一种应用于气相沉积的气体清洗设备的制作方法

1.本发明涉及化学气相沉积辅助设备技术领域，具体涉及一种应用于气相沉积的气体清洗设备。


背景技术：

2.化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
3.化学气相沉积反应一般在沉积箱中进行，但是在反应的过程中，沉积物不仅在工件上沉淀，还会沉淀在沉积箱的侧壁上，需要顶起对沉积箱侧壁的沉积物进行清洗。
4.现有技术中，一般通过高压气体对沉积物进行清理，但是由于沉积物与沉积箱侧壁的粘附能力较强，仅仅通过气体冲洗，难以将沉积物清理干净。


技术实现要素：

5.为解决上述问题，本发明提供了一种应用于气相沉积的气体清洗设备，本发明是通过以下技术方案来实现的。
6.一种应用于气相沉积的气体清洗设备，包括安装罩、电机、中转箱、清洗装置和雾化供液装置；所述安装罩的底部敞口设置，安装罩的顶板上表面固接有机罩，所述机罩的左右两侧对称固接有把手，所述电机固接在机罩内，电机设有竖直向下的输出轴，所述输出轴与安装罩的顶板转动连接，所述中转箱的上部开设有环形的滑槽，所述安装罩的侧板内壁固接有环形的滑块，所述中转箱通过滑块与滑槽的配合转动连接在安装罩中，所述输出轴的底部与中转箱的顶板中心固定连接，中转箱的顶板上还圆周均匀开设有通孔；
7.所述清洗装置包括空心管和清洗罩；所述空心管与中转箱的侧板连接，空心管绕中转箱的轴线圆周均匀设有复数个，所述清洗罩固接在空心管的头部，空心管将清洗罩的内腔与中转箱的内腔导通，清洗罩通过端面板封口，所述端面板的中心固接有喷嘴，端面板的外壁还固接有环形的清洗海绵刷；
8.所述雾化供液装置包括储液箱和鼓风机；所述储液箱的后侧板上部固接有加液管，储液箱用于盛装弱碱性的清洗液，所述鼓风机固接在储液箱的右侧，鼓风机的进口与外界空气导通，鼓风机的出口固接有出气管，所述出气管的头部通过负压管连接有连通管，所述连通管通过输送管与安装罩的右侧连接，所述负压管的底部固接有虹吸管，所述虹吸管的底部插入到储液箱的底部。
9.进一步地，所述空心管与中转箱的侧板转动连接，中转箱内的空心管上固接有从动锥齿轮，所述中转箱的顶板上转动连接有与从动锥齿轮对应的轴杆，所述轴杆的底部固接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮与对应的从动锥齿轮啮合，轴杆的顶部固接有直齿轮，所述安装罩的侧板内壁固接有连接环，所述连接环的内圈固接有齿环，各直齿轮与齿环的内侧啮合。
10.进一步地，所述储液箱的顶部固接有加热仓，所述出气管和连通管分别固接在加热仓的右侧板和左侧板内，所述加热仓的顶板下表面固接有电阻加热板。
11.进一步地，所述加热仓的顶板上表面固接有蓄电池，所述机罩的顶部固接有控制开关，所述蓄电池、电机和鼓风机组成并联电路，该并联电路、蓄电池和控制开关组成串联回路。
12.进一步地，所述出气管和连通管之间蝶形布置有若干负压管，所述负压管的直径为出气管直径的1/10～1/20。
13.进一步地，所述输送管为波纹软管。
14.进一步地，所述储液箱为透明材料制成。
15.本发明的有益效果是，通过雾化供液装置向清洗装置输送气体和清洗液的混合物，通过电机的工作驱动清洗装置自转和公转，通过清洗装置对沉积箱的侧壁进行刷洗，清洗液为弱碱溶液，通过清洗液与酸性沉淀物的反应，使得沉淀物松动，配合清洗装置的刷洗，可以将沉淀物高效彻底的清理，本装置操作方便、效率较高，且具有良好的清洗效果。
附图说明
16.为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1：本发明所述一种应用于气相沉积的气体清洗设备的结构示意图；
18.图2：图1所示a处的局部放大图；
19.图3：本发明所述中转箱的轴测图；
20.图4：本发明所述清洗装置的驱动示意图；
21.图5：本发明所述清洗罩位置的半剖视图；
22.图6：本发明所述负压管的分布示意图。
23.附图标记如下：
24.1-安装罩，2-电机，21-机罩，22-把手，23-输出轴，3-中转箱，31-滑槽，32-滑块，33-通孔，41-空心管，42-清洗罩，43-端面板，44-喷嘴，45-清洗海绵刷，46-从动锥齿轮，47-轴杆，48-主动锥齿轮，49-直齿轮，410-连接环，411-齿环，51-储液箱，52-鼓风机，53-加液管，54-出气管，55-负压管，56-连通管，57-输送管，58-负压管，59-加热仓，510-电阻加热板，61-蓄电池，62-控制开关。
具体实施方式
25.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
26.如图1-6所示，一种应用于气相沉积的气体清洗设备，包括安装罩1、电机2、中转箱3、清洗装置和雾化供液装置；安装罩1的底部敞口设置，安装罩1的顶板上表面固接有机罩
21，机罩21的左右两侧对称固接有把手22，电机2固接在机罩21内，电机2设有竖直向下的输出轴23，输出轴23与安装罩1的顶板转动连接，中转箱3的上部开设有环形的滑槽31，安装罩1的侧板内壁固接有环形的滑块32，中转箱3通过滑块32与滑槽31的配合转动连接在安装罩1中，输出轴23的底部与中转箱3的顶板中心固定连接，中转箱3的顶板上还圆周均匀开设有通孔33；
27.清洗装置包括空心管41和清洗罩42；空心管41与中转箱3的侧板连接，空心管41绕中转箱3的轴线圆周均匀设有复数个，清洗罩42固接在空心管41的头部，空心管41将清洗罩42的内腔与中转箱3的内腔导通，清洗罩42通过端面板43封口，端面板43的中心固接有喷嘴44，端面板43的外壁还固接有环形的清洗海绵刷45；
28.雾化供液装置包括储液箱51和鼓风机52；储液箱51的后侧板上部固接有加液管53，储液箱51用于盛装弱碱性的清洗液，鼓风机52固接在储液箱51的右侧，鼓风机52的进口与外界空气导通，鼓风机52的出口固接有出气管54，出气管54的头部通过负压管55连接有连通管56，连通管56通过输送管57与安装罩1的右侧连接，负压管55的底部固接有虹吸管58，虹吸管58的底部插入到储液箱51的底部。
29.优选的，空心管41与中转箱3的侧板转动连接，中转箱3内的空心管41上固接有从动锥齿轮46，中转箱3的顶板上转动连接有与从动锥齿轮46对应的轴杆47，轴杆47的底部固接有主动锥齿轮48，主动锥齿轮48与对应的从动锥齿轮46啮合，轴杆47的顶部固接有直齿轮49，安装罩1的侧板内壁固接有连接环410，连接环410的内圈固接有齿环411，各直齿轮49与齿环411的内侧啮合。
30.优选的，储液箱51的顶部固接有加热仓59，出气管54和连通管56分别固接在加热仓59的右侧板和左侧板内，加热仓59的顶板下表面固接有电阻加热板510。
31.优选的，加热仓59的顶板上表面固接有蓄电池61，机罩21的顶部固接有控制开关62，蓄电池61、电机2和鼓风机52组成并联电路，该并联电路、蓄电池61和控制开关62组成串联回路。
32.优选的，出气管54和连通管56之间蝶形布置有若干负压管55，负压管55的直径为出气管54直径的1/10～1/20。
33.优选的，输送管57为波纹软管。
34.优选的，储液箱51为透明材料制成。
35.本发明的一个具体实施方式为：
36.通过加液管53箱储存箱内添加弱碱性的清洗液，然后通过把手22拿起安装罩1、电机2、中转箱3和清洗装置的一体结构，并将该一体结构置于沉积箱内需要清理沉积物的位置。
37.通过控制开关62启动电阻加热板510、电机2和鼓风机52。
38.鼓风机52工作时将外界的空气抽取，并经出气管54输送到负压管55中，由于负压管55的直径较小，空气在其中具有很高的流动速度，根据伯努利原理可以，流速越大的气体压力越小，从而负压管55中快速流动的气体产生负压，进而清洗液通过虹吸管58进入到负压管55中，并与快速流动的气体混合成雾化状态。
39.电阻加热板510工作时，可以对雾化液进行加热，提高雾化液的温度，进而提高后续的清洗效果。
40.雾化液经连通管56和输送管57进入到安装罩1中，雾化液依次经通孔33、中转箱3和空气管进入清洗罩42中，并从喷嘴44喷出而作用于沉积箱的侧壁上。
41.由于沉积箱侧壁上的沉积物一般为酸性沉积物，弱碱性的清洗液会与酸性的沉积物反应，从而使得沉积物松动。
42.电机2工作时带动输出轴23和中转箱3转动，从而清洗装置绕输出轴23的轴线公转，在此过程中，直齿轮49公转，通过齿条的设置，公转的直齿轮49同步自转，从而轴杆47和主动锥齿轮48自转，进而与主动锥齿轮48啮合的从动锥齿轮46自转，进而清洗装置自转，此时，清洗海绵刷45对沉积箱的侧壁进行全方位的刷洗，配合清洗液的反应，使得清洗高效彻底。
43.以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

技术特征：
1.一种应用于气相沉积的气体清洗设备，其特征在于：包括安装罩、电机、中转箱、清洗装置和雾化供液装置；所述安装罩的底部敞口设置，安装罩的顶板上表面固接有机罩，所述机罩的左右两侧对称固接有把手，所述电机固接在机罩内，电机设有竖直向下的输出轴，所述输出轴与安装罩的顶板转动连接，所述中转箱的上部开设有环形的滑槽，所述安装罩的侧板内壁固接有环形的滑块，所述中转箱通过滑块与滑槽的配合转动连接在安装罩中，所述输出轴的底部与中转箱的顶板中心固定连接，中转箱的顶板上还圆周均匀开设有通孔；所述清洗装置包括空心管和清洗罩；所述空心管与中转箱的侧板连接，空心管绕中转箱的轴线圆周均匀设有复数个，所述清洗罩固接在空心管的头部，空心管将清洗罩的内腔与中转箱的内腔导通，清洗罩通过端面板封口，所述端面板的中心固接有喷嘴，端面板的外壁还固接有环形的清洗海绵刷；所述雾化供液装置包括储液箱和鼓风机；所述储液箱的后侧板上部固接有加液管，储液箱用于盛装弱碱性的清洗液，所述鼓风机固接在储液箱的右侧，鼓风机的进口与外界空气导通，鼓风机的出口固接有出气管，所述出气管的头部通过负压管连接有连通管，所述连通管通过输送管与安装罩的右侧连接，所述负压管的底部固接有虹吸管，所述虹吸管的底部插入到储液箱的底部。2.根据权利要求1所述的一种应用于气相沉积的气体清洗设备，其特征在于：所述空心管与中转箱的侧板转动连接，中转箱内的空心管上固接有从动锥齿轮，所述中转箱的顶板上转动连接有与从动锥齿轮对应的轴杆，所述轴杆的底部固接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮与对应的从动锥齿轮啮合，轴杆的顶部固接有直齿轮，所述安装罩的侧板内壁固接有连接环，所述连接环的内圈固接有齿环，各直齿轮与齿环的内侧啮合。3.根据权利要求1所述的一种应用于气相沉积的气体清洗设备，其特征在于：所述储液箱的顶部固接有加热仓，所述出气管和连通管分别固接在加热仓的右侧板和左侧板内，所述加热仓的顶板下表面固接有电阻加热板。4.根据权利要求3所述的一种应用于气相沉积的气体清洗设备，其特征在于：所述加热仓的顶板上表面固接有蓄电池，所述机罩的顶部固接有控制开关，所述蓄电池、电机和鼓风机组成并联电路，该并联电路、蓄电池和控制开关组成串联回路。5.根据权利要求1所述的一种应用于气相沉积的气体清洗设备，其特征在于：所述出气管和连通管之间蝶形布置有若干负压管，所述负压管的直径为出气管直径的1/10～1/20。6.根据权利要求1所述的一种应用于气相沉积的气体清洗设备，其特征在于：所述输送管为波纹软管。7.根据权利要求1所述的一种应用于气相沉积的气体清洗设备，其特征在于：所述储液箱为透明材料制成。

技术总结
本发明公布了一种应用于气相沉积的气体清洗设备，包括安装罩、电机、中转箱、清洗装置和雾化供液装置，清洗装置包括空心管和清洗罩，清洗罩内固接有端面板，端面板的中心固接有喷嘴，端面板的外壁还固接有清洗海绵刷，雾化供液装置包括储液箱和鼓风机，本发明的有益效果是，通过雾化供液装置向清洗装置输送气体和清洗液的混合物，通过电机的工作驱动清洗装置自转和公转，通过清洗装置对沉积箱的侧壁进行刷洗，清洗液为弱碱溶液，通过清洗液与酸性沉淀物的反应，使得沉淀物松动，配合清洗装置的刷洗，可以将沉淀物高效彻底的清理，本装置操作方便、效率较高，且具有良好的清洗效果。且具有良好的清洗效果。且具有良好的清洗效果。


技术研发人员：钟兴进 罗长诚 何淑英 冯嘉荔
受保护的技术使用者：广东鸿浩半导体设备有限公司
技术研发日：2022.03.23
技术公布日：2023/10/6