被动调平平台及方法与流程

1.本发明涉及半导体设备领域，具体涉及一种被动调平平台及被动调平方法。


背景技术：

2.在半导体设备的制造或处理过程中，需要一个平台能实现晶圆与掩模板被动调平的功能，同时在调平后能保持水平向的位置精度。
3.现有技术结构包括垂向电机、被动调平机构定子、被动调平机构动子。为实现动子的被动调平的俯仰功能，动子的三个导向杆与晶圆固定部件间用定位滚珠和预紧弹簧来实现。同时在定子上设计了三个水平向定位杆，贴近晶圆固定部件，用于保持定子的水平向位置相对稳定性。
4.现有技术动子在导向销与支撑结构间用定位滚珠和预紧弹簧来实现垂向定位及调平的俯仰功能，但是其水平向位置未能约束，同时动子的俯仰功能造成相对定子的水平向位置变化，定子上设计的三个水平向定位杆需要留有水平向间隙来保证俯仰的行程。即动子自身无法保证水平向位置稳定性，也无法通过定子上的定位杆来实现精确定位约束，最终造成晶圆在工艺过中水平向位置漂移。
5.针对现有技术的上述不足，期望提供一种改进的被动调平平台和被动调平方法。


技术实现要素：

6.以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在标识出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以作为稍后给出的更详细描述之序言。
7.本发明提供了一种被动调平平台，包括：垂向电机；位于该垂向电机上方的定子组件，该定子组件包括定子底板、设置在该定子底板上的三个重力补偿气缸和三个锁定气缸；以及位于该定子组件上方的动子组件，该动子组件包括与该定子底板相连的三个导向销、带有支撑结构的晶圆固定部件、以及每个导向销与该支撑结构之间的调平连接件，其中该定子组件的锁定气缸用于锁定该动子组件的导向销，并且其中该调平连接件包括一个第一连接件和两个第二连接件，该第一连接件用于俯仰调平，该第二连接件用于俯仰和水平平移调平。
8.在一些实施例中，第一连接件包括双轴柔性件，第二连接件包括四轴柔性件。
9.在一些实施例中，双轴柔性件在x、y方向上各切割有一组中心对称的圆弧。
10.在一些实施例中，双轴柔性件沿rx、ry轴具有高可调节度并且沿x、y、z和rz轴具有低可调节度。
11.在一些实施例中，四轴柔性件分别在x、y方向上各切割有两组中心对称的圆弧。
12.在一些实施例中，四轴柔性件沿rx、ry、x、y轴具有高可调节度，并且沿z和rz轴具有低可调节度。
13.在一些实施例中，第一连接件包括单固定销万向节，第二连接件包括双固定销万向节。
14.在一些实施例中，该被动调平平台还包括安装平台，其中该定子组件被设置在该安装平台上方并且该垂向电机被设置在该安装平台下方。
15.在一些实施例中，定子底板呈圆形，并且三个导向销在该定子底板上均匀分布。
16.本发明还提供了利用前述被动调平平台进行被动调平的方法，包括：将晶圆置于被动调平平台的晶圆固定部件上；启动垂向电机以使该晶圆向上移动；以及当该晶圆与掩模板接触时，通过该被动调平平台调节该晶圆的姿态，以使该晶圆与该掩模板紧密贴合。
17.本发明的技术方案通过组合使用两种不同的调平连接件，能够满足晶圆与掩模板被动调平时的俯仰旋转及水平向平移的需求，同时能保持水平向的位置精度。
附图说明
18.结合附图理解下面阐述的详细描述时，本发明的特征、本质和优点将变得更加明显。在附图中，相同附图标记始终作相应标识。要注意，所描述的附图只是示意性的并且是非限制性的。在附图中，一些部件的尺寸可放大并且出于解说性的目的不按比例绘制。
19.图1示出了常规被动调平平台的系统示意图。
20.图2示出了本发明的被动调平平台的系统示意图。
21.图3示出了本发明的被动调平平台的第一示例性结构。
22.图4示出了本发明的被动调平平台的调平连接件的第一示例。
23.图5示出了本发明的被动调平平台的第二示例性结构。
24.图6示出了本发明的被动调平平台的调平连接件的第二示例。
25.图7示出了利用本发明的被动调平平台进行被动调平的示例方法。
具体实施方式
26.为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图对本发明进一步详细说明。在以下详细描述中，阐述了许多具体细节以提供对所描述的示例性实施例的透彻理解。然而，对于本领域技术人员显而易见的是，可以在没有这些具体细节中的一些或全部的情况下实践所描述的实施例。在其它示例性实施例中，没有详细描述公知的结构，以避免不必要地模糊本公开的概念。应当理解，本文所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。同时，在不冲突的情况下，实施例所描述的各个方面可以任意组合。
27.如上文提到的，现有技术中常规的被动调平平台在导向销与支撑结构间用定位滚珠和预紧弹簧来实现垂向定位及调平的俯仰功能，但是其水平向位置未能约束，同时动子的俯仰功能造成相对定子的水平向位置变化。动子自身无法保证水平向位置稳定性，也无法通过定子上的定位杆来实现精确定位约束，最终造成晶圆在工艺过中水平向位置漂移。
28.为此，本发明提供了一种改进的被动调平平台。本发明的被动调平平台利用导向销与支撑结构间的两种不同的调平连接件（例如，双轴柔性件和四轴柔性件）来实现调平功能并保持当前位置精度。
29.图1示出了常规被动调平平台的系统示意图100。
30.如图1中所示，常规被动调平平台主要包括垂向电机（101）、定子、动子。晶圆（106）置于动子的晶圆固定部件（102）上。为实现动子的被动调平的俯仰功能，动子的三个导向销（103）与晶圆固定部件间用定位滚珠和预紧弹簧（104）来实现。同时在定子上设计了三个水平向定位杆（105），贴近晶圆固定部件，用于保持定子的水平向位置相对稳定性。
31.为清晰起见，图1中仅示出了动子的两个导向销和定子的两个水平向定位杆。
32.图1的左侧示出了被动调平前的状态。如图所示，在调平之前晶圆与掩模板（107）之间未能贴合，留有一定的夹角。
33.图1的右侧示出了被动调平后的状态。如图所示，在被动调平后，晶圆固定部件的姿态进行调整，以使得晶圆固定部件上的晶圆与掩模板紧密贴合。
34.在图1的被动调平平台中，动子在导向销与晶圆固定部件的支撑结构间用定位滚珠和预紧弹簧来实现垂向定位及调平的俯仰功能，但是其水平向位置未能约束。同时，动子的俯仰功能造成相对定子的水平向位置变化，定子上设计的三个水平向定位杆需要留有水平向间隙来保证俯仰的行程。即，动子自身无法保证水平向位置稳定性，也无法通过定子上的定位杆来实现精确定位约束，最终造成晶圆在工艺过中水平向位置漂移。
35.图2示出了本发明的被动调平平台的系统示意图200。
36.本发明的被动调平平台同样主要包括垂向电机（201）、定子、动子等部分。与常规的被动调平平台类似，本发明的被动调平平台的动子包括晶圆固定部件（202），其上设置有晶圆（206）。动子还包括三个导向销（203）。
37.同样地，为了清晰起见，图1中仅示出了动子的两个导向销。
38.不同于图1中被动调平平台的定位滚珠和预紧弹簧，图2的被动调平平台在晶圆固定部件（202）与导向销（203）之间采用了两种不同的调平连接件（204和204’）。
39.调平连接件204用于俯仰调平，调平连接件204’用于俯仰和水平平移调平。
40.作为示例，图2中的调平连接件204为双轴柔性件，调平连接件204’为四轴柔性件。在本发明的一些实施例中，采用一个双轴柔性件和两个四轴柔性件（为清晰起见，图2中仅示出了其中一个四轴柔性件）。关于双轴柔性件和四轴柔性件的进一步细节将在下文结合图3和图4进行描述。
41.图2的左侧示出了被动调平前的状态。如图所示，在调平之前晶圆与掩模板（207）之间未能贴合，具有一定的夹角。
42.图2的右侧示出了被动调平后的状态。如图所示，在被动调平后，晶圆固定部件的姿态进行调整，以使得晶圆与掩模板紧密贴合。
43.如图2所示，本发明的被动调平平台通过两种不同的调平连接件来实现俯仰和水平平移调平，而不需要在定子上设置水平向定位杆，从而能够保持水平向的位置精度而同时降低调平平台的结构复杂度。
44.图3示出了本发明的被动调平平台的第一示例性结构300。
45.如图3所示，本发明的被动调平平台主要包括垂向电机（301）、位于垂向电机上方的定子组件、以及位于定子组件上方的动子组件。
46.定子组件包括定子底板（302）、设置在定子底板上的三个重力补偿气缸（303）和三个锁定气缸（304）。
47.动子组件包括与定子底板（302）相连的三个导向销（305）、带有支撑结构（307）的
晶圆固定部件（306）、以及每个导向销与支撑结构间的调平连接件（308、308’）。
48.锁定气缸（304）用于锁定动子组件的导向销（305）。
49.图3中包括三个导向销以及三个相对应的调平连接件。其中一个调平连接件（308，也被称为“第一连接件”）用于俯仰调平，另外两个调平连接件（308’，也被称为“第二连接件”）用于俯仰和水平平移调平。
50.不同于飞行器领域中的俯仰（pitch），在本发明中，俯仰是指沿rx和ry轴的移动（即，绕x和y轴的旋转）。即，本发明的被动调平中的俯仰相当于飞行器领域中的俯仰（pitch）和yaw（偏航）两者的组合。而俯仰调平是指通过调整沿rx和ry轴的移动（即，调整绕x轴和y轴的旋转角度）来进行调平。水平平移调平是指沿x和y轴的平移调平，通过调整沿x轴和y轴的平移位置来进行调平。
51.在图3的示例中，第一连接件（308）包括双轴柔性件，第二连接件（308’）包括四轴柔性件。为清晰起见，图3中仅示出了两个第二连接件中的一个。
52.被动调平平台还包括安装平台（309）。如图3中所示，定子组件被设置在安装平台（309）上方，并且垂向电机（301）被设置在安装平台下方。
53.在图3中，定子底板（302）呈圆形，并且三个导向销（305）在定子底板上均匀分布。但应注意，这种布置仅是示例性的而非限制性的。在实际实现中，本领域技术人员可以采用不同形状的定子底板，并且导向销可以按不同方式布置在定子底板上。
54.图4示出了本发明的被动调平平台的调平连接件的第一示例400。
55.图4中的调平连接件对应于图3的被动调平平台中的双轴柔性件和四轴柔性件。
56.具体而言，图4的左侧示出了双轴柔性件，并且图4的右侧示出了四轴柔性件。
57.如图4中所示，双轴柔性件分别在x、y方向上各切割有一组中心对称的圆弧。具体而言，双轴柔性件的上方圆弧（401）为沿x方向切割所得，下方圆弧（402）为沿y方向切割所得。应注意，x和y方向的指定是示例性的而非限制的。在替换实施例中，也可以将双轴柔性件上方圆弧的切割方向视为y方向，而将下方圆弧的切割方向视为x方向。
58.双轴柔性件的上述切割方式使得双轴柔性件沿rx、ry轴具有高可调节度，而沿x、y、z和rz轴具有低可调节度。
59.在本技术中，沿某个轴的可调节度表示沿该轴移动受到的约束程度。如果沿某个轴具有高可调节度，则表示在该轴上移动受到的约束较低并且能够沿该轴移动的范围较大。举例而言，沿rx轴具有高可调节度表示能够沿rx轴移动（即，绕x轴进行旋转）并且移动范围较大（即，旋转角度较大），沿ry轴具有高可调节度表示能够沿ry轴移动（即，绕y轴进行旋转）并且移动范围较大（即，旋转角度较大）。
60.类似地，在本技术中，沿某个轴具有低可调节度表示沿该轴移动受到的约束较高并且沿该轴移动的范围很小（或者不能沿该轴移动）。举例而言，沿x轴具有低可调节度表示沿x轴移动的范围很小或者不能沿x轴移动。沿rz轴具有低可调节度表示沿rz轴移动的范围很小（即，绕z轴进行旋转的角度很小）或者不能沿rz轴移动。
61.换言之，双轴柔性件沿rx、ry轴具有高可调节度表示能够绕x轴和y轴进行旋转的角度较大，由此能够在rx和ry轴上进行较大幅度的调整。而双轴柔性件沿x、y、z和rz轴具低可调节度则表示能够沿x、y和z轴移动的范围较小（或者无法移动）、并且能够绕z轴进行旋转的角度较小（或者无法旋转），由此沿这些轴无法进行调整或者能够调整的幅度较小。
62.由此，双轴柔性件能够满足平台的俯仰（沿x轴和y轴的旋转）功能需求，同时在其他自由度上受到的约束较大，从而能够保证其他自由度的位置稳定性。
63.在本技术中，可以用多种方式来定义可调节度。例如，可以用沿特定轴的可移动范围（平移距离、旋转角度、或其组合等等）来表示可调节度。对于x轴，可以用沿x轴平移移动的距离范围来表示x轴的可调节度。对于rx轴，可以用绕x轴旋转的角度范围来表示rx轴的可调节度。
64.同时，在具体实现中，可以根据实际情况来设定高可调节度和低可调节度。举例而言，可以根据实际调平需求来设定相应的可移动范围阈值，高于该阈值的可调节度可以被认为是高可调节度，而低于该阈值的可调节度可以被认为是低可调节度。
65.以平移移动为例，假设根据实际调平需求设定了可移动范围阈值a（平移移动的距离值），则当沿x轴的平移移动范围大于a时，可以认为x轴具有高可调节度，而当沿x轴的平移移动范围小于a时，可以认为x轴具有低可调节度。对于y轴和z轴，同样可以基于沿y轴和z轴的平移移动范围与阈值a的比较来判断y轴和z轴具有高可调节度还是低可调节度。
66.以旋转移动为例，假设根据实际调平需求设定了可移动范围阈值b（旋转移动的角度值），则当沿rx轴的移动范围（即，绕x轴的旋转移动范围）大于b时，可以认为rx轴具有高可调节度，而当沿x轴移动范围小于b时，可以认为rx轴具有低可调节度。对于ry轴和rz轴，同样可以基于ry轴和rz轴的移动范围（绕y轴和z轴的旋转移动范围）与阈值b的比较来判断y轴和z轴具有高可调节度还是低可调节度。
67.在替换实现中，还可以设定可移动范围的第一阈值和高于该第一阈值的第二阈值，并且高于第二阈值的可调节度可以被认为是高可调节度，而低于第一阈值的可调节度可以被认为是低可调节度。
68.如图4中进一步所示，四轴柔性件分别在x、y方向上各切割有两组中心对称的圆弧。具体而言，四轴柔性件的上方两个圆弧（403，404）为沿x方向切割所得，下方两个圆弧（405，406）为沿y方向切割所得。
69.四轴柔性件的上述切割方式使得四轴柔性件沿rx、ry、x、y轴具有高可调节度，而沿z和rz轴具有低可调节度。
70.由此，四轴柔性件能够沿rx、ry、x、y轴移动（即，绕x轴和y轴进行旋转，沿x和y轴进行平移移动），无法沿rz和z轴移动或者沿rz和z轴移动的范围较小（即，无法绕z轴进行旋转（或旋转角度较小）、并且无法沿z轴进行平移移动（或者移动范围较小））。
71.由此，四轴柔性件能够满足被动调平时俯仰旋转（沿x轴和y轴的旋转）及水平向平移（在x-y平面中的平移）的需求。
72.在图4的示例中，示出了双轴柔性件和四轴柔性件的特定切割方式，但应注意，这仅是示例性的而非限制性的。在具体实现中，本领域技术人员可以根据实际情况采用不同的切割方式。
73.例如，双轴柔性件可以按首先沿y方向切割得到上方圆弧，随后沿x方向切割得到下方圆弧。即，图4中的圆弧401可以与圆弧402颠倒顺序。类似地，四轴柔性件也可以按首先沿y方向切割得到上方两个圆弧、随后沿x方向切割得到下方两个圆弧。即，图4中的圆弧403和404可以与圆弧405和406颠倒顺序。更进一步，还可以交替地沿x方向和y方向切割四轴柔性件。
74.此外，图4中示出了沿x方向和沿y方向的圆弧数量相等并且每个圆弧具有相同的切割弧度。在实际实现中，本领域技术人员可以根据实际需要而使沿x方向和沿y方向的圆弧数量不同和/或使圆弧具有不同的切割弧度。
75.圆弧的切割弧度会影响切割后柔性件的可调节度（即，沿特定轴移动时受约束的程度）。例如，圆弧的切割弧度越陡（即，圆弧的弯曲程度越大），则切割后柔性件的可调节度越高（沿特定轴移动时受约束越小，可移动范围越大）。反之，圆弧的切割弧度越平坦（即，圆弧的弯曲程度越小），则切割后柔性件的可调节度越低（沿特定轴移动时受约束越大，可移动范围越小）。
76.此外，圆弧的左右两个半圆弧之间的间隔也会影响切割后柔性件的可调节度。例如，左右半圆弧之间的间隔越小，则切割后柔性件的可调节度越高，左右半圆弧之间的间隔越大，则切割后柔性件的可调节度越低。
77.在实际实现中，本领域技术人员可以根据实际的调平需求（例如，需要在各个方向上调整的幅度范围）来选择柔性件的材料并设置柔性件的具体切割方式（诸如切割顺序、切割弧度、左右半圆弧之间的间隔等等），使得切割后的柔性件组合（一个双轴柔性件和两个四轴柔性件）满足被动调平平台的实际调平需求。
78.图5示出了本发明的被动调平平台的第二示例性结构500。
79.图5中的被动调平平台结构类似于图3中的被动调平平台。
80.具体而言，图5的被动调平平台同样包括垂向电机（501）、位于垂向电机上方的定子组件、以及位于定子组件上方的动子组件。
81.定子组件包括定子底板（502）、设置在定子底板上的三个重力补偿气缸（503）和三个锁定气缸（504）。
82.动子组件包括与定子底板相连的三个导向销（505）、带有支撑结构（507）的晶圆固定部件（506）、以及每个导向销与支撑结构间的调平连接件（508、508’）。
83.锁定气缸（504）用于锁定动子组件的导向销（505）。
84.被动调平平台还包括安装平台（509）。如图3中所示，定子组件被设置在安装平台（509）上方，并且垂向电机（501）被设置在安装平台下方。
85.图5的被动调平平台包括三个调平连接件：一个第一连接件（508）和两个第二连接件（508’），其中第一连接件（508）用于俯仰调平，第二连接件（508’）用于俯仰和水平平移调平。
86.不同于图3中双轴柔性件形式的第一连接件和四轴柔性件形式的第二连接件，如图5中所示，第一连接件（508）包括单固定销万向节，第二连接件（508’）包括双固定销万向节。为清晰起见，图5中仅示出了两个第二连接件中的一个。
87.在图5中，定子底板（502）呈圆形，并且三个导向销（505）在定子底板上均匀分布。但应注意，这种布置仅是示例性的而非限制性的。在实际实现中，本领域技术人员可以采用不同形状的定子底板，并且导向销可以按不同方式布置在定子底板上。
88.图6示出了本发明的被动调平平台的调平连接件的第二示例600。
89.图6中的调平连接件对应于图5的被动调平平台中的单固定销万向节和双固定销万向节。
90.具体而言，图6的左侧示出了单固定销万向节，并且图6的右侧示出了双固定销万
向节。
91.万向节（universal joint，也称为万向接头）是实现变角度动力传递的机件，用于需要改变传动轴线方向的位置。万向节的结构和作用类似于人体四肢上的关节，它允许被连接的零件之间的夹角在一定范围内变化。关于万向节在本领域是公知的，在此不再赘述。
92.图6中示出了两种不同类型的万向节。具体而言，图6的左侧示出了单固定销万向节。通过单个固定销，可以实现沿rx和ry轴的调整，其作用类似于图4中的双轴柔性件。由此，单固定销万向节能够实现俯仰调平。图6的右侧示出了双固定销万向节。通过上下两个固定销，可以实现沿rx、ry、x和y轴的调整，其作用类似于图4中的四轴柔性件。由此，双固定销万向节能够实现俯仰和水平平移调平。
93.图4至图6示出了本发明的被动调平平台的两个示例性结构。具体而言，图4和图5示出了在导向销与晶圆固定部件的支撑结构之间采用一个双轴柔性件和两个四轴柔性件作为连接件，而图5和图6示出了在导向销与晶圆固定部件的支撑结构之间采用一个单固定销万向节和两个双固定销万向节作为连接件。但应注意，这仅是示例性的而非限制性的。在具体实现中，本领域技术人员可以根据实际情况采用其他形式的连接件。例如，可以采用除双轴柔性件和单固定销万向节之外的能够实现俯仰调平的其他合适连接件、以及除四轴柔性件和双固定销万向节之外的能够实现俯仰和水平平移调平的其他合适连接件。
94.图7示出了利用本发明的被动调平平台进行被动调平的示例方法700。
95.如图所示，方法700开始于步骤705。在步骤705，将晶圆置于被动调平平台的晶圆固定部件上。掩模板可以置于被动调平平台的上方（如图2中所示）。
96.接着，在步骤710，可以启动被动调平平台的垂向电机，以使晶圆向上移动。
97.在启动垂向电机后，整个被动调平平台将会向上移动，从而带动被动调平平台上的晶圆也一起向上移动。
98.在步骤715，当晶圆与掩模板接触时，通过被动调平平台调整晶圆的姿态，以使晶圆与掩模板紧密贴合。
99.在理想情况下，掩模板与晶圆严格平行，从而当被动调平平台上升后，两者接触时能够紧密贴合。
100.然而，在实际的半导体工艺中，掩模板往往不会与晶圆严格平行，而是具有一定的偏差（例如，两者具有一定的夹角）。在该情况下，通过被动调平平台的被动调平，可以自动调整晶圆的姿态，从而使晶圆与掩模板紧密贴合。
101.具体而言，被动调平平台的一个调平连接件（诸如双轴柔性件）可以调整晶圆沿rx和ry轴的移动，从而调整晶圆绕x和y轴的旋转，同时该双轴柔性件可以保证晶圆沿其他轴的位置稳定性，防止晶圆在工艺过程中出现水平向位置漂移。
102.同时，被动调平平台的另外两个调平连接件（诸如两个四轴柔性件）可以调整晶圆沿rx、ry、x和y轴的移动，从而调整晶圆绕x和y轴的旋转以及沿x和y轴的平移，以满足被动调平时的俯仰和水平向平移的需求。
103.本发明的被动调平平台通过组合使用两种不同的调平连接件，能够满足晶圆与掩模板被动调平时的俯仰及水平向平移的需求，同时能保持水平向的位置精度，防止晶圆出现水平向位置漂移。
104.以上结合附图阐述的详细说明描述了示例而不代表可被实现或者落在权利要求
的范围内的所有示例。术语“示例”和“示例性”在本说明书中使用时意指“用作示例、实例或解说”，并不意指“优于或胜过其它示例”。
105.贯穿本说明书引述的“一个实施例”或“一实施例”意指结合该实施例描述的特定特征、结构或特性是包含在本发明的至少一个实施例中的。因此，这些短语的使用可以不仅仅指代一个实施例。此外，所描述的特征，结构或特性可以在一个或多个实施例中以任何合适的方式组合。
106.提供之前的描述是为了使本领域任何技术人员均能够实践本文中所描述的各种方面。对这些方面的各种修改将容易为本领域技术人员所明白，并且在本文中所定义的普适原理可被应用于其它方面。因此，权利要求并非旨在被限定于本文中所示的方面，而是应被授予与语言上的权利要求相一致的全部范围，其中对要素的单数形式的引述除非特别声明，否则并非旨在表示“有且仅有一个”，而是“一个或多个”。除非特别另外声明，否则术语“一些”指的是一个或多个。本发明通篇描述的各个方面的要素为本领域普通技术人员当前或今后所知的所有结构上和功能上的等效方案通过引述被明确纳入于此，且旨在被权利要求所涵盖。
107.还应注意，这些实施例可能是作为被描绘为流程图、流图、结构图、或框图的过程来描述的。尽管流程图可能会把诸操作描述为顺序过程，但是这些操作中有许多操作能够并行或并发地执行。另外，这些操作的次序可被重新安排。
108.虽然已经说明和描述了各种实施例，但是应该理解，实施例不限于上述精确配置和组件。可以在本文公开的设备的布置、操作和细节上作出对本领域技术人员显而易见的各种修改、替换和改进而不脱离权利要求的范围。

技术特征：
1.一种被动调平平台，包括：垂向电机；位于所述垂向电机上方的定子组件，所述定子组件包括定子底板、设置在所述定子底板上的三个重力补偿气缸和三个锁定气缸；以及位于所述定子组件上方的动子组件，所述动子组件包括与所述定子底板相连的三个导向销、带有支撑结构的晶圆固定部件、以及每个导向销与所述支撑结构之间的调平连接件，其中所述定子组件的锁定气缸用于锁定所述动子组件的导向销，并且其中所述调平连接件包括一个第一连接件和两个第二连接件，所述第一连接件用于俯仰调平，所述第二连接件用于俯仰和水平平移调平。2.根据权利要求1所述的被动调平平台，其特征在于，所述第一连接件包括双轴柔性件，所述第二连接件包括四轴柔性件。3.根据权利要求2所述的被动调平平台，其特征在于，所述双轴柔性件在x、y方向上各切割有一组中心对称的圆弧。4.根据权利要求3所述的被动调平平台，其特征在于，所述双轴柔性件沿rx、ry轴具有高可调节度，并且沿x、y、z和rz轴具有低可调节度。5.根据权利要求2所述的被动调平平台，其特征在于，所述四轴柔性件分别在x、y方向上各切割有两组中心对称的圆弧。6.根据权利要求5所述的被动调平平台，其特征在于，所述四轴柔性件沿rx、ry、x、y轴具有高可调节度，并且沿z和rz轴具有低可调节度。7.根据权利要求1所述的被动调平平台，其特征在于，所述第一连接件包括单固定销万向节，所述第二连接件包括双固定销万向节。8.根据权利要求1所述的被动调平平台，其特征在于，还包括安装平台，其中所述定子组件被设置在所述安装平台上方并且所述垂向电机被设置在所述安装平台下方。9.根据权利要求1所述的被动调平平台，其特征在于，所述定子底板呈圆形，并且所述三个导向销在所述定子底板上均匀分布。10.一种利用权利要求1至9中任一项所述的被动调平平台进行被动调平的方法，包括：将晶圆置于所述被动调平平台的晶圆固定部件上；启动垂向电机以使所述晶圆向上移动；以及当所述晶圆与掩模板接触时，通过所述被动调平平台调节所述晶圆的姿态，以使所述晶圆与所述掩模板紧密贴合。

技术总结
本发明公开了一种被动调平平台，包括：垂向电机；位于该垂向电机上方的定子组件，该定子组件包括定子底板、设置在该定子底板上的三个重力补偿气缸和三个锁定气缸；位于该定子组件上方的动子组件，该动子组件包括与该定子底板相连的三个导向销、带有支撑结构的晶圆固定部件、以及每个导向销与该支撑结构之间的调平连接件，其中该定子组件的锁定气缸用于锁定该动子组件的导向销，并且其中该调平连接件包括一个第一连接件和两个第二连接件，该第一连接件用于俯仰调平，该第二连接件用于俯仰和水平平移调平。平移调平。平移调平。


技术研发人员：陈建民 吴云涛 姜小光 宋建功
受保护的技术使用者：上海图双精密装备有限公司
技术研发日：2023.08.16
技术公布日：2023/9/16