一种摆臂式可力控固晶系统和力控固晶的方法与流程

1.本发明属于半导体生产设备领域，尤其涉及一种摆臂式可力控固晶系统和力控固晶的方法。


背景技术：

2.固晶是半导体行业封装重要的工序，随着固晶机的成熟以及大量推广，固晶在整个封装过程中的重要性尤为突出。传统的固晶机大致分为分为带力控装置的直线固晶机和不带力控装置的摆臂式固晶机，带力控装置的直线固晶机采取走直线的工作方式，优点是精度高，缺点是效率低下；不带力控装置的摆臂式固晶机是通过弹片形变的方式进行固晶，优点是速度快，缺点是固晶压力不可控，固晶完成后胶点厚度控制精度不高。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种摆臂式可力控固晶系统和力控固晶的方法，旨在解决现有技术中的摆臂式固晶机所存在的固晶压力不可控，固晶完成后胶点厚度控制精度不高的问题。
4.本发明是这样实现的，一种摆臂式可力控固晶系统，包括固晶臂、吸嘴、旋转动力机构、固晶臂升降驱动机构、吸嘴安装座以及力控音圈电机；所述固晶臂与所述旋转动力机构的转轴固定连接，所述固晶臂与所述固晶臂升降驱动机构的动力输出端固定连接，所述旋转动力机构能驱动所述固晶臂水平摆动，所述固晶臂升降驱动机构能驱动所述固晶臂垂直升降；所述力控音圈电机固定在所述固晶臂的自由端，所述吸嘴安装座与所述力控音圈电机的动力输出端固定连接，所述吸嘴固定在所述吸嘴安装座上；所述力控音圈电机具备力度控制以及压力检测功能；当所述力控音圈电机检测到晶片所受的压力达到预设晶片压力后，所述固晶臂升降驱动机构能停止下压所述吸嘴，完成固晶。
5.进一步的，所述摆臂式可力控固晶系统还包括基座，所述旋转动力机构固定在所述基座上。
6.进一步的，所述摆臂式可力控固晶系统还包括吸嘴安装座升降滑块和吸嘴安装座升降滑槽，所述吸嘴安装座升降滑块与所述吸嘴安装座固定连接，所述吸嘴安装座升降滑槽与所述固晶臂固定连接，所述力控音圈电机能驱动所述吸嘴安装座升降滑块相对于所述吸嘴安装座升降滑槽上下滑动。
7.进一步的，所述摆臂式可力控固晶系统还包括连接座、固晶臂升降滑块和固晶臂升降滑轨，所述连接座的顶端与所述旋转动力机构的转轴固定连接；所述固晶臂与所述固晶臂升降滑块固定连接，所述固晶臂升降滑轨与所述连接座固定连接；所述固晶臂升降驱动机构能驱动所述固晶臂升降滑块相对于所述固晶臂升降滑轨上下滑动。
8.进一步的，所述摆臂式可力控固晶系统还包括用于检测所述吸嘴原点高度位置的吸嘴升降原点传感器。
9.进一步的，所述摆臂式可力控固晶系统包括至少一个双固晶单元，所述双固晶单
元包括两个所述固晶臂升降驱动机构、两个所述固晶臂、两个所述吸嘴安装座、两个所述力控音圈电机以及两个所述吸嘴；其中，两个所述固晶臂沿所述旋转动力机构的转轴轴向对称设置；所述旋转动力机构能驱动两个所述固晶臂同时水平摆动，两个所述固晶臂升降驱动机构能独立驱动与其对应的所述固晶臂垂直升降。
10.进一步的，所述双固晶单元还包括两个升降传动板、拉杆以及中空轴套，所述拉杆可活动地穿设于所述中空轴套内；一个所述固晶臂升降驱动机构的动力输出端与一个所述升降传动板的一端固定连接，所述升降传动板的另一端通过所述拉杆与一个所述固晶臂固定连接；另一个所述固晶臂升降驱动机构的动力输出端与另一个所述升降传动板的一端固定连接，另一个所述升降传动板的另一端通过所述中空轴套与另一个所述固晶臂固定连接。
11.进一步的，所述双固晶单元还包括两个固晶臂连接板，一个所述固晶臂连接板的一端与一个所述固晶臂固定连接，另一端的顶部往外侧延伸出上连接部，所述上连接部与所述中空轴套固定连接；另一个所述固晶臂连接板的一端与另一个所述固晶臂固定连接，另一端的底部往外侧延伸出下连接部，所述下连接部与所述拉杆固定连接。
12.为实现上述发明目的，本发明还提供了一种应用上述摆臂式可力控固晶系统实现力控固晶的方法，包括以下步骤：
13.a、旋转动力机构驱动两个固晶臂做旋转运动，将第一固晶臂旋转到晶片上方，让第一固晶臂上的第一吸嘴对准所要吸取的晶片；此时第二固晶臂位于需要固晶的位置上方；
14.b、第一固晶臂升降驱动机构驱动第一固晶臂带动第一吸嘴向下运动到晶片上表面，第一吸嘴接触到晶片后，第一力控音圈电机检测到第一吸嘴上的压力达到设定值后，第一固晶臂升降驱动机构停止向下运动，此时第一吸嘴产生真空，把晶片吸住，接着第一固晶臂升降驱动机构向上运动，将晶片向上吸起；
15.c、旋转动力机构驱动第一固晶臂和第二固晶臂同时做旋转运动，将第二固晶臂旋转到晶片上方，让第二固晶臂上的第二吸嘴对准所要吸取的晶片；此时第二固晶臂位于需要固晶的位置上方；
16.d、第一固晶臂升降驱动机构驱动第一固晶臂带动第一吸嘴向下运动到需要固晶物体的上方，第一吸嘴带动晶片接触到物体表面后，第一力控音圈电机检测到第一吸嘴上的压力达到设定值后，第一固晶臂升降驱动机构停止向下运动，此时第一吸嘴释放真空，晶片脱离第一吸嘴，被固定在需要固晶的物体表面，接着第一固晶臂升降驱动机构向上运动，将第一固晶臂和第一吸嘴向上抬起；
17.e、第一固晶臂在固晶的同时，第二固晶臂在第二固晶臂升降驱动机构驱动下带动第二吸嘴向下运动到晶片上表面，第二吸嘴接触到晶片后，第二力控音圈电机检测到第二吸嘴上的压力达到设定值后，第二固晶臂升降驱动机构停止向下运动，此时第二吸嘴产生真空，把晶片吸住，接着第二固晶臂升降驱动机构向上运动，将晶片向上吸起；
18.f、旋转动力机构驱动第一固晶臂和第二固晶臂做旋转运动，将第一固晶臂臂旋转到晶片上方，让第一固晶臂上的第一吸嘴对准所要吸取的晶片；此时第二固晶臂位于需要固晶的位置上方；重复a～e的动作，使第一固晶臂和第二固晶臂不断的交替工作，实现每颗晶片吸取和固晶时的压力都能被准确控制，保证吸晶和固晶的力度都在设定的范围内。
19.本发明与现有技术相比，有益效果在于：
20.本发明的摆臂式可力控固晶系统包括吸嘴安装座以及力控音圈电机，吸嘴固定在吸嘴安装座上，力控音圈电机具备力度控制以及压力检测功能，力控音圈电机以设定的力度驱动吸嘴下压；当力控音圈电机检测到晶片所受的压力达到预设压力后，固晶臂升降驱动机构停止下压吸嘴，完成固晶。可见，本发明的摆臂式可力控固晶系统实现了固晶压力的量化，固晶压力控制精准，固晶完成后胶点的厚度控制精度高。
21.本发明的力控固晶方法，通过旋转动力机构能两个固晶臂同时做旋转运动，使两个固晶臂不断的交替工作，实现每颗晶片吸取和固晶时的压力都能被准确控制，保证吸晶和固晶的力度都在设定的范围内，在实现力控固晶的同时，提高了固晶效率。
附图说明
22.图1是本发明实施例提供的一种摆臂式可力控固晶系统的结构示意图；
23.图2是图1所示摆臂式可力控固晶系统部分部件的结构示意图；
24.图3是图1所示摆臂式可力控固晶系统的另一部分部件的结构示意图；
25.图4是图1所示摆臂式可力控固晶系统的内吸嘴安装座与内固晶臂装配前的结构示意图。
26.图中标记：
27.1-旋转动力机构、2-基座、3-散热风扇、4-连接座；
28.51-外固晶臂升降驱动机构、52-外升降传动板、53-外固晶臂、54-外吸嘴升降原点传感器、55-外吸嘴安装座、56-外吸嘴、57-外力控音圈电机；
29.61-内固晶臂升降驱动机构、62-内升降传动板、63-内固晶臂、64-内吸嘴升降原点传感器、65-内吸嘴安装座、66-内吸嘴、67-内力控音圈电机。
具体实施方式
30.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
31.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
32.请参看图1及图2，示出了本实施例提供的一种摆臂式可力控固晶系统，包括一个旋转动力机构1、一个基座2、两个散热风扇3、一个连接座4和至少一个双固晶单元。旋转动力机构1固定在基座2上，两个散热风扇3分别设置于旋转动力机构1的两侧，连接座4的顶端
与旋转动力机构1的转轴固定连接。
33.本实施例以设置一个双固晶单元为例，对本发明的摆臂式可力控固晶系统的技术方案进行详细说明：
34.本实施例的双固晶单元包括外固晶单元和内固晶单元，外固晶单元和内固晶单元同时水平摆动、独立升降，依次交替吸晶片和固晶动作。
35.具体的，请参看图3，外固晶单元包括外固晶臂升降驱动机构51、外升降传动板52、中空轴套、外固晶臂连接板、外固晶臂53、外固晶臂升降滑块、外固晶臂升降滑轨、外吸嘴升降原点传感器54、外吸嘴安装座55、外吸嘴56、外力控音圈电机57、外吸嘴安装座升降滑块和外吸嘴安装座升降滑槽。
36.外固晶臂升降驱动机构51的动力输出端与外升降传动板52的一端固定连接，外升降传动板52的另一端与中空轴套的顶端固定连接。中空轴套的底端与外固晶臂连接板的上连接部固定连接，外固晶臂53的一端与外固晶臂连接板的一侧固定连接，外固晶臂连接板的另一侧与外固晶臂升降滑块固定连接，外固晶臂升降滑块滑动套设在外固晶臂升降滑轨上，外固晶臂升降滑轨固定在连接座4的一侧面上。
37.外固晶臂升降驱动机构51能驱动外固晶臂53垂直升降。外吸嘴升降原点传感器54安装在外固晶臂升降驱动机构51的外侧，用于检测外吸嘴56的原点高度位置。
38.外力控音圈电机57固定在外固晶臂53上，外吸嘴安装座升降滑槽与外固晶臂53固定连接，外吸嘴安装座升降滑块与外吸嘴安装座55固定连接，外吸嘴56固定在外吸嘴安装座55上，外吸嘴安装座55与外力控音圈电机57的动力输出端固定连接。外吸嘴安装座升降滑块滑动嵌置于外吸嘴安装座升降滑槽中，外力控音圈电机57能驱动外吸嘴安装座55相对于外吸嘴安装座升降滑槽上下滑动，进而带动外吸嘴56垂直升降。外力控音圈电机55具备力度控制以及压力检测功能，外力控音圈电机55以设定的力度驱动外吸嘴56下压；当外力控音圈电机55检测到晶片所受的压力达到预设压力后，外固晶臂升降驱动机构51停止下压外吸嘴56，完成固晶。
39.具体的，请一同参看图4，内固晶单元包括内固晶臂升降驱动机构61、内升降传动板62、拉杆、内固晶臂连接板、内固晶臂63、内固晶臂升降滑块、内固晶臂升降滑轨、内吸嘴升降原点传感器64、内吸嘴安装座65、内吸嘴66、内力控音圈电机67、内吸嘴安装座升降滑块和内吸嘴安装座升降滑槽。
40.内固晶臂升降驱动机构61的动力输出端与内升降传动板62的一端固定连接，内升降传动板62的另一端与拉杆的顶端固定连接。拉杆的底端与内固晶臂连接板的下连接部固定连接，内固晶臂63的一端与内固晶臂连接板的一侧固定连接，内固晶臂连接板的另一侧与内固晶臂升降滑块固定连接，内固晶臂升降滑块滑动套设在内固晶臂升降滑轨上，内固晶臂升降滑轨固定在连接座4的另一侧面上。
41.内固晶臂升降驱动机构61能驱动内固晶臂63垂直升降。内吸嘴升降原点传感器64安装在内固晶臂升降驱动机构61的外侧，用于检测内吸嘴66的原点高度位置。
42.内力控音圈电机67固定在内固晶臂63上，内吸嘴安装座升降滑槽与内固晶臂63固定连接，内吸嘴安装座升降滑块与内吸嘴安装座65固定连接，内吸嘴66固定在内吸嘴安装座65上，内吸嘴安装座65与内力控音圈电机67的动力输出端固定连接。内吸嘴安装座升降滑块滑动嵌置于内吸嘴安装座升降滑槽中，内力控音圈电机67能驱动内吸嘴安装座65相对
于内吸嘴安装座升降滑槽上下滑动，进而带动内吸嘴66垂直升降。内力控音圈电机67具备力度控制以及压力检测功能，内力控音圈电机67以设定的力度驱动内吸嘴66下压；当内力控音圈电机67检测到晶片所受的压力达到预设压力后，内固晶臂升降驱动机构61停止下压内吸嘴66，完成固晶。
43.进一步的，外固晶臂53和内固晶臂63沿旋转动力机构1的转轴轴向对称设置，一个旋转动力机构1能驱动外固晶臂53和内固晶臂63同时水平摆动。
44.综上所述，外固晶臂升降驱动机构51能独立驱动外固晶臂53在大范围内垂直升降，外力控音圈电机57能独立驱动外吸嘴56在小范围内垂直升降。内固晶臂升降驱动机构61能独立驱动内固晶臂63在大范围内垂直升降，内力控音圈电机67能独立驱动内吸嘴66在小范围内垂直升降。
45.与传统的带力控装置的直线固晶机和不带力控装置的摆臂式固晶机方案相比，本实施例的摆臂式可力控双固晶系统有以下优点：
46.1、由于力控音圈电机是一种带力控装置，在固晶的过程中，可以以设定力度下压吸嘴，并实时检测到当前吸嘴向晶片施加的压力，并且当力控音圈电机检测到晶片所受的压力达到预设压力后，力控音圈电机能停止下压吸嘴，完成固晶，实现固晶压力的量化，固晶压力控制精准，固晶完成后胶点的厚度控制精度高。
47.2、吸晶和固晶时吸嘴均是垂直方向的直线运动，提高了吸晶及固晶精度。
48.3、两个固晶臂轴向对称布置提高了两个固晶臂在高速旋转时的平稳性，实现了吸晶片位置与固晶片位置的高精度控制。
49.4、两个固晶臂上下垂直运动的同心布置和独立控制，极大的提高了固晶效率以及固晶位置的稳定性。
50.5、两个固晶臂共用一个旋转动力机构1，减少了生产零件及组装成本以及客户设备后期维护成本。
51.本实施例采用伺服电机作为旋转动力机构1，在其他方式中，也可以采用其他旋转机构。本实施例采用伺服电机+丝杆作为固晶臂的直线升降驱动机构，在其他方式中，也可以采用凸轮机构、直线电机、音圈、液压伸缩缸等直线驱动机构。
52.本实施例还提供了一种应用上述的摆臂式可力控固晶系统实现力控固晶的方法，包括以下步骤：
53.a、旋转动力机构1驱动两个固晶臂做旋转运动，将内固晶63臂旋转到晶片上方，让内固晶臂63上的内吸嘴66对准所要吸取的晶片；此时外固晶臂53位于需要固晶的位置上方；
54.b、内固晶臂升降驱动机构61驱动内固晶臂63带动内吸嘴66向下运动到晶片上表面，内吸嘴66接触到晶片后，内力控音圈电机67检测到内吸嘴上66的压力达到设定值后，内固晶臂升降驱动机构61停止向下运动，此时内吸嘴66产生真空，把晶片吸住，接着内固晶臂升降驱动机构61向上运动，将晶片向上吸起；
55.c、旋转动力机构1驱动内固晶臂63和外固晶臂53同时做旋转运动，将外固晶臂53旋转到晶片上方，让外固晶臂53上的外吸嘴56对准所要吸取的晶片；此时外固晶臂53位于需要固晶的位置上方；
56.d、内固晶臂升降驱动机构61驱动内固晶臂63带动内吸嘴66向下运动到需要固晶
物体的上方，内吸嘴66带动晶片接触到物体表面后，内力控音圈电机67检测到内吸嘴66上的压力达到设定值后，内固晶臂升降驱动机构61停止向下运动，此时内吸嘴66释放真空，晶片脱离内吸嘴66，被固定在需要固晶的物体表面，接着内固晶臂升降驱动机构61向上运动，将内固晶臂63和内吸嘴66向上抬起；
57.e、内固晶臂63在固晶的同时，外固晶臂53在外固晶臂升降驱动机构61驱动下带动外吸嘴56向下运动到晶片上表面，外吸嘴56接触到晶片后，外力控音圈电机57检测到外吸嘴56上的压力达到设定值后，外固晶臂升降驱动机构61停止向下运动，此时外吸嘴56产生真空，把晶片吸住，接着外固晶臂升降驱动机构61向上运动，将晶片向上吸起；
58.f、旋转动力机构1驱动内固晶臂63和外固晶臂53做旋转运动，将内固晶臂63旋转到晶片上方，让内固晶臂63上的内吸嘴66对准所要吸取的晶片；此时外固晶臂53位于需要固晶的位置上方；重复a～e的动作，使内固晶臂63和外固晶臂53不断的交替工作，实现每颗晶片吸取和固晶时的压力都能被准确控制，保证吸晶和固晶的力度都在设定的范围内。
59.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种摆臂式可力控固晶系统，固晶臂和吸嘴；其特征在于，还包括旋转动力机构、固晶臂升降驱动机构、吸嘴安装座以及力控音圈电机；所述固晶臂与所述旋转动力机构的转轴固定连接，所述固晶臂与所述固晶臂升降驱动机构的动力输出端固定连接，所述旋转动力机构能驱动所述固晶臂水平摆动，所述固晶臂升降驱动机构能驱动所述固晶臂垂直升降；所述力控音圈电机固定在所述固晶臂的自由端，所述吸嘴安装座与所述力控音圈电机的动力输出端固定连接，所述吸嘴固定在所述吸嘴安装座上；所述力控音圈电机具备力度控制以及压力检测功能；当所述力控音圈电机检测到晶片所受的压力达到预设晶片压力后，所述固晶臂升降驱动机构停止下压所述吸嘴，完成固晶。2.如权利要求1所述的摆臂式可力控固晶系统，其特征在于，还包括基座，所述旋转动力机构固定在所述基座上。3.如权利要求1所述的摆臂式可力控固晶系统，其特征在于，还包括吸嘴安装座升降滑块和吸嘴安装座升降滑槽，所述吸嘴安装座升降滑块与所述吸嘴安装座固定连接，所述吸嘴安装座升降滑槽与所述固晶臂固定连接，所述力控音圈电机能驱动所述吸嘴安装座升降滑块相对于所述吸嘴安装座升降滑槽上下滑动。4.如权利要求1所述的摆臂式可力控固晶系统，其特征在于，还包括连接座、固晶臂升降滑块和固晶臂升降滑轨，所述连接座的顶端与所述旋转动力机构的转轴固定连接；所述固晶臂与所述固晶臂升降滑块固定连接，所述固晶臂升降滑轨与所述连接座固定连接；所述固晶臂升降驱动机构能驱动所述固晶臂升降滑块相对于所述固晶臂升降滑轨上下滑动。5.如权利要求1所述的摆臂式可力控固晶系统，其特征在于，还包括用于检测所述吸嘴原点高度位置的吸嘴升降原点传感器。6.如权利要求1至5中任一项所述的摆臂式可力控固晶系统，其特征在于，包括至少一个双固晶单元，所述双固晶单元包括两个所述固晶臂升降驱动机构、两个所述固晶臂、两个所述吸嘴安装座、两个所述力控音圈电机以及两个所述吸嘴；其中，两个所述固晶臂沿所述旋转动力机构的转轴轴向对称设置；所述旋转动力机构能驱动两个所述固晶臂同时水平摆动，两个所述固晶臂升降驱动机构能独立驱动与其对应的所述固晶臂垂直升降。7.如权利要求6所述的摆臂式可力控固晶系统，其特征在于，所述双固晶单元还包括两个升降传动板、拉杆以及中空轴套，所述拉杆可活动地穿设于所述中空轴套内；一个所述固晶臂升降驱动机构的动力输出端与一个所述升降传动板的一端固定连接，所述升降传动板的另一端通过所述拉杆与一个所述固晶臂固定连接；另一个所述固晶臂升降驱动机构的动力输出端与另一个所述升降传动板的一端固定连接，另一个所述升降传动板的另一端通过所述中空轴套与另一个所述固晶臂固定连接。8.如权利要求7所述的摆臂式可力控固晶系统，其特征在于，所述双固晶单元还包括两个固晶臂连接板，一个所述固晶臂连接板的一端与一个所述固晶臂固定连接，另一端的顶部往外侧延伸出上连接部，所述上连接部与所述中空轴套固定连接；另一个所述固晶臂连接板的一端与另一个所述固晶臂固定连接，另一端的底部往外侧延伸出下连接部，所述下连接部与所述拉杆固定连接。9.一种应用权利要求6所述的摆臂式可力控固晶系统实现力控固晶的方法，其特征在于，包括以下步骤：a、旋转动力机构驱动两个固晶臂做旋转运动，将第一固晶臂旋转到晶片上方，让第一
固晶臂上的第一吸嘴对准所要吸取的晶片；此时第二固晶臂位于需要固晶的位置上方；b、第一固晶臂升降驱动机构驱动第一固晶臂带动第一吸嘴向下运动到晶片上表面，第一吸嘴接触到晶片后，第一力控音圈电机检测到第一吸嘴上的压力达到设定值后，第一固晶臂升降驱动机构停止向下运动，此时第一吸嘴产生真空，把晶片吸住，接着第一固晶臂升降驱动机构向上运动，将晶片向上吸起；c、旋转动力机构驱动第一固晶臂和第二固晶臂同时做旋转运动，将第二固晶臂旋转到晶片上方，让第二固晶臂上的第二吸嘴对准所要吸取的晶片；此时第二固晶臂位于需要固晶的位置上方；d、第一固晶臂升降驱动机构驱动第一固晶臂带动第一吸嘴向下运动到需要固晶物体的上方，第一吸嘴带动晶片接触到物体表面后，第一力控音圈电机检测到第一吸嘴上的压力达到设定值后，第一固晶臂升降驱动机构停止向下运动，此时第一吸嘴释放真空，晶片脱离第一吸嘴，被固定在需要固晶的物体表面，接着第一固晶臂升降驱动机构向上运动，将第一固晶臂和第一吸嘴向上抬起；e、第一固晶臂在固晶的同时，第二固晶臂在第二固晶臂升降驱动机构驱动下带动第二吸嘴向下运动到晶片上表面，第二吸嘴接触到晶片后，第二力控音圈电机检测到第二吸嘴上的压力达到设定值后，第二固晶臂升降驱动机构停止向下运动，此时第二吸嘴产生真空，把晶片吸住，接着第二固晶臂升降驱动机构向上运动，将晶片向上吸起；f、旋转动力机构驱动第一固晶臂和第二固晶臂做旋转运动，将第一固晶臂旋转到晶片上方，让第一固晶臂上的第一吸嘴对准所要吸取的晶片；此时第二固晶臂位于需要固晶的位置上方；重复a～e的动作，使第一固晶臂和第二固晶臂不断的交替工作，实现每颗晶片吸取和固晶时的压力都能被准确控制，保证吸晶和固晶的力度都在设定的范围内。

技术总结
本发明提供了一种摆臂式可力控固晶系统和力控固晶的方法，该固晶系统包括固晶臂、吸嘴、旋转动力机构、固晶臂升降驱动机构、吸嘴安装座以及力控音圈电机，力控音圈电机固定在固晶臂上，吸嘴安装座与力控音圈电机的动力输出端固定连接，吸嘴固定在吸嘴安装座上，力控音圈电机具备力度控制以及压力检测功能，力控音圈电机以设定的力度驱动吸嘴下压；当力控音圈电机检测到晶片所受的压力达到预设压力后，固晶臂升降驱动机构停止下压吸嘴，完成固晶。可见，本发明的固晶系统实现了固晶压力的量化，固晶压力控制精准，固晶完成后胶点的厚度控制精度高，本发明的力控固晶方法可使两个固晶臂不断的交替工作，提高了固晶效率。提高了固晶效率。提高了固晶效率。


技术研发人员：唐文轩 曾智军 杨世国
受保护的技术使用者：深圳市微恒自动化设备有限公司
技术研发日：2023.04.20
技术公布日：2023/7/25