一种新型坩埚的制作方法

1.本实用新型涉及坩埚技术领域，更具体地说，它涉及一种新型坩埚。


背景技术：

2.目前在半导体及光学部件制程中，部分产品为了保护表面和提高表面防水效果及机械强度，需要镀膜af防水膜(有机氟化物)，通常采用电阻蒸发的方式，该方式需要频繁更换钨制蒸发舟，降低了工作效率。
3.同时，坩埚及其坩埚盖是一一配对的，同时也会对其进行编号，方便在使用时查找相对应的样品。完成镀膜后，我们需要把它清洗干净，然后放入恒温干燥箱中烘干。接着，会把它们从干燥箱中取出，放置至冷却，整理备用，但是由于坩埚与坩埚盖是一一配对的，在干燥箱中需要将锅盖取下来，这样容易造成锅盖混杂在一起，容易拿错，也容易丢失和敲碎。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种将坩埚盖正放在坩埚盘中，且将第一锥形柱插进锥形槽中，使得坩埚本体倒放在坩埚盖正上方，坩埚本体中的水流到坩埚盖表面，通过导流孔流走，提高了后续烘干效率，同时避免各坩埚本体与坩埚盖混杂在一起，避免丢失的新型坩埚。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
6.一种新型坩埚，包括坩埚本体以及盖设在所述坩埚本体上的坩埚盖；所述坩埚本体端部呈圆周阵列分布开有锥形槽；所述坩埚盖表面呈圆周阵列分布设置有支撑柱；所述支撑柱端部设置有与锥形槽相适配的第一锥形柱；使用时，将所述坩埚盖盖合在所述坩埚本体上，使用清洗后，将所述坩埚盖正放在坩埚盘中，且将所述第一锥形柱插进锥形槽中，使得所述坩埚本体倒放在所述坩埚盖正上方。
7.本实用新型进一步设置为：所述第一锥形柱周侧面均匀开设有导流槽；所述坩埚盖内部呈一定倾斜角度向下均匀开设有导流孔。
8.本实用新型进一步设置为：所述坩埚盖内顶部设置有与坩埚本体盖合的密封板；所述坩埚盖内顶部位于所述密封板外侧呈圆周阵列分布设置有与锥形槽相适配的第二锥形柱。
9.本实用新型进一步设置为：所述坩埚本体周侧面靠近顶端位置处固定连接有连接凸筋；所述坩埚本体周侧面位于连接凸筋下方呈圆周阵列分布开有夹持槽；所述坩埚本体周侧面位于各夹持槽下方均开有限位槽。
10.本实用新型的优点是：
11.1、本实用新型将所镀膜材料放置在坩埚本体内，盖好上坩埚盖，将整个主体放置在坩埚盘中后，可以开始蒸镀，此时，坩埚盖上的密封板盖合在坩埚本体上，同时，各第二锥形柱插接在锥形槽中，提高了坩埚盖与坩埚本体的盖合稳定性。
12.2、本实用新型对其清洗后，将坩埚盖正放在坩埚盘中，且将第一锥形柱插进锥形槽中，使得坩埚本体倒放在坩埚盖正上方，坩埚本体中的水流到坩埚盖表面，通过导流孔流走，提高了后续烘干效率，同时避免各坩埚本体与坩埚盖混杂在一起，避免丢失。
13.3、本实用新型采用石墨坩埚，相较传统钨制蒸发舟，有更高的熔点减少形变风险，有更好的导热性能，缩短镀膜时间，提高效率；通过夹持槽限定夹子的位置，进而提高夹子夹持坩埚本体的稳定性，同时连接凸筋进一步防止坩埚本体从夹子上滑落，进一步提高夹子对坩埚本体夹持的稳定性。
附图说明
14.图1为本实用新型的使用状态下新型坩埚的结构示意图。
15.图2为本实用新型的使用清洗晾干状态下新型坩埚的结构示意图。
16.图3为本实用新型的坩埚本体的结构示意图。
17.图4为本实用新型的坩埚本体俯视视角的结构示意图。
18.图5为本实用新型的坩埚盖的结构示意图。
19.图6为本实用新型的坩埚盖另一角度的结构示意图。
20.图中：1、坩埚本体；2、坩埚盖；3、锥形槽；4、支撑柱；5、第一锥形柱；6、导流槽；7、导流孔；8、密封板；9、第二锥形柱；10、连接凸筋；11、夹持槽；12、限位槽。
具体实施方式
21.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
22.需要指出的是，除非另有指明，本技术使用的所有技术和科学术语具有与本技术所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
23.本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言，或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“左、右”通常是针对附图所示的左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本实用新型。
24.实施例一
25.请参阅图1-6，本实用新型提供以下技术方案：
26.具体地是指一种新型坩埚，包括坩埚本体1以及盖设在坩埚本体1上的坩埚盖2；坩埚本体1端部呈圆周阵列分布开有锥形槽3；坩埚盖2表面呈圆周阵列分布设置有支撑柱4；支撑柱4端部设置有与锥形槽3相适配的第一锥形柱5；使用时，将坩埚盖2盖合在坩埚本体1上，使用清洗后，将坩埚盖2正放在坩埚盘中，且将第一锥形柱5插进锥形槽中，使得坩埚本体1倒放在坩埚盖2正上方。
27.本实施例一的具体实施方式为：将所镀膜材料放置在坩埚本体1内，盖好上坩埚盖2，将整个主体放置在坩埚盘中后，可以开始蒸镀；对其清洗后，将坩埚盖2正放在坩埚盘中，且将第一锥形柱5插进锥形槽3中，使得坩埚本体1倒放在坩埚盖2正上方，提高了后续烘干效率，同时避免各坩埚本体1与坩埚盖2混杂在一起，避免丢失。
28.实施例二
29.请参阅图1-6，本实施例二在实施例一的基础上作如下改进，具体地，第一锥形柱5周侧面均匀开设有导流槽6；坩埚盖2内部呈一定倾斜角度向下均匀开设有导流孔7；坩埚盖2内顶部设置有与坩埚本体1盖合的密封板8；坩埚盖2内顶部位于密封板8外侧呈圆周阵列分布设置有与锥形槽3相适配的第二锥形柱9。
30.本实施例二的具体实施方式为：坩埚盖2上的密封板8盖合在坩埚本体1上，同时，各第二锥形柱9插接在锥形槽3中，提高了坩埚盖2与坩埚本体1的盖合稳定性；坩埚本体1倒放在坩埚盖2正上方，坩埚本体1中的水流到坩埚盖1表面，通过导流孔7流走，提高了后续烘干效率。
31.实施例三
32.请参阅图3，本实施例三在实施例一的基础上作如下改进，具体地，坩埚本体1周侧面靠近顶端位置处固定连接有连接凸筋10；坩埚本体1周侧面位于连接凸筋10下方呈圆周阵列分布开有夹持槽11；坩埚本体1周侧面位于各夹持槽11下方均开有限位槽12。
33.本实施例三的具体实施方式为：采用石墨坩埚，相较传统钨制蒸发舟，有更高的熔点减少形变风险，有更好的导热性能，缩短镀膜时间，提高效率；通过夹持槽11限定夹子的位置，进而提高夹子夹持坩埚本体1的稳定性，同时连接凸筋10进一步防止坩埚本体1从夹子上滑落，进一步提高夹子对坩埚本体1夹持的稳定性。
34.显然，上述所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
35.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。
36.需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
37.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
38.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

技术特征：
1.一种新型坩埚，包括坩埚本体(1)以及盖设在所述坩埚本体(1)上的坩埚盖(2)；其特征在于：所述坩埚本体(1)端部呈圆周阵列分布开有锥形槽(3)；所述坩埚盖(2)表面呈圆周阵列分布设置有支撑柱(4)；所述支撑柱(4)端部设置有与锥形槽(3)相适配的第一锥形柱(5)；使用时，将所述坩埚盖(2)盖合在所述坩埚本体(1)上，使用清洗后，将所述坩埚盖(2)正放在坩埚盘中，且将所述第一锥形柱(5)插进锥形槽中，使得所述坩埚本体(1)倒放在所述坩埚盖(2)正上方。2.根据权利要求1所述的一种新型坩埚，其特征在于：所述第一锥形柱(5)周侧面均匀开设有导流槽(6)；所述坩埚盖(2)内部呈一定倾斜角度向下均匀开设有导流孔(7)。3.根据权利要求2所述的一种新型坩埚，其特征在于：所述坩埚盖(2)内顶部设置有与坩埚本体(1)盖合的密封板(8)；所述坩埚盖(2)内顶部位于所述密封板(8)外侧呈圆周阵列分布设置有与锥形槽(3)相适配的第二锥形柱(9)。4.根据权利要求3所述的一种新型坩埚，其特征在于：所述坩埚本体(1)周侧面靠近顶端位置处固定连接有连接凸筋(10)；所述坩埚本体(1)周侧面位于连接凸筋(10)下方呈圆周阵列分布开有夹持槽(11)；所述坩埚本体(1)周侧面位于各夹持槽(11)下方均开有限位槽(12)。

技术总结
本实用新型适用于坩埚技术领域，提供了一种新型坩埚，包括坩埚本体以及盖设在坩埚本体上的坩埚盖；坩埚本体端部呈圆周阵列分布开有锥形槽；坩埚盖表面呈圆周阵列分布设置有支撑柱；支撑柱端部设置有与锥形槽相适配的第一锥形柱；使用时，将坩埚盖盖合在坩埚本体上，使用清洗后，将坩埚盖正放在坩埚盘中，且将第一锥形柱插进锥形槽中，使得坩埚本体倒放在坩埚盖正上方。该装置将坩埚盖正放在坩埚盘中，且将第一锥形柱插进锥形槽中，使得坩埚本体倒放在坩埚盖正上方，坩埚本体中的水流到坩埚盖表面，通过导流孔流走，提高了后续烘干效率，提高了坩埚盖与坩埚本体的盖合稳定性，同时避免各坩埚本体与坩埚盖混杂在一起，避免丢失。避免丢失。避免丢失。


技术研发人员：戴兴旺 李宁 居法银
受保护的技术使用者：浙江优众新材料科技有限公司
技术研发日：2023.05.18
技术公布日：2023/9/16