一种检查治具的制作方法

1.本实用新型涉及检查设备技术领域，尤其涉及一种检查治具。


背景技术：

2.在对光掩膜基版进行加工制作后，需要使用检查治具配合检查设备对加工后的光掩膜基版进行质量检查。
3.现有技术中，检查治具在配合检查设备对光掩膜基版进行检查时，一次检查操作，仅能对光掩膜基版进行单面的检查，在对光掩膜基版另一面进行检查时，需要将光掩膜基版取出、翻面再安装，导致检查操作步骤增多，造成检查速度降低。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有的技术中存在的检查治具在配合检查设备对光掩膜基版进行检查时，一次检查操作，仅能对光掩膜基版进行单面的检查，在对光掩膜基版另一面进行检查时，需要将光掩膜基版取出、翻面再安装，导致检查操作步骤增多，造成检查速度降低的问题，而提出的一种检查治具。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种检查治具，包括安装架，所述安装架与滑槽固定连接，所述滑槽与滑块滑动连接，所述滑块与一号连接架固定连接，所述一号连接架与二号伺服电机固定连接，所述二号伺服电机与转轴固定连接，所述转轴与二号连接架转动连接，所述二号连接架与滑块固定连接，所述转轴与限位板固定连接，所述限位板与连接框固定连接，所述限位板与螺纹杆滑动连接，所述螺纹杆与吸盘固定连接，且螺纹杆与固定螺母固定连接，所述固定螺母与限位板表面贴合，所述螺纹杆与锁紧螺母螺纹连接。
6.优选的，所述滑槽一侧表面与固定板固定连接，所述固定板与一号伺服电机固定连接。
7.优选的，所述一号伺服电机转动输出轴贯穿滑槽一侧表面，且一号伺服电机转动输出轴与丝杆固定连接。
8.优选的，所述丝杆与滑块螺纹连接，且丝杆与滑槽转动连接。
9.优选的，所述转轴一端与二号伺服电机固定连接，且转轴两端均与二号连接架转动连接。
10.优选的，所述连接框表面设置有两个限位板，两个所述限位板对称分布在连接框两侧，且一个所述限位板与转轴固定连接。
11.优选的，所述限位板表面设置通槽，所述螺纹杆位于通槽内部与限位板滑动连接。
12.优选的，所述螺纹杆通过固定螺母与锁紧螺母与限位板表面夹紧固定，所述限位板表面设置有多个螺纹杆。
13.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：
14.1、本实用新型中，根据需要检查的光掩膜基版的尺寸，通过拧松锁紧螺母，此时螺
纹杆沿限位板进行滑动，便于对吸盘之间的间距进行调节，将吸盘之间的间距根据光掩膜基版尺寸调节合适后，通过拧紧锁紧螺母，此时通过固定螺母与锁紧螺母与限位板表面进行夹紧固定，便于对固定螺母进行固定，通过对吸盘之间的间距进行调节，便于对不同尺寸的吸盘进行固定检查，提高检查治具适用性。
15.2、本实用新型中，通过二号伺服电机带动转轴转动半圈，带动限位板翻转一面，此时光掩膜基版另一面朝上，再通过二号伺服电机翻转，带动光掩膜基版另一面进行检查，提高检查的效率。
附图说明
16.图1为本实用新型提出一种检查治具的立体图；
17.图2为本实用新型提出一种检查治具的转轴的立体图；
18.图3为本实用新型提出一种检查治具的连接框的立体图；
19.图4为本实用新型提出一种检查治具的锁紧螺母的立体图。
20.图例说明：1、安装架；2、滑槽；3、滑块；4、一号伺服电机；5、丝杆；6、固定板；7、一号连接架；8、二号伺服电机；9、二号连接架；10、连接框；11、限位板；12、螺纹杆；13、固定螺母；14、吸盘；15、转轴；16、锁紧螺母。
具体实施方式
21.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
22.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
23.请参阅图1、图2、图3和图4，本实用新型提供一种技术方案：一种检查治具，包括安装架1，安装架1与滑槽2固定连接，滑槽2与滑块3滑动连接，滑块3与一号连接架7固定连接，一号连接架7与二号伺服电机8固定连接，二号伺服电机8与转轴15固定连接，转轴15与二号连接架9转动连接，二号连接架9与滑块3固定连接，转轴15与限位板11固定连接，限位板11与连接框10固定连接，限位板11与螺纹杆12滑动连接，螺纹杆12与吸盘14固定连接，且螺纹杆12与固定螺母13固定连接，固定螺母13与限位板11表面贴合，螺纹杆12与锁紧螺母16螺纹连接，根据需要检查的光掩膜基版的尺寸，通过拧松锁紧螺母16，此时螺纹杆12沿限位板11进行滑动，便于对吸盘14之间的间距进行调节，提高检查治具适用性。
24.将光掩膜基版固定后，通过一号伺服电机4带动丝杆5转动，通过丝杆5带动滑块3沿滑槽2进行滑动，推动连接框10上部的光掩膜基版进行移动检查，对光掩膜基版一面检查完成后，通过二号伺服电机8带动转轴15转动半圈，带动限位板11翻转一面，此时光掩膜基版另一面朝上，再通过二号伺服电机8翻转，带动光掩膜基版另一面进行检查，提高检查的效率。
25.如图1、图3和图4所示，滑槽2一侧表面与固定板6固定连接，固定板6与一号伺服电机4固定连接，一号伺服电机4转动输出轴贯穿滑槽2一侧表面，且一号伺服电机4转动输出
轴与丝杆5固定连接，丝杆5与滑块3螺纹连接，且丝杆5与滑槽2转动连接，转轴15一端与二号伺服电机8固定连接，且转轴15两端均与二号连接架9转动连接，连接框10表面设置有两个限位板11，两个限位板11对称分布在连接框10两侧，且一个限位板11与转轴15固定连接，限位板11表面设置通槽，螺纹杆12位于通槽内部与限位板11滑动连接，螺纹杆12通过固定螺母13与锁紧螺母16与限位板11表面夹紧固定，限位板11表面设置有多个螺纹杆12。
26.通过拧松锁紧螺母16，此时螺纹杆12沿限位板11进行滑动，便于对吸盘14之间的间距进行调节，将吸盘14之间的间距根据光掩膜基版尺寸调节合适后，通过拧紧锁紧螺母16，此时通过固定螺母13与锁紧螺母16与限位板11表面进行夹紧固定，便于对固定螺母13进行固定，通过对吸盘14之间的间距进行调节，便于对不同尺寸的吸盘14进行固定检查，提高检查治具适用性。
27.本装置的使用方法及工作原理：将需要进行检查的光掩膜基版通过吸盘14吸附在连接框10上部，根据需要检查的光掩膜基版的尺寸，通过拧松锁紧螺母16，此时螺纹杆12沿限位板11进行滑动，便于对吸盘14之间的间距进行调节，将吸盘14之间的间距根据光掩膜基版尺寸调节合适后，通过拧紧锁紧螺母16，此时通过固定螺母13与锁紧螺母16与限位板11表面进行夹紧固定，便于对固定螺母13进行固定，通过对吸盘14之间的间距进行调节，便于对不同尺寸的吸盘14进行固定检查，提高检查治具适用性。
28.将光掩膜基版固定后，通过一号伺服电机4带动丝杆5转动，通过丝杆5带动滑块3沿滑槽2进行滑动，推动连接框10上部的光掩膜基版进行移动检查，对光掩膜基版一面检查完成后，通过二号伺服电机8带动转轴15转动半圈，带动限位板11翻转一面，此时光掩膜基版另一面朝上，再通过二号伺服电机8翻转，带动光掩膜基版另一面进行检查，提高检查的效率。
29.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

技术特征：
1.一种检查治具，包括安装架(1)，所述安装架(1)与滑槽(2)固定连接，所述滑槽(2)与滑块(3)滑动连接，其特征在于：所述滑块(3)与一号连接架(7)固定连接，所述一号连接架(7)与二号伺服电机(8)固定连接，所述二号伺服电机(8)与转轴(15)固定连接，所述转轴(15)与二号连接架(9)转动连接，所述二号连接架(9)与滑块(3)固定连接，所述转轴(15)与限位板(11)固定连接，所述限位板(11)与连接框(10)固定连接，所述限位板(11)与螺纹杆(12)滑动连接，所述螺纹杆(12)与吸盘(14)固定连接，且螺纹杆(12)与固定螺母(13)固定连接，所述固定螺母(13)与限位板(11)表面贴合，所述螺纹杆(12)与锁紧螺母(16)螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种检查治具，其特征在于：所述滑槽(2)一侧表面与固定板(6)固定连接，所述固定板(6)与一号伺服电机(4)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种检查治具，其特征在于：所述一号伺服电机(4)转动输出轴贯穿滑槽(2)一侧表面，且一号伺服电机(4)转动输出轴与丝杆(5)固定连接。4.根据权利要求3所述的一种检查治具，其特征在于：所述丝杆(5)与滑块(3)螺纹连接，且丝杆(5)与滑槽(2)转动连接。5.根据权利要求1所述的一种检查治具，其特征在于：所述转轴(15)一端与二号伺服电机(8)固定连接，且转轴(15)两端均与二号连接架(9)转动连接。6.根据权利要求1所述的一种检查治具，其特征在于：所述连接框(10)表面设置有两个限位板(11)，两个所述限位板(11)对称分布在连接框(10)两侧，且一个所述限位板(11)与转轴(15)固定连接。7.根据权利要求1所述的一种检查治具，其特征在于：所述限位板(11)表面设置通槽，所述螺纹杆(12)位于通槽内部与限位板(11)滑动连接。8.根据权利要求1所述的一种检查治具，其特征在于：所述螺纹杆(12)通过固定螺母(13)与锁紧螺母(16)与限位板(11)表面夹紧固定，所述限位板(11)表面设置有多个螺纹杆(12)。

技术总结
本实用新型提供一种检查治具，涉及检查设备技术领域，包括安装架，所述安装架与滑槽固定连接，所述滑槽与滑块滑动连接，所述滑块与一号连接架固定连接，所述一号连接架与二号伺服电机固定连接，所述二号伺服电机与转轴固定连接，所述转轴与二号连接架转动连接，所述二号连接架与滑块固定连接，所述转轴与限位板固定连接，所述限位板与连接框固定连接，所述限位板与螺纹杆滑动连接，所述螺纹杆与吸盘固定连接，且螺纹杆与固定螺母固定连接。本实用新型，通过二号伺服电机带动转轴转动半圈，带动限位板翻转一面，此时光掩膜基版另一面朝上，再通过二号伺服电机翻转，带动光掩膜基版另一面进行检查，提高检查的效率。提高检查的效率。提高检查的效率。


技术研发人员：李昌科 李周坤
受保护的技术使用者：深圳市精石光掩膜技术有限公司
技术研发日：2023.04.28
技术公布日：2023/9/16