具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构的制作方法

1.本技术是有关于一种线性电浆制程机构，特别是指一种具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构。


背景技术：

2.现今，电浆制程技术对于光电、半导体、机械、航空及军事等领域而言是相当重要的技术之一，更深入来说，电浆制程技术可包括对物体的清洁、蚀刻、镀膜及表面处理等。因此，如何利用电浆制程技术来提升制程的良率、量产效率以及稳定产品的品质就显得格外重要。
3.而且，连续式(inline)作业流程镀膜设备为常用的电浆制程设备之一，由不同的腔体串连，并且依序在腔体内进行相关制程处理，而电浆制程容易在制程过程中产生高温，若待制程物体本身无法承受高温，便会发生待制程物体的变形、制程结果不理想等问题。其中，可解决的方式包括降低电浆制程设备的功率及速度，或在电浆制程腔体间增设缓冲腔体，使待制程物体可放置于缓冲腔体中进行缓冲降温，来减少高温状况的发生。
4.连续式电浆制程设备通常需具备一定的真空环境条件，而真空环境又不易于快速的冷却降温待制程物体，且每个腔体的作业时间不一样，使得制程作业完成的腔体需等待仍在冷却缓冲作业的腔体，导致电浆制程效率低的问题。因此，如何解决上述问题成为本领域的一大课题。


技术实现要素：

5.为解决上述课题，本技术提供一种具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构改善过去连续式的镀膜设备冷却缓冲效率低及制程效率低的问题。
6.本技术提供一种具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，有一待镀物移动于线性电浆制程机构中，线性电浆制程机构包括有：一传输模组、一镀膜腔体及一缓冲腔体。传输模组沿一水平方向移动待镀物，传输模组具有一第一侧传输单元、一第二侧传输单元、一第一退让单元及一第二退让单元，第一侧传输单元与第一退让单元连接，第二侧传输单元与第二退让单元连接。而传输模组将待镀物沿水平方向输入至镀膜腔体以进行镀膜处理。还有至少一与镀膜腔体连接设置的缓冲腔体，传输模组将待镀物沿水平方向输入至缓冲腔体以进行缓冲处理，缓冲腔体具有一位于传输模组下方的第一升降单元，第一退让单元及第二退让单元挪开第一侧传输单元及第二侧传输单元的空间，供第一升降单元承接待镀物下表面向下位移至一下冷却区进行缓冲处理。于本技术一较佳实施例中，所述缓冲腔体还具有一设于上冷却区顶部的冷却单元，而于待镀物位移至上冷却区时，对待镀物的上表面进行冷却。
7.于本技术一较佳实施例中，所述第一侧传输单元具有多个第一侧位移校正轮，而该第二侧传输单元具有多个第二侧位移校正轮，这些第一侧位移校正轮及这些第二侧位移校正轮供维持该待镀物的该水平方向移动。
8.于本技术一较佳实施例中，所述缓冲腔体具有一位于该下冷却区上方的待承接区，该待承接区连通该下冷却区，该传输模组将该待镀物输入至该待承接区，由该第一升降单元承接该待镀物下表面垂直升降移动于该待承接区及该下冷却区之间。
9.于本技术一较佳实施例中，所述第一侧传输单元具有多个第一侧承载滚轮，而该第二侧传输单元具有多个第二侧承载滚轮，这些第一侧承载滚轮及这些第二侧承载滚轮分别沿该水平方向传输的两侧间隔设置，该第一退让单元挪开这些第一侧承载滚轮的空间，该第二退让单元挪开这些第二侧承载滚轮的空间，使该第一升降单元接触该待镀物，由该第一升降单元承接该待镀物下表面升降位移于该待承接区及该下冷却区之间。
10.于本技术一较佳实施例中，所述第一升降单元具有多个第一承载臂及一与这些第一承载臂连接的承接板，这些第一承载臂部分设于这些第一侧承载滚轮之间的空隙位置，部分设于这些第二侧承载滚轮之间的空隙位置，而该承接板承接该待镀物下表面向下进行垂直位移。
11.于本技术一较佳实施例中，所述承接板部分设于这些第一侧承载滚轮之间的空隙位置，部分设于这些第二侧承载滚轮之间的空隙位置。
12.于本技术一较佳实施例中，所述第一升降单元具有一冷却管路，该冷却管路设置于该承接板远离该待镀物的一侧。
13.于本技术一较佳实施例中，所述缓冲腔体具有一位于该待承接区上方的上冷却区，该上冷却区连通该待承接区及该下冷却区，该第一升降单元具有多个以垂直方向间隔叠置的承接板，这些承接板之间分别形成一存放空间供放置该待镀物，这些承接板通过该第一升降单元穿梭于该上冷却区、该待承接区及该下冷却区之间。
14.于本技术一较佳实施例中，所述第一升降单元具有一冷却管路，该冷却管路设置于这些承接板远离该待镀物的一侧。
15.于本技术一较佳实施例中，所述缓冲腔体具有一位于该待承接区上方的上冷却区及一位于该传输模组上方的第二升降单元，该上冷却区连通该待承接区及该下冷却区，该第二升降单元具有一承接板，由该承接板承接该待镀物下表面升降位移于该待承接区及该上冷却区之间，该承接板具有多个延伸并凸设于这些第一侧承载滚轮之间及这些第二侧承载滚轮之间的延伸承载部。
16.于本技术一较佳实施例中，所述第二升降单元具有多个与该承接板连接的第二承载臂，这些第二承载臂部分设于这些第一侧承载滚轮之间的空隙位置，部分设于这些第二侧承载滚轮之间的空隙位置，而该承接板承接该待镀物下表面向上进行垂直位移。
17.于本技术一较佳实施例中，所述第二升降单元具有一冷却管路，该冷却管路设置于该承接板远离该待镀物的一侧。
18.于本技术一较佳实施例中，所述缓冲腔体还具有一设于该上冷却区顶部的冷却板，而于该待镀物位移至该上冷却区时，该冷却板以面接触的方式接触该待镀物的上表面而进行冷却。
19.于本技术一较佳实施例中，所述缓冲腔体还具有一设于该上冷却区顶部的冷却单元，而于该待镀物位移至该上冷却区时，该冷却单元对该待镀物的上表面进行冷却。
20.借此，本技术通过第一退让单元及第二退让单元挪开第一侧传输单元及第二侧传输单元的空间，并配合传输模组下方的第一升降单元承接待镀物下表面向下位移至一下冷
却区进行缓冲处理。如此一来，可达到提高生产线作业效率的目的，以及给予待镀物足够的冷却缓冲时间。
附图说明
21.图1是本技术一较佳实施例的线性电浆制程机构立体示意图；
22.图2是本技术一较佳实施例的线性电浆制程机构前视剖面示意图；
23.图3是本技术一较佳实施例的缓冲腔体结构右侧视示意图；
24.图4至图5是本技术一较佳实施例的缓冲腔体结构右侧视实施示意图；
25.图6是本技术一较佳实施例的缓冲腔体结构仰视剖面示意图；
26.图7是本技术第二较佳实施例的缓冲腔体结构右侧视示意图；
27.图8是本技术第三较佳实施例的缓冲腔体结构右侧视示意图。
28.附图标记说明
29.100a,100b,100c:线性电浆制程机构1:待镀物
30.1a:上表面1b:下表面
31.2:存放空间10:传输模组
32.11:第一侧传输单元111:第一侧承载滚轮
33.112:第一侧位移校正轮12:第二侧传输单元
34.121:第二侧承载滚轮122:第二侧位移校正轮
35.13:第一退让单元14:第二退让单元
36.20:镀膜腔体30:缓冲腔体
37.31:第一升降单元311:第一承载臂
38.312a,312b,312c:承接板313a,313b,313c:冷却管路
39.314a:延伸承载部32:下冷却区
40.33:待承接区34:第二升降单元
41.341:第二承载臂35:上冷却区
42.351:冷却板352:冷却单元
43.ｈ:水平方向d1:间距
44.d2:第一边距d3:第二边距。
具体实施方式
45.为便于说明本技术于上述新型内容一栏中所表示的中心思想，现以具体实施例表达。实施例中各种不同物件是按适于说明的比例、尺寸、变形量或位移量而描述，而非按实际元件的比例予以绘制。
46.以下参照各附图详细描述本技术的示例性实施例，且不意图将本技术的技术原理限制于特定公开的实施例，而本技术的范围仅由权利要求限制，涵盖了替代、修改和等同物。
47.请参阅图1至图6所示，于本技术一实施例中，本技术提供一种具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构100a，有一待镀物1移动于线性电浆制程机构100a中，而待镀物1具有一上表面1a及一下表面1b，线性电浆制程机构100a包括有一传输模组10、一镀膜腔体20
及一缓冲腔体30。
48.于本技术一实施例中，如图2所示，传输模组10沿一水平方向h移动待镀物1，而可将待镀物1沿水平方向h输入至镀膜腔体20以进行镀膜处理。于本技术一较佳实施例中，传输模组10的传输方式可为链条、皮带或多个承载滚轮等传输方式，并不以此为限。接续说明，请配合参阅图2及图3所示，传输模组10具有一第一侧传输单元11、一第二侧传输单元12、一第一退让单元13及一第二退让单元14，第一侧传输单元11与第一退让单元13连接，而第二侧传输单元12与第二退让单元14连接，本技术附图仅为示意第一退让单元13及第二退让单元14并不限制退让单元的实际数量。而第一退让单元13及第二退让单元14的退让方式可为气压缸、步进马达以及伺服马达等升降方式，并不以此为限。
49.于本技术一较佳实施例中，至少一缓冲腔体30与镀膜腔体20前后连接设置，如图1及图2所示为两个缓冲腔体30分别与一镀膜腔体20的前后端连接立体示意图及前视剖面示意图，上述实施例中，镀膜腔体20是介于两个缓冲腔体30之间，于本技术中可依实际情形配置镀膜腔体20与缓冲腔体30的数量及其连接的位置，举例来说，可以配置多个缓冲腔体30与多个镀膜腔体20依序交错排列的状况，而依序为缓冲腔体30、镀膜腔体20、缓冲腔体30、镀膜腔体20、缓冲腔体30的排列方式；除此之外，依实际工作情形可以配置例如清洁腔体、低度真空腔体等不同功能的腔体设备，本技术并不以此为限。而传输模组10将待镀物1沿水平方向h输入至缓冲腔体30以进行缓冲处理，也就是说，待镀物1可通过传输模组10沿水平方向h移动于镀膜腔体20及缓冲腔体30之间，来进行镀膜及冷却缓冲等作业。
50.接续说明，请配合参阅图3至图5所示，于本技术一实施例中，缓冲腔体30具有一位于传输模组10下方的第一升降单元31及一下冷却区32，当传输模组10将待镀物1输入至缓冲腔体30后，第一升降单元31承接待镀物1的下表面1b，接着，第一退让单元13及第二退让单元14可以使第一侧传输单元11及第二侧传输单元12分别往远离的方向退开，进而让出一空间，第一升降单元31承接待镀物1而向下位移至一下冷却区32进行冷却缓冲处理。与此同时，第一退让单元13及第二退让单元14可控制第一侧传输单元11及第二侧传输单元12位移至原先位置，以使传输模组10继续移动其他待镀物1，增加整体生产线效率。第一升降单元31的升降方式可为气压缸、步进马达以及伺服马达等升降方式，并不以此为限。
51.于本技术一较佳实施例中，请配合参阅图3至图5所示，以此实施例说明第一升降单元31实施的情形，缓冲腔体30具有一位于下冷却区32上方的待承接区33，待承接区33连通下冷却区32，第一升降单元31可移动于连通的下冷却区32及待承接区33之间，当传输模组10将待镀物1输入至待承接区33（如图3所示），此时，位于下冷却区32的第一升降单元31会上升至待承接区33，第一升降单元31承接待镀物1的下表面1b（如图4所示）。进一步地，第一退让单元13及第二退让单元14挪开第一侧传输单元11及第二侧传输单元12的空间，由第一升降单元31承接待镀物1的下表面1b并向下位移至下冷却区32。也就是说，第一升降单元31可将待镀物1垂直升降移动于待承接区33及下冷却区32之间，可将待镀物1闲置于下冷却区32，接着，第一退让单元13及第二退让单元14将第一侧传输单元11及第二侧传输单元12回复输入待镀物1的状态（如图5所示），也即第一侧传输单元11及第二侧传输单元12可继续输入其他待镀物1至待承接区33，达到升降待镀物1的目的及增加整体生产线效率的目的。
52.于本技术一较佳实施例中，第一侧传输单元11具有多个第一侧承载滚轮111，而第二侧传输单元12具有多个第二侧承载滚轮121，这些第一侧承载滚轮111及这些第二侧承载
滚轮121分别沿水平方向h传输的两侧间隔设置。接续说明，第一退让单元13可移动这些第一侧承载滚轮111，第二退让单元14可移动这些第二侧承载滚轮121，形成一足够空间使第一升降单元31可以承接待镀物1的下表面1b并进行垂直位移，也即待镀物1可垂直升降位移于待承接区33及下冷却区32之间。
53.于本技术一较佳实施例中，第一侧传输单元11具有多个第一侧位移校正轮112，而第二侧传输单元12具有多个第二侧位移校正轮122，这些第一侧位移校正轮112及这些第二侧位移校正轮122供待镀物1沿水平方向h移动，使待镀物1不会偏移水平方向h的移动。
54.于本技术一较佳实施例中，请配合参阅图6所示，第一升降单元31具有多个第一承载臂311及一与这些第一承载臂311连接的承接板312a，而这些第一承载臂311部分设于这些第一侧承载滚轮111之间的空隙位置，部分设于这些第二侧承载滚轮121之间的空隙位置，如此一来，这些第一承载臂311可穿入于这些第一侧承载滚轮111之间及这些第二侧承载滚轮121之间的空隙位置，使承接板312a可承接待镀物1下表面1b进行垂直位移。图6仅为示意图，于本技术中并不限制第一承载臂311的数量。
55.于本技术一较佳实施例中，承接板312a对应于这些第一侧承载滚轮111及这些第二侧承载滚轮121的位置做凹入设计，以避开这些第一侧承载滚轮111及这些第二侧承载滚轮121。这些第一侧承载滚轮111至这些第二侧承载滚轮121的间距d1，间距d1会小于承接板312a沿水平方向h传输两侧较宽的第一边距d2；这些第一侧承载滚轮111至这些第二侧承载滚轮121的间距d1，间距d1会大于承接板312a沿水平方向h传输两侧较窄的第二边距d3。
56.接续说明，承接板312a可用较大的表面积承接待镀物1，不仅使承接移动时可更为稳固，还能利用承接板312a的大面积接触，对待镀物1的下表面1b进行冷却降温，增加缓冲腔体30冷却缓冲的效率。于本技术又一较佳实施例中，承接板312a具有多个延伸并凸设于这些第一侧承载滚轮111之间及这些第二侧承载滚轮121之间的延伸承载部314a，用以增加承接板312a的面积，本技术的承接板312a视实际实施情形作适当的设置。
57.于本技术一较佳实施例中，第一升降单元31具有一冷却管路313a，冷却管路313a设置于承接板312a远离待镀物1的一侧，前述冷却管路313a供冷却缓冲待镀物1的下表面1b。接续说明，冷却管路313a对承接板312a进行冷却，通过将承接板312a下降的温度传导至待镀物1，供冷却缓冲待镀物1的下表面1b。于本技术一最佳实施例中，冷却管路313a的冷却方式可为风冷、气冷以及水冷等冷却方式，并不以此为限。
58.请配合参阅图7所示，于本技术第二实施例中的线性电浆制程机构100b，第二实施例的特点在于缓冲腔体30提供待镀物1向上位移的第二升降单元34。
59.于本技术一较佳实施例中，缓冲腔体30具有一位于待承接区33上方的上冷却区35及一位于传输模组10上方的第二升降单元34，上冷却区35连通待承接区33及下冷却区32，第二升降单元34具有一承接板312b，由承接板312b承接待镀物1下表面1b升降位移于待承接区33及上冷却区35之间，承接板312b能增加接触待镀物1的面积。而于本技术一较佳实施例中第二升降单元34的升降方式可为气压缸、步进马达以及伺服马达等升降方式，并不以此为限。
60.接续说明，位于上冷却区35的第二升降单元34会预先下降至待承接区33，等待传输模组10将待镀物1输入至待承接区33。当传输模组10将待镀物1输入至待承接区33后，由第二升降单元34承接待镀物1的下表面1b，并将待镀物1向上位移至上冷却区35。也就是说，
第二升降单元34可将待镀物1垂直升降移动于待承接区33及上冷却区35之间，如此一来，通过第一升降单元31及第二升降单元34配合之下，可将待镀物1选择性地置放于下冷却区32或上冷却区35进行缓冲或冷却，借此可以有效增加制程过程中，对于缓冲冷却的变化性及选择性。
61.于本技术一较佳实施例中，第二升降单元34具有多个与承接板312b连接的第二承载臂341，这些第二承载臂341部分设于这些第一侧承载滚轮111之间的空隙位置，部分设于这些第二侧承载滚轮121之间的空隙位置，而承接板312b承接待镀物1下表面1b向上进行垂直位移，这些第二承载臂341可穿梭于这些第一侧承载滚轮111之间及这些第二侧承载滚轮121之间的空隙位置，而承接板312b可承接待镀物1下表面1b向下进行垂直位移。
62.于本技术一较佳实施例中，第二升降单元34具有一冷却管路313b，冷却管路313b设置于承接板312b远离待镀物1的一侧，前述冷却管路313b供冷却缓冲待镀物1的下表面1b。
63.于本技术一较佳实施例中，待镀物1垂直位移至上冷却区35时，本技术可更进一步的对待镀物1上表面1a进行冷却，冷却缓冲的方式有接触式冷却及非接触式冷却两种，说明如下：
64.1. 在接触式的上表面1a冷却缓冲中，缓冲腔体30还具有一设于上冷却区35顶部的冷却板351，当待镀物1被承接板312b承接位移至上冷却区35时，冷却板351以面接触的方式接触待镀物1的上表面1a进行冷却。
65.2. 在非接触式的上表面1a冷却缓冲中，缓冲腔体30还具有一设于上冷却区35顶部的冷却单元352，而于待镀物1位移至上冷却区35时，冷却单元352对待镀物1的上表面1a进行冷却。于本技术的实施例中，冷却单元352的冷却方式可为风冷、气冷以及水冷等冷却方式，并不以此为限。
66.请配合参阅图8所示，为本技术第三实施例中的线性电浆制程机构100c，第三实施例的特点在于缓冲腔体30提供多个的存放空间2。缓冲腔体30具有一位于待承接区33上方的上冷却区35，上冷却区35连通待承接区33及下冷却区32，第一升降单元31具有多个以垂直方向间隔叠置的承接板312c，这些承接板312c之间分别形成一存放空间2供放置待镀物1。而这些承接板312c可通过第一升降单元31穿梭于下冷却区32、待承接区33及上冷却区35之间。
67.接续说明，当传输模组10将待镀物1输入至待承接区33后，于待承接区33的承接板312c会承接待镀物1的下表面1b，第一退让单元13及第二退让单元14可分别控制这些第一侧承载滚轮111及这些第二侧承载滚轮121往互相远离的方向退开，进而让出足够的空间，使第一升降单元31可以承接待镀物1的下表面1b并进行垂直位移。也就是说，待镀物1可通过第一升降单元31可垂直穿梭于下冷却区32、待承接区33及上冷却区35之间，甚至将待镀物1选择性地置放于下冷却区32或上冷却区35，如图8所示，第三实施例中缓冲腔体30具有多个可缓冲的区域，如此一来，更能达到增加整体生产线效率的目的。需说明的是，图8仅为示意图，可依实际情形增加或减少承接板312c的数量，并不以此为限。
68.于本技术一较佳实施例中，第一升降单元31具有一冷却管路313c，冷却管路313c设置于这些承接板312c远离待镀物1的一侧，前述冷却管路313c供冷却缓冲待镀物1的下表面1b。
69.综合上述，本技术能够达成功效如下：
70.一、通过第一退让单元13控制第一侧传输单元11位移，以及第二退让单元14控制第二侧传输单元12位移，而相互远离，形成一足够空间使待镀物1可通过第一升降单元31穿梭于下冷却区32及待承接区33之间，或将待镀物1置放于下冷却区32（如图4、图5所示），提供待镀物1额外的冷却缓冲空间，达到有效冷却缓冲及增加生产线效率的目的。
71.二、通过冷却管路313a、冷却管路313b、冷却管路313c设置于承接板312a、承接板312b、承接板312c远离待镀物1的一侧，供冷却缓冲待镀物1的下表面1b，可以达到更快速冷却缓冲待镀物1的目的。
72.三、本技术中，无论是接触式的冷却板351，抑或是非接触式的冷却单元352，二者都可供冷却缓冲待镀物1的上表面1a，如此一来，可对待镀物1的上表面1a及下表面1b进行冷却缓冲，更有效地达到快速冷却缓冲待镀物1的目的。
73.四、进一步的使第一升降单元31可穿梭于下冷却区32、待承接区33及上冷却区35之间，并通过这些承接板312c形成多个的存放空间2供放置待镀物1（如图8所示），增加缓冲腔体30的缓冲区域，更有效地提升整体生产线效率的目的。
74.前述功效并不妨碍其他目的的存在。若本领域技术人员自说明书、权利要求或附图等的记载可以推导出的功效，也包括在本技术功效中。因此，本技术的目的不局限于前述列举的功效。
75.以上所举实施例仅用以说明本技术而已，非用以限制本技术的范围。凡是不违背本技术精神所从事的种种修改或变化，都属本技术意欲保护的范畴。

技术特征：
1.一种具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，有一待镀物移动于该线性电浆制程机构中，其特征在于，包括：一传输模组，该传输模组沿一水平方向移动该待镀物，该传输模组具有一第一侧传输单元、一第二侧传输单元、一第一退让单元及一第二退让单元，该第一侧传输单元与该第一退让单元连接，而该第二侧传输单元与该第二退让单元连接；一镀膜腔体，该传输模组将该待镀物沿该水平方向输入至该镀膜腔体以进行镀膜处理；以及至少一与该镀膜腔体连接设置的缓冲腔体，该传输模组将该待镀物沿该水平方向输入至该缓冲腔体以进行缓冲处理，该缓冲腔体具有一位于该传输模组下方的第一升降单元及一下冷却区，该第一退让单元及该第二退让单元挪开该第一侧传输单元及该第二侧传输单元的空间，供该第一升降单元承接该待镀物下表面向下位移至该下冷却区进行缓冲处理。2.根据权利要求1所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该第一侧传输单元具有多个第一侧位移校正轮，而该第二侧传输单元具有多个第二侧位移校正轮，这些第一侧位移校正轮及这些第二侧位移校正轮供维持该待镀物的该水平方向移动。3.根据权利要求1所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体具有一位于该下冷却区上方的待承接区，该待承接区连通该下冷却区，该传输模组将该待镀物输入至该待承接区，由该第一升降单元承接该待镀物下表面垂直升降移动于该待承接区及该下冷却区之间。4.根据权利要求3所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该第一侧传输单元具有多个第一侧承载滚轮，而该第二侧传输单元具有多个第二侧承载滚轮，这些第一侧承载滚轮及这些第二侧承载滚轮分别沿该水平方向传输的两侧间隔设置，该第一退让单元挪开这些第一侧承载滚轮的空间，该第二退让单元挪开这些第二侧承载滚轮的空间，使该第一升降单元接触该待镀物，由该第一升降单元承接该待镀物下表面升降位移于该待承接区及该下冷却区之间。5.根据权利要求4所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该第一升降单元具有多个第一承载臂及一连接这些第一承载臂的承接板，这些第一承载臂部分设于这些第一侧承载滚轮之间的空隙位置，部分设于这些第二侧承载滚轮之间的空隙位置，而该承接板承接该待镀物下表面向下进行垂直位移。6.根据权利要求5所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该承接板部分设于这些第一侧承载滚轮之间的空隙位置，部分设于这些第二侧承载滚轮之间的空隙位置。7.根据权利要求5所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该第一升降单元具有一冷却管路，该冷却管路设置于该承接板远离该待镀物的一侧。8.根据权利要求4所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体具有一位于该待承接区上方的上冷却区，该上冷却区连通该待承接区及该下冷却区，该第一升降单元具有多个以垂直方向间隔叠置的承接板，这些承接板之间分别形成一存放空间供放置该待镀物，这些承接板通过该第一升降单元穿梭于该上冷却区、该待承接区及该下冷却区之间。9.根据权利要求8所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该第
一升降单元具有一冷却管路，该冷却管路设置于这些承接板远离该待镀物的一侧。10.根据权利要求4所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体具有一位于该待承接区上方的上冷却区及一位于该传输模组上方的第二升降单元，该上冷却区连通该待承接区及该下冷却区，该第二升降单元具有一承接板，由该承接板承接该待镀物下表面升降位移于该待承接区及该上冷却区之间，该承接板具有多个延伸并凸设于这些第一侧承载滚轮之间及这些第二侧承载滚轮之间的延伸承载部。11.根据权利要求10所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该第二升降单元具有多个与该承接板连接的第二承载臂，这些第二承载臂部分设于这些第一侧承载滚轮之间的空隙位置，部分设于这些第二侧承载滚轮之间的空隙位置，而该承接板承接该待镀物下表面向上进行垂直位移。12.根据权利要求10所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该第二升降单元具有一冷却管路，该冷却管路设置于该承接板远离该待镀物的一侧。13.根据权利要求10所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体还具有一设于该上冷却区顶部的冷却板，而于该待镀物位移至该上冷却区时，该冷却板以面接触的方式接触该待镀物的上表面而进行冷却。14.根据权利要求10所述的具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体还具有一设于该上冷却区顶部的冷却单元，而于该待镀物位移至该上冷却区时，该冷却单元对该待镀物的上表面进行冷却。

技术总结
本申请为一种具有升降式冷却缓冲的线性电浆制程机构，线性电浆制程机构包括：一传输模组、一镀膜腔体及一缓冲腔体。传输模组沿一水平方向移动待镀物，将待镀物输入至镀膜腔体及缓冲腔体进行处理，传输模组具有一第一退让单元及一第二退让单元。缓冲腔体具有一位于传输模组下方的第一升降单元，第一退让单元及第二退让单元可挪移空间，供第一升降单元承接待镀物下表面，并向下位移至下冷却区进行缓冲处理。借此，本申请可达到提高整体生产线作业效率的目的，以及给予待镀物足够的冷却缓冲时间。间。间。


技术研发人员：李原吉 刘品均 杨峻杰 林忠炫 赖青华 林岱蔚 纪宏鹏 卢志铭 杨正暐
受保护的技术使用者：友威科技股份有限公司
技术研发日：2023.04.07
技术公布日：2023/9/20