产进度。
3.针对生产时间与生产批次的监控目前主要依靠人工进行，监控人员根据申请者所提出的需求，先将该需求对应的tecn(temporary engineering change notice，临时工程变更通知)相关信息记录在excel表格中，每日核对表格中所记录的tecn到期时间，并登录物料管理系统(material manager，以下简称mm系统)查询已执行的各流程节点的晶圆批数，在到期前三天或者已执行流程节点中的半导体批数达到上限时，通过邮件、电话等实时通讯方式通知对应的工作人员。
4.随着生产规模的扩大，半导体生产数量日益增加，excel表格中tecn相关信息也日益增加，人工进行逐一核对通知，流程监控效率较低。


技术实现要素：

5.本公开提供了一种流程监控方法、装置、存储介质和电子设备，进而提高流程监控效率。
6.第一方面，本公开一个实施例提供了一种流程监控方法，包括：
7.获取待监控工单；其中，待监控工单中至少包含：待监控对象的对象标识与待监控对象的预设阈值范围；
8.根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数；
9.若实际生产状态参数超出预设阈值范围，则根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息；
10.将提醒信息发送至待监控对象对应的管理终端。
11.在本公开一个可选实施例中，获取待监控工单，包括：
12.接收管理终端发送的监控请求信息；其中，监控请求信息中至少包括：待监控对象的对象标识；
13.若监控请求信息中包含待监控对象的卡控工期，则根据对象标识与卡控工期生成待监控对象的工期监控工单。
14.在本公开一个可选实施例中，根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，包括：
15.根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的生产起始时刻。
16.在本公开一个可选实施例中，该流程监控方法还包括：
17.根据生产起始时刻与当前时刻计算待监控对象在实际生产中的当前生产时长；
18.判断当前生产时长与卡控工期之间的差值是否小于预设阈值。
19.在本公开一个可选实施例中，若实际生产状态参数超出预设阈值范围，则根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息，包括：
20.若当前生产时长与卡控工期之间的差值小于预设阈值，则根据生产起始时刻与卡控工期生成针对待监控对象的工单期限提醒信息。
21.在本公开一个可选实施例中，获取待监控工单，包括：
22.接收管理终端发送的监控请求信息；
23.若监控请求信息中包含待监控对象的卡控批数，则根据对象标识与卡控批数生成批数监控工单。
24.在本公开一个可选实施例中，根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，包括：
25.根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的当前生产批数。
26.在本公开一个可选实施例中，若实际生产状态参数超出预设阈值范围，则根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息，包括：
27.若当前生产批数不小于卡控批数，则根据当前生产批数与卡控批数生成针对待监控对象的批数提醒信息。
28.在本公开一个可选实施例中，若待监控工单为针对待监控对象的延期工单，根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，包括：
29.根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的当前生产批数，以及在生产线上位于当前生产批数之前且与当前生产批数相邻的历史生产批数。
30.在本公开一个可选实施例中，该流程监控方法还包括：
31.根据当前生产批数与历史生产批数计算待监控对象在实际生产中的累积生产批数；
32.判断累积生产批数是否不小于卡控批数。
33.在本公开一个可选实施例中，若实际生产状态参数超出预设阈值范围，则根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息，包括：
34.若累积生产批数不小于卡控批数，则根据累积生产批数与卡控批数生成针对待监控对象的批数提醒信息。
35.在本公开一个可选实施例中，将提醒信息发送至待监控对象对应的管理终端，包括：
36.确定变更工单的对应的目标邮件地址；
37.将提醒信息按照预设邮件模板生成目标提醒邮件；
38.将目标提醒邮件发送至目标邮件地址。
39.第二方面，本公开一个实施例提供了一种流程监控装置，该装置包括：
40.第一获取模块，用于获取待监控工单；其中，待监控工单中至少包含：待监控对象的对象标识与待监控对象的预设阈值范围；
41.第二获取模块，用于根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数；
42.生成模块，用于若实际生产状态参数超出预设阈值范围，则根据实际生产状态参
数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息；
43.发送模块，用于将提醒信息发送至待监控对象对应的管理终端。
44.第三方面，本公开一个实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上的方法。
45.第四方面，本公开一个实施例提供了一种电子设备，包括：处理器；以及存储器，用于存储处理器的可执行指令；其中，处理器配置为经由执行可执行指令来执行如上的方法。
46.本公开的技术方案具有以下有益效果：
47.上述本公开实施例提供的流程监控方法先获取包含有待监控对象的对象标识与待监控对象预设阈值范围的待监控工单，根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，在实际生产状态参数超出预设阈值范围的情况下，根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息，并将提醒信息发送至待监控对象对应的管理终端。也就是说，本公开实施例提供的流程监控方法可以通过监控脚本等直接从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，并自动与预设阈值范围比对判断，无需人工查表核对，自动化程度高，且出错率低，可以达到提高流程监控的可靠性与效率。同时，自动生成提醒信息并实时发送至管理终端，以使得相关工作人员及时知晓当前的工单进程，无需人工一一通知，效率更高，从而解决了传统技术中存在的流程监控效率较低的技术问题，达到了在提高监控可靠性的同时大大提高流程监控效率的技术效果。
48.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
49.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施方式，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
50.图1示出本示例性实施方式中一种流程监控方法的应用场景示意图；
51.图2示出本示例性实施方式中一种流程监控方法的流程图；
52.图3示出本示例性实施方式中一种流程监控方法的流程图；
53.图4示出本示例性实施方式中一种流程监控方法的流程图；
54.图5示出本示例性实施方式中一种流程监控方法的流程图；
55.图6示出本示例性实施方式中一种流程监控方法的流程图；
56.图7示出本示例性实施方式中一种流程监控方法的流程图；
57.图8示出本示例性实施方式中一种流程监控装置结构示意图；
58.图9示出本示例性实施方式中一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
59.现在将参考附图更全面地描述示例性实施方式。然而，示例性实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例性实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的
特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知技术方案以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。
60.此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。
61.附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的步骤。例如，有的步骤还可以分解，而有的步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。
62.相关技术中，在半导体生产过程中，需要对生产线当前的生产时间与生产批次进行实时监控，并提醒相关工作人员当前的生产进度。针对生产时间与生产批次的监控目前主要依靠人工进行，监控人员根据申请者所提出的需求，先将该需求对应的tecn(temporary engineering change notice，临时工程变更通知)相关信息记录在excel表格中，每日核对表格中所记录的tecn到期时间，并登录物料管理系统(material manager，以下简称mm系统)查询已执行的各流程节点的晶圆批数，在到期前三天或者已执行流程节点中的半导体批数达到上限时，通过邮件、电话等实时通讯方式通知对应的工作人员。随着生产规模的扩大，半导体生产数量日益增加，excel表格中tecn相关信息也日益增加，人工进行逐一核对通知，流程监控效率较低。
63.鉴于上述问题，本公开实施例提供了一种流程监控方法，通过监控脚本等直接从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，并自动与预设阈值范围比对判断，无需人工查表核对，自动化程度高，且出错率低，可以达到提高流程监控的可靠性与效率。同时，自动生成提醒信息并实时发送至管理终端，以使得相关工作人员及时知晓当前的工单进程，无需人工一一通知，效率更高，从而解决了传统技术中存在的流程监控效率较低的技术问题，达到了在提高监控可靠性的同时大大提高流程监控效率的技术效果。
64.以下对本公开实施例提供的流程监控方法的应用环境作简单介绍：
65.请参见图1，本公开实施例提供的流程监控方法用于对半导体等电子产品的日常生产流程进行监控，通过对日常工单、临时新增工单以及临时变更工单等在实际生产系统110中的生产进度进行同步根据，以实时掌握各工单的实际生产状态。本公开实施例提供的流程监控方法的应用环境至少包括：生产系统110、监控设备120与管理终端130。其中，管理终端130用于接受工作人员提出的申请需求，并根据该申请需求生成工单，并将该工单下发至生产系统110，以供生产系统110进行生产；生产系统110为半导体实际生产与管理系统，生产系统110根据管理终端130下发的工单请求生产半导体，并在生产过程中实时记录当前的实际生产状态参数，例如，各生产批数以及各生产批数对应的时间信息等；监控设备120用于实时，或者按照一定周期采集生产系统110记录的实际生产状态参数，并根据当前的实际生产状态参数与管理终端130预先设定的预设阈值范围进行比对，以确定当前的生产状
态，并在特定状态将当前的生产状态信息反馈至管理终端130，以及时提醒对应工作人员各工单当前的生产状态。其中，该管理终端130可以配置有bpm(business process management，业务流程管理)系统，该监控设备可以配置有sm(safety manager，安全管理)系统，生产系统可以为mm系统，通过本公开实施例提供的流程监控方法使得三端联动，同步完成针对各工单实际生产状态的监控。
66.下面以上述监控设备120为执行主体，将该流程监控方法应用于上述的监控设备对生产系统中的生产状态进行监控为例说明。请参见图2，本公开实施例提供的流程监控方法包括如下步骤201-步骤204：
67.步骤201、监控设备获取待监控工单。
68.监控设备至少可以通过如下两种方式获取得到待监控工单：第一种方式，工作人员直接在监控设备的输入端按照预先设定的工单格式填入请求监控的信息，即可直接在监控设备端生成针对本次监控请求的待监控工单；该种方式简单快捷，可以大大减少中间信息处理的过程，效率更高；第二种方式，工作人员在其对应的管理终端通过填表等方式输入对应请求监控信息，管理终端基于得到的监控请求信息生成针对本次监控请求的待监控工单，并将该待监控工单发送至监控设备，监控设备即可获取得到该待监控工单。需要指出的是，该待监控工单中至少包含：待监控对象的对象标识与待监控对象的预设阈值范围。该对象标识用于区分不同的工单，可以为工单编号、生产批号等，本实施例不作具体限定；该预设阈值范围是指工单申请者针对待监控对象设置的提醒目标数值范围，例如生产批数大于或等于5000批，生产工期不超过20天等。
69.步骤202、监控设备根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数。
70.生产系统在进行日常生产工作时以工作日志、电子台账等形式实时记录当前的实际生产状态参数，并存储于mm系统，以供工作人员查询或者或监控设备等外接系统读取使用。其中，该实际生产状态参数可以包括：生产时间、生产对象的对象标识、生产批数、异常状态、生产流水线标识等信息，例如，2021年11月1日(生产时间)生产200批次的(生产批数)xxx型号晶圆(对象标识)。需要指出的是，本公开实施例对于该实际生产状态参数的具体内容与表征形式等均不作任何限定，可根据实际情况具体选择或者设定，只需要包含有对象标识与待监控生产参数即可。
71.步骤203、若实际生产状态参数超出预设阈值范围，监控设备则根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息。
72.实际生产状态参数超出预设阈值范围的情况包括但不限于如下几种：当前的生产批数大于或等于预先设定的目标批数、当前的生产周期大于或等于预先设定的生产周期范围的最长生产周期、当前的产品合格率低于预先设定的合格率范围的最低合格率等，在此不再穷举，可根据实际需要监控的参数具体设定。例如，xxx型号晶圆预设的生产周期为10～12天，当前的实际生产周期为13天，已经超过预设生产周期中的最长周期12天，监控设备则生成针对该xxx型号晶圆的提醒信息，如下表(1)：
73.表(1)
74.对象标识预设阈值范围实际生产状态参数状态xxx型号晶圆10～12天13天超期
75.当然，该提醒信息还可以以其他例如文字、文本框、图表等形式进行表征，本实施例针对该提醒信息的表征形式不作具体限定，可根据实际情况具体设定。
76.步骤204、监控设备将提醒信息发送至待监控对象对应的管理终端。
77.监控设备在生成针对待监控对象的提醒信息后，将该提醒信息实时发送至管理终端，以供管理终端对应的工作人员可以及时确定待监控对象当前的实际生产状态。其中，管理终端在接收到该提醒信息后通过预先设定的通信形式，例如待监控工单下单时关联的例如邮箱地址、即时通讯工具账号等具体联系方式，将该提醒信息下发至对应具体的监控人员，以使得监控人员及时知晓待监控对象当前的实际生产状态。
78.本公开实施例提供的流程监控方法先获取包含有待监控对象的对象标识与待监控对象预设阈值范围的待监控工单，根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，在实际生产状态参数超出预设阈值范围的情况下，根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息，并将提醒信息发送至待监控对象对应的管理终端。也就是说，本公开实施例提供的流程监控方法可以通过监控脚本等直接从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，并自动与预设阈值范围比对判断，无需人工查表核对，自动化程度高，且出错率低，可以达到提高流程监控的可靠性与效率。同时，自动生成提醒信息并实时发送至管理终端，以使得相关工作人员及时知晓当前的工单进程，无需人工一一通知，效率更高，从而解决了传统技术中存在的流程监控效率较低的技术问题，达到了在提高监控可靠性的同时大大提高流程监控效率的技术效果。
79.请参见图3，在本公开一个可选实施例中，上述步骤201监控设备获取待监控工单，包括如下步骤301-步骤302：
80.步骤301、监控设备接收管理终端发送的监控请求信息。
81.工作人员通过管理终端输入自己请求监控的监控请求信息，该监控请求信息中至少包括：待监控对象的对象标识。当然还可以包括其他例如卡控工期、卡控批数、产品合格率等其他信息，本实施例不作具体限定。
82.步骤302、若监控请求信息中包含待监控对象的卡控工期，监控设备则根据对象标识与卡控工期生成待监控对象的工期监控工单。
83.若该监控请求信息中包含有待监控对象的卡控工期，也就是工作人员需要对当前的生产周期进行监控。针对卡控工期的监控，监控设备则将该对象标识与卡控工期键入预先配置的工期监控工单模板，即可自动生成得到该待监控对象的工期监控工单。
84.本公开实施例通过检测监控请求信息，在监控请求信息中包含有卡控工期的情况下，生成包含有待监控对象的对象标识与卡控工期的工期监控工单，以方便后续针对该待监控对象的工期进行精准监控，进一步提高本公开实施例提供的流程监控的监控精准性；同时，后续监控设备在进行阈值比对时，只需要从该工期监控工单中提取出卡控工期，然后与预设的工期阈值范围进行对比即可，获取数据更为高效与准确，进一步提高本公开实施例流程监控的监控效率。
85.在本公开一个可选实施例中，上述步骤202监控设备根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，包括如下步骤a：
86.步骤a、监控设备根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的生产起始时刻。
87.如上，生产系统将日常生产过程中产生的例如生产时间、生产对象的对象标识、生产批数、异常状态、生产流水线标识等实际生产状态参数存储于mm系统。监控系统在仅针对卡控工期进行监控的情况下，只需要基于该对象标识从mm系统中查询得到待监控对象的生产起始时刻，例如上述xxx型号晶圆的生产起始时刻为2021年11月1日0时0分。在仅针对卡控工期进行监控的情况下，只需要根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的生产起始时刻即可，获取数据较少，可以大大节省数据处理资源，进一步提高数据处理效率与流程监控的效率。
88.请参见图4，在本公开一个可选实施例中，上述流程监控方法还包括如下步骤401-步骤402：
89.步骤401、监控设备根据生产起始时刻与当前时刻计算待监控对象在实际生产中的当前生产时长。
90.其中，生产起始时刻是监控设备基于如上步骤a从生产系统中获取得到，卡控工期是工作人员在管理终端进行待监控工单下单时预先设定好，并由管理终端随待监控工单下发至监控终端的，当前时刻是监控设备在当前监控节点进行数据处理时的实时时间。因此，监控设备在得到生产起始时刻与当前时刻后，通过计算当前时刻与生产起始时刻之间的时间差即可得到该当前生产时长。
91.步骤402、监控设备判断当前生产时长与卡控工期之间的差值是否小于预设阈值。
92.例如卡控工期为20天，当前生产时长为18天，两者之间的差值为2天，小于预设阈值3，则意味着当前的生产时长即将到期。当然，该预设阈值可以根据实际情况设定，本公开实施例不作具体限定。
93.本公开实施例先根据生产起始时刻与当前时刻计算待监控对象在实际生产中的当前生产时长，然后通过判断当前生产时长与卡控工期之间的差值是否小于预设阈值即可清楚的确定当前的实际生产工期进度，例如是否即将到期、是否到期或者是否超期等，大大提高针对生产工期的监控的精准性。
94.在本公开一个可选实施例中，上述步骤203若实际生产状态参数超出预设阈值范围，监控设备则根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息，包括如下步骤b：
95.步骤b、若当前生产时长与卡控工期之间的差值小于预设阈值，监控设备则根据生产起始时刻与卡控工期生成针对待监控对象的工单期限提醒信息。
96.若当前生产时长与卡控工期之间的差值小于预设阈值，则意味着当前的生产工期即将到期，存在超期的风险，监控设备则立刻生成针对期限的工单期限提醒信息，并发送至对应的管理终端，从而使得相关工作人员可以及时知晓并进行处理；同时，该工单期限提醒信息中包含有生产起始时刻与卡控工期，以方便工作人员更为清楚的明确当前具体的工期状态，进一步提高流程监控的可靠性与精准性。
97.请参见图5，在本公开一个可选实施例中，上述步骤201、监控设备获取待监控工单，包括如下步骤501-步骤502：
98.步骤501、监控设备接收管理终端发送的监控请求信息。
99.与上述步骤301相同，工作人员通过管理终端输入自己请求监控的监控请求信息，该监控请求信息中至少包括：待监控对象的对象标识。当然还可以包括其他例如卡控工期、
卡控批数、产品合格率等其他信息，本实施例不作具体限定。
100.步骤502、若监控请求信息中包含待监控对象的卡控批数，监控设备则根据对象标识与卡控批数生成批数监控工单。
101.若该监控请求信息中包含有待监控对象的卡控批数，也就是工作人员需要对当前的生产批数进行监控。针对卡控批数的监控，监控设备则将该对象标识与卡控批数键入预先配置的批数监控工单模板，即可自动生成得到该待监控对象的批数监控工单。
102.本公开实施例通过检测监控请求信息，在监控请求信息中包含有卡控批数的情况下，生成包含有待监控对象的对象标识与卡控批数的批数监控工单，以方便后续针对该待监控对象的生产批数进行精准监控，进一步提高本公开实施例提供的流程监控的监控精准性；同时，后续监控设备在进行阈值比对时，只需要从该批数监控工单中提取出卡控批数，然后与预设的批数阈值范围等进行对比即可，获取数据更为高效与准确，进一步提高本公开实施例流程监控的监控效率。
103.在本公开一个可选实施例中，上述步骤202监控设备根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，包括如下步骤c：
104.步骤c、监控设备根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的当前生产批数。
105.如上步骤a，生产系统将日常生产过程中产生的例如生产时间、生产对象的对象标识、生产批数、异常状态、生产流水线标识等实际生产状态参数存储于mm系统。监控系统在仅针对卡控批数进行监控的情况下，只需要基于该对象标识从mm系统中查询得到待监控对象的当前生产批数，例如上述xxx型号晶圆的生产批数为400批次。在仅针对卡控批数进行监控的情况下，只需要根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的当前生产批数即可，获取数据较少，可以大大节省数据处理资源，进一步提高数据处理效率与流程监控的效率。
106.在本公开一个可选实施例中，上述步骤203监控设备若实际生产状态参数超出预设阈值范围，则根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息，包括如下步骤d：
107.步骤d、若当前生产批数不小于卡控批数，监控设备则根据当前生产批数与卡控批数生成针对待监控对象的批数提醒信息。若当前生产批数大于或等于卡控批数，则意味着当前的生产批数已满批，监控设备则立刻自动生成针对生产批数的批数提醒信息。例如，xxx型号晶圆预设的生产周期为10～12天，当前的实际生产周期为13天，已经超过预设生产周期中的最长周期12天，监控设备则生成针对该xxx型号晶圆的提醒信息，例如下表(2)：
108.表(2)
109.对象标识预设阈值范围实际生产状态参数状态xxx型号晶圆10～12天13天超期
110.监控设备在当前生产批数不小于卡控批数，监控设备则根据当前生产批数与卡控批数生成针对待监控对象的批数提醒信息，该批数提醒信息中包含有当前生产批数与卡控批数，以方便工作人员更为清楚的明确当前具体的生产批数状态，进一步提高流程监控的可靠性与精准性。
111.在本公开一个可选实施例中，若待监控工单为针对待监控对象的延期工单，上述
步骤202监控设备根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数，包括如下步骤f：
112.步骤f、监控设备根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的当前生产批数，以及在生产线上位于当前生产批数之前且与当前生产批数相邻的历史生产批数。
113.当前生产批数与历史生产批数是指同一待监控对象在不同生产阶段的不同生产批数。例如，针对上述的xxx型号晶圆，工作人员按照时间顺序依次下单了第一待监控工单、第二待监控工单与第三待监控工单，第三待监控工单作为当前待监控工单，对应的生产批数为当前生产批数，历史生产批数对应的即为第二待监控工单对应的生产批数。若待监控工单为针对待监控对象的延期工单，也就是说，当前的待监控工单并非新建工单，而是针对待监控对象在原有历史监控工单，也就是上述第二待监控工单的基础上新增的延期工单。因此，本公开实施例针对待监控对象的延期情况，或者说针对同一待监控对象的不同待监控工单进行同步监控，在当前的待监控工单为待监控对象的延期工单的情况下，监控设备基于如上步骤b相同的方法，从生产系统中同时提取位于当前生产批数之前且与当前生产批数相邻的历史生产批数，以对该待监控对象的历史工单以及当前工单一起进行监控，从而提高监控数据的全面性与可靠性，以进一步提高流程监控的可靠性。
114.请参见图6，在本公开一个可选实施例中，上述流程监控方法还包括如下步骤601-步骤602：
115.步骤601、监控设备根据当前生产批数与历史生产批数计算待监控对象在实际生产中的累积生产批数。
116.如上步骤f分别获取得到当前待监控工单在生产系统中对应的当前生产批数，以及历史待监控工单在生产系统中对应的历史生产批数，然后计算两者之和，即可计算得到用于表征待监控对象当前需要进行监控的累积生产批数。
117.步骤602、监控设备判断累积生产批数是否不小于卡控批数。
118.本公开实施中待监控工单为延期工单，该累积生产批数与上述步骤c中新创建的待监控工单中的当前生产批数相对应，对应地，本公开实施例中通过判断累积生产批数是否不小于卡控批数来确定当前的实际生产状态，可以快速确定待监控工单当前的实际生产状态，例如是否满批、超批或者即将满批等情况，可以大大提高流程监控的精准性。
119.在本公开一个可选实施例中，上述步骤203若实际生产状态参数超出预设阈值范围，监控设备则根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息，包括如下步骤g：
120.步骤g、若累积生产批数不小于卡控批数，监控设备则根据累积生产批数与卡控批数生成针对待监控对象的批数提醒信息。
121.若累积生产批数大于或等于卡控批数，则意味着当前的生产批数已达标，监控设备则立刻自动生成针对生产批数的批数提醒信息，并发送至对应的管理终端，从而使得相关工作人员可以及时知晓并进行收检处理，否则继续进行持续监控；同时，该批数提醒信息中包含有累积生产批数与卡控批数，以方便工作人员更为清楚的明确当前具体的生产批数状态，进一步提高流程监控的可靠性与精准性。
122.请参见图7、在本公开一个可选实施例中，上述步骤204监控设备将提醒信息发送
至待监控对象对应的管理终端，包括如下步骤701-步骤703：
123.步骤701、监控设备确定变更工单的对应的目标邮件地址。
124.步骤702、监控设备将提醒信息按照预设邮件模板生成目标提醒邮件。
125.步骤703、监控设备将目标提醒邮件发送至目标邮件地址。
126.其中，预设邮件模板可以根据实际情况具体设定，例如可以包括如下信息：
127.待监控工单(id：xxxxxx)
128.对象标识预设阈值范围实际生产状态参数状态
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
129.当然，邮件模板包括但不限于如上所示，其他表征凡是在此不作穷举。
130.本公开实施例将生成的提醒信息通过自动链接邮件的方式发送至预先关联的目标邮件地址，关联人员可以及时接收该提醒信息，以便及时确定待监控工单当前的实际生产状态，时效性更高，可以进一步提高本公开实施例提供的流程监控的时效性与可靠性。
131.请参见图8，为了实现上述业务处理方法，本公开的一个实施例中提供一种流程监控装置800，该流程监控装置800包括：第一获取模块810、第二获取模块820、生成模块830和发送模块840，其中：
132.该第一获取模块810，用于获取待监控工单；其中，待监控工单中至少包含：待监控对象的对象标识与待监控对象的预设阈值范围；
133.该第二获取模块820，用于根据对象标识从生产系统中获取待监控对象的实际生产状态参数；
134.该生成模块830，用于若实际生产状态参数超出预设阈值范围，则根据实际生产状态参数与预设阈值范围生成针对待监控对象的提醒信息；
135.该发送模块840，用于将提醒信息发送至待监控对象对应的管理终端。
136.在本公开一个可选实施例中，该第一获取模块810具体用于，接收管理终端发送的监控请求信息；其中，监控请求信息中至少包括：待监控对象的对象标识；若监控请求信息中包含待监控对象的卡控工期，则根据对象标识与卡控工期生成待监控对象的工期监控工单。
137.在本公开一个可选实施例中，该第二获取模块820具体用于，根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的生产起始时刻。
138.在本公开一个可选实施例中，该生成模块830还用于，根据生产起始时刻与当前时刻计算待监控对象在实际生产中的当前生产时长；判断当前生产时长与卡控工期之间的差值是否小于预设阈值。
139.在本公开一个可选实施例中，该生成模块830具体用于，若当前生产时长与卡控工期之间的差值小于预设阈值，则根据生产起始时刻与卡控工期生成针对待监控对象的工单期限提醒信息。
140.在本公开一个可选实施例中，该第一获取模块810具体用于，接收管理终端发送的监控请求信息；若监控请求信息中包含待监控对象的卡控批数，则根据对象标识与卡控批数生成批数监控工单。
141.在本公开一个可选实施例中，该第二获取模块820具体用于，根据对象标识从生产
系统中获取待监控对象在实际生产中的当前生产批数。
142.在本公开一个可选实施例中，该生成模块830具体用于，若当前生产批数不小于卡控批数，则根据当前生产批数与卡控批数生成针对待监控对象的批数提醒信息。
143.在本公开一个可选实施例中，若待监控工单为针对待监控对象的延期工单，该第二获取模块820具体用于，根据对象标识从生产系统中获取待监控对象在实际生产中的当前生产批数，以及在生产线上位于当前生产批数之前且与当前生产批数相邻的历史生产批数。
144.在本公开一个可选实施例中，该生成模块830还用于，根据当前生产批数与历史生产批数计算待监控对象在实际生产中的累积生产批数；判断累积生产批数是否不小于卡控批数。
145.在本公开一个可选实施例中，该生成模块830具体用于，若累积生产批数不小于卡控批数，则根据累积生产批数与卡控批数生成针对待监控对象的批数提醒信息。
146.在本公开一个可选实施例中，该发送模块840具体用于，确定变更工单的对应的目标邮件地址；将提醒信息按照预设邮件模板生成目标提醒邮件；将目标提醒邮件发送至目标邮件地址。
147.本公开的示例性实施方式还提供了一种计算机可读存储介质，可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当程序产品在电子设备上运行时，程序代码用于使电子设备执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本公开各种示例性实施方式的步骤。在一种实施方式中，该程序产品可以实现为便携式紧凑盘只读存储器(cd-rom)并包括程序代码，并可以在电子设备，例如个人电脑上运行。然而，本公开的程序产品不限于此，在本文件中，可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。
148.程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以为但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)、可擦式可编程只读存储器(eprom或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(cd-rom)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。
149.计算机可读信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了可读程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。可读信号介质还可以是可读存储介质以外的任何可读介质，该可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。
150.可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于无线、有线、光缆、rf等等，或者上述的任意合适的组合。
151.可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本公开操作的程序代码，程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如java、c++等，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“c”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算设备
上部分在远程计算设备上执行、或者完全在远程计算设备或服务器上执行。在涉及远程计算设备的情形中，远程计算设备可以通过任意种类的网络，包括局域网(lan)或广域网(wan)，连接到用户计算设备，或者，可以连接到外部计算设备(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。在本公开实施例中，计算机可读存储介质中存储的程序代码被执行时可以实现如上流程监控方法中的任一步骤。
152.请参见图9，本公开的示例性实施方式还提供了一种电子设备900，可以是信息平台的后台服务器。下面参考图9对该电子设备900进行说明。应当理解，图9显示的电子设备900仅仅是一个示例，不应对本公开实施方式的功能和使用范围带来任何限制。
153.如图9所示，电子设备900以通用计算设备的形式表现。电子设备900的组件可以包括但不限于：至少一个处理单元910、至少一个存储单元920、连接不同系统组件(包括存储单元920和处理单元910)的总线930。
154.处理单元910表示一或多个通用处理装置，例如微处理器、中央处理单元，等等。更具体地，处理装置可为复杂指令集计算(cisc)微处理器、精简指令集计算(risc)微处理器、超长指令字(vliw)微处理器，或实施其它指令集的处理器，或实施指令集组合的处理器。处理单元910还可为一或多个专用处理装置，例如专用集成电路(asic)、现场可编程门阵列(fpga)、数字信号处理器(dsp)、网络处理器，等等。处理单元910经配置以执行用于执行本文中所论述的操作及步骤。其中，存储单元存储有程序代码，程序代码可以被处理单元910执行，使得处理单元910执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本发明各种示例性实施方式的步骤。例如，处理单元910可以执行如图2所示的方法步骤等。
155.存储单元920可以包括可包含不同类型的非易失性存储器单元及/或易失性存储器单元的任何组合，易失性存储器单元(例如，存储器装置)可(但不限于)随机存取存储单元(ram)921和/或高速缓存存储单元922，还可以进一步包括只读存储单元(rom)923，以及同步动态随机存取存储器(sdram)等。
156.存储单元920还可以包括具有一组(至少一个)程序模块925的程序/实用工具924，这样的程序模块925包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。存储单元920可为微控制器、专用逻辑电路系统(例如，现场可编程门阵列(fpga)、专用集成电路(asic)等)，或其它合适处理器。
157.总线930可以包括数据总线、地址总线和控制总线。
158.电子设备900也可以与一个或多个外部设备2000(例如键盘、指向设备、蓝牙设备等)通信，这种通信可以通过输入/输出(i/o)接口940进行。电子设备900还可以通过网络适配器950与一个或者多个网络(例如局域网(lan)，广域网(wan)和/或公共网络，例如因特网)通信。如图所示，网络适配器950通过总线930与电子设备9900的其它模块通信。应当明白，尽管图中未示出，可以结合电子设备900使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理单元、外部磁盘驱动阵列、raid系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。
159.在本公开实施例中，电子设备中存储的程序代码被执行时可以实现如上流程监控方法中的任一步骤。
160.应当注意，尽管在上文详细描述中提及了用于动作执行的设备的若干模块或者单
元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的示例性实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。
161.所属技术领域的技术人员能够理解，本公开的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本公开的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施方式、完全的软件实施方式(包括固件、微代码等)，或硬件和软件方面结合的实施方式，这里可以统称为“电路”、“模块”或“系统”。本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其他实施方式。本公开旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施方式仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。
162.应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限定。

技术特征：
1.一种流程监控方法，其特征在于，包括：获取待监控工单；其中，所述待监控工单中至少包含：待监控对象的对象标识与所述待监控对象的预设阈值范围；根据所述对象标识从生产系统中获取所述待监控对象的实际生产状态参数；若所述实际生产状态参数超出所述预设阈值范围，则根据所述实际生产状态参数与所述预设阈值范围生成针对所述待监控对象的提醒信息；将所述提醒信息发送至所述待监控对象对应的管理终端。2.根据权利要求1所述的流程监控方法，其特征在于，所述获取待监控工单，包括：接收所述管理终端发送的监控请求信息；其中，所述监控请求信息中至少包括：所述待监控对象的所述对象标识；若所述监控请求信息中包含所述待监控对象的卡控工期，则根据所述对象标识与所述卡控工期生成所述待监控对象的工期监控工单。3.根据权利要求2所述的流程监控方法，其特征在于，所述根据所述对象标识从生产系统中获取所述待监控对象的实际生产状态参数，包括：根据所述对象标识从所述生产系统中获取所述待监控对象在实际生产中的生产起始时刻。4.根据权利要求3所述的流程监控方法，其特征在于，所述方法还包括：根据所述生产起始时刻与当前时刻计算所述待监控对象在实际生产中的当前生产时长；判断所述当前生产时长与所述卡控工期之间的差值是否小于预设阈值。5.根据权利要求4所述的流程监控方法，其特征在于，所述若所述实际生产状态参数超出所述预设阈值范围，则根据所述实际生产状态参数与所述预设阈值范围生成针对所述待监控对象的提醒信息，包括：若所述当前生产时长与所述卡控工期之间的差值小于所述预设阈值，则根据所述生产起始时刻与所述卡控工期生成针对所述待监控对象的工单期限提醒信息。6.根据权利要求1所述的流程监控方法，其特征在于，所述获取待监控工单，包括：接收所述管理终端发送的所述监控请求信息；若所述监控请求信息中包含所述待监控对象的卡控批数，则根据所述对象标识与所述卡控批数生成批数监控工单。7.根据权利要求6所述的流程监控方法，其特征在于，所述根据所述对象标识从生产系统中获取所述待监控对象的实际生产状态参数，包括：根据所述对象标识从所述生产系统中获取所述待监控对象在实际生产中的当前生产批数。8.根据权利要求7所述的流程监控方法，其特征在于，所述若所述实际生产状态参数超出所述预设阈值范围，则根据所述实际生产状态参数与所述预设阈值范围生成针对所述待监控对象的提醒信息，包括：若所述当前生产批数不小于所述卡控批数，则根据所述当前生产批数与所述卡控批数生成针对所述待监控对象的批数提醒信息。9.根据权利要求6所述的流程监控方法，其特征在于，若所述待监控工单为针对所述待
监控对象的延期工单，所述根据所述对象标识从生产系统中获取所述待监控对象的实际生产状态参数，包括：根据所述对象标识从所述生产系统中获取所述待监控对象在实际生产中的所述当前生产批数，以及在生产线上位于所述当前生产批数之前且与所述当前生产批数相邻的历史生产批数。10.根据权利要求9所述的流程监控方法，其特征在于，所述方法还包括：根据所述当前生产批数与所述历史生产批数计算所述待监控对象在实际生产中的累积生产批数；判断所述累积生产批数是否不小于所述卡控批数。11.根据权利要求10所述的流程监控方法，其特征在于，所述若所述实际生产状态参数超出所述预设阈值范围，则根据所述实际生产状态参数与所述预设阈值范围生成针对所述待监控对象的提醒信息，包括：若所述累积生产批数不小于所述卡控批数，则根据所述累积生产批数与所述卡控批数生成针对所述待监控对象的批数提醒信息。12.根据权利要求1所述的流程监控方法，其特征在于，所述将所述提醒信息发送至所述待监控对象对应的管理终端，包括：确定所述变更工单的对应的目标邮件地址；将所述提醒信息按照预设邮件模板生成目标提醒邮件；将所述目标提醒邮件发送至所述目标邮件地址。13.一种流程监控装置，其特征在于，所述装置包括：第一获取模块，用于获取待监控工单；其中，所述待监控工单中至少包含：待监控对象的对象标识与所述待监控对象的预设阈值范围；第二获取模块，用于根据所述对象标识从生产系统中获取所述待监控对象的实际生产状态参数；生成模块，用于若所述实际生产状态参数超出所述预设阈值范围，则根据所述实际生产状态参数与所述预设阈值范围生成针对所述待监控对象的提醒信息；发送模块，用于将所述提醒信息发送至所述待监控对象对应的管理终端。14.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至12任一项所述的方法。15.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器；以及存储器，用于存储所述处理器的可执行指令；其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行权利要求1至12任一项所述的方法。

技术总结
本公开提供了一种流程监控方法、装置、存储介质和电子设备，涉及半导体技术领域。该流程监控方法先获取至少包含有待监控对象的对象标识与所述待监控对象的预设阈值范围的待监控工单，然后根据所述对象标识从生产系统中获取所述待监控对象的实际生产状态参数，若所述实际生产状态参数超出所述预设阈值范围，则根据所述实际生产状态参数与所述预设阈值范围生成针对所述待监控对象的提醒信息，将所述提醒信息发送至所述待监控对象对应的管理终端，从而解决了传统技术中存在的流程监控效率较低的技术问题，达到了在提高监控可靠性的同时大大提高流程监控效率的技术效果。时大大提高流程监控效率的技术效果。时大大提高流程监控效率的技术效果。


技术研发人员：马雪华 谢明宏
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2022.03.04
技术公布日：2023/9/14