蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板与流程

1.本发明涉及显示技术领域，更具体地，涉及一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板。


背景技术：

2.随着显示行业技术的发展，oled以可柔性，主动发光，大视角，色纯度高，反应速度快等优势逐渐占领市场。行业内普遍使用物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)，即蒸镀法，来制备oled器件的膜层；但是随着市场的对中大尺寸要求提升，蒸镀基板的尺寸逐渐变大；相应地，蒸镀腔体也随之变大，从而造成生产成本的增加。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本发明提供了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，有利于减小蒸镀腔的体积，减少生产成本。
4.本发明提供一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔、以及位于蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；待蒸镀基板和掩膜板相对设置，且待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，掩膜板位于待蒸镀基板靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；挡板位于掩膜板和蒸镀源之间，挡板包括开口，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向，蒸镀源与开口至少部分交叠。
5.基于同一思想，本发明还提供了一种蒸镀方法，采用本发明提供的蒸镀装置进行蒸镀；蒸镀方法包括：采用对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；蒸镀源透过开口对待蒸镀基板进行蒸镀。
6.基于同一思想，本发明还提供了一种有机发光显示面板，采用本发明提供的蒸镀方法形成。
7.与现有技术相比，本发明提供的蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，至少实现了如下的有益效果：
8.本发明提供的蒸镀装置中，蒸镀腔内，待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动，蒸镀源不移动。在对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动时，蒸汽状态的待蒸镀材料可以通过挡板的开口穿过掩膜板中镂空的图形到达待蒸镀基板上，进而在待蒸镀基板上形成有图形的膜层，即蒸镀源透过开口对待蒸镀基板进行蒸镀。由于在蒸镀过程中，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动，从而挡板中开口可设置较小。为了能够实现较好的蒸镀效果，挡板的开口的面积越大，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上，蒸镀源和挡板之间的间距需设置越大。相应的，挡板中开口沿第一方向的宽度越小，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上，蒸镀源和挡板之间的间距也可以设置较小，从而有利于减小沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上，蒸镀源和挡板之间的设置间距，从而有利于减小蒸镀腔沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上的高度，从而有利于减小蒸镀腔的体积，从而有利于减小制作成本，避免蒸镀材料
的浪费，且有利于减小蒸镀装置的占用空间，从而减小对用于放置蒸镀装置的空间的体积要求。
9.且在蒸镀腔内设置有多个蒸镀区域时，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板在不同蒸镀区域之间移动，待蒸镀基板和掩膜板仅需进行一次对位即可，有效减少待蒸镀基板和掩膜板的对位次数，有效提高蒸镀良率。
10.当然，实施本发明的任一产品不必特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
11.通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
12.被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。
13.图1是现有技术中一种蒸镀装置的结构示意图；
14.图2是本发明提供的一种蒸镀装置的结构示意图；
15.图3是本发明提供的一种蒸镀源的结构示意图；
16.图4是图2所述的蒸镀装置的一种状态图；
17.图5是本发明提供的一种对位机构的结构示意图；
18.图6是本发明提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；
19.图7是本发明提供的另一种对位机构的结构示意图；
20.图8是图2所述的蒸镀装置的另一种状态图；
21.图9是本发明提供的一种蒸镀方法的流程示意图；
22.图10是本发明提供的一种有机发光显示面板的平面示意图。
具体实施方式
23.现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。
24.以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。
25.对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
26.在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
27.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
28.现有技术中，参考图1，图1是现有技术中一种蒸镀装置的结构示意图，在现有的蒸镀装置中，待蒸镀基板1和掩膜板2固定不移动，通过蒸镀源4沿方向a移动对待蒸镀基板1进行蒸镀，从而实现在待蒸镀基板1上蒸镀膜层。为了实现对待蒸镀基板1进行蒸镀，位于待蒸镀基板1和蒸镀源4之间的挡板3的开口的面积需大于待蒸镀基板1的尺寸，即挡板3的开口
的面积较大，特别是在对大尺寸待蒸镀基板1进行蒸镀时，挡板3的开口的面积更大。
29.发明人经过研究发现为了能够实现较好的蒸镀效果，挡板3的开口的面积越大，相应的，蒸镀源4和挡板3之间的高度h1需设置越大。现有技术中由于挡板3的开口的面积较大，从而蒸镀源4和挡板3之间的高度h1需设置较大，造成蒸镀腔5的体积需设置较大，从而造成蒸镀装置的占用空间较大，且造成制作成本高，蒸镀材料严重浪费。
30.基于上述研究，本技术提供了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，有利于减小蒸镀腔的体积，减少生产成本，详细说明如下：
31.图2是本发明提供的一种蒸镀装置的结构示意图，参考图2，本实施例提供一种蒸镀装置，蒸镀装置包括蒸镀腔10、以及位于蒸镀腔10内的对位机构20、待蒸镀基板30、掩膜板40、挡板50和蒸镀源60。
32.其中，待蒸镀基板30和掩膜板40相对设置，且待蒸镀基板30和掩膜板40固定于对位机构20靠近蒸镀源60的一侧，掩膜板40位于待蒸镀基板30靠近蒸镀源60的一侧，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40移动。
33.待蒸镀基板30可以为刚性基板，待蒸镀基板30的材料为玻璃。待蒸镀基板30也可以为柔性基板，待蒸镀基板30的材料为聚酰亚胺(pi)、聚碳酸酯(pc)或聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)等。
34.图3是本发明提供的一种蒸镀源的结构示意图，参考图2和图3，可选的，蒸镀源60包括第一坩埚61和与第一坩埚61相连接的多个蒸镀喷嘴62，蒸镀喷嘴62位于第一坩埚61朝向挡板50的一侧。第一坩埚61内容纳有用于在待蒸镀基板30上形成膜层的待蒸镀材料。第一坩埚61在加热装置(图中未示出)的加热作用下，第一坩埚61主体内的待蒸镀材料受热熔融，当温度达到发光材料的气化温度时，待蒸镀材料被蒸发，经由第一坩埚61上的蒸镀喷嘴62喷射而出。
35.掩膜板40由金属材料制作而成，具有一个或至少2个镂空的图形，蒸汽状态的待蒸镀材料可以通过穿过掩膜板40中镂空的图形到达待蒸镀基板30上，进而在待蒸镀基板30上形成有图形的膜层。
36.挡板50位于掩膜板40和蒸镀源60之间，挡板50包括开口51，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向，蒸镀源60与开口51至少部分交叠。
37.具体的，图4是图2所述的蒸镀装置的一种状态图，参考图2和图4，本发明实施例提供的蒸镀装置中，蒸镀腔10内，待蒸镀基板30和掩膜板40固定于对位机构20靠近蒸镀源60的一侧，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40移动，蒸镀源60不移动。在对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40移动时，蒸汽状态的待蒸镀材料可以通过挡板50的开口51穿过掩膜板40中镂空的图形到达待蒸镀基板30上，进而在待蒸镀基板30上形成有图形的膜层，即蒸镀源60透过开口51对待蒸镀基板20进行蒸镀。示例性的，对位机构20可沿第一方向x移动，从而在蒸镀过程中，对位机构20可同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40沿第一方向x移动。
38.由于在蒸镀过程中，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40移动，从而挡板50中开口51可设置较小。示例性的，当在蒸镀过程中，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40沿第一方向x移动时，挡板50中开口51沿第一方向x的宽度可小于待蒸镀基板30沿第一方向x的宽度，即挡板50中开口51沿第一方向x的宽度可设置较小，且挡板50中开口
51沿第一方向x的宽度不受待蒸镀基板30沿第一方向x的宽度的影响，从而即使用于对沿第一方向x具有较大宽度的待蒸镀基板30进行蒸镀时，挡板50中开口51沿第一方向x的宽度也可设置较小。
39.为了能够实现较好的蒸镀效果，挡板50的开口的面积越大，相应的，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的间距需设置越大，相应的，挡板50中开口51沿第一方向x的宽度越小，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的间距也可以设置较小，从而有利于减小沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的设置间距，从而有利于减小蒸镀腔10沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上的高度，从而有利于减小蒸镀腔10的体积，从而有利于减小制作成本，避免蒸镀材料的浪费，且有利于减小蒸镀装置的占用空间，从而减小对用于放置蒸镀装置的空间的体积要求。
40.可选的，在蒸镀腔10内设置多个蒸镀区域时，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40在不同蒸镀区域之间移动，待蒸镀基板30和掩膜板40仅需进行一次对位即可，有效减少待蒸镀基板30和掩膜板40的对位次数，有效提高蒸镀良率。
41.继续参考图2，在一些可选实施例中，沿第一方向x，开口51的宽度为s1，s1的范围为100-300mm。
42.具体的，沿第一方向x，开口51的宽度小于或等于300mm，即开口51沿第一方向x的宽度较小，相应的，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的间距也可以设置较小，从而有利于减小沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的设置间距，从而有利于减小蒸镀腔10沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上的高度，从而有利于减小蒸镀腔10的体积。沿第一方向x，开口51的宽度大于或等于100mm，从而使得蒸镀源60中待蒸镀材料大部分可以通过挡板50的开口51到达待蒸镀基板30上，保证待蒸镀基板30上膜层的蒸镀效果。即沿第一方向x，开口51的宽度为s1，s1的范围为100-300mm，可在保证待蒸镀基板30上膜层的蒸镀效果的同时，有利于实现减小蒸镀腔10沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上的高度，从而有利于减小蒸镀腔10的体积。
43.需要说明的是，在本发明其他实施例中，沿第一方向x，开口51的宽度还可以根据实际生产需要设置为其他数值，本发明在此不再一一赘述。
44.图5是本发明提供的一种对位机构的结构示意图，参考图5，在一些可选实施例中，对位机构20包括第一固定板21、与第一固定板21相连接的基板固定平台22和掩膜板固定平台23，待蒸镀基板30位于第一固定板21和基板固定平台22之间，掩膜板40位于待蒸镀基板30和掩膜板固定平台23之间。
45.可选的，基板固定平台22和掩膜板固定平台23相对第一固定板21可沿垂直于第一固定板21所在平面的方向发生移动，将待蒸镀基板30放置于基板固定平台22朝向第一固定板21的一侧，将掩膜板40放置于掩膜板固定平台23朝向第一固定板21的一侧后，可通过基板固定平台22和掩膜板固定平台23朝向靠近第一固定板21的方向移动实现待蒸镀基板30和掩膜板40的对位固定，同时，可实现待蒸镀基板30和掩膜板40与对位机构20的固定，从而实现对位机构20可同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40移动。
46.基板固定平台22包括第一镂空部221，第一镂空部221暴露待蒸镀基板30的待蒸镀区域，从而基板固定平台22的设置不会影响待蒸镀基板30上膜层的蒸镀。
47.掩膜板固定平台23包括第二镂空部231，第二镂空部231暴露掩膜板40的待蒸镀区域，从而掩膜板固定平台23的设置也不会影响待蒸镀基板30上膜层的蒸镀。
48.继续参考图2和图5，在一些可选实施例中，蒸镀装置还包括滑轨70，对位机构20还包括滑轮24，滑轮24与滑轨70滑动连接，滑轮24可沿滑轨70移动，从而使得对位机构20可沿滑轨70移动。可选的，蒸镀装置还包括传动电机，可通过传动电机带动驱动滑轮24。
49.需要说明的是，本实施例示例性的示出了可在对位机构20中设置滑轮24，滑轮24与滑轨70滑动连接，从而实现对位机构20移动。当然，在本发明其他实施例中，还可以采用其他传动机构实现对位机构20的移动，本发明在此不再一一赘述。
50.图6是本发明提供的另一种蒸镀装置的结构示意图，图7是本发明提供的另一种对位机构的结构示意图，参考图6和图7，在一些可选实施例中，对位机构20还包括整平板25，整平板25位于第一固定板21和待蒸镀基板30之间。
51.具体的，可在第一固定板21朝向蒸镀源60的一侧设置整平板25，从而将待蒸镀基板30固定于对位机构20时，待蒸镀基板30固定于整平板25的表面，整平板25可为待蒸镀基板30提供平整的平面，有利于提高待蒸镀基板30上膜层的蒸镀效果。
52.图8是图2所述的蒸镀装置的另一种状态图，参考图2、图4和图8，在一些可选实施例中，挡板50包括沿第一方向x排列的第一子部52和第二子部53，开口51位于第一子部52和第二子部53之间，其中，第一方向x与待蒸镀基板30所在平面相平行；
53.蒸镀腔10包括沿第一方向x排列的第一子区11、第二子区12和蒸镀区13，蒸镀区13位于第一子区11和第二子区12之间，第一子部52位于第一子区11，第二子部53位于第二子区12，开口51位于蒸镀区13；
54.对位机构20沿第一方向x由第一子区11经蒸镀区13移动至第二子区12。
55.具体的，对位机构20带动待蒸镀基板30和掩膜板40位于第一子区11时的结构可参考图2，对位机构20带动待蒸镀基板30和掩膜板40经蒸镀区13时的结构可参考图4，对位机构20带动待蒸镀基板30和掩膜板40位于第二子区11时的结构可参考图8，挡板50中设置有开口51，开口51将挡板50分为沿第一方向x排列的第一子部52和第二子部53。相应的，蒸镀腔10包括沿第一方向x排列的第一子区11、第二子区12和蒸镀区13，第一子部52位于第一子区11，第二子部53位于第二子区12，开口51位于蒸镀区13。对位机构20沿第一方向x由第一子区11经蒸镀区13移动至第二子区12，相应的，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40沿第一方向x由第一子区11经蒸镀区13移动至第二子区12。蒸汽状态的待蒸镀材料可以通过挡板50的开口51穿过掩膜板40中镂空的图形到达待蒸镀基板30上，当待蒸镀基板30和掩膜板40沿第一方向x由第一子区11经蒸镀区13移动至第二子区12，可实现在整个待蒸镀基板30上进行膜层的蒸镀。
56.需要说明的是，在本发明其他实施例中，对位机构20也可沿第一方向x由第二子区12经蒸镀区13移动至第一子区11，从而实现在整个待蒸镀基板30上进行膜层的蒸镀，本发明在此不再进行赘述。
57.继续参考图2，在一些可选实施例中，对位机构20位于第一子区11时，第一子部52在待蒸镀基板30所在平面的垂直投影覆盖待蒸镀基板30，即当待蒸镀基板30和掩膜板40位于第一子区11时，第一子部52在待蒸镀基板30所在平面的垂直投影覆盖待蒸镀基板30，此时，第一子部52可对蒸汽状态的待蒸镀材料进行遮挡，避免蒸汽状态的待蒸镀材料到达待
蒸镀基板30上，提高蒸镀效果。
58.继续参考图8，对位机构20位于第二子区12时，第二子部53在待蒸镀基板30所在平面的垂直投影覆盖待蒸镀基板30。即当待蒸镀基板30和掩膜板40位于第二子区12时，第二子部53在待蒸镀基板30所在平面的垂直投影覆盖待蒸镀基板30，此时，第二子部53可对蒸汽状态的待蒸镀材料进行遮挡，避免蒸汽状态的待蒸镀材料到达待蒸镀基板30上，提高蒸镀效果。
59.继续参考图4，对位机构20经过蒸镀区13时，即对位机构20的部分位于蒸镀区13，待蒸镀基板30和掩膜板40的部分也位于蒸镀区13，蒸汽状态的待蒸镀材料可通过开口51穿过掩膜板40中镂空的图形到达待蒸镀基板30上，进而在待蒸镀基板30上与开口相对应的区域上形成有图形的膜层。
60.继续参考图2，在一些可选实施例中，蒸镀源60位于蒸镀区13，从而在蒸镀区13，蒸镀源60所提供的蒸汽状态的待蒸镀材料可实现对待蒸镀基板30进行蒸镀。
61.沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的间距为h1，其中，
62.具体的，当沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的间距与沿开口51第一方向x的宽度满足上述关系时，可保证对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40沿第一方向x由第一子区11经蒸镀区13移动至第二子区12时，待蒸镀基板30上与开口51相对应的区域上均有蒸汽状态的待蒸镀材料到达，有利于提高待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的厚度的均一性，有效提高蒸镀效果。
63.当沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的间距与沿开口51第一方向x的宽度满足上述关系时，挡板50中开口51沿第一方向x的宽度越小，相应的，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的间距也可以设置较小，从而有利于减小沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的设置间距，从而有利于减小蒸镀腔10沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上的高度，从而有利于减小蒸镀腔10的体积，从而有利于减小制作成本，避免蒸镀材料的浪费，且有利于减小蒸镀装置的占用空间，从而减小对用于放置蒸镀装置的空间的体积要求。
64.本实施例提供一种蒸镀方法，采用本发明实施例提供的蒸镀装置进行蒸镀。
65.图9是本发明提供的一种蒸镀方法的流程示意图，参考图9，蒸镀方法包括：
66.步骤s1、采用对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；
67.步骤s2、蒸镀源透过开口对待蒸镀基板进行蒸镀。
68.具体的，继续参考图2、图4和图9，本发明实施例提供的蒸镀装置中，蒸镀腔10内，待蒸镀基板30和掩膜板40固定于对位机构20靠近蒸镀源60的一侧，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40移动，蒸镀源60不移动。在对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40移动时，蒸汽状态的待蒸镀材料可以通过挡板50的开口51穿过掩膜板40中镂空的图形到达待蒸镀基板30上，进而在待蒸镀基板30上形成有图形的膜层，即蒸镀源60透过开口51对待蒸镀基板20进行蒸镀。示例性的，对位机构20可沿第一方向x移动，从而在蒸镀过程中，对位机构20可同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40沿第一方向x移动。
69.由于在蒸镀过程中，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40移动，从而挡
板50中开口51可设置较小。示例性的，当在蒸镀过程中，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40沿第一方向x移动时，挡板50中开口51沿第一方向x的宽度可小于待蒸镀基板30沿第一方向x的宽度，即挡板50中开口51沿第一方向x的宽度可设置较小，且挡板50中开口51沿第一方向x的宽度不受待蒸镀基板30沿第一方向x的宽度的影响，从而即使用于对沿第一方向x具有较大宽度的待蒸镀基板30进行蒸镀时，挡板50中开口51沿第一方向x的宽度也可设置较小。
70.为了能够实现较好的蒸镀效果，挡板50的开口的面积越大，相应的，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的间距需设置越大，相应的，挡板50中开口51沿第一方向x的宽度越小，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的间距也可以设置较小，从而有利于减小沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，蒸镀源60和挡板50之间的设置间距，从而有利于减小蒸镀腔10沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上的高度，从而有利于减小蒸镀腔10的体积，从而有利于减小制作成本，避免蒸镀材料的浪费，且有利于减小蒸镀装置的占用空间，从而减小对用于放置蒸镀装置的空间的体积要求。
71.可选的，在蒸镀腔10内设置多个蒸镀区域时，对位机构20同时带动待蒸镀基板30和掩膜板40在不同蒸镀区域之间移动，待蒸镀基板30和掩膜板40仅需进行一次对位即可，有效减少待蒸镀基板30和掩膜板40的对位次数，有效提高蒸镀良率。
72.在一些可选实施例中，请参考图10，图10是本发明提供的一种有机发光显示面板的平面示意图，本实施例提供的有机发光显示面板1000，采用本发明实施例提供的蒸镀方法形成。图10实施例仅以手机为例，对有机发光显示面板1000进行说明，可以理解的是，本发明实施例提供的有机发光显示面板1000还可以是电脑、电视、车载显示装置等其他具有显示功能的有机发光显示面板1000，本发明对此不作具体限制。本发明实施例提供的有机发光显示面板1000，具有本发明实施例中所描述的有益效果，本实施例在此不再赘述。
73.通过上述实施例可知，本发明提供的蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，至少实现了如下的有益效果：
74.本发明提供的蒸镀装置中，蒸镀腔内，待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动，蒸镀源不移动。在对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动时，蒸汽状态的待蒸镀材料可以通过挡板的开口穿过掩膜板中镂空的图形到达待蒸镀基板上，进而在待蒸镀基板上形成有图形的膜层，即蒸镀源透过开口对待蒸镀基板进行蒸镀。由于在蒸镀过程中，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动，从而挡板中开口可设置较小。为了能够实现较好的蒸镀效果，挡板的开口的面积越大，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上，蒸镀源和挡板之间的间距需设置越大。相应的，挡板中开口沿第一方向的宽度越小，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上，蒸镀源和挡板之间的间距也可以设置较小，从而有利于减小沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上，蒸镀源和挡板之间的设置间距，从而有利于减小蒸镀腔沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上的高度，从而有利于减小蒸镀腔的体积，从而有利于减小制作成本，避免蒸镀材料的浪费，且有利于减小蒸镀装置的占用空间，从而减小对用于放置蒸镀装置的空间的体积要求。
75.且在蒸镀腔内设置有多个蒸镀区域时，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板在
不同蒸镀区域之间移动，待蒸镀基板和掩膜板仅需进行一次对位即可，有效减少待蒸镀基板和掩膜板的对位次数，有效提高蒸镀良率。
76.虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。

技术特征：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀腔、以及位于所述蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；所述待蒸镀基板和所述掩膜板相对设置，且所述待蒸镀基板和所述掩膜板固定于所述对位机构靠近所述蒸镀源的一侧，所述掩膜板位于所述待蒸镀基板靠近所述蒸镀源的一侧，所述对位机构同时带动所述待蒸镀基板和所述掩膜板移动；所述挡板位于所述掩膜板和所述蒸镀源之间，所述挡板包括开口，沿垂直于所述待蒸镀基板所在平面的方向，所述蒸镀源与所述开口至少部分交叠。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述对位机构包括第一固定板、与所述第一固定板相连接的基板固定平台和掩膜板固定平台，所述待蒸镀基板位于所述第一固定板和所述基板固定平台之间，所述掩膜板位于所述待蒸镀基板和所述掩膜板固定平台之间；所述基板固定平台包括第一镂空部，所述第一镂空部暴露所述待蒸镀基板的待蒸镀区域；所述掩膜板固定平台包括第二镂空部，所述第二镂空部暴露所述掩膜板的待蒸镀区域。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述对位机构还包括整平板，所述整平板位于所述第一固定板和所述待蒸镀基板之间。4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括滑轨，所述对位机构还包括滑轮，所述滑轮与所述滑轨滑动连接。5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述挡板包括沿第一方向排列的第一子部和第二子部，所述开口位于所述第一子部和所述第二子部之间，其中，所述第一方向与所述待蒸镀基板所在平面相平行；所述蒸镀腔包括沿所述第一方向排列的第一子区、第二子区和蒸镀区，所述蒸镀区位于所述第一子区和所述第二子区之间，所述第一子部位于所述第一子区，所述第二子部位于所述第二子区，所述开口位于所述蒸镀区；所述对位机构沿所述第一方向由所述第一子区经所述蒸镀区移动至所述第二子区。6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述对位机构位于所述第一子区时，所述第一子部在所述待蒸镀基板所在平面的垂直投影覆盖所述待蒸镀基板；所述对位机构位于所述第二子区时，所述第二子部在所述待蒸镀基板所在平面的垂直投影覆盖所述待蒸镀基板。7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，沿所述第一方向，所述开口的宽度为s1，s1的范围为100-300mm。8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀源位于所述蒸镀区；沿垂直于所述待蒸镀基板所在平面的方向上，所述蒸镀源和所述挡板之间的间距为h1，其中，
9.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀源包括第一坩埚和与所述第一坩埚相连接的多个蒸镀喷嘴，所述蒸镀喷嘴位于所述第一坩埚朝向所述挡板的一侧。10.一种蒸镀方法，其特征在于，采用权利要求1-9任一项所述的蒸镀装置进行蒸镀；所述蒸镀方法包括：采用所述对位机构同时带动所述待蒸镀基板和所述掩膜板移动；所述蒸镀源透过所述开口对所述待蒸镀基板进行蒸镀。11.一种有机发光显示面板，其特征在于，采用权利要求10所述的蒸镀方法形成。

技术总结
本发明涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，蒸镀装置包括：蒸镀腔、以及位于蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；待蒸镀基板和掩膜板相对设置，且待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，掩膜板位于待蒸镀基板靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；挡板位于掩膜板和蒸镀源之间，挡板包括开口，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向，蒸镀源与开口至少部分交叠。本发明有利于减小蒸镀腔的体积，减少生产成本。减少生产成本。减少生产成本。


技术研发人员：董晴晴 范刘静
受保护的技术使用者：上海天马微电子有限公司
技术研发日：2023.04.04
技术公布日：2023/7/7