金属化薄膜以及薄膜电容器的制作方法

1.本发明涉及金属化薄膜以及薄膜电容器。


背景技术：

2.日本特开2005-12082号公报(专利文献1)公开了一种金属化薄膜电容器。在该金属化薄膜电容器中，在电介质薄膜上形成有金属蒸镀膜的图案。在该图案中，经由分割边界形成有多个分割小电极部。在金属蒸镀薄膜的宽度方向上相邻的2个分割小电极部通过沿金属蒸镀薄膜的宽度方向延伸的熔断器部(横熔断器)连接(参照专利文献1)。在先技术文献专利文献
3.专利文献1：日本特开2005-12082号公报


技术实现要素：

发明所要解决的课题
4.一般地，在分割电极部彼此通过熔断器连接的薄膜电容器中，在一定范围内的熔断器的数量较多的情况下，电压施加时的电容器的介电损耗(tanδ)大，容易产生熔断器中的自发热。如上述专利文献1所公开的薄膜电容器那样，将相邻的分割电极部彼此仅通过横熔断器来连接，由此能够抑制薄膜电容器的发热。然而，在未设置纵熔断器的情况下，若横熔断器断开，则存在有效电极面积过度地消失的情况。
5.本发明为了解决这样的问题而作，其目的在于提供一种通过抑制制成薄膜电容器的情况下的介电损耗(tanδ)的上升以及自发热，提高高温环境下的耐用性，并且抑制有效电极面积过度地消失的事态，能够将电容器的静电电容降低抑制为最小限度的金属化薄膜等。用于解决课题的手段
6.根据本发明的一个方面的金属化薄膜是薄膜电容器用的金属化薄膜。金属化薄膜具备电介质薄膜。在电介质薄膜上，形成有位于金属化薄膜的宽度方向的一个端部并与金属喷镀电极连接的电导入部、位于金属化薄膜的宽度方向的另一个端部的绝缘边界、以及位于电导入部与绝缘边界之间的电极部。电极部经由边界部，被分割为从电导入部朝向绝缘边界依次排列的大电极部、第一分割电极部、第二分割电极部以及第三分割电极部。第一、第二以及第三分割电极部经由边界部，在与金属化薄膜的宽度方向垂直的方向上分别被分割为多个第一、第二以及第三分割电极。在与金属化薄膜的宽度方向垂直的方向上存在于与1个第一分割电极对应的位置的第二分割电极的数量为2个以上且3个以下。在与金属化薄膜的宽度方向垂直的方向上存在于与1个第一分割电极对应的位置的第三分割电极的数量为3个以上且6个以下。大电极部经由第一熔断器与第一分割电极连接。第一分割电极经由1个第二熔断器与2个第二分割电极连接。第二分割电极经由1个第三熔断器与2个第三分割电极连接。
7.在该金属化薄膜中，例如，第一分割电极和2个第二分割电极经由1个第二熔断器而连接。第一分割电极和2个第二分割电极在金属化薄膜的宽度方向(横向)上排列。2个第二分割电极在与金属化薄膜的宽度方向垂直的方向(纵向)上排列。第二熔断器将第一分割电极与2个第二分割电极连接，因此兼具横熔断器的作用和纵熔断器的作用。因此，根据该金属化薄膜，由于无需独立地设置横熔断器和纵熔断器，因此能够减少熔断器的数量，能够抑制制成薄膜电容器的情况下的自发热。此外，根据该金属化薄膜，由于第二熔断器以及第三熔断器各自也作为纵熔断器发挥作用，因此能够抑制有效电极面积过度地消失的事态。
8.在上述金属化薄膜中，也可以构成为，在将第一分割电极的面积设为1的情况下，第二分割电极的面积为1/3以上且1/2以下，第三分割电极的面积为1/12以上且1/3以下。
9.一般地，在将金属化薄膜制成薄膜电容器的情况下，以各电导入部位于相反侧的端部的方式重叠2张金属化薄膜。即，在与一方的大电极部对置的位置设置另一方的第三分割电极部，在与一方的第一分割电极部对置的位置设置另一方的第二分割电极部。在根据本发明的金属化薄膜中，第三分割电极的面积比第一分割电极以及第二分割电极都小。因此，根据该金属化薄膜，即使假设由于冲击电流而在大电极部的一部分产生绝缘破坏，由于与产生绝缘破坏的位置对置的第三分割电极的面积较小，因此即使在熔断器断开的情况下，也能够减小消失的有效电极面积。
10.在上述金属化薄膜中，也可以构成为，在将第一分割电极的面积设为1的情况下，第三分割电极的面积为1/6以上且1/3以下。
11.在上述金属化薄膜中，也可以构成为，在将第一熔断器的宽度设为1的情况下，第二熔断器的宽度为0.6以上且0.9以下，第三熔断器的宽度为0.3以上且0.6以下。
12.在该金属化薄膜中，从第一熔断器朝向第三熔断器，熔断器的宽度逐渐变细。因此，根据该金属化薄膜，由于连接面积小的分割电极的熔断器更容易断开，因此能够抑制有效电极面积过大地失去的事态。
13.在上述金属化薄膜中，也可以构成为，第二熔断器形成于与在与金属化薄膜的宽度方向垂直的方向上彼此相邻的2个第二分割电极、以及在金属化薄膜的宽度方向上与2个第二分割电极双方相邻的第一分割电极分别相邻的位置。
14.第二熔断器由于与第一分割电极以及2个第二分割电极分别相邻，因此兼具横熔断器的作用和纵熔断器的作用。因此，根据该金属化薄膜，由于无需独立地设置横熔断器和纵熔断器，因此能够减少熔断器的数量，能够在确保制成薄膜电容器的情况下的向分割电极的电流流路的同时，更高效地将产生了绝缘破坏的分割电极电分离，因此能够缩短短路电流流动的时间，能够抑制元件的自发热。
15.在上述金属化薄膜中，也可以构成为，第三熔断器形成于与在与金属化薄膜的宽度方向垂直的方向上彼此相邻的2个第三分割电极、以及在金属化薄膜的宽度方向上与2个第三分割电极双方相邻的第二分割电极分别相邻的位置。
16.第三熔断器由于与第二分割电极以及2个第三分割电极分别相邻，因此兼具横熔断器的作用和纵熔断器的作用。因此，根据该金属化薄膜，由于无需独立地设置横熔断器和纵熔断器，因此能够减少熔断器的数量，能够在确保制成薄膜电容器的情况下的向分割电极的电流流路的同时，更有效地将产生了绝缘破坏的分割电极电分离，因此能够缩短短路电流的流动时间，能够抑制元件的自发热。
17.根据本发明的另一方面的薄膜电容器由上述金属化薄膜构成。发明效果
18.根据本发明，能够提供一种通过抑制制成薄膜电容器的情况下的自发热，并且抑制有效电极面积过度地消失的事态，能够将电容器的静电电容降低抑制为最小限度的金属化薄膜等。
附图说明
19.图1是示意性地表示金属化薄膜的平面的一部分的图。图2是示意性地表示图1的部分p1的一部分的放大图。图3是示意性地表示图1的部分p2的一部分的放大图。图4是示意性地表示图1的部分p3的一部分的放大图。图5是示意性地表示金属化薄膜的一部分的放大图。图6是用于说明在薄膜电容器的制造时重叠的2张金属化薄膜的朝向的图。图7是示意性地表示第一变形例中的、金属化薄膜的平面的一部分的图。图8是示意性地表示第二变形例中的、金属化薄膜的平面的一部分的图。图9是示意性地表示第三变形例中的、金属化薄膜的平面的一部分的图。图10是示意性地表示第四变形例中的、金属化薄膜的平面的一部分的图。图11是表示比较例1中的、金属化薄膜的平面的一部分的图。图12是表示比较例2中的、金属化薄膜的平面的一部分的图。图13是表示比较例3中的、金属化薄膜的平面的一部分的图。图14是表示比较例4中的、金属化薄膜的平面的一部分的图。
具体实施方式
20.以下，参照附图对本发明的实施方式详细进行说明。另外，对于图中同一或相当部分标注相同符号而不重复其说明。
21.[1.金属化薄膜的结构]图1是示意性地表示根据本实施方式的金属化薄膜10的平面的一部分的图。在图1中，仅示出了金属化薄膜10的流动方向的一部分。金属化薄膜10例如用于薄膜电容器的制造。以下，将金属化薄膜10的宽度方向也简称为“宽度方向”，将金属化薄膜10的流动方向也简称为“流动方向”。
[0022]
如图1所示，金属化薄膜10包含电介质薄膜20。作为电介质薄膜20，例如，能够使用聚丙烯(pp：polypropylene)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet：polyethylene terephthalate)、聚苯硫醚(pps：polyphenylene sulfide)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen：polyethylene naphthalate)、聚偏氟乙烯(pvdf：polyvinylidene difluoride)等各种具有绝缘性的树脂。
[0023]
电介质薄膜20的厚度并无特别限定，优选为0.5μm～25μm，进一步优选为1.5μm～10μm。
[0024]
在电介质薄膜20中，在一个端部形成有蒸镀有金属(例如铝或锌)的区域即电导入部30，在另一个端部形成有未蒸镀金属的区域即绝缘边界40。在使用金属化薄膜10制造薄
膜电容器的情况下，在电导入部30连接金属喷镀电极。
[0025]
在电导入部30与绝缘边界40之间，形成有电极部50。电极部50通过在电介质薄膜20上蒸镀金属(例如铝或锌)而形成。
[0026]
作为形成电极部50以及电导入部30的金属，并无特别限定，例如，能够使用铝(al)、锌(zn)、锡(sn)、铜(cu)等金属材料或它们的合金等。金属蒸镀电极(电极部50)的厚度并无特别限定，优选为1nm～200nm。此外，电导入部30的金属蒸镀膜的厚度优选为金属蒸镀电极的2倍～5倍左右。此外，金属蒸镀电极的厚度也可以根据金属蒸镀电极材料的电阻率来设定，以得到所希望的电气特性。
[0027]
电极部50经由作为未蒸镀金属的区域的边界部60，被分割为从电导入部30朝向绝缘边界40依次排列的、大电极部100、第一分割电极部200、第二分割电极部300以及第三分割电极部400。大电极部100、第一分割电极部200、第二分割电极部300以及第三分割电极部400分别通过蒸镀金属而形成。
[0028]
第一分割电极部200经由边界部60，在与金属化薄膜10的宽度方向垂直的方向(流动方向)上，被分割为多个第一分割电极210。各第一分割电极210的宽度方向的长度例如为大电极部100的宽度方向的长度的160％(1.6倍)以上且180％(1.8倍)以下。
[0029]
第二分割电极部300经由边界部60，在金属化薄膜10的流动方向上，被分割为多个第二分割电极310。例如，在金属化薄膜10的流动方向上，存在于与1个第一分割电极210对应的位置的第二分割电极310的数量为2个。另外，在金属化薄膜10的流动方向上，存在于与1个第一分割电极210对应的位置的第二分割电极310的数量不必一定为2个，也可以为3个。此外，各第二分割电极310的宽度方向的长度例如为第一分割电极210的宽度方向的长度的80％(0.8倍)以上且120％(1.2倍)以下。
[0030]
第三分割电极部400经由边界部60，在金属化薄膜10的流动方向上，被分割为多个第三分割电极410。例如，在金属化薄膜10的流动方向上，存在于与1个第一分割电极210对应的位置的第三分割电极410的数量为3个。另外，在金属化薄膜10的流动方向上，存在于与1个第一分割电极210对应的位置的第三分割电极410的数量也可以为4个以上且6个以下。此外，各第三分割电极410的宽度方向的长度例如为各第一分割电极210的宽度方向的长度的45％(0.45倍)以上且55％(0.55倍)以下。
[0031]
如此，在金属化薄膜10中，按照第一分割电极210、第二分割电极310以及第三分割电极410的顺序面积由大到小。例如，在将第一分割电极210的面积设为1的情况下，第二分割电极310的面积为1/3以上且1/2以下，第三分割电极410的面积为1/12以上且1/3以下。优选为，第三分割电极410的面积为1/6以上且1/3以下。
[0032]
图2是示意性地表示图1的部分p1的一部分的放大图。如图2所示，大电极部100经由第一熔断器70，与第一分割电极210电连接。另外，第一熔断器70的宽度为l1。fp230374jp
[0033]
图3是示意性地表示图1的部分p2的一部分的放大图。如图3所示，第一分割电极210经由第二熔断器72，与2个第二分割电极310电连接。即，第二熔断器72形成于与在流动方向上彼此相邻的2个第二分割电极310、以及在宽度方向上与2个第二分割电极310双方相邻的第一分割电极210分别相邻的位置。
[0034]
即，第二熔断器72起到将沿宽度方向排列的第一分割电极210以及第二分割电极
310电连接的横熔断器的作用、以及将沿流动方向排列的2个第二分割电极310电连接的纵熔断器的作用。因此，根据金属化薄膜10，无需独立地设置横熔断器和纵熔断器，因而能够减少熔断器的数量，能够抑制在制成薄膜电容器的情况下有效电极面积过度地消失的事态，由此能够将电容器的静电电容降低抑制为最小限度。另外，第二熔断器72的宽度为l2。
[0035]
图4是示意性地表示图1的部分p3的一部分的放大图。如图4所示，第二分割电极310经由第三熔断器74，与2个第三分割电极410电连接。即，第三熔断器74形成于与在流动方向上彼此相邻的2个第三分割电极410、以及在宽度方向上与2个第三分割电极410双方相邻的第二分割电极310分别相邻的位置。
[0036]
即，第三熔断器74起到将沿宽度方向排列的第二分割电极310以及第三分割电极410电连接的横熔断器的作用、以及将沿流动方向排列的2个第三分割电极410电连接的纵熔断器的作用。因此，根据金属化薄膜10，无需独立地设置横熔断器和纵熔断器，因而能够减少熔断器的数量，能够抑制在制成薄膜电容器的情况下有效电极面积过度地消失的事态，由此能够将电容器的静电电容降低抑制为最小限度。另外，第三熔断器74的宽度为l3。
[0037]
在金属化薄膜10中，按照第一熔断器70、第二熔断器72以及第三熔断器74的顺序宽度由宽到窄。例如，在将第一熔断器70的宽度l1设为1的情况下，第二熔断器72的宽度l2为0.6以上且0.9以下，第三熔断器74的宽度l3为0.3以上且0.6以下。如此，在金属化薄膜10中，从第一熔断器70朝向第三熔断器74，熔断器的宽度逐渐变细。因此，根据金属化薄膜10，由于连接面积小的分割电极的熔断器更容易断开，因此能够抑制有效电极面积过大地失去的事态。
[0038]
图5是示意性地表示金属化薄膜10的一部分的放大图。参照图5，例如，假定在部分p4中第二熔断器72断开。如上所述，第二熔断器72以及第三熔断器74各自作为横熔断器以及纵熔断器这两者而发挥作用，因此在此情况下，从第一分割电极210流入的电流例如沿着图中的箭头，经由图中下方的第二分割电极310、第三熔断器74以及第三分割电极410，流入图中上方的第二分割电极310。
[0039]
即，在金属化薄膜10中，例如即使在部分p4中第二熔断器72断开，图中上方的第二分割电极310的面积也不会从有效电极面积中立即失去。如此，根据金属化薄膜10，由于第二熔断器72以及第三熔断器74各自不仅作为横熔断器而发挥作用，还作为纵熔断器而发挥作用，因此能够抑制有效电极面积过度地消失的事态。
[0040]
图6是用于说明在薄膜电容器5的制造时重叠的2张金属化薄膜10的朝向的图。如图6所示，在将金属化薄膜10制成薄膜电容器5的情况下，以各电导入部30位于相反侧的端部的方式，重叠2张金属化薄膜10。即，在与一方的大电极部100对置的位置设置另一方的第三分割电极部400，在与一方的第一分割电极部200对置的位置设置另一方的第二分割电极部300。在金属化薄膜10中，第三分割电极410的面积比第一分割电极210以及第二分割电极310的每一个都小。因此，根据金属化薄膜10，即使假设由于冲击电流而在大电极部100的一部分产生绝缘破坏，由于与产生自我恢复性等的位置对置的第三分割电极部400的面积较小，因此能够抑制有效电极面积的消失。
[0041]
[2.特征]如以上这样，在根据本实施方式的金属化薄膜10中，例如，第一分割电极210和2个第二分割电极310经由1个第二熔断器72而连接。第一分割电极210和2个第二分割电极310
在金属化薄膜10的宽度方向(横向)上排列。2个第二分割电极310在金属化薄膜10的流动方向(纵向)上排列。第二熔断器72由于将第一分割电极210与2个第二分割电极310连接，因此兼具横熔断器的作用和纵熔断器的作用。因此，根据金属化薄膜10，无需独立地设置横熔断器和纵熔断器，因而能够减少熔断器的数量，能够抑制制成薄膜电容器5的情况下的自发热。此外，根据金属化薄膜10，由于第二熔断器72以及第三熔断器74各自也作为纵熔断器而发挥作用，因此能够抑制有效电极面积过度地消失的事态。
[0042]
[3.变形例]以上，对实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离其主旨的范围内，能够进行各种变更。以下，对变形例进行说明。
[0043]
《3-1》图7是示意性地表示第一变形例中的、金属化薄膜10a的平面的一部分的图。如图7所示，在金属化薄膜10a的流动方向上，存在于与1个第一分割电极210a对应的位置的第二分割电极310a的数量也可以为3个。
[0044]
《3-2》图8是示意性地表示第二变形例中的、金属化薄膜10b的平面的一部分的图。如图8所示，各第三分割电极410b的流动方向上的与第一分割电极210b的相对位置与根据上述实施方式的金属化薄膜10中的相对位置不同。第三分割电极的流动方向上的与第一分割电极的相对位置也可以是如图8所示那样的相对位置。
[0045]
《3-3》图9是示意性地表示第三变形例中、金属化薄膜10c的平面的一部分的图。如图9所示，第一分割电极部200c、第二分割电极部300c以及第三分割电极部400c各自的宽度方向的长度也可以相同。在该情况下，大电极部100c的宽度方向的长度优选为金属化薄膜10c的宽度方向的长度的1/5以上且1/4以下。例如，在大电极部100c的宽度方向的长度为金属化薄膜10c的宽度方向的长度的1/4以下的情况下，能够减小由于电导入侧的绝缘破坏而导致的有效电极面积的消失，并且能够减小重叠的分割电极的偏移，所以能够减少由于绝缘破坏而被分离的分割电极，能够提高静电电容减少抑制效果。此外，在大电极部100c的宽度方向的长度为金属化薄膜10c的宽度方向的长度的1/5以上的情况下，能够抑制所设定的分割电极的面积，能够减小绝缘破坏时的有效电极面积的消失，提高静电电容减少抑制效果。
[0046]
《3-4》图10是示意性地表示第四变形例中的、金属化薄膜10d的平面的一部分的图。如图10所示，在金属化薄膜10a的流动方向上，存在于与1个第一分割电极210d对应的位置的第二分割电极310d的数量也可以为3个，进而，存在于与1个第一分割电极210d对应的位置的第三分割电极410d的数量也可以为6个。
[0047]
[4.实施例等]《4-1.实施例以及比较例》(4-1-1.实施例1-3)在实施例1-3中的金属化薄膜10中，形成了图1所示的分割电极图案。即，在实施例1-3的每一个中，第一分割电极210、第二分割电极310以及第三分割电极410的流动方向的长度比为1：1/2：1/3。第一分割电极210的流动方向的长度为4.6mm。此外，第一分割电极
210、第二分割电极310以及第三分割电极410的宽度方向的长度比为1：1：1/2。第一分割电极210的宽度方向的长度为8.0mm。
[0048]
在实施例1-3中，各熔断器的宽度的关系相互不同。在实施例1中，在将第一熔断器70的宽度设为1的情况下，第二熔断器72的宽度为0.7，第三熔断器74的宽度为0.5。第一熔断器70的宽度为0.35mm。
[0049]
在实施例2中，在将第一熔断器70的宽度设为1的情况下，第二熔断器72的宽度为0.6，第三熔断器74的宽度为0.3。第一熔断器70的宽度为0.35mm。
[0050]
在实施例3中，在将第一熔断器70的宽度设为1的情况下，第二熔断器72的宽度为0.9，第三熔断器74的宽度为0.6。第一熔断器70的宽度为0.35mm。
[0051]
(4-1-2.实施例4)在实施例4中的金属化薄膜10d中，形成了图10所示的分割电极图案。即，在实施例4中，第一分割电极210d、第二分割电极310d以及第三分割电极410d的流动方向的长度比为1：1/3：1/6。第一分割电极210d的流动方向的长度为4.6mm。此外，第一分割电极210d、第二分割电极310d以及第三分割电极410d的宽度方向的长度比为1：1：1/2。第一分割电极210的宽度方向的长度为8.5mm。
[0052]
在实施例4中，在将第一熔断器70d的宽度设为1的情况下，第二熔断器72d的宽度为0.7，第三熔断器74d的宽度为0.5。第一熔断器70d的宽度为0.35mm。
[0053]
(4-1-3.比较例1)图11是表示比较例1中的、金属化薄膜10e的平面的一部分的图。如图11所示，在比较例1中的金属化薄膜10e中，通过边界部60e，形成了所谓的鱼网型的分割电极图案。在比较例1中的金属化薄膜10e中，通过边界部60e，形成有多个分割电极(区段)，在各分割电极的四边的各边形成有熔断器76e。
[0054]
(4-1-4.比较例2)图12是表示比较例2中的、金属化薄膜10f的平面的一部分的图。如图12所示，在比较例2中的金属化薄膜10f中，第一分割电极210f、第二分割电极310f以及第三分割电极410f的流动方向的长度比为1：1：1/2。第一分割电极210的流动方向的长度为4.6mm。此外，第一分割电极210f、第二分割电极310f以及第三分割电极410f的宽度方向的长度比为1：1：1/2。第一分割电极210f的宽度方向的长度为8.5mm。
[0055]
在比较例2中，在将第一熔断器70f的宽度设为1的情况下，第二熔断器72f的宽度为0.6，第三熔断器74f的宽度为0.4。第一熔断器70f的宽度为0.35mm。
[0056]
(4-1-5.比较例3)图13是表示比较例3中的、金属化薄膜10g的平面的一部分的图。如图13所示，在比较例3中的金属化薄膜10g中，第一分割电极210g、第二分割电极310g以及第三分割电极410g的流动方向的长度比为1：1/4：1/8。第一分割电极210g的流动方向的长度为4.6mm。此外，第一分割电极210g、第二分割电极310g以及第三分割电极410g的宽度方向的长度比为1：1：1/2。第一分割电极210g的宽度方向的长度为8.5mm。
[0057]
在比较例3中，在将第一熔断器70g的宽度设为1的情况下，第二熔断器72g的宽度为0.5，第三熔断器74g的宽度为0.3。第一熔断器70g的宽度为0.35mm。
[0058]
(4-1-6.比较例4)
图14是表示比较例4中的、金属化薄膜10h的平面的一部分的图。如图14所示，在比较例4中的金属化薄膜10h中，通过在电介质薄膜上全面蒸镀金属膜而形成有电极部50h，并未形成分割电极图案。
[0059]
实施例1-4以及比较例1-4的特性如以下的表1所示。
[0060]
[表1]＜4-2.制造方法》(4-2-1.实施例1-3以及比较例1-3)实施例1-3以及比较例1-3分别通过共同的方法来制造。另外，在实施例1-3以及比较例1-3的各例中，形成在电介质薄膜上的分割电极图案的形状不同。以下，对实施例1-3以及比较例1-3共同的制造方法进行说明。
[0061]
在厚度2.3μm的pp(聚丙烯)薄膜卷上，使用ulvac公司制卷绕式真空蒸镀装置(ewe-060)，通过油掩模形成了绝缘边界以及分割电极图案。蒸镀铝而在薄膜上形成电极，并且蒸镀锌而在薄膜上形成了厚边(电导入部)。由此，得到了al金属膜电阻为20ω/
□
、zn金属膜电阻为5ω/
□
的带电极图案的金属化薄膜卷。使用切割机将所制作的金属化薄膜卷裁切为任意的宽度，制作了薄膜宽度30mm、绝缘边界宽度2.0mm、厚边宽度1.5mm的元件卷绕用的金属化薄膜的小卷卷轴。利用株式会社皆藤制作所金属化薄膜电容器全自动卷绕机(3kaw-n2)，使用所制作的小卷卷轴，以静电电容成为50μf的方式进行元件卷绕，并进行了压制、扁平化处理。关于扁平化后的元件，对元件端面进行金属喷镀，形成薄膜电极取出部后，在真空高温下进行热处理，使元件固化。在金属喷镀部安装引线，放入树脂壳体，向间隙填充环氧树脂，使树脂固化，由此得到评价用的薄膜电容器元件。
[0062]
(4-2-2.比较例4)在厚度2.3μm的pp(聚丙烯)薄膜卷上，使用ulvac公司制卷绕式真空蒸镀装置(ewe-060)，通过油掩模形成了绝缘边界。未形成分割电极图案。蒸镀铝而在薄膜上形成电极，并且蒸镀锌而在薄膜上形成了厚边(电导入部)。由此，得到al金属膜电阻为20ω/
□
、zn金属膜电阻为5ω/
□
的带电极图案的金属化薄膜卷。利用株式会社皆藤制作所金属化薄膜电容器全自动卷绕机(3kaw-n2)将所制作的金属化薄膜卷，以静电电容成为50μf的方式进行元件卷绕，并进行了压制、扁平化处理。关于扁平化后的元件，对元件端面进行金属喷镀，形成薄膜电极取出部后，在真空高温下进行热处理，使元件固化。在金属喷镀部安装引线，放入树脂壳体，向间隙填充环氧树脂，使树脂固化，由此得到评价用的薄膜电容器元件。
[0063]
＜4-3.试验方法＞进行了施加电压升压试验、短时间耐压试验以及加速寿命试验。
[0064]
(4-3-1.施加电压升压试验)在通过使用恒温槽而将薄膜电容器元件加热到115℃的状态下，对薄膜电容器元件施加了1小时的电压后，对薄膜电容器元件的静电电容进行了测定。逐渐提高电压来实施该电压施加试验，调查了静电电容减少率达到10％的电压、以及静电电容减少率达到20％的电压。
[0065]
(4-3-2.短时间耐压试验)对薄膜电容器元件在室温状态下施加了10秒钟的电压后，对薄膜电容器元件的静电电容进行了测定。逐渐提高电压来实施该电压施加试验，调查了静电电容减少率达到2％的电压、以及静电电容减少率达到5％的电压。
[0066]
(4-3-3.加速寿命试验)在通过使用恒温槽而将薄膜电容器元件加热到115℃的状态下，对薄膜电容器元件连续地施加电压，对施加了给定时间的电压后的薄膜电容器元件的静电电容进行了测定。调查了从电压施加起经过了200小时后的静电电容的减少率、以及从电压施加起经过了500小时后的静电电容的减少率。
[0067]
《4-4.评价结果》评价结果如以下的表2所示。
[0068]
[表2]如表2所示，比较例1的施加电压升压试验以及加速寿命试验的结果不优选，比较例2的加速寿命试验的结果不优选。此外，比较例3的施加电压升压试验以及加速寿命试验的结果不优选，比较例4的所有试验的结果不优选。与比较例1-4相比，实施例1-4的每一个在各试验中稳定地得到良好的结果。特别是，实施例3在大部分的试验(500小时的加速寿命试验以外)中均得到了最好的结果。产业上的可利用性
[0069]
本发明的金属化薄膜能够用于各种金属化薄膜电容器。金属化薄膜电容器能够用于以下各种用途。即，可举出(1)便携式终端(便携式电话、便携式音乐播放器、智能电话、平板型终端、可穿戴设备等)、(2)个人电脑、(3)数码照相机、(4)家电产品(电视、dvd记录器、冰箱、洗衣机、空调等)、(5)汽车导航、(6)发电用功率调节器(太阳光，风力等)、(7)led照明、(8)汽车(电动汽车、混合动力汽车、插电式混合动力车等)、(9)铁道车辆、(10)建筑机械、(11)工业设备、(12)其他各种逆变器等。其中尤其能够用于要求高频特性的汽车、电力的用途等中使用的电容器。符号说明
[0070]
5：薄膜电容器，10：金属化薄膜，20：电介质薄膜，30：电导入部，40：绝缘边界，50：
电极部，60：边界部，70：第一熔断器，72：第二熔断器，74：第三熔断器，76e：熔断器，100：大电极部，200：第一分割电极部，210：第一分割电极，300：第二分割电极部，310：第二分割电极，400：第三分割电极部，410：第三分割电极，p1、p2、p3、p4：部分。

技术特征：
1.一种金属化薄膜，其是薄膜电容器用的金属化薄膜，其中，所述金属化薄膜具备电介质薄膜，在所述电介质薄膜上，形成有位于所述金属化薄膜的宽度方向的一个端部并与金属喷镀电极连接的电导入部、位于所述宽度方向的另一个端部的绝缘边界、以及位于所述电导入部与所述绝缘边界之间的电极部，所述电极部经由边界部，被分割为从所述电导入部朝向所述绝缘边界依次排列的大电极部、第一分割电极部、第二分割电极部以及第三分割电极部，所述第一、第二以及第三分割电极部经由所述边界部，在与所述宽度方向垂直的方向上分别被分割为多个第一、第二以及第三分割电极，在与所述宽度方向垂直的方向上存在于与1个所述第一分割电极对应的位置的所述第二分割电极的数量为2个以上且3个以下，在与所述宽度方向垂直的方向上存在于与1个所述第一分割电极对应的位置的所述第三分割电极的数量为3个以上且6个以下，所述大电极部经由第一熔断器与所述第一分割电极连接，所述第一分割电极经由1个第二熔断器与2个所述第二分割电极连接，所述第二分割电极经由1个第三熔断器与2个所述第三分割电极连接。2.根据权利要求1所述的金属化薄膜，其中，在将所述第一分割电极的面积设为1的情况下，所述第二分割电极的面积为1/3以上且1/2以下，所述第三分割电极的面积为1/12以上且1/3以下。3.根据权利要求2所述的金属化薄膜，其中，在将所述第一分割电极的面积设为1的情况下，所述第三分割电极的面积为1/6以上且1/3以下。4.根据权利要求2或3所述的金属化薄膜，其中，在将所述第一熔断器的宽度设为1的情况下，所述第二熔断器的宽度为0.6以上且0.9以下，所述第三熔断器的宽度为0.3以上且0.6以下。5.根据权利要求1至4中任一项所述的金属化薄膜，其中，所述第二熔断器形成于与在与所述宽度方向垂直的方向上彼此相邻的2个第二分割电极、以及在所述宽度方向上与所述2个第二分割电极双方相邻的所述第一分割电极分别相邻的位置。6.根据权利要求1至5中任一项所述的金属化薄膜，其中，所述第三熔断器形成于与在与所述宽度方向垂直的方向上彼此相邻的2个第三分割电极、以及在所述宽度方向上与所述2个第三分割电极双方相邻的所述第二分割电极分别相邻的位置。7.一种薄膜电容器，其由权利要求1至6中任一项所述的金属化薄膜构成。

技术总结
金属化薄膜具备电介质薄膜。在电介质薄膜上，形成有电导入部、绝缘边界、以及位于电导入部与绝缘边界之间的电极部。电极部经由边界部，被分割为从电导入部朝向绝缘边界依次排列的大电极部、第一分割电极部、第二分割电极部以及第三分割电极部。大电极部经由第一熔断器与第一分割电极连接。第一分割电极经由1个第二熔断器与2个第二分割电极连接。第二分割电极经由1个第三熔断器与2个第三分割电极连接。极经由1个第三熔断器与2个第三分割电极连接。极经由1个第三熔断器与2个第三分割电极连接。


技术研发人员：日当和之 藤城义和 桥本优哉
受保护的技术使用者：王子控股株式会社
技术研发日：2021.10.20
技术公布日：2023/7/12