一种便于维护的电浆反应腔装配结构的制作方法

1.本实用新型涉及电浆反应技术领域，更具体地说，它涉及一种便于维护的电浆反应腔装配结构。


背景技术：

2.在半导体集成电路制造方面，举凡不同材料薄膜的成长、化学气相沉积、物理气相沉积、蚀刻、离子布植、光阻剥除、或制程反应室的干式清洗等，皆普遍可由电浆技术达成。
3.在实际工作过程中，电浆反应腔安装于设备机架上，在其发生故障或需要进行检修维护时，通过需要人工手动将整个电浆反应腔拆卸并取下，费时费力，人工检修维护成本较高。
4.因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种便于维护的电浆反应腔装配结构。
6.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种便于维护的电浆反应腔装配结构，包括反应腔本体与机架本体，所述反应腔本体的侧壁固定连接有第一固定板，所述机架本体上安装有第二固定板，所述第一固定板与第二固定板之间设置有连接板，所述连接板的两端分别铰连接于第一固定板与第二固定板。
7.通过采用上述技术方案，当反应腔本体需要进行检修维护时，通过将其两端与设备进行拆卸分离后，通过铰连接的结构将反应腔本体转动出机架本体，使其与设备分离并单独位于外界环境中，以便工作人员对其进行检修维护。
8.本实用新型进一步设置为：所述第一固定板一侧的顶部与底部均设置有水平的第一支板，两块第一支板之间设置有第一连接轴，所述第一连接轴的顶部穿过上方第一支板的上表面并固定连接有第一限位板，所述第一连接轴的底部穿过下方第一支板的下表面并螺纹连接有第一螺栓，所述连接板的一端设置有套设并转动连接于第一连接轴的第一轴套。
9.本实用新型进一步设置为：所述第一轴套的两端与第一支板之间设置有安装槽，所述安装槽内均安装有端面轴承。
10.本实用新型进一步设置为：所述第二固定板一侧的顶部与底部均设置有水平的第二支板，两块第二支板之间设置有第二连接轴，所述第二连接轴的顶部穿过上方第二支板的上表面并固定连接有第二限位板，所述第二连接轴的地步穿过下方第二支板的下表面并螺纹连接有第二螺栓，所述连接板的一端设置有套设并转动连接于第二连接轴的第二轴套。
11.本实用新型进一步设置为：所述第二连接轴位于第二轴套的底端与位于下方的第二支板之间套设有弹簧。
12.本实用新型进一步设置为：所述第二连接轴套设有第一限位块，所述第一限位块固定连接于位于下方第二支板的上表面，所述第一限位块的上表面开设有供弹簧插入的第一限位槽。
13.本实用新型进一步设置为：所述第二连接轴上套设并滑动连接有第二限位板，所述第二限位板位于弹簧与第二轴套之间，所述第二限位板的下表面开设有供弹簧插入的第二限位槽。
14.本实用新型具有以下有益效果：当反应腔本体需要进行检修维护时，通过将其两端与设备进行拆卸分离后，通过铰连接的结构将反应腔本体转动出机架本体，使其与设备分离并单独位于外界环境中，以便工作人员对其进行检修维护。
附图说明
15.图1为本实施例的立体结构示意图；
16.图2为本实施例的部分结构示意图。
17.附图说明：1、反应腔本体；2、第一固定板；3、第二固定板；4、连接板；5、第一支板；6、第一连接轴；7、第一限位板；8、第一螺栓；9、第一轴套；10、端面轴承；11、第二支板；12、第二连接轴；13、第二限位板；14、第二螺栓；15、第二轴套；16、弹簧；17、第一限位块；18、第二限位块。
具体实施方式
18.以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
19.其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
20.如图所示，一种便于维护的电浆反应腔装配结构，包括反应腔本体1与机架本体（图中未示出），反应腔本体1的侧壁固定连接有第一固定板2，机架本体上安装有第二固定板3，第一固定板2与第二固定板3之间设置有连接板4，连接板4的两端分别铰连接于第一固定板2与第二固定板3。
21.当反应腔本体1需要进行检修维护时，通过将其两端与设备进行拆卸分离后，通过铰连接的结构将反应腔本体1转动出机架本体，使其与设备分离并单独位于外界环境中，以便工作人员对其进行检修维护。
22.第一固定板2一侧的顶部与底部均设置有水平的第一支板5，两块第一支板5之间设置有第一连接轴6，第一连接轴6的顶部穿过上方第一支板5的上表面并固定连接有第一限位板7，第一连接轴6的底部穿过下方第一支板5的下表面并螺纹连接有第一螺栓8，第一螺栓8与第一支板5之间设置有第一垫片，连接板4的一端设置有套设并转动连接于第一连接轴6的第一轴套9。第一轴套9的两端与第一支板5之间设置有安装槽，安装槽内均安装有端面轴承10，通过设置端面轴承10以降低第一支板5与第一轴套9之间的摩擦力，提升其转动时的稳定性。
23.第二固定板3一侧的顶部与底部均设置有水平的第二支板11，两块第二支板11之间设置有第二连接轴12，第二连接轴12的顶部穿过上方第二支板11的上表面并固定连接有
第二限位板13，第二连接轴12的地步穿过下方第二支板11的下表面并螺纹连接有第二螺栓14，第二螺栓14与第二支板11之间设置有第二垫片，连接板4的一端设置有套设并转动连接于第二连接轴12的第二轴套15。第二连接轴12位于第二轴套15的底端与位于下方的第二支板11之间套设有弹簧16。在弹簧16弹力作用下，进一步提升稳定性。
24.第二连接轴12套设有第一限位块17，第一限位块17固定连接于位于下方第二支板11的上表面，第一限位块17的上表面开设有供弹簧16插入的第一限位槽。第二连接轴12上套设并滑动连接有第二限位块18，第二限位块18位于弹簧16与第二轴套15之间，第二限位块18的下表面开设有供弹簧16插入的第二限位槽，通过第一限位槽与第二限位槽的作用下，以对弹簧16起到限位作用，保证其稳定性。
25.具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。


技术特征：
1.一种便于维护的电浆反应腔装配结构，包括反应腔本体与机架本体，其特征在于：所述反应腔本体的侧壁固定连接有第一固定板，所述机架本体上安装有第二固定板，所述第一固定板与第二固定板之间设置有连接板，所述连接板的两端分别铰连接于第一固定板与第二固定板。2.根据权利要求1所述的一种便于维护的电浆反应腔装配结构，其特征在于：所述第一固定板一侧的顶部与底部均设置有水平的第一支板，两块第一支板之间设置有第一连接轴，所述第一连接轴的顶部穿过上方第一支板的上表面并固定连接有第一限位板，所述第一连接轴的底部穿过下方第一支板的下表面并螺纹连接有第一螺栓，所述连接板的一端设置有套设并转动连接于第一连接轴的第一轴套。3.根据权利要求2所述的一种便于维护的电浆反应腔装配结构，其特征在于：所述第一轴套的两端与第一支板之间设置有安装槽，所述安装槽内均安装有端面轴承。4.根据权利要求1所述的一种便于维护的电浆反应腔装配结构，其特征在于：所述第二固定板一侧的顶部与底部均设置有水平的第二支板，两块第二支板之间设置有第二连接轴，所述第二连接轴的顶部穿过上方第二支板的上表面并固定连接有第二限位板，所述第二连接轴的地步穿过下方第二支板的下表面并螺纹连接有第二螺栓，所述连接板的一端设置有套设并转动连接于第二连接轴的第二轴套。5.根据权利要求4所述的一种便于维护的电浆反应腔装配结构，其特征在于：所述第二连接轴位于第二轴套的底端与位于下方的第二支板之间套设有弹簧。6.根据权利要求5所述的一种便于维护的电浆反应腔装配结构，其特征在于：所述第二连接轴套设有第一限位块，所述第一限位块固定连接于位于下方第二支板的上表面，所述第一限位块的上表面开设有供弹簧插入的第一限位槽。7.根据权利要求6所述的一种便于维护的电浆反应腔装配结构，其特征在于：所述第二连接轴上套设并滑动连接有第二限位块，所述第二限位块位于弹簧与第二轴套之间，所述第二限位板的下表面开设有供弹簧插入的第二限位槽。

技术总结
本实用新型公开了一种便于维护的电浆反应腔装配结构，涉及电浆反应设备技术领域，旨在解决便于维护的技术问题。其技术方案要点是：包括反应腔本体与机架本体，所述反应腔本体的侧壁固定连接有第一固定板，所述机架本体上安装有第二固定板，所述第一固定板与第二固定板之间设置有连接板，所述连接板的两端分别铰连接于第一固定板与第二固定板。本实用新型的目的在于提供一种便于维护的电浆反应腔装配结构。配结构。配结构。


技术研发人员：梁献伟 吴宇翔 彭孟龙
受保护的技术使用者：嘉芯迦能半导体设备科技（浙江）有限公司
技术研发日：2023.04.11
技术公布日：2023/9/20