真空干泵的制作方法

1.本技术涉及真空干泵技术领域，尤其涉及一种真空干泵。


背景技术：

2.真空干泵由于具备抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，可在大气压至10pa范围内连续抽气并可直排大气的特点，被广泛应用于集成电路、太阳能光伏、led、fpd等行业。为了应对突发情况，设计人员在真空干泵前面板上设计了急停开关。一旦有被抽真空设备或者真空干泵自身引起的突发情况发生，操作人员即可按下急停开关，切断真空干泵的工作模式，转为待机模式。
3.但是真空干泵通常安装于集成电路或太阳能光伏芯片等产品的生产楼层的下一楼层。这一楼层主要用于摆放诸多真空干泵，根据生产需要，真空干泵摆放的密度就会很大。急停开关本身没有防护措施，操作人员行走操作过程总容易产生误触，影响生产工作。
4.因此，如何防止真空干泵急停开关的误触，成为本领域技术人亟待解决的问题。


技术实现要素：

5.为了防止真空干泵急停开关的误触，本技术提供一种真空干泵。
6.为实现本实用新型目的提供的一种真空干泵，包括：
7.机体、外壳和保护壳；
8.所述机体位于所述外壳的壳体内部，所述机体设有急停开关，所述急停开关位于所述外壳的外侧壁；
9.所述保护壳设有一端开口的内部腔体，所述保护壳的开口端扣设在所述外壳上，所述急停开关位于所述保护壳的内部腔体。
10.在一种可能的实现方式中，所述保护壳整体呈圆柱形，所述保护壳圆柱形结构轴线方向的一端设有开口。
11.在一种可能的实现方式中，所述保护壳的开口端和所述外壳可旋转连接。
12.在一种可能的实现方式中，还包括旋转轴；
13.所述外壳设有两个凸起，所述保护壳的开口端设有外凸的旋转部，所述旋转部位于所述外壳的两个凸起之间，所述旋转轴依次贯穿所述外壳的其中一个所述凸起、所述旋转部、另一个所述凸起，所述旋转轴的相对两端设有限位部。
14.在一种可能的实现方式中，所述外壳设有连接部；
15.所述连接部贯穿设置有安装孔，所述安装孔与所述急停开关相匹配，所述急停开关通过所述安装孔固定于所述连接部。
16.在一种可能的实现方式中，所述连接部背离所述外壳的一端设有卡扣凸起，所述保护壳的开口端设有卡扣凹陷，所述卡扣凸起与所述卡扣凹陷相匹配。
17.在一种可能的实现方式中，所述保护壳背离所述开口的一端设有观察窗，所述观察窗与所述急停开关相对设置。
18.在一种可能的实现方式中，所述外壳整体呈长方体，所述外壳一侧面还设有滑轮，所述滑轮和所述急停开关位于所述外壳的相邻两侧面。
19.在一种可能的实现方式中，所述滑轮为两个以上。
20.在一种可能的实现方式中，所述滑轮设有闭锁机构。
21.本技术通过设置外壳，机体设有内部腔体以为机体提供安装基础；机体包括真空干泵的泵体和驱动装置，保证真空干泵的正常工作；机体设有急停开关，急停开关适用于控制真空干层机体急停，一旦有被抽真空设备或者真空干泵自身引起的突发情况发生，操作人员通过操作急停开关，切断真空干泵的工作模式，转为待机模式，具体地，机体的驱动装置设有急停开关。通过设置保护壳防止工作人员误触急停开关。保护壳扣设在外壳上，覆盖急停开关设置，当真空泵正常工作时，急停开关位于保护壳内部腔体，即使真空干泵摆放的密度很大，工作人员走动操作也不会产生误触；当真空干泵出现故障需要急停时，操作人员取下保护壳，急停开关暴露于外界，操作人员控制真空干泵急停。本技术通过设置保护壳，对急停开关有一定的保护作用，相比较现有的真空干泵密集摆放，工作人员行走时易产生误触，或者急停操作时误触其他真空干泵的开关，本技术能够防止真空干泵急停开关的误触。
附图说明
22.图1示出本技术实施例的真空干泵的结构示意图；
23.图2示出本技术实施例的真空干泵的结构示意图；
24.图3示出本技术实施例的真空干泵的局部示意图；
25.图4示出本技术实施例的真空干泵的局部示意图；
26.图5示出本技术实施例的真空干泵的局部示意图；
27.图6示出本技术实施例的真空干泵的局部示意图。
具体实施方式
28.以下将参考附图详细说明本技术的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。
29.其中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
30.另外，为了更好的说明本技术，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本技术同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本技术的主旨。
31.图1示出根据本技术一实施例的真空干泵的结构示意图；图2示出根据本技术一实施例的真空干泵的结构示意图；图3示出根据本技术一实施例的真空干泵的局部示意图；图4示出根据本技术一实施例的真空干泵的局部示意图；图5示出根据本技术一实施例的真空干泵的局部示意图；图6示出根据本技术一实施例的真空干泵的局部示意图。
32.如图1所示，该真空干泵，包括：机体、外壳200和保护壳300；机体位于外壳200的壳体内部，机体设有急停开关110，急停开关110位于外壳200的外侧壁；保护壳300设有一端开口的内部腔体，保护壳300的开口端扣设在外壳200上，急停开关110位于保护壳300的内部腔体。
33.本技术通过设置外壳200，机体设有内部腔体以为机体提供安装基础；机体包括真空干泵的泵体和驱动装置，保证真空干泵的正常工作；机体设有急停开关110，急停开关110适用于控制真空干层机体急停，一旦有被抽真空设备或者真空干泵自身引起的突发情况发生，操作人员通过操作急停开关110，切断真空干泵的工作模式，转为待机模式，具体地，机体的驱动装置设有急停开关110。通过设置保护壳300防止工作人员误触急停开关110。保护壳300扣设在外壳200上，保护壳300覆盖急停开关110设置，当真空泵正常工作时，急停开关110位于保护壳300内部腔体，即使真空干泵摆放的密度很大，工作人员走动操作也不会产生误触；当真空干泵出现故障需要急停时，操作人员取下保护壳300，急停开关110暴露于外界，操作人员控制真空干泵急停。本技术通过设置保护壳300，对急停开关110有一定的保护作用，相比较现有的真空干泵密集摆放，工作人员行走时易产生误触，或者急停操作时误触其他真空干泵的开关，本技术能够防止真空干泵急停开关的误触。
34.现有的真空干泵，其急停开关暴露在操作车间环境当中，车间中会存在一些粉尘物质，这样可能会损伤到急停开关本身，缩短急停开关的使用寿命；且操作人员在工作过程中可能有饮水的动作，一旦有水误入到急停开关里面，会发生严重的事故。本技术的急停开关110被保护壳300覆盖保护，能够有效防止异物卡入，具有一定的防水效果，从而保证急停开关110的正常工作。
35.在一种可能的实现方式中，如图1、图3所示，保护壳300整体呈圆柱形，造型简单易得。保护壳300圆柱形结构轴线方向的一端设有开口，保护壳300的内部腔体整体呈圆柱状。保护壳300背离开口一端的棱设有圆角，角度平滑，防止划伤。
36.在一种可能的实现方式中，如图5所示，保护壳300的开口端和外壳200可旋转连接，防止保护壳300丢失。发生故障时，操作人员旋开保护壳300，操作急停后旋下保护壳300将保护壳300扣设在外壳200上。
37.在一种可能的实现方式中，保护壳300的开口端与外壳200铰链连接，保护壳300和外壳200可以实现相对转动。
38.在一种可能的实现方式中，还包括旋转轴；外壳200设有两个凸起，保护壳300的开口端设有外凸的旋转部，旋转部位于外壳200的两个凸起之间，旋转轴依次贯穿外壳200的其中一个凸起、旋转部、另一个凸起，旋转轴穿出两个凸起的相对两端设有限位部。结构简单易得。
39.在一种可能的实现方式中，如图3所示，外壳200设有连接部210；连接部210贯穿设置有安装孔，安装孔与急停开关110相匹配，急停开关110通过安装孔固定于连接部210。造型简单易得。
40.进一步地，安装孔和急停开关110整体呈圆形。
41.在一种可能的实现方式中，如图3所示，连接部210背离外壳200的一端设有卡扣凸起，保护壳300的开口端设有卡扣凹陷，卡扣凸起与卡扣凹陷相匹配。
42.在一种可能的实现方式中，保护壳300背离开口的一端设有观察窗，观察窗与急停
开关110相对设置。工作人员通过观察窗查看急停开关110状态。
43.在一种可能的实现方式中，观察窗采用环氧树脂透明材质，易获取，透明可视。
44.在一种可能的实现方式中，保护壳300整体采用环氧树脂透明材质，易于获取；具有一定的硬度能够对急停开关110起到保护作用；透明可视，方便操作人员查看急停开关110状态
45.在一种可能的实现方式中，如图3所示，急停开关110为按钮开关。急停开关110设有发光模块，发光模块适用于以是否亮起来指示真空干泵机体启停状态。保护壳300背离开口的一端设有观察窗，观察窗与急停开关110相对设置。工作人员通过观察窗查看急停开关110状态。
46.在一种可能的实现方式中，急停开关110为船型开关。保护壳300背离开口的一端设有观察窗，观察窗与急停开关110相对设置。工作人员通过观察窗查看急停开关110状态。
47.在一种可能的实现方式中，如图1所示，外壳200整体呈长方体，外壳200一侧面还设有滑轮400，滑轮400和急停开关110位于外壳200的相邻两侧面。通过设置滑轮400，使真空干泵易于移动，方便摆放，合理分布减少真空干泵摆放密度。
48.在一种可能的实现方式中，如图1所示，滑轮400为两个以上，支撑真空干泵的稳定性。进一步地，滑轮400为四个，四个滑轮400呈矩形分布。
49.在一种可能的实现方式中，滑轮400为万向轮。
50.在一种可能的实现方式中，滑轮400设有闭锁机构，便于移动，移动后便于固定。
51.以上已经描述了本技术的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术的改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。

技术特征：
1.一种真空干泵，其特征在于，包括：机体、外壳和保护壳；所述机体位于所述外壳的壳体内部，所述机体设有急停开关，所述急停开关位于所述外壳的外侧壁；所述保护壳设有一端开口的内部腔体，所述保护壳的开口端扣设在所述外壳上，所述急停开关位于所述保护壳的内部腔体。2.根据权利要求1所述的真空干泵，其特征在于，所述保护壳整体呈圆柱形，所述保护壳圆柱形结构轴线方向的一端设有开口。3.根据权利要求1所述的真空干泵，其特征在于，所述保护壳的开口端和所述外壳可旋转连接。4.根据权利要求3所述的真空干泵，其特征在于，还包括旋转轴；所述外壳设有两个凸起，所述保护壳的开口端设有外凸的旋转部，所述旋转部位于所述外壳的两个凸起之间，所述旋转轴依次贯穿所述外壳的其中一个所述凸起、所述旋转部、另一个所述凸起，所述旋转轴的相对两端设有限位部。5.根据权利要求1所述的真空干泵，其特征在于，所述外壳设有连接部；所述连接部贯穿设置有安装孔，所述安装孔与所述急停开关相匹配，所述急停开关通过所述安装孔固定于所述连接部。6.根据权利要求5所述的真空干泵，其特征在于，所述连接部背离所述外壳的一端设有卡扣凸起，所述保护壳的开口端设有卡扣凹陷，所述卡扣凸起与所述卡扣凹陷相匹配。7.根据权利要求1所述的真空干泵，其特征在于，所述保护壳背离所述开口的一端设有观察窗，所述观察窗与所述急停开关相对设置。8.根据权利要求1所述的真空干泵，其特征在于，所述外壳整体呈长方体，所述外壳一侧面还设有滑轮，所述滑轮和所述急停开关位于所述外壳的相邻两侧面。9.根据权利要求8所述的真空干泵，其特征在于，所述滑轮为两个以上。10.根据权利要求8所述的真空干泵，其特征在于，所述滑轮设有闭锁机构。

技术总结
本申请涉及一种真空干泵，包括机体、外壳和保护壳；机体位于外壳的壳体内部，机体设有急停开关，急停开关位于外壳的外侧壁；保护壳设有一端开口的内部腔体，保护壳的开口端扣设在外壳上，急停开关位于保护壳的内部腔体。相比较现有的真空干泵密集摆放，工作人员行走时易产生误触，或者急停操作时误触其他真空干泵的开关，本申请能够防止真空干泵急停开关的误触。触。触。


技术研发人员：周长颖
受保护的技术使用者：嘉贺恒德科技有限责任公司
技术研发日：2023.05.26
技术公布日：2023/9/19