一种适用于高效上下料的皮带传输结构的制作方法

1.本发明涉及半导体分立器件gpp芯片的电参数测试及分类技术领域，具体是一种适用于高效上下料的皮带传输结构。


背景技术：

2.半导体器件，是一种电子部件，它依赖于电子一个的特性的半导体材料(主要是硅、锗和砷化镓，以及有机半导体)，用于其功能。在大多数应用中，半导体器件已取代了真空管。他们使用电传导的固态而不是气态或热离子发射在一个真空，半导体器件既可以制造为单个分立器件，也可以制造为集成电路(ic)芯片，该集成电路芯片由两个或多个器件构成，并可以在单个半导体晶片(也称为衬底)上互连，该器件的数量从数百个到数十亿个不等。
3.中国专利号cn115458452a提供一种芯片生产传输系统，涉及用于芯片传输技术领域。该芯片生产传输系统包括筛分组件和传输组件。筛分组件包括收集腔室和导流单元，导流单元包括一体成型且相互连通的进口通道、分流通道和出口通道，进口通道和收集腔室的开口端相互连通，分流通道内设置有拨块，拨块和舵机相互连接。传输组件包括两个传输单元，两个传输单元均包括输送平台、控制器和传输机构，控制器和传输机构电性连接，输送平台和出口通道相互连接。该系统能够通过筛分组件将芯片筛分到不同通道后，通过与之匹配的传输单元进行传送，使得同一条生产线加工出来的芯片能从不同的传输通道中进行传输，进而使得筛分和传送工序更为连贯，保证了芯片传输的效率。
4.目前现有技术的全自动探针台大部分为机械手结构实现测试晶圆自动上下料动作，这种机械手结构虽然实现了测试晶圆的自动上下料动作，但是还是存在一些弊端的，比如：机械手与晶圆接触时为硬接触，这种接触有可能在取放时对测试晶圆接触面造成轻微划伤，并且，机械手只能在只能完前一个放料动作后才能执行下一个取料动作，在这两个动作执行过程中，探针台的测试结构及测试系统处于空闲状态，使得探针台整体测试效率不高的缺点，因此亟需研发一种适用于高效上下料的皮带传输结构。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种适用于高效上下料的皮带传输结构，以解决上述背景技术中提出的探针台整体测试效率不高的问题。
6.本发明的技术方案是：一种适用于高效上下料的皮带传输结构，包括传结输构和升降结构，所述传结输构的顶部设置有晶圆，所述传结输构包括有电机连接件和传输板，所述电机连接件的一侧安装有电机一，所述电机一的输出轴固定有皮带轮一，所述皮带轮一的外部设置有顶丝，所述皮带轮一的外部设置有圆皮带一，所述传输板的一侧转动安装有皮带轮二，所述传输板的两侧均转动转动轴一，所述转动轴一的外部固定有皮带轮三，所述皮带轮二和皮带轮三的外部设置有圆皮带二，所述传输板的两侧均转动有转动轴二，所述转动轴二的外部设置有卡圈二，所述传输板的另一侧转动有带轮连接轴，所述带轮连接轴
的外部设置有卡圈一，所述卡圈二与皮带轮二和卡圈一的外部设置有圆皮带三，所述卡圈一和皮带轮三的外部设置有皮带轮四，所述传输板的底部安装有张紧板，所述张紧板的一侧转动有张紧轮轴，所述张紧轮轴的外部固定有张紧轮。
7.进一步地，所述传输板的两侧均固定有挡板，所述传输板的底部固定有加强版。
8.进一步地，所述传输板的底部固定有支架，所述加强版的一侧安装在支架一侧。
9.进一步地，所述升降结构包括连接板一和模组，所述模组安装在连接板一的一侧，所述模组的底部安装有联轴器。
10.进一步地，所述联轴器的底部安装有电机二，所述电机二通过联轴器连接有丝杆。
11.进一步地，所述丝杆的外部螺纹套接有升降块，所述升降块的一侧安装有l弯板。
12.进一步地，所述l弯板的顶部安装有连接板二，所述连接板二的顶部安装有料盒底座。
13.进一步地，所述料盒底座的顶部安装有料盒，所述料盒底座的顶部安装有料盒定位条。
14.进一步地，所述传结输构的底部安装有底座组件，所述底座组件包括支撑架。
15.进一步地，所述支撑架的顶部安装有顶架，所述支撑架的一侧安装有侧板。
16.本发明通过改进在此提供一种适用于高效上下料的皮带传输结构，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
17.(1)采用本发明中的高效上下料的皮带传输结构就能很好的解决机械手传输结构的上述两个弊端，高效上下料的皮带传输结构中与测试晶圆接触的部位为橡胶材质，弹性接触不会造成测试晶圆接触面的轻微划伤，并且，此高效上下料的皮带传输结构可设置成上、下料部位各一组，实现探针台在执行测试完成晶圆下料动作的同时，执行待测晶圆上料动作，大大缩短了上下料间隔时间，提高了整体测试效率。
附图说明
18.下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释:
19.图1是本发明的整体立体结构示意图；
20.图2是本发明的传输结构立体示意图；
21.图3是本发明的升降结构立体示意图；
22.图4是本发明的底座组件结构示意图。
23.附图标记说明：
24.1、底座组件；2、传结输构；3、晶圆；4、料盒；5、升降结构；6、支架；7、电机连接件；8、电机一；9、皮带轮一；10、圆皮带一；11、皮带轮二；12、皮带轮三；13、圆皮带二；14、圆皮带三；15、传输板；16、挡板；17、张紧板；18、加强版；19、转动轴一；20、卡圈一；21、转动轴二；22、卡圈二；23、顶丝；24、皮带轮四；25、带轮连接轴；26、张紧轮；27、张紧轮轴；28、连接板一；29、模组；30、联轴器；31、电机二；32、l弯板；33、连接板二；34、料盒底座；35、料盒定位条；36、支撑架；37、侧板；38、顶架；39、升降块。
具体实施方式
25.下面将结合附图1至图4对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进
行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
26.本发明通过改进在此提供一种适用于高效上下料的皮带传输结构，如图1-图4所示，包括传结输构2和升降结构5，传结输构2的顶部设置有晶圆3，传结输构2包括有电机连接件7和传输板15，传输板15的底部固定有支架6，加强版18的一侧安装在支架6一侧，电机连接件7的一侧安装有电机一8，电机一8带动皮带轮一9转动，电机一8的输出轴固定有皮带轮一9，皮带轮一9转动通过圆皮带一10带动三排皮带轮二11转动，皮带轮一9的外部设置有顶丝23，皮带轮一9的外部设置有圆皮带一10，传输板15的一侧转动安装有皮带轮二11，皮带轮二11转动配合卡圈和皮带轮三12带动圆皮带三14和圆皮带二13转动，打动晶圆3进行移动，传输板15的两侧均转动转动轴一19，转动轴一19的外部固定有皮带轮三12，皮带轮二11和皮带轮三12的外部设置有圆皮带二13，传输板15的两侧均转动有转动轴二21，转动轴二21的外部设置有卡圈二22，传输板15的另一侧转动有带轮连接轴25，带轮连接轴25的外部设置有卡圈一20，卡圈二22与皮带轮二11和卡圈一20的外部设置有圆皮带三14，卡圈一20和皮带轮三12的外部设置有皮带轮四24，传输板15的底部安装有张紧板17，张紧板17的一侧转动有张紧轮轴27，张紧轮轴27的外部固定有张紧轮26。
27.进一步地，传输板15的两侧均固定有挡板16，采用挡板16能对转动轴二21和卡圈二22起到防护作用，传输板15的底部固定有加强版18，加强版18提高传输板15与支架6之间安装的稳定性。
28.进一步地，升降结构5包括连接板一28和模组29，模组29安装在连接板一28的一侧，模组29的底部安装有联轴器30，联轴器30的底部安装有电机二31，电机二31通过联轴器30带动丝杆转动在升降块39上，电机二31通过联轴器30连接有丝杆，丝杆的外部螺纹套接有升降块39，升降块39带动料盒底座34和晶圆3升降，升降块39的一侧安装有l弯板32，l弯板32的顶部安装有连接板二33，连接板二33的顶部安装有料盒底座34，料盒底座34的顶部安装有料盒4，料盒底座34的顶部安装有料盒定位条35。
29.进一步地，传结输构2的底部安装有底座组件1，底座组件1包括支撑架36，支撑架36的顶部安装有顶架38，支撑架36的一侧安装有侧板37。
30.工作原理：将设备通过通过底座组件1防止到指定位置，然后多个晶圆3叠加均放置到料盒4内，然后在需要晶圆3放置到圆皮带二13和皮带轮四24上时，启动电机二31，电机二31通过联轴器30带动丝杆转动在升降块39上，升降块39带动料盒底座34和晶圆3升降，晶圆3落在圆皮带三14和圆皮带二13时，启动电机一8，电机一8带动皮带轮一9转动，皮带轮一9转动通过圆皮带一10带动三排皮带轮二11转动，皮带轮二11转动配合卡圈和皮带轮三12带动圆皮带三14和圆皮带二13转动，打动晶圆3进行移动。
31.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

技术特征：
1.一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：包括传结输构(2)和升降结构(5)，所述传结输构(2)的顶部设置有晶圆(3)，所述传结输构(2)包括有电机连接件(7)和传输板(15)，所述电机连接件(7)的一侧安装有电机一(8)，所述电机一(8)的输出轴固定有皮带轮一(9)，所述皮带轮一(9)的外部设置有顶丝(23)，所述皮带轮一(9)的外部设置有圆皮带一(10)，所述传输板(15)的一侧转动安装有皮带轮二(11)，所述传输板(15)的两侧均转动转动轴一(19)，所述转动轴一(19)的外部固定有皮带轮三(12)，所述皮带轮二(11)和皮带轮三(12)的外部设置有圆皮带二(13)，所述传输板(15)的两侧均转动有转动轴二(21)，所述转动轴二(21)的外部设置有卡圈二(22)，所述传输板(15)的另一侧转动有带轮连接轴(25)，所述带轮连接轴(25)的外部设置有卡圈一(20)，所述卡圈二(22)与皮带轮二(11)和卡圈一(20)的外部设置有圆皮带三(14)，所述卡圈一(20)和皮带轮三(12)的外部设置有皮带轮四(24)，所述传输板(15)的底部安装有张紧板(17)，所述张紧板(17)的一侧转动有张紧轮轴(27)，所述张紧轮轴(27)的外部固定有张紧轮(26)。2.根据权利要求1所述的一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：所述传输板(15)的两侧均固定有挡板(16)，所述传输板(15)的底部固定有加强版(18)。3.根据权利要求2所述的一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：所述传输板(15)的底部固定有支架(6)，所述加强版(18)的一侧安装在支架(6)一侧。4.根据权利要求1所述的一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：所述升降结构(5)包括连接板一(28)和模组(29)，所述模组(29)安装在连接板一(28)的一侧，所述模组(29)的底部安装有联轴器(30)。5.根据权利要求4所述的一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：所述联轴器(30)的底部安装有电机二(31)，所述电机二(31)通过联轴器(30)连接有丝杆。6.根据权利要求5所述的一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：所述丝杆的外部螺纹套接有升降块(39)，所述升降块(39)的一侧安装有l弯板(32)。7.根据权利要求6所述的一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：所述l弯板(32)的顶部安装有连接板二(33)，所述连接板二(33)的顶部安装有料盒底座(34)。8.根据权利要求7所述的一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：所述料盒底座(34)的顶部安装有料盒(4)，所述料盒底座(34)的顶部安装有料盒定位条(35)。9.根据权利要求1所述的一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：所述传结输构(2)的底部安装有底座组件(1)，所述底座组件(1)包括支撑架(36)。10.根据权利要求9所述的一种适用于高效上下料的皮带传输结构，其特征在于：所述支撑架(36)的顶部安装有顶架(38)，所述支撑架(36)的一侧安装有侧板(37)。

技术总结
本发明涉及半导体分立器件GPP芯片的电参数测试及分类技术领域，具体是一种适用于高效上下料的皮带传输结构，包括传结输构和升降结构，传结输构的顶部设置有晶圆，传结输构包括有电机连接件和传输板，电机连接件的一侧安装有电机一，电机一的输出轴固定有皮带轮一，皮带轮一的外部设置有顶丝，皮带轮一的外部设置有圆皮带一，传输板的一侧转动安装有皮带轮二，传输板的两侧均转动转动轴一，转动轴一的外部固定有皮带轮三，皮带轮二和皮带轮三的外部设置有圆皮带二。本发明的有益效果实现探针台在执行测试完成晶圆下料动作的同时，缩短了测试晶圆上下料的间隔时间，执行待测晶圆上料动作，大大缩短了上下料间隔时间，提高了整体测试效率。测试效率。测试效率。


技术研发人员：邢莹 胡晓霞 杨健 周豪
受保护的技术使用者：三河建华高科有限责任公司
技术研发日：2023.04.13
技术公布日：2023/7/12