一种多片装清洗架的制作方法

1.本实用新型涉及光掩膜基版清洗领域，尤其涉及一种多片装清洗架。


背景技术：

2.光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版，在光掩膜版在加工中需要对其进行清洗处理。
3.现有技术中，如中国专利：cn209577532u的“一种掩膜版清洗装置”，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构，第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋。
4.但现有技术中，光掩膜基版在清洗通常采用单片进行装夹固定然后进行清洗，在进行大量清洗时，需要进行使用大量夹具进行夹持，操作麻烦耗费较长时间，清洗效率较低。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的光掩膜基版在清洗通常采用单片进行装夹固定然后进行清洗，在进行大量清洗时，需要进行使用大量夹具进行夹持，操作麻烦耗费较长时间，清洗效率较低的问题，而提出的一种多片装清洗架。
6.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种多片装清洗架，包括支撑架，所述支撑架的外壁固定连接有置物杆，所述置物杆的外壁开设有置物槽，所述支撑架的上部外壁贯穿开设有活动槽，所述活动槽的内壁两侧均开设有限位滑槽，所述限位滑槽的内壁活动连接有滑块，所述滑块的一端固定连接有压板，所述滑块的顶面固定连接有弹簧，所述弹簧的顶端与活动槽的内壁顶面固定连接。
7.优选的，所述支撑架的下部外壁贯穿开设有连通孔。
8.优选的，所述支撑架的一侧外壁固定连接有固定块，所述固定块的一侧贯穿开设有连接孔。
9.优选的，所述连接孔的内壁活动连接有连接杆。
10.优选的，所述固定块的外壁贯穿螺纹连接有紧固螺栓。
11.优选的，所述压板的一端固定连接有输气管。
12.优选的，所述压板的底面开设有排流口，所述排流口的内部与输气管的内部连通。
13.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
14.1、本实用新型中，通过对压板的拉动，使滑块在活动槽内对弹簧进行压缩，利用置物杆上的置物槽进行多组基版进行放置，在放置完成后，松开对压板的拉动，利用弹簧的弹性形变使压板对基版进行快速压触固定，将本实用新型放入清洗机内进行清洗，使得本实用新型对多组基版进行快速装夹清洗，方便使用，提高了基版清洗的效率。
15.2、本实用新型中，通过连接杆与连接孔进行连接，通过对紧固螺栓的转动对连接孔内连接的连接杆进行压触固定，使得本实用新型可以利用多组支撑架进行组合，从而便于使用者根据基版的数量进行同时清洗，且便于后续同时取出。
附图说明
16.图1为本实用新型提出一种多片装清洗架的立体结构示意图；
17.图2为本实用新型提出一种多片装清洗架图1中a处结构放大图；
18.图3为本实用新型提出一种多片装清洗架的仰视结构示意图；
19.图4为本实用新型提出一种多片装清洗架的压板内部结构剖视图。
20.图例说明：1、支撑架；11、固定块；12、连接孔；13、紧固螺栓；14、连通孔；15、活动槽；16、限位滑槽；17、弹簧；2、压板；21、滑块；22、排流口；23、输气管；3、置物杆；31、置物槽；4、连接杆。
具体实施方式
21.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
22.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
23.实施例1，如图1-4所示，本实用新型提供了一种多片装清洗架，包括支撑架1，支撑架1的外壁固定连接有置物杆3，置物杆3的外壁开设有置物槽31，支撑架1的上部外壁贯穿开设有活动槽15，活动槽15的内壁两侧均开设有限位滑槽16，限位滑槽16的内壁活动连接有滑块21，滑块21的一端固定连接有压板2，滑块21的顶面固定连接有弹簧17，弹簧17的顶端与活动槽15的内壁顶面固定连接。
24.下面具体说一下本实施例的具体设置和作用：通过对压板2的拉动，使滑块21在活动槽15内对弹簧17进行压缩，利用置物杆3上的置物槽31进行多组基版进行放置，在放置完成后，松开对压板2的拉动，利用弹簧17的弹性形变使压板2对基版进行快速压触固定，将本实用新型放入清洗机内进行清洗，使得本实用新型对多组基版进行快速装夹清洗，方便使用，提高了基版清洗的效率。
25.实施例2，如图1-4所示，支撑架1的下部外壁贯穿开设有连通孔14，支撑架1的一侧外壁固定连接有固定块11，固定块11的一侧贯穿开设有连接孔12，连接孔12的内壁活动连接有连接杆4，固定块11的外壁贯穿螺纹连接有紧固螺栓13，压板2的一端固定连接有输气管23，压板2的底面开设有排流口22，排流口22的内部与输气管23的内部连通。
26.其整个实施例达到的效果为，通过连接杆4与连接孔12进行连接，通过对紧固螺栓13的转动对连接孔12内连接的连接杆4进行压触固定，使得本实用新型可以利用多组支撑架1进行组合，从而便于使用者根据基版的数量进行同时清洗，且便于后续同时取出，将输气管23与外部气泵进行连接，通过外部气泵输送气体进入压板2的排流口22内，利用排流口22向夹持的基版表面进行吹干，便于基版表面清洗液体进行快速吹离。
27.本装置的使用方法及工作原理：使用时，使用者通过对压板2的拉动，使滑块21在活动槽15内对弹簧17进行压缩，利用置物杆3上的置物槽31进行多组基版进行放置，在放置完成后，松开对压板2的拉动，利用弹簧17的弹性形变使压板2对基版进行快速压触固定，将本实用新型放入清洗机内进行清洗，使得本实用新型对多组基版进行快速装夹清洗，使用者通过连接杆4与连接孔12进行连接，通过对紧固螺栓13的转动对连接孔12内连接的连接杆4进行压触固定，使得本实用新型可以利用多组支撑架1进行组合，从而便于使用者根据基版的数量进行同时清洗，且便于后续同时取出，在清洗完成取出后，使用者可以将输气管23与外部气泵进行连接，通过外部气泵输送气体进入压板2的排流口22内，利用排流口22向夹持的基版表面进行吹干，便于基版表面清洗液体进行快速吹离。
28.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。


技术特征：
1.一种多片装清洗架，其特征在于：包括支撑架(1)，所述支撑架(1)的外壁固定连接有置物杆(3)，所述置物杆(3)的外壁开设有置物槽(31)，所述支撑架(1)的上部外壁贯穿开设有活动槽(15)，所述活动槽(15)的内壁两侧均开设有限位滑槽(16)，所述限位滑槽(16)的内壁活动连接有滑块(21)，所述滑块(21)的一端固定连接有压板(2)，所述滑块(21)的顶面固定连接有弹簧(17)，所述弹簧(17)的顶端与活动槽(15)的内壁顶面固定连接。2.根据权利要求1所述的一种多片装清洗架，其特征在于：所述支撑架(1)的下部外壁贯穿开设有连通孔(14)。3.根据权利要求1所述的一种多片装清洗架，其特征在于：所述支撑架(1)的一侧外壁固定连接有固定块(11)，所述固定块(11)的一侧贯穿开设有连接孔(12)。4.根据权利要求3所述的一种多片装清洗架，其特征在于：所述连接孔(12)的内壁活动连接有连接杆(4)。5.根据权利要求3所述的一种多片装清洗架，其特征在于：所述固定块(11)的外壁贯穿螺纹连接有紧固螺栓(13)。6.根据权利要求1所述的一种多片装清洗架，其特征在于：所述压板(2)的一端固定连接有输气管(23)。7.根据权利要求6所述的一种多片装清洗架，其特征在于：所述压板(2)的底面开设有排流口(22)，所述排流口(22)的内部与输气管(23)的内部连通。

技术总结
本实用新型提供一种多片装清洗架，涉及光掩膜基版清洗技术领域，包括支撑架，所述支撑架的外壁固定连接有置物杆，所述置物杆的外壁开设有置物槽，所述支撑架的上部外壁贯穿开设有活动槽，所述活动槽的内壁两侧均开设有限位滑槽，所述限位滑槽的内壁活动连接有滑块，所述滑块的一端固定连接有压板。本实用新型通过对压板的拉动，使滑块在活动槽内对弹簧进行压缩，利用置物杆上的置物槽进行多组基版进行放置，在放置完成后，松开对压板的拉动，利用弹簧的弹性形变使压板对基版进行快速压触固定，将本实用新型放入清洗机内进行清洗，使得本实用新型对多组基版进行快速装夹清洗，方便使用，提高了基版清洗的效率。提高了基版清洗的效率。提高了基版清洗的效率。


技术研发人员：萧训山 谭斌
受保护的技术使用者：深圳市精石光掩膜技术有限公司
技术研发日：2023.04.17
技术公布日：2023/7/14