连续镀膜生产线的制作方法

1.本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种连续镀膜生产线。


背景技术：

2.镀膜工艺主要包括预处理、工件清洗、镀膜以及冷却等工序，而为了使工件在较为稳定的环境下进行镀膜作业，通常是将抽真空机构、加热机构、镀膜机构以及清洗机构等结构集成在一台设备中，使一台设备能够完成镀膜工艺的所有工作。
3.但由于全部结构均集成在一台设备内，因此，导致了各工序进行时会对其他结构产生干扰和影响，如在镀膜阶段，通过烧蚀靶材实现工件的镀膜，但同时，靶材析出的离子同样会附着到离子源或刻蚀弧源等清洗机构以及其他结构上，由于离子不可能完全阻隔，因此，仅通过设置相应的阻隔结构仍无法避免互相影响的问题。
4.现阶段，针对此问题常会在清洗机构进行一定时间的作业后，进行洗靶工作，即采用烧蚀离子源或刻蚀弧源的方式，使镀覆上的靶材离子再次析出，从而将清洗机构还原，以保证清洗效果。
5.但此种方式虽然能够保证清洗效果，但不仅增加了整体镀膜工艺的工序，而且会极大的浪费清洗结构，使成本增加。
6.因此，急需提供一种连续镀膜生产线，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。


技术实现要素：

7.本发明的目的在于提供一种连续镀膜生产线，以在一定程度上解决镀膜工艺中各工序互相影响干涉，造成材料浪费、工序复杂以及效率较低的问题。
8.本发明提供的一种连续镀膜生产线，包括上料装置、工作装置、下料装置、转架机构以及密封装置；所述工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且所述上料装置设置于所述预处理机构相连通，所述预处理机构与所述清洗机构相连通，所述镀膜机构与所述冷却机构相连通，所述下料装置与所述冷却机构相对接，以使所述转架机构能够由上料装置依次经过所述预处理机构、所述清洗机构、所述镀膜机构以及所述冷却机构，完成镀膜工序；所述上料装置与所述预处理机构之间、所述预处理机构与所述镀膜机构之间、所述镀膜机构与所述冷却机构之间以及所述冷却机构与所述下料装置之间均设有能够实现分隔或连通的所述密封装置。
9.其中，所述上料装置和所述下料装置均包括传送机构和承载架；所述传送机构设置于所述承载架上，所述上料装置的传送机构和所述下料装置的传送机构的轴线共线，传送方向相同，且传送方向为所述预处理机构、所述镀膜机构以及冷却机构的排布方向。
10.具体地，所述预处理机构包括第一缸体、第一传送组件以及预处理组件；所述第一缸体包括第一承托缸和第一配合缸，所述第一承托缸和所述第一配合缸可拆卸连接，且所述第一承托缸形成有第一运输腔，所述第一配合缸形成有预处理腔，所述第一运输腔和所
述预处理腔相连通；所述第一传送组件设置于所述第一运输腔内，所述预处理组件设置于所述第一配合缸内，且所述预处理组件与所述第一配合缸可拆卸连接；所述第一承托缸的两端分别形成有第一进口和第一出口，且所述第一传送组件的两端分别对应所述第一进口和所述第一出口。
11.进一步地，所述预处理组件包括第一抽真空构件以及加热构件，所述第一抽真空构件与所述第一配合缸或所述第一承托缸相连通，所述加热构件嵌设于所述第一配合缸的缸壁上；所述第一抽真空构件和所述加热构件的数量为至少一个，且上述第一抽真空构件和所述加热构件集成于一个所述第一配合缸或分别设置在所述第一配合缸和所述第一承托缸上或所述第一缸体仅设有所述第一抽真空构件。
12.其中，所述清洗机构包括第二缸体、第二传送组件以及清洗组件；所述第二缸体包括第二承托缸和第二配合缸，所述第二承托缸和所述第二配合缸可拆卸连接，且所述第二承托缸形成有第二运输腔，所述第二配合缸形成有清洗腔，所述第二运输腔和所述清洗腔相连通；所述第二传送组件设置于所述第二运输腔内，所述清洗组件设置于所述第二配合缸内，且所述清洗组件与所述第二配合缸可拆卸连接；所述第二承托缸的两端分别形成有第二进口和第二出口，所述第二传送组件的两端分别对应所述第二进口和所述第二出口，所述第二进口与所述第一出口相对接，且所述第二进口与所述第一出口间设有所述密封装置。
13.具体地，所述清洗组件包括离子源和/或刻蚀弧源。
14.其中，所述镀膜机构包括第三缸体、第三传送组件以及靶材组件；所述第三缸体包括第三承托缸和第三配合缸，所述第三承托缸和所述第三配合缸可拆卸连接，且所述第三承托缸形成有第三运输腔，所述第三配合缸形成有镀膜腔，所述第三运输腔和所述镀膜腔相连通；所述第三传送组件设置于所述第三运输腔内，所述靶材组件设置于所述第三配合缸内，且所述靶材组件与所述第三配合缸可拆卸连接；所述第三承托缸的两端分别形成有第三进口和第三出口，所述第三传送组件的两端分别对应所述第三进口和所述第三出口，所述第三进口与所述第二出口相对接，且所述第三进口与所述第二出口间设有所述密封装置。
15.具体地，所述靶材组件的数量为多个，且多个所述靶材组件与所述第三缸体一一对应设置；所述靶材组件包括多个靶材构件，多个所述靶材构件沿所述第三配合缸的周向间隔设置。
16.其中，本发明提供的连续镀膜生产线，还包括转架机构，所述转架机构包括驱动组件、挂件杆以及承托组件；所述挂件杆设置于所述承托组件上，所述驱动组件与所述挂件杆相连接，以驱动所述挂件杆相对所述承托组件转动，所述挂件杆上形成有挂件部，所述挂件部用于挂设工件。
17.具体地，本发明提供的连续镀膜生产线，还包括举升机构，所述举升机构设置于所述工作装置内，且所述举升机构能够举升或下降所述转架机构。
18.相对于现有技术，本发明提供的连续镀膜生产线具有以下优势：
19.本发明提供的连续镀膜生产线，包括上料装置、工作装置、下料装置、转架机构以及密封装置；工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且上料装置设置于预处理机构相连通，预处理机构与清洗机构相连通，镀膜机构与冷却机构
相连通，下料装置与冷却机构相对接，以使转架机构能够由上料装置依次经过预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，完成镀膜工序；上料装置与预处理机构之间、预处理机构与镀膜机构之间、镀膜机构与冷却机构之间以及冷却机构与下料装置之间均设有能够实现分隔或连通的密封装置。
20.由此分析可知，通过转架机构能够承载待镀膜工件，通过上料装置和下料装置能够对转架进行输送和输出。而由于本技术中的上料装置与预处理机构相对接，预处理机构与清洗机构相连通，清洗机构与镀膜机构相连通，镀膜机构与冷却机构相连通，冷却机构与下料装置相对接，因此，能够实现转架机构由上料装置依次经过预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，并最终由下料装置输出的动作，从而使转架机构上承载的工件能够经过完整的镀膜工艺流程，实现镀膜。
21.并且，由于本技术中上料装置与预处理机构之间、预处理机构和清洗机构之间、清洗机构和镀膜机构之间、镀膜机构和冷却机构之间以及冷却机构和下料装置之间均设有密封装置，因此，通过设置的密封装置使本技术中的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构能够在连通或隔绝之间转换，即本技术中的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构均为独立的作业空间，既能够明确划分工作区域，避免各工序的互相影响，也能够形成稳定且快速的流水化镀膜生产线，提高作业效率。
附图说明
22.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1为本发明实施例提供的连续镀膜生产线的布局示意图；
24.图2为本发明实施例提供的连续镀膜生产线中镀膜机构的内部结构示意图；
25.图3为本发明实施例提供的连续镀膜生产线中预处理机构和冷却机构的结构示意图；
26.图4为本发明实施例提供的连续镀膜生产线中清洗机构的结构示意图；
27.图5为本发明实施例提供的连续镀膜生产线中镀膜机构的结构示意图；
28.图6为本发明实施例提供的连续镀膜生产线中转架机构的结构示意图；
29.图7为本发明实施例提供的连续镀膜生产线中举升机构的结构示意图。
30.图中：1-上料装置；101-传送机构；102-承载架；2-预处理机构；201-第一缸体；2011-第一承托缸；2012-第一配合缸；2013-第一传送组件；3-清洗机构；301-第二缸体；3011-第二承托缸；3012-第二配合缸；3013-第二传送组件；302-清洗组件；4-镀膜机构；401-第三缸体；4011-第三承托缸；4012-第三配合缸；4013-第三传送组件；402-靶材组件；5-冷却机构；6-转架机构；601-驱动组件；602-挂件杆；603-承托组件；7-举升机构；701-承托架；702-举升构件；7021-动力件；7022-第一连杆组件；7023-第二连杆组件；7024-第一导向杆；7025-第二导向杆；7026-连接板；7027-基板；8-下料装置；9-密封装置。
具体实施方式
31.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
32.在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
33.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
34.在本技术实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
35.如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任何一项和任何两项或更多项的任何组合。
36.为了易于描述，在这里可使用诸如“在
……
之上”、“上部”、“在
……
之下”和“下部”的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。
37.在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在的所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。
38.由于制造技术和/或公差，可出现附图中所示的形状的变化。因此，这里所描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间出现的形状上的改变。
39.这里所描述的示例的特征可按照在理解本技术的公开内容之后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管这里所描述的示例具有各种各样的构造，但是如在理解本技术的公开内容之后将显而易见的，其他构造是可能。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
40.如图1所示，本发明提供一种连续镀膜生产线，包括上料装置1、工作装置、下料装置8、转架机构6以及密封装置9；工作装置包括顺次排布的预处理机构2、清洗机构3、镀膜机构4以及冷却机构5，且上料装置1设置于预处理机构2相连通，预处理机构2与清洗机构3相连通，镀膜机构4与冷却机构5相连通，下料装置8与冷却机构5相对接，以使转架机构6能够由上料装置1依次经过预处理机构2、清洗机构3、镀膜机构4以及冷却机构5，完成镀膜工序；上料装置1与预处理机构2之间、预处理机构2与镀膜机构4之间、镀膜机构4与冷却机构5之间以及冷却机构5与下料装置8之间均设有密封装置9，且密封装置9能够将上料装置1与预处理机构2之间、预处理机构2与镀膜机构4之间、镀膜机构4与冷却机构5之间以及冷却机构5与下料装置8分隔或连通。
41.相对于现有技术，本发明提供的连续镀膜生产线具有以下优势：
42.本发明提供的连续镀膜生产线，通过转架机构6能够承载待镀膜工件，通过上料装置1和下料装置8能够对转架进行输送和输出。而由于本技术中的上料装置1与预处理机构2相对接，预处理机构2与清洗机构3相连通，清洗机构3与镀膜机构4相连通，镀膜机构4与冷却机构5相连通，冷却机构5与下料装置8相对接，因此，能够实现转架机构6由上料装置1依次经过预处理机构2、清洗机构3、镀膜机构4以及冷却机构5，并最终由下料装置8输出的动作，从而使转架机构6上承载的工件能够经过完整的镀膜工艺流程，实现镀膜。
43.并且，由于本技术中上料装置1与预处理机构2之间、预处理机构2和清洗机构3之间、清洗机构3和镀膜机构4之间、镀膜机构4和冷却机构5之间以及冷却机构5和下料装置8之间均设有密封装置9，因此，通过设置的密封装置9使本技术中的预处理机构2、清洗机构3、镀膜机构4以及冷却机构5能够在连通或隔绝之间转换，即本技术中的预处理机构2、清洗机构3、镀膜机构4以及冷却机构5均为独立的作业空间，既能够明确划分工作区域，避免各工序的互相影响，也能够形成稳定且快速的流水化镀膜生产线，提高作业效率。
44.可以理解的是，由于本技术中预处理机构2、清洗机构3、镀膜机构4以及冷却机构5均能够形成独立的作业空间，因此，可实现多个转架机构6的同时工作，即当第一个转架机构6完成预处理到达清洗机构3中进行清洗作业时，下一个转架机构6可进入预处理机构2中进行预处理，相应地，以此种方式进行镀膜工艺可将每一个机构的数量扩大，以将每道工序所需的总时间分割成数份，且每份尽量保证时间相同，即连续镀膜生产线包括多个预处理机构2、多个清洗机构3、多个镀膜机构4以及多个冷却机构5，而预处理机构2、清洗机构3、镀膜机构4以及冷却机构5的数量根据具体需求设定，如当预处理机构2所需进行预处理的总时间为20分钟，清洗机构3所需进行预处理的总时间为25分钟时，则可设置4个预处理机构2和5个清洗机构3，从而使每个机构对工件的操作时间均为5分钟，可以理解的是，后序机构同样按照相同的作业时间进行划分。以此种方式进行作业，能够同时进行四个转架机构6的同步预处理作业，且由于作业时间相同，因此，每个机构之间设置的密封装置9可同步开启和关闭，从而能够保证各机构间内部的真空度和温度，进而保证工件的镀膜效果。
45.此处需要补充说明的是，上述机构的数量以及作业时间仅为便于理解方案的一种举例手段，实际机构设置的数量和作业时间需按照实际作业要求进行设计即可。
46.可选地，如图1所示，本技术中的上料装置1和下料装置8均包括传送机构101和承载架102；传送机构101设置于承载架102上，上料装置1的传送机构101和下料装置8的传送机构101的轴线共线，传送方向相同，且传送方向为预处理机构2、镀膜机构4以及冷却机构5
的排布方向。
47.本技术中的传送机构101可采用传送带结构，即传送机构101包括传动轮、传送带和驱动件，且驱动件为电机，传动轮为多个，多个传动轮沿输送方向间隔设置，电机可与传动轮一一对应设置，从而能够提供稳定的动力输出，保持输送机构的平稳运行。
48.可选地，如图1结合图3所示，本技术中的预处理机构2包括第一缸体201、第一传送组件2013以及预处理组件；第一缸体201包括第一承托缸2011和第一配合缸2012，第一承托缸2011和第一配合缸2012可拆卸连接，且第一承托缸2011形成有第一运输腔，第一配合缸2012形成有预处理腔，第一运输腔和预处理腔相连通；第一传送组件2013设置于第一运输腔内，预处理组件设置于第一配合缸2012内，且预处理组件与第一配合缸2012可拆卸连接；第一承托缸2011的两端分别形成有第一进口和第一出口，且第一传送组件2013的两端分别对应第一进口和第一出口。
49.可以理解的是，为实现镀膜工艺的自动流水化作业，本技术中第一承托缸2011内设有第一传送组件2013，且第一传送组件2013的结构可以与上述的传送机构101的结构相同，即均为传送带机构，从而能够通过第一承托缸2011内的第一传送组件2013，实现对上料装置1输送的转架机构6的承接，并在完成预处理作业后，再次通过第一传送组件2013送出第一承托缸2011。
50.而由于本技术中的第一缸体201包括第一承托缸2011和第一配合缸2012，且第一配合缸2012和第一承托缸2011可拆卸连接，因此，当需要对第一配合缸2012或第一承托缸2011进行检查及维修时，可拆除所需检修的结构，即当需要对第一配合缸2012进行检修或对第一配合缸2012内设置的预处理组件进行检修更换时，则可先将第一配合缸2012拆离第一承托缸2011，之后换上新的第一配合缸2012，拆下的第一配合缸2012可在进行作业的过程中进行检修及维护，从而既不会影响镀膜作业，也不会干扰检修作业，进而能够在一定程度上提高整体流水线中结构的工作稳定性和作业效率。
51.可选地，本技术中的预处理组件包括第一抽真空构件以及加热构件，第一抽真空构件与第一配合缸2012或第一承托缸2011相连通，加热构件嵌设于第一配合缸2012的缸壁上；第一抽真空构件和加热构件的数量为至少一个，且第一抽真空构件和加热构件集成于一个第一配合缸2012或分别设置在第一配合缸2012和第一承托缸2011上或第一缸体201仅设有第一抽真空构件。
52.为保证工件的镀膜效果，需要对腔室内进行抽真空作业，因此，通过与第一承托缸2011或第一配合缸2012相连通的第一抽真空构件，能够将第一缸体201内进行抽真空处理。可以理解的是，由于上述公开了预处理机构2为多个，即第一缸体201的数量为多个的实施方式，因此，在此种方式中，第一抽真空构件与第一缸体201一一对应设置，从而能够使每个缸体均达到对应的真空度，进而保证在开启密封装置9时，真空度不会产生变化或变化幅度较小，避免对后续工序产生影响。
53.相应地，由于工件在进行镀膜工艺的过程中均位于第一配合缸2012内进行，因此，本技术中上述的加热构件与第一配合缸2012对应设置，从而能够在保证第一缸体201内温度稳定的同时，使加热构件能够更加接近工件，以保证工件周围环境能够稳定的保持在既定温度下。
54.可以理解的是，由于镀膜工艺的每道工序均需要在真空环境下进行，因此，本技术
中预处理机构2所包含的第一缸体201均连接有第一抽真空构件，而在其他工序中，清洗机构3、镀膜机构4以及冷却机构5所包含的缸体上均连通有第二抽真空构件，第一抽真空构件和第二抽真空构件的功能均为将缸体内抽真空，从而保证整体流水线中缸体内的真空度，进而保证工件的镀膜效果。
55.此处需要补充说明的是，由于本技术中的冷却机构5所实现的功能是将镀膜后的工件进行冷却，因此，冷却机构5所采用的缸体与预处理作业所采用的缸体相同，即冷却机构5也可采用第一缸体201的结构形态，仅将冷却构件，如水冷管路布设在第一配合缸2012内，从而能够实现冷却目的。
56.可选地，如图1结合图4所示，本技术中的清洗机构3包括第二缸体301、第二传送组件3013以及清洗组件302；第二缸体301包括第二承托缸3011和第二配合缸3012，第二承托缸3011和第二配合缸3012可拆卸连接，且第二承托缸3011形成有第二运输腔，第二配合缸3012形成有清洗腔，第二运输腔和清洗腔相连通；第二传送组件3013设置于第二运输腔内，清洗组件302设置于第二配合缸3012内，且清洗组件302与第二配合缸3012可拆卸连接；第二承托缸3011的两端分别形成有第二进口和第二出口，第二传送组件3013的两端分别对应第二进口和第二出口，第二进口与第一出口相对接，且第二进口与第一出口间设有密封装置9。
57.本技术中的第二缸体301用于工件的清洗工作，而通过使第二缸体301包括第二配合缸3012和第二承托缸3011，且使第二承托缸3011和第二配合缸3012可拆卸连接，同样能够如上述的第一缸体201一样，在需要进行维护时，将第二承托缸3011和第二配合缸3012相分离，若需要对第二承托缸3011进行维修，则更换新的第二承托缸3011与第二配合缸3012相连接，若对第二配合缸3012进行维修，则更换新的第二配合缸3012与第二承托缸3011相连接，从而能够保证检修维护和清洗作业的同时进行，互相不会产生干涉影响，提高作业效率。
58.可以理解的是，为实现自动化流水线作业，本技术中第二承托缸3011内设有第二传送组件3013，且第二传送组件3013的两端分别对应第二承托缸3011两端的第二进口和第二出口，从而能够承接由第二进口进入第二承托缸3011内的转架机构6。
59.相应地，本技术中第一承托缸2011的第一出口与第二进口相对接，且第一出口与第二进口之间设有密封装置9，从而能够通过密封装置9实现第一出口和第二进口间的开启和阻断。
60.在实际作业时，当预处理作业完成后，第一出口与第二进口间的密封装置9开启，第一承托缸2011内的第一传送组件2013将转架机构6由第一出口送出，由第二进口进入第二承托缸3011内，此时第一传送组件2013和第二传送组件3013同步动作，从而能够使转架机构6逐渐转移至第二传送组件3013上。当转架机构6完全搭载于第二传送机构101上时，密封装置9关闭，从而封闭第二缸体301，使第二缸体301内能够进行清洗作业。
61.此处需要补充说明的是，由于清洗阶段同样需要在真空状态下进行，因此，本技术中的第二缸体301上连接有上述的第二抽真空构件，从而能够根据具体缸体内真空度进行抽真空作业，保证清洗阶段的作业效果。
62.此处需要进一步补充说明的是，本技术中所述的第一抽真空构件和第二抽真空构件均包括连接管和抽真空泵，从而实现对缸体内的抽真空动作。
63.可选地，本技术中的清洗组件302包括离子源和/或刻蚀弧源，即本技术中第二配合缸3012中可单独设置离子源或单独设置刻蚀弧源，通过离子源和刻蚀弧源能够对工件进行清洗作业，但也可将离子源和刻蚀弧源共同集成在一个第一配合缸2012中实现工件的清洗作业。上述方式根据需求设置，所要实现的目的相同，在此不再赘述。
64.可选地，如图1结合图2和图5所示，本技术中的镀膜机构4包括第三缸体401、第三传送组件4013以及靶材组件402；第三缸体401包括第三承托缸4011和第三配合缸4012，第三承托缸4011和第三配合缸4012可拆卸连接，且第三承托缸4011形成有第三运输腔，第三配合缸4012形成有镀膜腔，第三运输腔和镀膜腔相连通；第三传送组件4013设置于第三运输腔内，靶材组件402设置于第三配合缸4012内，且靶材组件402与第三配合缸4012可拆卸连接；第三承托缸4011的两端分别形成有第三进口和第三出口，第三传送组件4013的两端分别对应第三进口和第三出口，第三进口与第二出口相对接，且第三进口与第二出口间设有密封装置9。
65.本技术中的第三缸体401用于工件的镀膜工作，而通过使第三缸体401包括第三配合缸4012和第三承托缸4011，且使第三承托缸4011和第三配合缸4012可拆卸连接，同样能够如上述的第一缸体201和第二缸体301一样，在需要进行维护时，将第三承托缸4011和第三配合缸4012相分离，若需要对第三承托缸4011进行维修，则更换新的第三承托缸4011与第三配合缸4012相连接，若对第三配合缸4012进行维修，则更换新的第三配合缸4012与第三承托缸4011相连接，从而能够保证检修维护和镀膜作业的同时进行，互相不会产生干涉影响，提高作业效率。
66.可以理解的是，为实现自动化流水线作业，本技术中第三承托缸4011内设有第三传送组件4013，且第三传送组件4013的两端分别对应第三承托缸4011两端的第三进口和第三出口，从而能够承接由第三进口进入第三承托缸4011内的转架机构6。
67.相应地，本技术中第二承托缸3011的第二出口与第三进口相对接，且第二出口与第三进口之间设有密封装置9，从而能够通过密封装置9实现第二出口和第三进口间的开启和阻断。
68.在实际作业时，当预处理作业完成后，第二出口与第三进口间的密封装置9开启，第二承托缸3011内的第二传送组件3013将转架机构6由第二出口送出，由第三进口进入第三承托缸4011内，此时第二传送组件3013和第三传送组件4013同步动作，从而能够使转架机构6逐渐转移至第三传送组件4013上。当转架机构6完全搭载于第三传送机构101上时，密封装置9关闭，从而封闭第三缸体401，使第三缸体401内能够进行镀膜作业。
69.相应地，由于镀膜作业同样需要在真空状态下，因此，第三缸体401上同样连接有第二抽真空构件，以保证缸体内的真空度。
70.可选地，本技术中的靶材组件402的数量为多个，且多个靶材组件402与第三缸体401一一对应设置；靶材组件402包括多个靶材构件，多个靶材构件沿第三配合缸4012的周向间隔设置。
71.优选地，如图5所示，为保证工件镀膜的均匀程度，本技术中的靶材组件402的数量为四个，且沿第三缸体401的周向均布，以保证每个靶材组件402到达工件的距离相同，从而提高工件的镀膜效果。
72.可以理解的是，由于本技术中的连续镀膜生产线中可包括多个第三缸体401进行
镀膜作业，因此，本技术中每个第三配合缸4012中设置的靶材组件402的数量需要一致，从而能够保证工件在通过每个缸体内的镀膜环境相同，保证镀膜质量。
73.此处需要补充说明的是，本技术中靶材组件402的数量为四个仅为其中一种较佳的实施方式，靶材组件402的数量和分布也可存在其他形式。
74.此处需要进一步补充说明的是，本技术中上述的密封装置9为插板阀机构，通过插板阀机构能够实现各缸体间的密封和连通，从而保证整体设备的流水线作业。
75.可选地，如图2结合图6所示，本发明提供的连续镀膜生产线，还包括转架机构6，转架机构6包括驱动组件601、挂件杆602以及承托组件603；挂件杆602设置于承托组件603上，驱动组件601与挂件杆602相连接，以驱动挂件杆602相对承托组件603转动，挂件杆602上形成有挂件部，挂件部用于挂设工件。
76.优选地，本技术中的转架机构6为单杠转架，即上述的挂件杆602为一个，且挂件杆602沿传送方向延伸，采用单杆挂件的方式虽然挂件数量减少，但由于本技术中具有结构简单，检修以及挂件过程短的优势，从而能够更好的适配流水线作业，并能够使上述的第一缸体201、第二缸体301以及第三缸体401的整体尺寸缩小，降低空间占用，且更便于维修保养。
77.可以理解的是，本技术中的承托组件603包括托盘和支撑杆，托盘的两端均形成有支撑杆，用于支撑挂件杆602的两端，驱动组件601可以为电机，通过电机驱动挂件杆602转动，以实现挂件杆602上挂设的工件相对缸体产生转动，从而实现工件的均匀受热、清洗以及镀膜，保证工件的镀膜效果。
78.进一步优选地，如图2结合图7所示，由于本技术中第一缸体201、第二缸体301以及第三缸体401均为两部分构成，因此，缸体内的腔室可分为用于运输转架机构6的运输腔和用于实施加热、冷却、清洗以及镀膜的工作腔，而为了实现转架机构6由运输腔进入或离开工作腔，本发明提供的连续镀膜生产线，还包括举升机构7，举升机构7设置于工作装置内，且举升机构7能够举升或下降转架。
79.举升机构7可以包括承托架701以及举升构件702，且举升构件702可以为电动伸缩杆、液压油缸或气缸等能够进行伸缩的结构，从而能够通过举升构件702举升承托架701起降。
80.优选地，如图7所示，本技术中的举升构件702包括动力件7021、第一连杆组件7022、第二连杆组件7023、第一导向杆7024、第二导向杆7025、连接板7026以及基板7027；第一连杆组件7022和第二连杆组件7023交叉设置，且交叉点转动连接；第一连杆组件7022的一端与承托架701转动连接，另一端与基板7027转动连接，第二连杆组件7023的一端与承托架701转动连接，另一端与基板7027转动连接，动力件7021的驱动端与连接板7026相连接，连接板7026与交叉点相连接，第一导向杆7024的一端与基板7027相连接，第二导向杆7025的一端与承托架701相连接，连接板7026能够相对第一导向杆7024和第二导向杆7025沿竖直方向滑动，动力件7021设置于基板7027背离连接板7026的一侧。本技术上述的举升构件702采用剪刀叉结构，从而能够稳定的对承托架701进行举升和下降，进而实现承托架701上承载的转架机构6沿竖直方向的往复运动。
81.在实际应用时，本技术中举升机构7的承托架701能够举升转架机构6的托盘，从而能够将转架机构6举升进入对应的工作腔内进行工作，而在完成相应的作业后，可通过举升机构7下降，使转架机构6回到运输腔内，通过传送带机构实现对转架机构6的输送。
82.此处需要补充说明的是，优选地，本技术中的举升机构7位于运输腔内，且为避免举升机构7对传送带机构的影响，本技术中上述的托盘的宽度大于传送带机构的宽度，从而将举升机构7设置在传送带机构的两侧，实现对托盘的举升。
83.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种连续镀膜生产线，其特征在于，包括上料装置、工作装置、下料装置、转架机构以及密封装置；所述工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且所述上料装置设置于所述预处理机构相连通，所述预处理机构与所述清洗机构相连通，所述镀膜机构与所述冷却机构相连通，所述下料装置与所述冷却机构相对接，以使所述转架机构能够由上料装置依次经过所述预处理机构、所述清洗机构、所述镀膜机构以及所述冷却机构，完成镀膜工序；所述上料装置与所述预处理机构之间、所述预处理机构与所述镀膜机构之间、所述镀膜机构与所述冷却机构之间以及所述冷却机构与所述下料装置之间均设有能够实现分隔或连通的所述密封装置。2.根据权利要求1所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述上料装置和所述下料装置均包括传送机构和承载架；所述传送机构设置于所述承载架上，所述上料装置的传送机构和所述下料装置的传送机构的轴线共线，传送方向相同，且传送方向为所述预处理机构、所述镀膜机构以及冷却机构的排布方向。3.根据权利要求1所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述预处理机构包括第一缸体、第一传送组件以及预处理组件；所述第一缸体包括第一承托缸和第一配合缸，所述第一承托缸和所述第一配合缸可拆卸连接，且所述第一承托缸形成有第一运输腔，所述第一配合缸形成有预处理腔，所述第一运输腔和所述预处理腔相连通；所述第一传送组件设置于所述第一运输腔内，所述预处理组件设置于所述第一配合缸内，且所述预处理组件与所述第一配合缸可拆卸连接；所述第一承托缸的两端分别形成有第一进口和第一出口，且所述第一传送组件的两端分别对应所述第一进口和所述第一出口。4.根据权利要求3所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述预处理组件包括第一抽真空构件以及加热构件，所述第一抽真空构件与所述第一配合缸或第一承托缸相连通，所述加热构件嵌设于所述第一配合缸的缸壁上；所述第一抽真空构件和所述加热构件的数量为至少一个，且上述第一抽真空构件和所述加热构件集成于一个所述第一配合缸或分别设置在所述第一配合缸和所述第一承托缸上或所述第一缸体仅设有所述第一抽真空构件。5.根据权利要求3所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述清洗机构包括第二缸体、第二传送组件以及清洗组件；所述第二缸体包括第二承托缸和第二配合缸，所述第二承托缸和所述第二配合缸可拆卸连接，且所述第二承托缸形成有第二运输腔，所述第二配合缸形成有清洗腔，所述第二运输腔和所述清洗腔相连通；所述第二传送组件设置于所述第二运输腔内，所述清洗组件设置于所述第二配合缸内，且所述清洗组件与所述第二配合缸可拆卸连接；所述第二承托缸的两端分别形成有第二进口和第二出口，所述第二传送组件的两端分别对应所述第二进口和所述第二出口，所述第二进口与所述第一出口相对接，且所述第二
进口与所述第一出口间设有所述密封装置。6.根据权利要求5所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述清洗组件包括离子源和/或刻蚀弧源。7.根据权利要求5所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述镀膜机构包括第三缸体、第三传送组件以及靶材组件；所述第三缸体包括第三承托缸和第三配合缸，所述第三承托缸和所述第三配合缸可拆卸连接，且所述第三承托缸形成有第三运输腔，所述第三配合缸形成有镀膜腔，所述第三运输腔和所述镀膜腔相连通；所述第三传送组件设置于所述第三运输腔内，所述靶材组件设置于所述第三配合缸内，且所述靶材组件与所述第三配合缸可拆卸连接；所述第三承托缸的两端分别形成有第三进口和第三出口，所述第三传送组件的两端分别对应所述第三进口和所述第三出口，所述第三进口与所述第二出口相对接，且所述第三进口与所述第二出口间设有所述密封装置。8.根据权利要求7所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述靶材组件的数量为多个，且多个所述靶材组件与所述第三缸体一一对应设置；所述靶材组件包括多个靶材构件，多个所述靶材构件沿所述第三配合缸的周向间隔设置。9.根据权利要求1所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述转架机构包括驱动组件、挂件杆以及承托组件；所述挂件杆设置于所述承托组件上，所述驱动组件与所述挂件杆相连接，以驱动所述挂件杆相对所述承托组件转动，所述挂件杆上形成有挂件部，所述挂件部用于挂设工件。10.根据权利要求9所述的连续镀膜生产线，其特征在于，还包括举升机构，所述举升机构设置于所述工作装置内，且所述举升机构能够举升或下降所述转架机构。

技术总结
本发明提供的一种连续镀膜生产线，涉及镀膜技术领域，连续镀膜生产线包括上料装置、工作装置、下料装置以及密封装置；所述工作装置包括预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且上料装置与预处理机构之间、预处理机构与镀膜机构之间、镀膜机构与冷却机构之间以及冷却机构与下料装置之间均设有能够实现互相分隔或连通的密封装置。通过本申请提供的连续镀膜生产线，能够将每一道工序分解成一个或多个作业腔室，从而能够极大的缩短每个腔室的作业时间，加快作业节拍，避免各工序互相影响的同时，提高作业效率。效率。效率。


技术研发人员：王君
受保护的技术使用者：森科五金（深圳）有限公司
技术研发日：2023.04.13
技术公布日：2023/7/22