多端口射频微波芯片测试方法及装置与流程

1.本发明实施例涉及芯片测试技术领域，特别涉及一种多端口射频微波芯片测试方法及装置。


背景技术：

2.随着5g、低轨卫星通信等新一代通信技术的需求牵引，以及伴随半导体制造工艺的快速发展与进步，相关射频微波元器件工作频率逐渐增高，功能集成度持续增大，测试端口愈渐增多，测试项复杂度不断增强。这其中，波束赋形芯片是最典型的代表，其内部集成了多组射频器件。面对如此复杂的芯片，需要更加完整的指标体系来评估其性能。
3.目前，对多端口射频微波芯片进行测试，需要使用多个仪器分别与多端口射频微波芯片进行连接和测试，当前仪器测试完成后需要手动将该当前仪器拆除，并手动连接下一个仪器以进行下一项参数的测试，测试效率较低。并且测试过程中使用的校准方式过于复杂，测试精度较低。
4.因此，需要提供一种既满足测试效率又保证测试精度的方法。


技术实现要素：

5.本发明实施例提供了一种多端口射频微波芯片测试方法及装置，能够提高多端口射频微波芯片的测试效率和测试精度。
6.第一方面，本发明实施例提供了一种多端口射频微波芯片测试方法，包括：
7.控制集成测试系统中集成的多个模块化仪器，以对被测件进行不同芯片参数的测试，得到参数测试结果；
8.根据所述参数测试结果，获取被测件的实际反射系数和测试反射系数；所述被测件包括开路、短路和负载；所述负载的测试反射系数不等于0；
9.根据所述实际反射系数和所述测试反射系数，计算8项误差模型的单端口误差项，以根据所述单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵；
10.根据所述实际反射系数和所述测试反射系数计算夹具的s参数；
11.根据两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵和所述夹具的s参数，对所述参数测试结果进行校准修正。
12.第二方面，本发明实施例还提供了一种多端口射频微波芯片测试装置，包括：
13.控制单元，用于控制集成测试系统中集成的多个模块化仪器，以对被测件进行不同芯片参数的测试，得到参数测试结果；
14.获取单元，用于根据所述参数测试结果，获取被测件的实际反射系数和测试反射系数；所述被测件包括开路、短路和负载；所述负载的测试反射系数不等于0；
15.第一计算单元，用于根据所述实际反射系数和所述测试反射系数，计算8项误差模型的单端口误差项，以根据所述单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵；
16.第二计算单元，用于根据所述实际反射系数和所述测试反射系数计算夹具的s参数；
17.校准修正单元，用于根据两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵和所述夹具的s参数，对所述参数测试结果进行校准修正。
18.第三方面，本发明实施例还提供了一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时，实现本说明书任一实施例所述的方法。
19.第四方面，本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，当所述计算机程序在计算机中执行时，令计算机执行本说明书任一实施例所述的方法。
20.本发明实施例提供了一种多端口射频微波芯片测试方法及装置，通过将多个模块化仪器进行集成，形成集成测试系统，通过控制算法控制集成测试系统中的模块化仪器对被测件进行不同芯片参数的测试，无需人工切换，可以提高测试效率；另外，采用通过实际反射系统和测试反射系数计算8项误差模型的单端口误差项和夹具的s参数，以在计算精度上对qsolt法和osl法进行优化，进而利用较高精度的误差修正t参数矩阵和夹具的s参数实现对测试结果的校准修正。可见，本方案既能够满足多端口射频微波芯片的测试效率，也能够保证测试精度。
附图说明
21.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1是本发明一实施例提供的一种多端口射频微波芯片测试方法流程图；
23.图2是本发明一实施例提供的一种电子设备的硬件架构图；
24.图3是本发明一实施例提供的一种多端口射频微波芯片测试装置结构图。
具体实施方式
25.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
26.请参考图1，本发明实施例提供了一种多端口射频微波芯片测试方法，该方法包括：
27.步骤100，控制集成测试系统中集成的多个模块化仪器，以对被测件进行不同芯片参数的测试，得到参数测试结果；
28.步骤102，根据所述参数测试结果，获取被测件的实际反射系数和测试反射系数；所述被测件包括开路、短路和负载；所述负载的测试反射系数不等于0；
29.步骤104，根据所述实际反射系数和所述测试反射系数，计算8项误差模型的单端
口误差项，以根据所述单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵；
30.步骤106，根据所述实际反射系数和所述测试反射系数计算所述夹具的s参数；
31.步骤108，根据两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵和所述夹具的s参数，对所述参数测试结果进行校准修正。
32.本发明实施例中，通过将多个模块化仪器进行集成，形成集成测试系统，通过控制算法控制集成测试系统中的模块化仪器对被测件进行不同芯片参数的测试，无需人工切换，可以提高测试效率；另外，采用通过实际反射系统和测试反射系数计算8项误差模型的单端口误差项和夹具的s参数，以在计算精度上对qsolt法和osl法进行优化，进而利用较高精度的误差修正t参数矩阵和夹具的s参数实现对测试结果的校准修正。可见，本方案既能够满足多端口射频微波芯片的测试效率，也能够保证测试精度。
33.下面描述图1所示的各个步骤的执行方式。
34.首先，针对步骤100，控制集成测试系统中集成的多个模块化仪器，以对被测件进行不同芯片参数的测试，得到参数测试结果。
35.本发明实施例中，该被测件为多端口射频微波芯片，需要完成的芯片参数至少可以包括如下中的一种或多种：直流参数、散射参数、功率参数和噪声参数。
36.为实现上述不同芯片参数的测试，可以将如下仪器中的若干个仪器进行模块化，以集成形成集成测试系统：多端口矢量网络分析仪、矢量信号收发仪、上变频器、数字模式发生器和精密直流电源。多个模块化仪器可以共享电源、机箱和控制器等，以降低成本、缩小体积。
37.由于不同仪器所执行的通信标准不同，可以采用定制方式使得各个仪器均满足pxie标准，结合专用的操作转台、测试工装夹具和多端口射频微波薄膜探卡相连接，可以大幅提高连接可靠性，一次接触完成所有端口连接，提高测试稳定性。
38.然后针对步骤102，根据所述参数测试结果，获取被测件的实际反射系数和测试反射系数；所述被测件包括开路、短路和负载；所述负载的测试反射系数不等于0。
39.具体地，可以根据实际情况在实际测试端面连接各种被测件，该被测件包括：开路(open)、短路(short)和负载(load)。
40.传统方式中，芯片频率较低，一般将负载的测试反射系数忽略掉，为负载的测试反射系数赋值为0。但是随着多端口射频微波芯片工作频率的逐渐增高，该负载的测试反射系数的测试精度影响着测试结果，因此，为了提高测试精度，本发明实施例中，该负载的测试反射系数不等于0，且负载的测试反射系数由满足相应频率需求精度的矢量网络分析仪相对应的模块化仪器测量得到。
41.本发明实施例中，被测件的实际反射系数可以包括：开路的实际反射系数γo、短路的实际反射系数γs和负载的实际反射系数γ
l
，且γ
l
≠0；被测件的测试反射系数可以包括：开路的测试反射系数γo、短路的实际反射系数γs和负载的实际反射系数γ
l
。
42.接下来针对步骤104，根据所述实际反射系数和所述测试反射系数，计算8项误差模型的单端口误差项，以根据所述单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵。
43.目前校准方式有多种，存在一定问题，比如，计算复杂、计算量大和/或精度低等缺点。本发明实施例中，可以采用优化的qsolt(quick short open load through，快速短路
开路负载直通校准法)，是一种基于8项误差模型的校准方法。它要求进行开路/短路/负载单端口校准，还需要一个确定通路，因为该方法只需要在一个端口上进行单端口校准，因此校准速度很快。
44.传统qsolt校准方法中，γ
l1
＝0，使得校准精度较低。本发明实施例中，该优化的qsolt校准方法中，γ
l1
≠0。因此，可以通过如下一种方式计算8项误差模型的单端口误差项：
45.根据所述实际反射系数和所述测试反射系数构建如下8项误差模型的误差方程组：
[0046][0047]
其中，e
00
、e
11
、e
10
和e
01
为两个端口中第一端口的误差项；γ
o1
、γ
s1
和γ
l1
分别为所述开路、所述短路和所述负载对应所述第一端口的实际反射系数，且γ
l1
≠0；γ
mo1
、γ
ms1
和γ
ml1
分别为所述开路、所述短路和所述负载对应第一端口的测试反射系数；
[0048]
对所述误差方程组进行求解，得到所述第一端口的误差项。
[0049]
由于γ
l1
≠0，会增加一定计算复杂度，但是，可以通过如下一种方式，对所述误差方程组进行求解，得到所述第一端口的误差项：
[0050]
对所述误差方程组进行变换，得到如下变换公式：
[0051][0052][0053][0054]
利用上述变换公式，计算得到e
11
、e
00
和e
01e10
。
[0055]
由此可见本实施例中，只求解误差项中的三个未知项e
11
、e
00
和e
01e10
即可，无需求解全部误差项的四个未知项e
00
、e
11
、e
10
和e
01
，从而可以在整体上降低计算复杂度。
[0056]
进一步地，在得到端口1的单端口误差项之后，接下来根据所述单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵，具体地：
[0057]
将未修正的t参数矩阵[t
meas
]看作第一端口与被测件间的误差修正t参数矩阵[ta]、被测件真实值的t参数矩阵[t
act
]、被测件与两个端口中第二端口间的误差修正t参数矩阵[tb]的级联乘积，得到如下公式：
[0058]
t
meas
＝t
a t
act tbꢀꢀꢀꢀꢀ
(5)
[0059]
根据被测件的s参数和t参数之间的转换关系，得到如下公式(6)～(13)：
[0060][0061]
δ
meas
＝s
11meass22meass12meass21meas
ꢀꢀꢀꢀ
(7)
[0062][0063]
δ
act
＝s
11acts22acts21acts12act
ꢀꢀꢀꢀ
(9)
[0064][0065]
δa＝e
00e11e01e10
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
(11)
[0066][0067]
δb＝e
22e33e23e32
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
(13)
[0068]
其中，s
11meas
、s
22meas
、s
21meas
、s
12meas
分别为被测件的测量s参数；s
11act
、s
22act
、s
21act
、s
12act
分别为被测件的实际s参数；e
22
、e
33
、e
23
、e
32
分别为两个端口中第二端口的误差项；
[0069]
继续构建如下公式：
[0070][0071][0072][0073]
其中，t
meas_thru
、t
act_thru
分别为直通标准件的测量t参数和实际t参数，由此可根据式(1)～(4)计算出矩阵a；若能够求出矩阵b，则可以完成误差修正，具体地，可以根据如下公式计算出矩阵b中所需的误差项：
[0074]
a-1
[t
act_thru
]-1
[t
meas_thru
]＝b
ꢀꢀꢀꢀꢀ
(17)
[0075]
[0076][0077][0078][0079]
其中，b
11
、b
12
、b
21
、b
22
分别为矩阵b中的元素。
[0080]
由于qsolt方法中[t
act_thru
]为已知量，通过式(17)可以将其它4个误差项求解出来，求解过程如式(18)至式(21)所示，从而得到了所有所需的误差项，最终完成完整的两端口校准工作。该求解过程更加简单，计算速度更快，在满足测试精度的前提下，提高了测试效率。
[0081]
qsolt校准的主要应用场景是多端口系统的校准。若一个多端口被测件有n个端口，极性都相同，可以建立n+1个测试系统，在额外的那个端口上使用与被测件连接器匹配的可变电缆。在此端口上进行1次简单的单端口校准，在其他端口上各进行1次直通连接，便可以得到完整的n+1端口校准。使用这种方法，其他端口都不需要移动，甚至不需要不同极性的校准套件。
[0082]
继续针对步骤106，根据所述实际反射系数和所述测试反射系数计算夹具的s参数。
[0083]
目前去嵌方式也有多种，也会存在比如计算复杂、计算量大和/或精度低等的问题。本发明实施例中，可以采用优化的osl去嵌法(two-tier deembedding method)，osl去嵌法是在单端口校准算法的基础上增加互易约束条件，通过两次单端口测试提取一个互易两端口网络的完整s参数的方法，用于提取射频探针或其他异型接头的s参数。以射频探针s参数提取过程为例，参数提取过程为先在同轴或矩形波导端面进行校准，之后测量在片开路、短路、负载或偏置短路等校准件。当进入“太赫兹”频段负载精度难以控制可以用偏置短路替代。传统osl去嵌方法一般假设γ
l
＝0，本发明实施例中采用优化的osl方法，γ
l
≠0，以进一步提高算法精度。
[0084]
具体地，本发明一个实施例中，可以通过如下方式计算出夹具的s参数，以实现对osl去嵌法的优化：
[0085]
根据所述实际反射系数和所述测试反射系数构建如下夹具参数方程组：
[0086][0087]
其中，s
f11
、s
f22
、s
f21
和s
f12
为所述夹具的s参数；γo、γs和γ
l
分别为所述开路、所述短路和所述负载的实际反射系数，且γ
l
≠0；γ
mo
、
[0088]
γ
ms
和γ
ml
分别为所述开路、所述短路和所述负载的测试反射系数；
[0089]
对所述夹具参数方程组进行求解，得到夹具的s参数。
[0090]
由于γ
l
≠0，会增加一定计算复杂度，但是，可以通过如下一种方式，对所述夹具参数方程组进行求解，得到夹具的s参数：
[0091]
对所述夹具参数方程组进行变换，得到如下变换公式：
[0092][0093][0094][0095]sf12sf21
＝δs+s
f11sf22
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
(26)
[0096]
利用上述变换公式，计算得到s
f11
、s
f22
和s
f12sf21
。
[0097]
由此可见本实施例中，只求解s参数中的三个未知项s
f11
、s
f22
和s
f12sf21
即可，无需求解全部s参数的四个未知项s
f11
、s
f22
、s
f21
和s
f12
，从而可以在整体上降低计算复杂度。
[0098]
最后针对步骤108，根据两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵和所述夹具的s参数，对所述参数测试结果进行校准修正。
[0099]
具体地，在对参数测试结果进行校准修正时，可以利用误差修正t参数矩阵进行校准的基础上，对夹具的s参数进行去嵌，以完成校准修正。
[0100]
如图2、图3所示，本发明实施例提供了一种多端口射频微波芯片测试装置。装置实施例可以通过软件实现，也可以通过硬件或者软硬件结合的方式实现。从硬件层面而言，如图2所示，为本发明实施例提供的一种多端口射频微波芯片测试装置所在电子设备的一种硬件架构图，除了图2所示的处理器、内存、网络接口、以及非易失性存储器之外，实施例中装置所在的电子设备通常还可以包括其他硬件，如负责处理报文的转发芯片等等。以软件实现为例，如图3所示，作为一个逻辑意义上的装置，是通过其所在电子设备的cpu将非易失性存储器中对应的计算机程序读取到内存中运行形成的。本实施例提供的一种多端口射频微波芯片测试装置，包括：
[0101]
控制单元301，用于控制集成测试系统中集成的多个模块化仪器，以对被测件进行不同芯片参数的测试，得到参数测试结果；
[0102]
获取单元302，用于根据所述参数测试结果，获取被测件的实际反射系数和测试反射系数；所述被测件包括开路、短路和负载；所述负载的测试反射系数不等于0；
[0103]
第一计算单元303，用于根据所述实际反射系数和所述测试反射系数，计算8项误差模型的单端口误差项，以根据所述单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵；
[0104]
第二计算单元304，用于根据所述实际反射系数和所述测试反射系数计算夹具的s参数；
[0105]
校准修正单元305，用于根据两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵和所述夹具的s参数，对所述参数测试结果进行校准修正。
[0106]
其中，控制单元301、获取单元302、第一计算单元303、第二计算单元304和校准修正单元305的结构和原理与上述多端口射频微波芯片测试方法中的步骤一一对应，故在此不再赘述。
[0107]
可以理解的是，本发明实施例示意的结构并不构成对一种多端口射频微波芯片测试装置的具体限定。在本发明的另一些实施例中，一种多端口射频微波芯片测试装置可以包括比图示更多或者更少的部件，或者组合某些部件，或者拆分某些部件，或者不同的部件布置。图示的部件可以以硬件、软件或者软件和硬件的组合来实现。
[0108]
上述装置内的各模块之间的信息交互、执行过程等内容，由于与本发明方法实施例基于同一构思，具体内容可参见本发明方法实施例中的叙述，此处不再赘述。
[0109]
本发明实施例还提供了一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时，实现本发明任一实施例中的一种多端口射频微波芯片测试方法。
[0110]
本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序在被处理器执行时，使所述处理器执行本发明任一实施例中的一种多端口射频微波芯片测试方法。
[0111]
具体地，可以提供配有存储介质的系统或者装置，在该存储介质上存储着实现上述实施例中任一实施例的功能的软件程序代码，且使该系统或者装置的计算机(或cpu或mpu)读出并执行存储在存储介质中的程序代码。
[0112]
在这种情况下，从存储介质读取的程序代码本身可实现上述实施例中任何一项实施例的功能，因此程序代码和存储程序代码的存储介质构成了本发明的一部分。
[0113]
用于提供程序代码的存储介质实施例包括软盘、硬盘、磁光盘、光盘(如cd-rom、cd-r、cd-rw、dvd-rom、dvd-ram、dvd-rw、dvd+rw)、磁带、非易失性存储卡和rom。可选择地，可以由通信网络从服务器计算机上下载程序代码。
[0114]
此外，应该清楚的是，不仅可以通过执行计算机所读出的程序代码，而且可以通过基于程序代码的指令使计算机上操作的操作系统等来完成部分或者全部的实际操作，从而实现上述实施例中任意一项实施例的功能。
[0115]
此外，可以理解的是，将由存储介质读出的程序代码写到插入计算机内的扩展板中所设置的存储器中或者写到与计算机相连接的扩展模块中设置的存储器中，随后基于程序代码的指令使安装在扩展板或者扩展模块上的cpu等来执行部分和全部实际操作，从而实现上述实施例中任一实施例的功能。
[0116]
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
…”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同因素。
[0117]
本领域普通技术人员可以理解：实现上述方法实施例的全部或部分步骤可以通过程序指令相关的硬件来完成，前述的程序可以存储在计算机可读取的存储介质中，该程序
在执行时，执行包括上述方法实施例的步骤；而前述的存储介质包括：rom、ram、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质中。
[0118]
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

技术特征：
1.一种多端口射频微波芯片测试方法，其特征在于，包括：控制集成测试系统中集成的多个模块化仪器，以对被测件进行不同芯片参数的测试，得到参数测试结果；根据所述参数测试结果，获取被测件的实际反射系数和测试反射系数；所述被测件包括开路、短路和负载；所述负载的测试反射系数不等于0；根据所述实际反射系数和所述测试反射系数，计算8项误差模型的单端口误差项，以根据所述单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵；根据所述实际反射系数和所述测试反射系数计算夹具的s参数；根据两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵和所述夹具的s参数，对所述参数测试结果进行校准修正。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计算8项误差模型的单端口误差项，包括：根据所述实际反射系数和所述测试反射系数构建如下8项误差模型的误差方程组：其中，e
00
、e
11
、e
10
和e
01
为两个端口中第一端口的误差项；γ
o1
、γ
s1
和γ
l1
分别为所述开路、所述短路和所述负载对应所述第一端口的实际反射系数，且γ
l1
≠0；γ
mo1
、γ
ms1
和γ
ml1
分别为所述开路、所述短路和所述负载对应第一端口的测试反射系数；对所述误差方程组进行求解，得到所述第一端口的误差项。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，对所述误差方程组进行求解，得到所述第一端口的误差项，包括：对所述误差方程组进行变换，得到如下变换公式：对所述误差方程组进行变换，得到如下变换公式：对所述误差方程组进行变换，得到如下变换公式：利用上述变换公式，计算得到e
11
、e
00
和e
01
e
10
。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，该根据所述单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵，包括：将未修正的t参数矩阵[t
meas
]看作第一端口与被测件间的误差修正t参数矩阵[t
a
]、被测件真实值的t参数矩阵[t
act
]、被测件与两个端口中第二端口间的误差修正t参数矩阵
[t
b
]的级联乘积，得到公式t
meas
＝t
a t
act t
b
；根据被测件的s参数和t参数之间的转换关系，得到如下公式：δ
meas
＝s
11meas
s
22meas-s
12meas
s
21meas
δ
act
＝s
11act
s
22act-s
21act
s
12act
δ
a
＝e
00
e
11-e
01
e
10
δ
b
＝e
22
e
33-e
23
e
32
其中，s
11meas
、s
22meas
、s
21meas
、s
12meas
分别为被测件的测量s参数；s
11act
、s
22act
、s
21act
、s
12act
分别为被测件的实际s参数；e
22
、e
33
、e
23
、e
32
分别为两个端口中第二端口的误差项；继续构建如下公式：继续构建如下公式：继续构建如下公式：其中，t
meas_thru
、t
act_thru
分别为直通标准件的测量t参数和实际t参数，由此可计算出矩阵a；并根据如下公式计算出矩阵b中所需的误差项：a-1
[t
act_thru
]-1
[t
meas_thru
]＝b]＝b]＝b
其中，b
11
、b
12
、b
21
、b
22
分别为矩阵b中的元素。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计算夹具的s参数，包括：根据所述实际反射系数和所述测试反射系数构建如下夹具参数方程组：其中，s
f11
、s
f22
、s
f21
和s
f12
为所述夹具的s参数；γ
o
、γ
s
和γ
l
分别为所述开路、所述短路和所述负载的实际反射系数，且γ
l
≠0；γ
mo
、γ
ms
和γ
ml
分别为所述开路、所述短路和所述负载的测试反射系数；对所述夹具参数方程组进行求解，得到夹具的s参数。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，对所述夹具参数方程组进行求解，得到夹具的s参数，包括：对所述夹具参数方程组进行变换，得到如下变换公式：对所述夹具参数方程组进行变换，得到如下变换公式：对所述夹具参数方程组进行变换，得到如下变换公式：s
f12
s
f21
＝δs+s
f11
s
f22
利用上述变换公式，计算得到s
f11
、s
f22
和s
f12
s
f21
。7.一种多端口射频微波芯片测试装置，其特征在于，包括：控制单元，用于控制集成测试系统中集成的多个模块化仪器，以对被测件进行不同芯片参数的测试，得到参数测试结果；获取单元，用于根据所述参数测试结果，获取被测件的实际反射系数和测试反射系数；所述被测件包括开路、短路和负载；所述负载的测试反射系数不等于0；第一计算单元，用于根据所述实际反射系数和所述测试反射系数，计算8项误差模型的单端口误差项，以根据所述单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵；第二计算单元，用于根据所述实际反射系数和所述测试反射系数计算夹具的s参数；校准修正单元，用于根据两个端口分别对应的误差修正t参数矩阵和所述夹具的s参数，对所述参数测试结果进行校准修正。8.一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时，实现如权利要求1-6中任一项所述的方法。
9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，当所述计算机程序在计算机中执行时，令计算机执行权利要求1-6中任一项所述的方法。

技术总结
本发明提供了一种多端口射频微波芯片测试方法及装置，其中方法包括：控制集成测试系统中集成的多个模块化仪器，以对被测件进行不同芯片参数的测试，得到参数测试结果；根据参数测试结果，获取被测件的实际反射系数和测试反射系数；被测件包括开路、短路和负载；负载的测试反射系数不等于0；根据实际反射系数和测试反射系数，计算8项误差模型的单端口误差项，以根据单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正T参数矩阵；根据实际反射系数和测试反射系数计算夹具的S参数；根据两个端口分别对应的误差修正T参数矩阵和夹具的S参数，对参数测试结果进行校准修正。本方案，能够提高多端口射频微波芯片的测试效率和测试精度。多端口射频微波芯片的测试效率和测试精度。多端口射频微波芯片的测试效率和测试精度。


技术研发人员：王立平 丁旭 郁发新
受保护的技术使用者：浙江铖昌科技股份有限公司
技术研发日：2023.03.30
技术公布日：2023/7/25