送料装置和打标设备的制作方法

1.本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种送料装置和打标设备。


背景技术：

2.现有相关技术中，打标设备一般需要通过送料装置移载芯片，送料装置通常包括送料轨道和送料机构，送料机构用于驱使芯片在送料轨道内沿其长度方向运动至相应工位。由于送料机构的送料组件往往需要沿送料轨道的长度方向移动，以依次将芯片移载至相应工位，再折返运动以移载下一芯片，因此送料机构完成一次芯片移载的耗时较长，送料装置的芯片的传输效率较低。


技术实现要素：

3.本发明的主要目的是提供一种送料装置和打标设备，旨在提高送料装置的传输效率。
4.为实现上述目的，本发明提出的一种送料装置，包括：
5.基座，所述基座具有沿其长度方向依次设置的上料工位和下料工位；
6.送料轨道，所述送料轨道架设于所述基座，所述送料轨道自所述上料工位朝向所述下料工位水平延伸设置，用于承载芯片；以及
7.送料机构，所述送料机构设有两个，两所述送料机构分别设于所述送料轨道的两侧，并沿所述送料轨道的宽度方向间隔设置，所述送料机构包括送料头，两所述送料头用于沿所述送料轨道的长度方向交替移载所述芯片。
8.可选地，所述送料头沿竖直方向可升降设置，并具有伸出状态和缩回状态；
9.所述送料头于所述伸出状态时，位于所述送料轨道中并抵接于所述送料轨道内的芯片，以驱使所述芯片沿所述送料轨道的长度方向自所述上料工位朝向所述下料工位运动；
10.所述送料头于所述缩回状态时，位于所述送料轨道的下方并避让于所述送料轨道内的芯片，以沿所述送料轨道的长度方向自所述下料工位朝向所述上料工位运动。
11.可选地，所述送料机构包括：
12.送料主体，所述送料主体位于所述送料轨道的一侧，用于沿所述送料轨道的长度方向平移运动；和
13.所述送料头，所述送料头可升降地设于所述送料主体；
14.在所述送料头随所述送料主体自所述上料工位朝向所述下料工位运动时，所述送料头举升至所述伸出状态，在所述送料头随所述送料主体自所述下料工位朝向所述上料工位运动时，所述送料头下降至所述缩回状态。
15.可选地，所述送料主体与所述送料头沿所述送料轨道的宽度方向并排设置；
16.所述送料装置还包括设于所述送料头下方的举升件，所述举升件沿所述送料轨道的长度方向延伸，并沿竖直方向可升降设置，所述送料头的下端沿所述举升件可滑动地设
于所述举升件，以在所述送料主体的带动下，相对于所述举升件沿所述送料轨道的长度方向平移运动；
17.所述举升件上升时，驱使所述送料头相对于所述送料主体上升运动，以使所述推料头移动至所述伸出状态。
18.可选地，所述送料主体面朝所述送料头的一侧设有滑槽，所述滑槽沿竖直方向延伸，所述送料头滑动连接于所述滑槽，以在所述滑槽的长度方向上相对于所述送料主体升降运动。
19.可选地，所述滑槽的槽底凸设有限位块；
20.所述送料头包括面朝所述送料主体设置的第一止挡块和第二止挡块，所述第一止挡块和所述第二止挡块沿竖直方向间隔设置，以形成限位空间，所述限位块设于所述限位空间中，所述第一止挡块和所述第二止挡块用于限定所述送料头的升降范围。
21.可选地，所述第一止挡块和所述限位块之间夹设有弹簧，所述弹簧沿竖直方向延伸设置；
22.和/或，所述第二止挡块和所述限位块之间夹设有弹簧，所述弹簧沿竖直方向延伸设置。
23.可选地，所述送料装置还包括平移机构，所述平移机构邻近于所述送料主体设置，并沿所述送料轨道的长度方向延伸设置；
24.所述送料主体传动连接于所述平移机构，以在所述平移机构的驱使下沿所述送料轨道的长度方向平移运动。
25.可选地，两所述平移机构沿所述送料轨道的宽度方向间隔排布，并沿所述送料轨道的长度方向错位设置，两所述平移机构的形成范围有重合。
26.本发明还提出一种打标设备，包括前述任意一项所述的送料装置，所述送料装置包括基座、送料轨道以及送料机构，基座具有沿其长度方向依次设置的上料工位和下料工位；送料轨道架设于所述基座，所述送料轨道自所述上料工位朝向所述下料工位水平延伸设置，用于承载芯片；送料机构设有两个，两所述送料机构分别设于所述送料轨道的两侧，并沿所述送料轨道的宽度方向间隔设置，所述送料机构包括送料头，两所述送料头用于沿所述送料轨道的长度方向交替移载所述芯片。
27.本发明的技术方案，送料装置设有两送料机构，两送料机构沿送料轨道的宽度方向间隔设置，且两送料机构的送料头均能够驱使芯片沿送料轨道的长度方向移动，如此设置，当其一送料机构的送料头自上料位朝向下料位运动时，另一送料机构的送料头便可以同时自下料位朝向上料位折返，以移动至上料位处而拾取并移载下一芯片，由此便可以通过两推料机构交替移载多个芯片，提高了送料装置的连续传输效率。
附图说明
28.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
29.图1为本发明送料装置一实施例的结构图；
30.图2为图1中送料装置的部分结构图；
31.图3为图2中送料装置的部分结构侧视图；
32.图4为图2中送料装置的部分结构放大图；
33.图5为图2中送料装置的部分结构剖视图；
34.图6为图2中送料装置的部分结构爆炸图；
35.图7为图1中送料装置的仰视图。
36.附图标号说明：
37.标号名称标号名称100送料装置413弹簧10上料工位414限位空间20下料工位42送料主体30送料轨道421滑槽40送料机构422限位块41送料头50举升机构411第一止挡块51举升件412第二止挡块60平移机构
38.本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
39.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
40.需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
41.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
42.另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
43.本发明提出一种送料装置100。
44.请参照图1至图7，在发明送料装置100的一些实施例中，送料装置100包括：
45.基座，所述基座具有沿其长度方向依次设置的上料工位10和下料工位20；
46.送料轨道30，所述送料轨道30架设于所述基座，所述送料轨道30自所述上料工位10朝向所述下料工位20水平延伸设置，用于承载芯片；以及
47.送料机构40，所述送料机构40设有两个，两所述送料机构40分别设于所述送料轨道30的两侧，并沿所述送料轨道30的宽度方向间隔设置，所述送料机构40包括送料头41，两所述送料头41用于沿所述送料轨道30的长度方向交替移载所述芯片。
48.本实施例中，送料装置100包括基座、送料轨道30以及送料机构40，基座具有沿长度方向依次设置的上料工位10和下料工位20，且上料工位10与下料工位20之间可以依照实际需求依次设置若干工位如检测工位、激光打标工位等；送料轨道30架设在基座上，包括两个相对间隔设置的半轨结构，两个半轨结构相对间隔设置，并均自上料工位10朝向下料工位20水平延伸设置，两个半轨结构围合形成送料通道，芯片可活动地设于送料通道内，如此设置，送料轨道30能够对芯片起到支撑与导向的作用，有利于提高送料装置100的传送稳定性；两个送料机构40沿送料轨道30的宽度方向相对间隔设置，且两个送料机构40的送料头41均可以沿送料轨道30的长度方向往复运动。
49.其中，送料头41可以是连续平移运动，以持续带动芯片沿送料轨道30的长度方向自上料位朝向下料位移动；送料头41也可以是间歇平移运动，以使芯片能够于不同工位之间传送移动，并能够停留于相应工位以在相应工位上进行相关加工工序，在此不做限定；送料头41可以是通过顶推芯片的侧边而带动芯片移动，也可以是通过吸附芯片的侧面而带动芯片移动，具体实施方式可以依照实际需求自行设置，在此不做限定。
50.具体地，当送料头41自上料位朝向下料位沿送料轨道30的长度方向水平运动时，能够推动送料轨道30上的芯片朝向下料位的方向移动，当芯片被送料机构40移载至下料工位20后，送料头41便能够自下料位朝向上料位折返运动，以进行下一次的移载工序，从而可以使送料头41沿送料轨道30循环移载芯片；进一步地，两送料机构40可以交替移载芯片，即在其一送料头41带动芯片运动时，另一送料头41可以空载回程，以重新回到上料位而带动下一芯片运动，由此可以有效提高芯片的传送效率。
51.在一些实施例中，送料头41上设有感应器，感应器可以是但不限于设置为光电感应器；通过设置感应器，可以实时检测送料机构40的位置，从而有利于使送料机构40精准对位待传输的芯片，并能够避免送料头41发生过度位移而干涉其他机构或受损。进一步地，送料头41的运动路径的两端还可以设置有缓冲器，缓冲器能够止挡运动中的送料头41并消解撞击能，从而能够为送料头41起到缓冲作用，有利于降低送料头41碰撞受损的风险、延长送料机构40的使用寿命。
52.需要说明的是，现有相关技术中，打标设备一般需要通过送料装置100移载芯片，送料装置100通常包括送料轨道30和送料机构40，送料机构40用于驱使芯片在送料轨道30内沿其长度方向运动至相应工位。由于送料机构40的送料组件往往需要沿送料轨道30的长度方向移动，以依次将芯片移载至相应工位，再折返运动以移载下一芯片，因此送料机构40完成一次芯片移载的耗时较长，送料装置100的芯片的传输效率较低。
53.因此，可以理解的是，本发明的技术方案，送料装置100设有两送料机构40，两送料机构40沿送料轨道30的宽度方向间隔设置，且两送料机构40的送料头41均能够驱使芯片沿送料轨道30的长度方向移动，如此设置，当其一送料机构40的送料头41自上料位朝向下料
位运动时，另一送料机构40的送料头41便可以同时自下料位朝向上料位折返，以移动至上料位处而拾取并移载下一芯片，由此便可以通过两推料机构交替移载多个芯片，提高了送料装置100的连续传输效率。
54.请参照图2至图6，在发明送料装置100的一些实施例中，所述送料头41沿竖直方向可升降设置，并具有伸出状态和缩回状态；
55.所述送料头41于所述伸出状态时，位于所述送料轨道30中并抵接于所述送料轨道30内的芯片，以驱使所述芯片沿所述送料轨道30的长度方向自所述上料工位10朝向所述下料工位20运动；
56.所述送料头41于所述缩回状态时，位于所述送料轨道30的下方并避让于所述送料轨道30内的芯片，以沿所述送料轨道30的长度方向自所述下料工位20朝向所述上料工位10运动。
57.本实施例中，送料机构40的送料头41可升降设置，并具有伸出状态和缩回状态；当送料头41举升至伸出状态时，位于所述送料轨道30中并能够抵接送料轨道30内的芯片，以驱使芯片沿送料轨道30的长度方向自上料工位10朝向下料工位20运动；当送料头41下降至缩回状态时，位于送料轨道30的下方并避让于送料轨道30内的芯片，以沿送料轨道30的长度方向自下料工位20朝向所述上料工位10运动。如此设置，可以使两送料头41在不同的高度位置上沿送料轨道30的长度方向平移运动而不会相互发生干涉，从而能够分别进行送料工序和回程工序，有利于提高送料装置100的传输效率。
58.其中，送料头41可以是可伸缩设置，以通过伸缩运动在伸出状态和缩回状态之间切换；送料头41也可以是通过举升机构50升降运动，以通过升降运动移动至伸出状态或缩回状态。具体地，在一些实施例中，送料装置100设有举升机构50，举升机构50设于送料机构40的下方，举升机构50朝向送料机构40的一端用于驱使送料机构40升降运动，以顶推送料机构40上升移动至伸出状态，或带动送料机构40下降而移动至缩回状态；举升机构50可以是直接和送料机构40传动连接，以直接驱使送料机构40在竖直方向上升降运动，也可以是间接与送料机构40传动连接，例如，使举升机构50驱使与送料机构40有连接关系的其他部件如平移机构60传动连接，以驱使其他部件在竖直方向上升降运动，而间接带动送料机构40在竖直方向上升降运动。具体实施方式可以依照实际需求直线设置，在此不做限定。
59.请参照图2至图6，在发明送料装置100的一些实施例中，所述送料机构40包括：
60.送料主体42，所述送料主体42位于所述送料轨道30的一侧，用于沿所述送料轨道30的长度方向平移运动；和
61.所述送料头41，所述送料头41可升降地设于所述送料主体42；
62.在所述送料头41随所述送料主体42自所述上料工位10朝向所述下料工位20运动时，所述送料头41举升至所述伸出状态，在所述送料头41随所述送料主体42自所述下料工位20朝向所述上料工位10运动时，所述送料头41下降至所述缩回状态。
63.本实施例中，送料机构40包括送料主体42和送料头41，送料主体42位于送料轨道30的一侧，用于沿送料轨道30的长度方向平移运动；送料头41设于送料主体42上，能够随送料主体42沿送料轨道30的长度方向平移运动，以进行送料工序和回程工序。
64.进一步地，送料头41可升降地设于送料主体42上，以相对于送料主体42在竖直方向上移动，从而能够在伸出状态和缩回状态之间切换；在送料头41随送料主体42自上料工
位10朝向下料工位20运动时，送料头41举升至伸出状态，在送料头41随送料主体42自下料工位20朝向上料工位10运动时，送料头41下降至所述缩回状态。如此设置，能够使两送料头41在交替移载芯片时不相互发生干涉。
65.具体地，在一些实施例中，可以是通过在送料主体42上设置举升机构50，通过举升机构50驱使送料头41相对于送料主体42升降运动；也可以是如下实施例中使送料主体42与送料头41滑动连接，举升机构50设于送料头41的下方，用于驱使送料头41相对于送料主体42在竖直方向上滑动，以在伸出状态和缩回状态之间移动；具体实施方式可以依照实际需求自行设置，在此不做限定。
66.请参照图2至图6，在发明送料装置100的一些实施例中，所述送料主体42与所述送料头41沿所述送料轨道30的宽度方向并排设置；
67.所述送料装置100还包括设于所述送料头41下方的举升件51，所述举升件51沿所述送料轨道30的长度方向延伸，并沿竖直方向可升降设置，所述送料头41的下端沿所述举升件51可滑动地设于所述举升件51，以在所述送料主体42的带动下，相对于所述举升件51沿所述送料轨道30的长度方向平移运动；
68.所述举升件51上升时，驱使所述送料头41相对于所述送料主体42上升运动，以使所述推料头移动至所述伸出状态。
69.本实施例中，送料主体42与送料头41沿送料轨道30的宽度方向并排设置，且送料主体42能够在水平方向上对送料头41起到限位作用，以带动送料头41沿送料轨道30的长度方向往复移动。送料装置100还包括举升机构50，举升机构50的举升件51位于送料头41的下方，并沿所述送料轨道30的长度方向延伸，且沿竖直方向可升降设置，举升件51在水平方向的长度至少等于或大于送料头41的运动路径的长度，送料头41的下端可滑动地设于举升件51。如此设置，当送料主体42带动送料头41沿送料轨道30的长度方向平移运动时，送料头41能够同时沿举升件51的长度方向滑移运动；当举升件51沿竖直方向上升时，能够驱使送料头41相对于送料主体42上升运动，以使推料头移动至伸出状态，或者，当举升件51沿竖直方向下降时，送料头41能够在重力作用或其他驱动力的驱使下移动至缩回状态。
70.其中，举升件51可以是但不限于设置为导向杆，导向杆呈柱体设置，以在其朝向送料头41的一侧形成光滑表面，送料机构40的底端设有滚轮，滚轮抵接于导向杆的外侧壁，如此设置，有利于减少举升件51与送料头41之间的摩擦力；在一种可行的实施方式中，举升件51也可以是设置为沿送料轨道30的长度方向延伸的块体，且块体上开设有沿送料轨道30的长度方向延伸设置的滑槽421，送料机构40的底端设有滑块，滑块可活动地设于滑槽421内，能够沿滑槽421的长度方向移动；当然，本发明的技术方案不限于此，具体实施方式可以依照实际需求自行设置，在此不做限定。
71.在一些实施例中，举升件51可以是在一个驱动件的驱使下升降运动，也可以是通过沿举升件51的长度方向依次间隔设置的若干驱动件共同驱动，若干驱动件能够通过对举升件51起到支撑和驱动的作用，有利于提高第一传动件的传动稳定性。其中，驱动件可以是但不限于设置为伸缩气缸、直线电机、丝杠机构等能够驱使举升件51沿直线方向移动的驱动机构。
72.请参照图5，在发明送料装置100的一些实施例中，所述送料主体42面朝所述送料头41的一侧设有滑槽421，所述滑槽421沿竖直方向延伸，所述送料头41滑动连接于所述滑
槽421，以在所述滑槽421的长度方向上相对于所述送料主体42升降运动。
73.本实施例中，送料主体42和送料头41并排设置，送料主体42面朝送料头41的一侧设有滑槽421，滑槽421沿竖直方向延伸，送料头41限位于滑槽421，并与滑槽421滑动连接，以在滑槽421的长度方向上相对于所述送料主体42升降运动。其中，滑槽421能够对送料头41在水平方向上起到限位作用，以避免送料主体42和送料头41在水平方向上发生偏位或滑移，滑槽421还能够对送料头41在竖直方向的运动起到导向作用，以提高送料头41的运动稳定性。
74.具体地，在一种可行的实施方式中，滑槽421的两侧槽壁分别设有滑轨，送料头41与两滑轨分别连接，由此可以使送料头41与滑槽421之间滑动连接。其中，滑轨可以是但不限于设置为交叉滚子滑轨，以使送料头41相对于送料主体42顺畅滑动。
75.请参照图4或图5，在发明送料装置100的一些实施例中，所述滑槽421的槽底凸设有限位块422；
76.所述送料头41包括面朝所述送料主体42设置的第一止挡块411和第二止挡块412，所述第一止挡块411和所述第二止挡块412沿竖直方向间隔设置，以形成限位空间414，所述限位块422设于所述限位空间414中，所述第一止挡块411和所述第二止挡块412用于限定所述送料头41的升降范围。
77.本实施例中，滑槽421的槽底凸设有限位块422；送料头41面朝送料主体42设置有第一止挡块411和第二止挡块412，第一止挡块411和第二止挡块412沿竖直方向间隔设置，以形成限位空间414，限位块422设于限位空间414中。其中，第一止挡块411和第二止挡块412均能够相对于限位块422升降运动，限位块422能够止挡于第一止挡块411的底侧或第二止挡块412的顶侧，以限定送料头41的升降范围，从而有利于避免送料头41发生过度位移而与送料装置100的其他机构发生干涉而碰撞受损。
78.在发明送料装置100的一些实施例中，所述第一止挡块411和所述限位块422之间夹设有弹簧413，所述弹簧413沿竖直方向延伸设置。
79.本实施例中，第一止挡块411设于限位块422的上方，并能够相对于限位块422升降运动，第一止挡块411与限位块422之间夹设有弹簧413，弹簧413沿竖直方向延伸设置。当送料头41相对于送料主体42上升时，第一止挡块411的底面远离限位块422的顶面运动，设于第一止挡块411与限位块422之间的弹簧413受拉伸长而积蓄弹性势能；当送料头41相对于送料主体42下降时，设于第一止挡块411与限位块422之间的弹簧413能够释放弹性势能而向第一止挡块411施加一个向下的弹力，用于带动送料头41沿竖直方向下移，以便于送料头41沿竖直方向顺畅地升降运动。并且，弹簧413还能够对第一止挡块411起到一定的缓冲作用，有利于降低送料头41碰撞受损的风险。
80.进一步地，在一些实施例中，第一止挡块411的底侧和/或限位块422的顶侧设有弹簧413限位槽，弹簧413的一端设于弹簧413限位槽内，如此设置，有利于提高弹簧413的位置稳定性。
81.请参照图4或图5，在发明送料装置100的一些实施例中，所述第二止挡块412和所述限位块422之间夹设有弹簧413，所述弹簧413沿竖直方向延伸设置。
82.本实施例中，第二止挡块412设于限位块422的下方，并能够相对于限位块422升降运动，第二止挡块412与限位块422之间夹设有弹簧413，弹簧413沿竖直方向延伸设置。当送
料头41相对于送料主体42上升时，第二止挡块412的顶面趋近限位块422的底面运动，设于第二止挡块412与限位块422之间的弹簧413受压收缩而积蓄弹性势能；当送料头41相对于送料主体42下降时，设于第二止挡块412与限位块422之间的弹簧413能够释放弹性势能而向第二止挡块412施加一个向下的弹力，用于带动送料头41沿竖直方向下移，以便于送料头41沿竖直方向顺畅地升降运动。并且，弹簧413还能够对第二止挡块412起到一定的缓冲作用，有利于降低送料头41碰撞受损的风险。
83.进一步地，在一些实施例中，第二止挡块412的顶侧和/或限位块422的底侧设有弹簧413限位槽，弹簧413的一端设于弹簧413限位槽内，如此设置，有利于提高弹簧413的位置稳定性。
84.请参照图2至图6，在发明送料装置100的一些实施例中，所述送料装置100还包括平移机构60，所述平移机构60邻近于所述送料主体42设置，并沿所述送料轨道30的长度方向延伸设置；
85.所述送料主体42传动连接于所述平移机构60，以在所述平移机构60的驱使下沿所述送料轨道30的长度方向平移运动。
86.本实施例中，平移机构60邻近于送料主体42设置，并沿送料轨道30的长度方向延伸；送料主体42传动连接于平移机构60，用于在平移机构60的驱使下沿送料轨道30的长度方向平移运动，以带动送料头41进行送料工序或回程工序。具体地，平移机构60可以是但不限于设置为带传动机构，带传动机构包括两个同步轮和同步带，两个同步轮沿送料轨道30的长度方向相对间隔设置，同步带分别与两同步轮传动连接，送料主体42固定设置于同步带上；平移机构60也可以是但不限于设置为直线电机机构或气缸伸缩机构等能够驱动送料机构40在直线方向上发生位移的驱动机构。
87.进一步地，在一些实施例中，送料装置100还包括邻近送料主体42设置的滑轨结构，滑轨结构沿送料轨道30的长度方向延伸，送料主体42可滑动地设于滑轨；其中，滑轨能够对送料主体42起到导向作用，有利于提高送料主体42的运动稳定性。
88.请参照图7，在发明送料装置100的一些实施例中，两所述平移机构60沿所述送料轨道30的宽度方向间隔排布，并沿所述送料轨道30的长度方向错位设置，两所述平移机构60的形成范围有重合。
89.本实施例中，两个平移机构60沿送料轨道30的宽度方向间隔排布，并沿送料轨道30的长度方向错位设置，两平移机构60的形成范围有重合，以形成芯片交接区域。如此设置，两个送料机构40便可以沿送料轨道30的长度方向轮流移载所述芯片。
90.具体地，在一些实施例中，其一平移机构60一端对应上料位设置，另一端朝向送料轨道30的中部区域延伸；另一平移机构60的一端对应下料位设置，另一端朝向送料轨道30的中部区域延伸；如此设置，两平移机构60便可以在送料轨道30的中部区域相对设置，以形成前述的芯片交接区域。其一送料机构40可以将芯片移载至送料轨道30的中部，以交接至另一送料机构40上，然后朝向上料位空载折返，以移载下一芯片，另一送料机构40于送料轨道30的中部接收芯片，然后将芯片移载至下料位进行下料，再朝向送料轨道30的中部折返，以接收下一芯片，由此可以减少每一送料机构40的传输路径的长度，减短每一送料机构40往复运动所需的时长，从而可以通过两个送料机构40接力移载芯片而提高芯片在送料轨道30上的传输效率，且能够一定程度上减少送料机构40的占用体积，以便于实现送料装置100
的紧凑化结构设置。
91.本发明还提出一种打标设备，该打标设备包括前述任一实施例中所述的送料装置100，所述送料装置100的具体结构参照前述任一实施例。由于本技术提出的打标设备可应用前述所有实施例中的全部技术方案，因此至少具有前述技术方案带来的全部有益效果，在此不一一赘述。
92.以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

技术特征：
1.一种送料装置，其特征在于，包括：基座，所述基座具有沿其长度方向依次设置的上料工位和下料工位；送料轨道，所述送料轨道架设于所述基座，所述送料轨道自所述上料工位朝向所述下料工位水平延伸设置，用于承载芯片；以及送料机构，所述送料机构设有两个，两所述送料机构分别设于所述送料轨道的两侧，并沿所述送料轨道的宽度方向间隔设置，所述送料机构包括送料头，两所述送料头用于沿所述送料轨道的长度方向交替移载所述芯片。2.如权利要求1所述的送料装置，其特征在于，所述送料头沿竖直方向可升降设置，并具有伸出状态和缩回状态；所述送料头于所述伸出状态时，位于所述送料轨道中并抵接于所述送料轨道内的芯片，以驱使所述芯片沿所述送料轨道的长度方向自所述上料工位朝向所述下料工位运动；所述送料头于所述缩回状态时，位于所述送料轨道的下方并避让于所述送料轨道内的芯片，以沿所述送料轨道的长度方向自所述下料工位朝向所述上料工位运动。3.如权利要求2所述的送料装置，其特征在于，所述送料机构包括：送料主体，所述送料主体位于所述送料轨道的一侧，用于沿所述送料轨道的长度方向平移运动；和所述送料头，所述送料头可升降地设于所述送料主体；在所述送料头随所述送料主体自所述上料工位朝向所述下料工位运动时，所述送料头举升至所述伸出状态，在所述送料头随所述送料主体自所述下料工位朝向所述上料工位运动时，所述送料头下降至所述缩回状态。4.如权利要求3所述的送料装置，其特征在于，所述送料主体与所述送料头沿所述送料轨道的宽度方向并排设置；所述送料装置还包括设于所述送料头下方的举升件，所述举升件沿所述送料轨道的长度方向延伸，并沿竖直方向可升降设置，所述送料头的下端沿所述举升件可滑动地设于所述举升件，以在所述送料主体的带动下，相对于所述举升件沿所述送料轨道的长度方向平移运动；所述举升件上升时，驱使所述送料头相对于所述送料主体上升运动，以使所述推料头移动至所述伸出状态。5.如权利要求4所述的送料装置，其特征在于，所述送料主体面朝所述送料头的一侧设有滑槽，所述滑槽沿竖直方向延伸，所述送料头滑动连接于所述滑槽，以在所述滑槽的长度方向上相对于所述送料主体升降运动。6.如权利要求5所述的送料装置，其特征在于，所述滑槽的槽底凸设有限位块；所述送料头包括面朝所述送料主体设置的第一止挡块和第二止挡块，所述第一止挡块和所述第二止挡块沿竖直方向间隔设置，以形成限位空间，所述限位块设于所述限位空间中，所述第一止挡块和所述第二止挡块用于限定所述送料头的升降范围。7.如权利要求6所述的送料装置，其特征在于，所述第一止挡块和所述限位块之间夹设有弹簧，所述弹簧沿竖直方向延伸设置；和/或，所述第二止挡块和所述限位块之间夹设有弹簧，所述弹簧沿竖直方向延伸设置。
8.如权利要求3所述的送料装置，其特征在于，所述送料装置还包括平移机构，所述平移机构邻近于所述送料主体设置，并沿所述送料轨道的长度方向延伸设置；所述送料主体传动连接于所述平移机构，以在所述平移机构的驱使下沿所述送料轨道的长度方向平移运动。9.如权利要求8所述的送料装置，其特征在于，两所述平移机构沿所述送料轨道的宽度方向间隔排布，并沿所述送料轨道的长度方向错位设置，两所述平移机构的形成范围有重合。10.一种打标设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的送料装置。

技术总结
本发明提出一种送料装置和打标设备，其中，送料装置包括基座、送料轨道以及送料机构，基座具有沿其长度方向依次设置的上料工位和下料工位；送料轨道架设于基座，送料轨道自上料工位朝向下料工位水平延伸设置，用于承载芯片；送料机构设有两个，两送料机构分别设于送料轨道的两侧，并沿送料轨道的宽度方向间隔设置，送料机构包括送料头，两送料头用于沿送料轨道的长度方向交替移载芯片。本申请的技术方案，能够提高送料装置的传输效率。能够提高送料装置的传输效率。能够提高送料装置的传输效率。


技术研发人员：钟恒 李文强 于泽樟 杨建新 朱霆 盛辉 周学慧 张凯
受保护的技术使用者：深圳泰德半导体装备有限公司
技术研发日：2023.04.13
技术公布日：2023/8/4