一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置的制作方法

1.本实用新型属于分子泵拆装装置技术领域，涉及一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置。


背景技术：

2.目前拆装大多使用机械吊臂、剪叉式升降平台。在遇到紧凑型设备或分子泵安装在设备内部的情形下，往往无法深入设备内部进行吊装，而现有的升降平台多采用剪叉式结构，受其结构限制，导致其体积大，与设备容易产生干涉，无法应用到实际工作中。


技术实现要素：

3.为了解决现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置。
4.本实用新型提供了一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置。所述装置主要由u型底座，主框架，万向轮组，加强筋，滑动轴承，复位弹簧，液压顶升装置，用于承放刻蚀设备分子泵的升降平台，平台支撑柱，液压泵组成。
5.所述u型底座底部设置有万向轮组，所述万向轮组包括双数个万向轮，对称设置于u型底座的两条长边上，具体数量可以根据实际装置的大小和需求选择，安装完后装置稳固、耐用、便于移动即可；具体地，万向轮通过万向轮安装支架和万向轮轴安装在u型底座底部，可以自由旋转以实现方向的改变，并且可以承受一定的重量；所述万向轮组可以让装置在狭小的空间内轻松移动和转向，同时也可以提高本实用新型装置的稳定性和控制性。
6.所述主框架为门字型结构，由两根竖直支撑柱和一根水平横梁构成，所述水平横梁两端分别与竖直支撑柱远离地面的顶部固定连接，形成门字型，竖直支撑柱和水平横梁可以使用矩形空心钢管或者其他合适的刚性材质制成；整个主框架垂直地固定设置在u型底座的一端。
7.所述主框架与所述u型底座的交界位置固定设置有一个液压泵，所述液压泵包括泵体、活塞、手柄、液压油箱、进油过滤器、泄压阀、压力表等组件；
8.其中，
9.泵体是液压泵的主体部分，通常由铸铁、铝合金等材料制成，其内部有一个受压腔和一个吸油腔。
10.液压泵的活塞通常由钢材制成，直径较小。它通过手柄的操作，在泵体内部往复运动，从而形成一个泵腔的变化。泵腔随着活塞的移动而扩大，形成负压，吸入油液，泵腔随着活塞的移动而缩小，形成正压，将油液输出。
11.手柄是液压泵的操作部分，通常由金属或塑料制成。手柄通过联轴器与活塞相连，操作手柄可以使活塞往复运动。
12.液压油箱通常位于液压泵的底部，负责存储液压油，保证液压系统的正常运转。
13.进油过滤器位于液压油箱内，负责过滤进入液压泵的液压油，防止泵体内部发生
故障。
14.泄压阀可以控制液压系统的最大工作压力，当液压系统达到设定压力时，泄压阀会自动打开，将多余的油液泄放出去。
15.压力表通常位于液压泵的输出口处，用于显示液压系统的工作压力，方便操作者掌握工作情况。
16.所述液压泵通过液压管道与液压顶升装置连接，控制液压顶升装置的上升和下降。
17.所述主框架平面的垂直方向上外伸设置有u形的用于安装升降平台的平台框架，所述平台框架的u形开口端两侧分别固定在主框架的两根竖直支撑柱上；
18.所述平台框架和所述主框架之间的角落处还设置有加强筋，所述加强筋可以为三角形结构，用于将受力分散到整个结构中，提高杆件的强度和刚度，还可以减少结构的重量和成本，提高结构的稳定性和耐久性。
19.所述平台框架上对称开有多个通孔，每个通孔对应位置设置有滑动轴承，所述滑动轴承通过轴承螺丝固定安装在所述平台框架上，所述滑动轴承的内径比所述通孔的直径小约1cm；每个滑动轴承中间和平台框架通孔形成的贯通空间中设置有一个平台支撑柱，所述平台支撑柱的长度超过滑动轴承高度和平台框架厚度的总和，所述平台支撑柱超过滑动轴承的一端通过第一固定螺丝与升降平台固定，伸出平台框架的一端通过第二固定螺丝固定有限位圆盘，所述限位圆盘的直径小于平台框架上的通孔约4mm，大于滑动轴承的内径约6mm；限位圆盘可以完全伸入到平台框架的通孔中，但是由于限位圆盘的直径大于滑动轴承内径，因此，能够与滑动轴承形成限位，防止平台支撑柱从顶端完全伸出；这样设计的优势在于能够充分利用框架本身的高度来增加升降的行程，减少下方支撑柱超过框架的长度，来提供设备的通过性。
20.所述平台支撑柱近平台框架的一端包裹有一个复位弹簧，所述复位弹簧是一个绕成螺旋形的金属线圈，可以储存弹性能量并在外力作用下发生变形。当外力消失时，复位弹簧可以通过释放储存的弹性能量来将机械系统恢复到初始位置或状态。
21.多个平台支撑柱共同支撑升降平台，所述升降平台通过多个第一固定螺丝分别固定在多个平台支撑柱上；所述升降平台下侧设置有液压顶升装置，所述液压顶升装置通过液压管道与液压泵相连，可以通过液压驱动升降平台的上升和下降。
22.高负载情况可将滑动轴承改为无油衬套，提高升降平台稳定性。
23.根据实际需要，所述装置还可以增加其他结构。
24.所述装置可在地面随意前进，在进行分子泵安装时，不需要人工将分子泵抬至安装位置，只需放在装置的升降平台上，再将装置推入设备中，依靠万向轮调节使分子泵处于安装位置下方，按压液压泵，使分子泵上升至设备安装孔位，锁紧安装螺丝，打开液压泵的泄压阀，复位弹簧带动升降平台下降至起始点，推出装置即可完成安装，当分子泵拆卸时，现将装置推至分子泵下方，按压液压泵，使升降平台托住分子泵底座，拆卸分子泵螺丝，再将升降平台下降，移动装置将分子泵放在指定位置。
25.本实用新型的有益效果包括：本实用新型结构紧凑，u型底座不仅高度低，还能有效的避开设备底部支撑脚，从而使升降平台深入设备内部。使用液压装置实现升降功能，操作省力，承载力大。轮组全部采用万向轮结构，使拆装辅助设备在设备内部能够灵活移动，
方便分子泵与设备的对接。平台支撑杆配备复位弹簧，使升降平台快速回落，提高工作效率。升降平台的高度可根据设备实际情况调整，提高了拆装辅助设备的兼容性。
附图说明
26.图1是本实用新型刻蚀设备分子泵拆装辅助装置侧视图。
27.图2是本实用新型刻蚀设备分子泵拆装辅助装置后视图。
28.图3是本实用新型刻蚀设备分子泵拆装辅助装置立体图。
29.图4是本实用新型刻蚀设备分子泵拆装辅助装置另一种立体图。
30.图5是本实用新型刻蚀设备分子泵拆装辅助装置中升降结构部分的放大示意图。
31.图中，1-u型底座，2-主框架，3-万向轮组，4-加强筋，5-滑动轴承，6-复位弹簧，7-液压顶升装置，8-升降平台，9-平台支撑柱，10-液压泵，11-平台框架，12-轴承螺丝，13-第一固定螺丝，14-第二固定螺丝，15-限位圆盘，16-液压管道，17-手柄，18-平台框架的通孔。
具体实施方式
32.结合以下具体实施例和附图，对实用新型作进一步的详细说明。实施本实用新型的过程、条件、实验方法等，除以下专门提及的内容之外，均为本领域的普遍知识和公知常识，本实用新型没有特别限制内容。
33.本实用新型提出了一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，所述装置主要包括u型底座1、主框架2、万向轮组3、加强筋4、滑动轴承5、复位弹簧6、液压顶升装置7、用于承放刻蚀设备分子泵的升降平台8、平台支撑柱9、液压泵10。
34.所述u型底座1底部设置有万向轮组3，所述万向轮组3包括对称的多个万向轮，设置于u型底座1的两条长边上；万向轮通过万向轮安装支架和万向轮轴安装在u型底座1底部。
35.所述主框架2为门字型结构，由两根竖直支撑柱和一根水平横梁构成，所述水平横梁两端分别与竖直支撑柱远离地面的顶部相连，形成门字型；整个主框架2垂直地固定设置在u型底座1的一端。
36.所述主框架2与所述u型底座1的交界位置固定设置有一个液压泵10，用于控制液压顶升装置的上升和下降。
37.所述主框架2平面的垂直方向上外伸设置有u形的用于安装升降平台8的平台框架11，所述平台框架11的u形开口端两侧分别固定在主框架2的两根竖直支撑柱上；所述平台框架11和所述主框架2之间的角落处还设置有加强筋4。
38.所述平台框架11上对称开有多个通孔，每个通孔对应位置设置有滑动轴承5，所述滑动轴承5通过轴承螺丝12固定安装在所述平台框架11上，所述滑动轴承的内径比所述通孔的直径小1cm；每个滑动轴承5中间和平台框架11的通孔形成的贯通空间中设置有一个平台支撑柱9，所述平台支撑柱9的长度超过滑动轴承5高度和平台框架11厚度的总和，所述平台支撑柱9超过滑动轴承5的一端通过第一固定螺丝13与升降平台8固定，伸出平台框架11的一端通过第二固定螺丝14固定有限位圆盘15，所述限位圆盘15的直径比平台框架11上的通孔小4mm，比滑动轴承5的内径大6mm，与滑动轴承5形成限位，防止平台支撑柱9从顶端完全伸出；所述平台支撑柱9近平台框架11的一端包裹有一个复位弹簧6，所述复位弹簧6是一
个绕成螺旋形的金属线圈，可以储存弹性能量并在外力作用下发生变形。当外力消失时，复位弹簧6可以通过释放储存的弹性能量来将机械系统恢复到初始位置或状态。
39.多个平台支撑柱9共同支撑升降平台8，所述升降平台8通过多个第一固定螺丝13分别固定在多个平台支撑柱9上；所述升降平台8下侧设置有液压顶升装置7，所述液压顶升装置7通过液压管道16与液压泵10相连，可以通过液压驱动升降平台8的上升和下降。
40.实施例1
41.一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，所述装置主要包括u型底座1、主框架2、万向轮组3、加强筋4、滑动轴承5、复位弹簧6、液压顶升装置7、用于承放刻蚀设备分子泵的升降平台8、平台支撑柱9、液压泵10。
42.所述u型底座1底部设置有万向轮组3，所述万向轮组3包括对称的多个万向轮，设置于u型底座1的两条长边上；万向轮通过万向轮安装支架和万向轮轴安装在u型底座1底部。
43.所述主框架2为门字型结构，由两根竖直支撑柱和一根水平横梁构成，所述水平横梁两端分别与竖直支撑柱远离地面的顶部相连，形成门字型；整个主框架2垂直地固定设置在u型底座1的一端。
44.所述主框架2与所述u型底座1的交界位置固定设置有一个液压泵10，所述液压泵10包括泵体、活塞、手柄、液压油箱、进油过滤器、泄压阀、压力表；其中，
45.所述泵体是液压泵的主体部分，内部有一个受压腔和一个吸油腔；
46.所述活塞通过手柄的操作，在泵体内部往复运动，形成一个泵腔的变化；
47.所述手柄是液压泵的操作部分，通过联轴器与活塞相连，操作手柄使活塞往复运动；
48.所述液压油箱位于液压泵的底部，负责存储液压油，保证液压系统的正常运转；
49.所述进油过滤器位于液压油箱内，负责过滤进入液压泵的液压油，防止泵体内部发生故障；
50.所述泄压阀用于控制液压系统的最大工作压力，当液压系统达到设定压力时，泄压阀打开，将多余的油液泄放出去；
51.所述压力表位于液压泵的输出口处，用于显示液压系统的工作压力，方便操作者掌握工作情况。
52.所述主框架2平面的垂直方向上外伸设置有u形的用于安装升降平台8的平台框架11，所述平台框架11的u形开口端两侧分别固定在主框架2的两根竖直支撑柱上。
53.所述平台框架11和所述主框架2之间的角落处还设置有加强筋4，所述加强筋4为三角形结构。
54.所述平台框架11上对称开有多个通孔，每个通孔对应位置设置有滑动轴承5，所述滑动轴承5通过轴承螺丝12固定安装在所述平台框架11上；每个滑动轴承5中间设置有一个平台支撑柱9，所述平台支撑柱9的长度超过滑动轴承5高度和平台框架11厚度的总和。
55.所述平台支撑柱9超过滑动轴承5的一端通过第一固定螺丝13与升降平台8固定，伸出平台框架11的一端通过第二固定螺丝14固定有限位圆盘15，所述限位圆盘15的直径小于平台框架11上的通孔18，大于滑动轴承5的内径；所述平台支撑柱9靠近平台框架11的一端包裹有一个复位弹簧6。
56.多个平台支撑柱9共同支撑升降平台8，所述升降平台8通过多个第一固定螺丝13分别固定在多个平台支撑柱9上；所述升降平台9下侧设置有液压顶升装置7，所述液压顶升装置7通过液压管道16与液压泵10相连，通过液压驱动升降平台8的上升和下降。
57.实施例2
58.一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，所述装置主要包括u型底座1、主框架2、万向轮组3、加强筋4、无油衬套、复位弹簧6、液压顶升装置7、用于承放刻蚀设备分子泵的升降平台8、平台支撑柱9、液压泵10。
59.所述u型底座1底部设置有万向轮组3，所述万向轮组3包括对称的多个万向轮，设置于u型底座1的两条长边上；万向轮通过万向轮安装支架和万向轮轴安装在u型底座1底部。
60.所述主框架2为门字型结构，由两根竖直支撑柱和一根水平横梁构成，所述水平横梁两端分别与竖直支撑柱远离地面的顶部相连，形成门字型；整个主框架2垂直地固定设置在u型底座1的一端。
61.所述主框架2与所述u型底座1的交界位置固定设置有一个液压泵10，所述液压泵10包括泵体、活塞、手柄、液压油箱、进油过滤器、泄压阀、压力表；其中，
62.所述泵体是液压泵的主体部分，内部有一个受压腔和一个吸油腔；
63.所述活塞通过手柄的操作，在泵体内部往复运动，形成一个泵腔的变化；
64.所述手柄是液压泵的操作部分，通过联轴器与活塞相连，操作手柄使活塞往复运动；
65.所述液压油箱位于液压泵的底部，负责存储液压油，保证液压系统的正常运转；
66.所述进油过滤器位于液压油箱内，负责过滤进入液压泵的液压油，防止泵体内部发生故障；
67.所述泄压阀用于控制液压系统的最大工作压力，当液压系统达到设定压力时，泄压阀打开，将多余的油液泄放出去；
68.所述压力表位于液压泵的输出口处，用于显示液压系统的工作压力，方便操作者掌握工作情况。
69.所述主框架2平面的垂直方向上外伸设置有u形的用于安装升降平台8的平台框架11，所述平台框架11的u形开口端两侧分别固定在主框架2的两根竖直支撑柱上。
70.所述平台框架11和所述主框架2之间的角落处还设置有加强筋4，所述加强筋4为三角形结构。
71.所述平台框架11上对称开有多个通孔，每个通孔对应位置设置有无油衬套，所述无油衬套通过轴套螺丝固定安装在所述平台框架11上；每个无油衬套中间设置有一个平台支撑柱9，所述平台支撑柱9的长度超过无油衬套高度和平台框架11厚度的总和。
72.所述平台支撑柱9超过无油衬套的一端通过第一固定螺丝13与升降平台8固定，伸出平台框架11的一端通过第二固定螺丝14固定有限位圆盘15，所述限位圆盘15的直径小于平台框架11上的通孔18，大于无油轴套的内径；所述平台支撑柱9靠近平台框架11的一端包裹有一个复位弹簧6。
73.多个平台支撑柱9共同支撑升降平台8，所述升降平台8通过多个第一固定螺丝13分别固定在多个平台支撑柱9上；所述升降平台9下侧设置有液压顶升装置7，所述液压顶升
装置7通过液压管道16与液压泵10相连，通过液压驱动升降平台8的上升和下降。
74.实施例3
75.本实用新型提出的刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，可用于刻蚀设备分子泵的辅助拆装，所述装置由于安装了万向轮组3，能够在地面上以任意方向移动；
76.当进行分子泵安装时，先将分子泵放到升降平台8上，将装置推入到刻蚀设备的合适位置，装置的尺寸与刻蚀设备匹配，可以推入到刻蚀设备分子泵安装位置的下方，通过万向轮调整装置的位置，使分子泵位于安装位置的正下方；按压液压泵10的手柄17，带动升降平台8上升，将分子泵上升至设备安装孔位，锁紧安装螺丝，使得分子泵固定安装在刻蚀设备上。当安装完成后，打开液压泵10的泄压阀，复位弹簧6带动升降平台8下降至起始点，推出装置即可完成分子泵的安装。
77.当进行分子泵拆卸时，将装置推入，并调整装置位置，使升降平面8的位置对应于刻蚀设备安装分子泵的位置下方；按压液压泵10的手柄17，带动升降平台8上升，使升降平台8托住分子泵底座，拆卸分子泵的安装螺丝，然后打开液压泵10的泄压阀，复位弹簧6带动升降平台8下降至起始点，推出装置带出分子泵，并将分子泵放在合适位置。
78.本实用新型的保护内容不局限于以上实施例。在不背离实用新型构思的精神和范围下，本领域技术人员能够想到的变化和优点都被包括在本实用新型中，并且以所附的权利要求书为保护范围。

技术特征：
1.一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，其特征在于，所述装置包括u型底座(1)、主框架(2)、万向轮组(3)、加强筋(4)、滑动轴承(5)、复位弹簧(6)、液压顶升装置(7)、用于承放刻蚀设备分子泵的升降平台(8)、平台支撑柱(9)和液压泵(10)；其中，所述u型底座(1)底部设置所述万向轮组(3)；整个所述主框架(2)垂直地固定设置在u型底座(1)的一端；所述主框架(2)与所述u型底座(1)的交界位置固定设置有一个液压泵(10)，用于控制液压顶升装置(7)的上升和下降；所述主框架(2)平面的垂直方向上外伸设置有u形的用于安装升降平台(8)的平台框架(11)，所述平台框架(11)的u形开口端两侧分别固定在主框架(2)的两根竖直支撑柱上；所述平台框架(11)上对称开有多个通孔，每个通孔对应位置设置有滑动轴承(5)，所述滑动轴承(5)通过轴承螺丝(12)固定安装在所述平台框架(11)上；每个滑动轴承(5)中间设置有一个平台支撑柱(9)。2.如权利要求1所述的刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，其特征在于，所述万向轮组(3)包括对称的多个万向轮；万向轮通过万向轮安装支架和万向轮轴安装在u型底座(1)底部。3.如权利要求1所述的刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，其特征在于，所述主框架(2)为门字型结构，由两根竖直支撑柱和一根水平横梁构成，所述水平横梁两端分别与竖直支撑柱远离地面的顶部相连，形成门字型。4.如权利要求1所述的刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，其特征在于，所述平台框架(11)和所述主框架(2)之间的角落处还设置有加强筋(4)，所述加强筋(4)为三角形结构。5.如权利要求1所述的刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，其特征在于，所述平台支撑柱(9)的长度超过滑动轴承(5)高度和平台框架(11)厚度的总和。6.如权利要求1所述的刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，其特征在于，所述平台支撑柱(9)超过滑动轴承(5)的一端通过第一固定螺丝(13)与升降平台(8)固定，伸出平台框架(11)的一端通过第二固定螺丝(14)固定有限位圆盘(15)，所述限位圆盘(15)的直径小于平台框架(11)上的通孔(18)，大于滑动轴承(5)的内径；所述平台支撑柱(9)靠近平台框架(11)的一端包裹有一个复位弹簧(6)。7.如权利要求1所述的刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，其特征在于，所述滑动轴承(5)替换为无油衬套。8.如权利要求1所述的刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，其特征在于，多个平台支撑柱(9)共同支撑升降平台(8)，所述升降平台(8)通过多个第一固定螺丝(13)固定在多个平台支撑柱(9)上；所述升降平台(8)下侧设置有液压顶升装置(7)，所述液压顶升装置(7)通过液压管道(16)与液压泵(10)相连，通过液压驱动升降平台(8)的上升和下降。

技术总结
本实用新型公开了一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，所述装置包括U型底座、主框架、万向轮组、加强筋、滑动轴承、复位弹簧、液压顶升装置、用于承放刻蚀设备分子泵的升降平台、平台支撑柱、液压泵，所述主框架上还外伸设置有U形的用于安装升降平台的平台框架。本实用新型结构紧凑，U型底座不仅高度低，还能有效的避开设备底部支撑脚，从而使升降平台深入设备内部。使用液压装置实现升降功能，操作省力，承载力大。轮组全部采用万向轮结构，使拆装辅助装置在设备内部能够灵活移动，方便分子泵与设备的对接。平台支撑杆配备复位弹簧，使升降平台快速回落，提高工作效率。升降平台的高度可根据设备实际情况调整，提高了装置的兼容性。提高了装置的兼容性。提高了装置的兼容性。


技术研发人员：邱杰 张二辉 高科
受保护的技术使用者：上海微芸半导体科技有限公司
技术研发日：2023.04.11
技术公布日：2023/9/19