一种集成电路的可靠性测试装置及测试方法与流程

1.本发明涉及电路测试技术领域，特别涉及一种集成电路的可靠性测试装置及测试方法。


背景技术：

2.集成电路是一种微型电子器件，采用一定工艺把晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，形成具有所需电路功能的微型结构。集成电路在加工过程中需要进行测试，保证所有元件可以正常使用。
3.如中国专利公告号cn216387304u，公开了名为一种集成电路测试设备，包括主体，所述主体的外壁固定连接有支撑架，所述支撑架的内壁设置有控制设备，所述控制设备的外壁设置有搁板，所述搁板的外壁与支撑架的内壁滑动连接，所述搁板的外壁固定连接有外框，所述外框的内壁设置有夹具，所述主体的外壁固定连接有连接柱，所述连接柱的内壁设置有照明设备，所述连接柱的内壁设置有放大设备。通过搁板上面的夹具可以对集成电路进行加紧固定，可以通过转动控制设备来控制搁板的位置，达到便于检测的目的。
4.该申请通过转动控制设备可带动集成电路偏转，但是控制设备基于主体的转动方向受限，使得集成电路的偏转方向只能基于主体逆时针偏转，对于集成电路其他方向的测试仍然不便，整体的测试效率仍有待提高，存在一定的使用局限性。
5.因此，有必要提供一种集成电路的可靠性测试装置及测试方法解决上述技术问题。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供一种集成电路的可靠性测试装置及测试方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，设计一种可带动集成电路向前后左右四个方向偏转，以便于测试的可靠性测试装置及测试方法。
8.基于上述思路，本发明提供如下技术方案：一种集成电路的可靠性测试装置，包括工作台和设置在工作台上的测试机构，所述工作台上设置有用于支撑待测件的支撑组件和与支撑组件四个方向分别对应的四个限位组件，工作台的内部设置有用于带动支撑组件转动的控制组件；启动控制组件与其中三个限位组件接触，使得这三个限位组件解除对支撑组件三个对应方向的限位，再启动控制组件通过剩余一个限位组件可带动支撑组件向未被解除限位的方向偏转。
9.作为本发明的进一步方案：所述支撑组件包括用于放置待测件的平台和固定安装在工作台上的四个底座，四个底座位于平台的四个方向且与四个限位组件位置对应；平台的四个侧面均固定安装有支杆，支杆的内部固定安装有与底座活动贴合的圆杆。
10.作为本发明的进一步方案：每个侧面的所述支杆数量均为两个，底座位于两个支杆之间均与两个支杆均活动贴合，底座的顶面开设有以供圆杆安置的凹陷。
11.作为本发明的进一步方案：所述限位组件包括固定安装在工作台上的壳体，壳体的内部滑动安装有与底座位置对应的滑板，滑板的底部延伸至工作台的内部并与控制组件位置对应，滑板的表面与壳体之间固定安装有第一弹簧。
12.作为本发明的进一步方案：所述壳体和工作台之间共同开设有以供滑板滑动的滑槽，滑板基于滑槽可沿着工作台的径向方向往复滑动；当滑块滑动至与底座的顶面贴合后，可配合底座形成对圆杆的限位使得圆杆只能自转动。
13.作为本发明的进一步方案：所述控制组件包括与工作台固定连接的电机，电机的输出轴固定安装有悬臂，悬臂远离电机的端部固定安装有可与其中三个滑板活动贴合的弧形杆，悬臂的表面设置有用于带动平台转动的气缸。
14.作为本发明的进一步方案：所述弧形杆的端部设置有倒角，当弧形杆与限位组件接触时通过倒角可带动限位组件远离底座解除对圆杆的限位。
15.作为本发明的进一步方案：所述气缸与悬臂固定连接，且气缸的输出端与平台的底面活动贴合，使得气缸带动平台的可转动角度小于90度。
16.作为本发明的进一步方案：所述气缸与悬臂和平台的底面之间均呈转动连接，使得气缸带动平台的可转动角度大于90度且小于180度。
17.本发明提供如下技术方案：一种集成电路的可靠性测试方法，包括以下步骤：
18.s1、先将待测件放到支撑组件上，然后启动控制组件与其中三个限位组件接触，使得这三个限位组件解除对支撑组件三个对应方向的限位；
19.s2、再启动控制组件通过剩余一个限位组件，可带动支撑组件向未被解除限位的方向偏转；
20.s3、继续启动控制组件改变方向可调整支撑组件未被解除限位的方向，进而使得支撑组件可带动待测件向不同的方向偏转。
21.与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过支撑组件、限位组件和控制组件等之间的配合，可使得支撑组件带动待测件分别向前后左右四个方向偏转，以便于待测件上不同方向元件的快速测试，可有效提高整体的测试效率，实用性更高。
附图说明
22.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：
23.图1为本发明的整体结构立体图；
24.图2为本发明的支杆和圆杆结构示意图；
25.图3为本发明的弧形杆和开口结构示意图；
26.图4为本发明的壳体内部结构示意图；
27.图5为本发明的气缸和平台结构示意图；
28.图6为本发明的罩壳和支杆结构示意图；
29.图7为本发明的调节组件结构示意图；
30.图8为本发明的悬臂和弧形杆结构示意图；
31.图9为本发明的滑座和空腔结构示意图；
32.图10为本发明的移动组件结构示意图。
33.图中：1、工作台；2、支撑组件；3、限位组件；4、控制组件；5、滑槽；6、滑动组件；7、调
节组件；8、移动组件；9、待测件；101、开口；201、底座；202、平台；203、支杆；204、圆杆；205、空腔；206、凹槽；301、壳体；302、滑板；303、第一弹簧；304、横杆；305、罩壳；401、电机；402、悬臂；403、弧形杆；404、气缸；601、滑座；602、夹块；603、第二弹簧；701、导柱；702、凸块；703、拉绳；704、第三弹簧；801、齿条；802、齿轮；803、挡板。
具体实施方式
34.实施例一：
35.请参阅图1至图3，本发明实施例提供一种集成电路的可靠性测试装置，主要用于实现对待测件9前后左右四个方位的快速测试，该装置包括工作台1和设置在工作台1上的测试机构(图中未示出)，测试机构可与待测件9的接口连接形成导通，进而检测集成电路的好坏；其中，测试机构为现有的成熟技术，在这里不做详细说明。
36.进一步的，工作台1上设置有用于支撑待测件9的支撑组件2和与支撑组件2四个方向分别位置对应的四个限位组件3，四个限位组件3分别用于限定支撑组件2前后左右的四个方向；当其中一个限位组件3与支撑组件2活动贴合时，支撑组件2即只能向该限位组件3对应的方向转动，若两个限位组件3同时与支撑组件2活动贴合时，支撑组件2则被完全限位无法转动。
37.进一步的，工作台1的内部设置有用于带动支撑组件2转动且可与其中三个限位组件3活动贴合的控制组件4。控制组件4在工作时即与按顺序的三个限位组件3活动贴合，使得这三个限位组件3与支撑组件2分离(也即使得只有一个限位组件3与支撑组件2活动贴合)，进而控制组件4在驱动支撑组件2转动时，只能向活动贴合的限位组件3方向转动；通过控制组件4改变与支撑组件2活动贴合的限位组件3，可使得支撑组件2可向前后左右四个方向分别偏转，进而方便待测件9四个方位的快速测试。
38.本实施例中，待测件9即为集成电路，其在不同方向上具有需要测试的接口，且其为现有的成熟技术，在这里不做详细说明。当然，本装置也可以适用于其他不同方向需要测试的工件，即本装置的适用范围更加广泛。
39.请参阅图1至图5，在本实施例中，优选的：支撑组件2包括用于放置待测件9的平台202和固定安装在工作台1上的四个底座201，四个底座201置于前后左右四个方向上与四个限位组件3位置对应；平台202自上往下具有两层台阶，上一层用于安置待测件9，下一层用于操作者手指插入等到测试完毕后取件。平台202的前后左右四个面均固定安装有支杆203，支杆203的内部固定安装有与底座201活动贴合的圆杆204；其中，底座201的顶部具有u形凹陷或半圆形凹陷，可供圆杆204落下。
40.在上述结构中，每个面的支杆203具有两个且两个支杆203与对应的底座201的两侧贴合，这样一方面可以保证对圆杆204和平台202的支撑效果，另一方面使得圆杆204在落到底座201上后支杆203可与底座201卡合形成限位，避免平台202沿着工作台1的顶面水平移动。当四个方向的圆杆204分别落到底座201上后，平台202与待测件9均得到支撑与工作台1的顶面平行，当其中一个圆杆204在底座201内受到限位而另外三个圆杆204处于活动状态时，平台202即可带动待测件9向没受到限位的圆杆204方向偏转。
41.进一步的，限位组件3包括固定安装在工作台1上的壳体301，壳体301的内部沿工作台1的径向方向滑动安装有与底座201位置对应的滑板302，滑板302的底部延伸至工作台
1的内部并与控制组件4位置对应；当控制组件4与滑板302接触时可驱动滑块远离底座201接触对圆杆204的限位。滑板302远离平台202的表面与壳体301之间固定安装有第一弹簧303，在第一弹簧303的作用下滑块具有向平台202方向移动的趋势，当滑块向平台202方向移动到位后，滑板302可位于圆杆204上方且与底座201的顶面活动贴合，此时圆杆204在滑板302和底座201的组合下形成限位。
42.具体的，在壳体301和工作台1之间共同开设有以供滑板302滑动的滑槽5，滑板302沿着滑槽5即可沿着工作台1的径向方向往复滑动。同时，滑板302呈l形设计，既可与控制组件4对应也可以底座201对应。
43.进一步的，控制组件4包括与工作台1内底壁固定连接的电机401，电机401的输出轴固定安装有悬臂402，悬臂402远离电机401的端部固定安装有可与其中三个滑板302活动贴合的弧形杆403，当弧形杆403与滑板302接触贴合时即可带动滑板302远离底座201并挤压第一弹簧303。悬臂402的顶部设置有用于带动平台202转动的气缸404，当然气缸404也可以替换成现有的电动推杆等技术。
44.当气缸404与悬臂402固定连接且气缸404的输出端与平台202的底面活动贴合时，气缸404即具有竖直升降的行程，可带动平台202转动的角度则小于90度，此时操作者只能观测到待测件9的上表面。
45.当气缸404与悬臂402转动连接且气缸404的输出端与平台202的底面也转动连接时，气缸404的移动形成可随着平台202的转动相应调整，使得平台202转动的角度大于90度且小于180度；这样设计时输出端与平台202底面转动连接的转轴需要可沿着平台202的底面转动，以此避免气缸404在随着悬臂402转动时带动平台202水平转动。此时若将平台202的下方台阶贯穿使得平台202呈一个方环形，配合气缸404带动平台202的大角度转动，使得操作者可以观测到待测件9的上下两个面，可提高对待测件9的测试效率。
46.在上述结构中，为了保证弧形杆403在接触滑板302后可稳定带动滑板302移动，弧形杆403的两个端部和滑板302的两侧均可以设置有弧面。
47.进一步的，工作台1的顶面贯穿开设有以供气缸404移动的开口101，且使得气缸404的输出轴可以与平台202的底面接触。
48.使用时，以图1的视角来看，待测件9先放到平台202上，然后电机401通过悬臂402带动弧形杆403与前后右三个方向的滑板302接触，并驱动前后右三个方向的滑板302沿着滑槽5各自分离，使得滑板302与对应的底座201分离进而解除这三个方向圆杆204的限位。而左侧的滑板302未与弧形杆403接触，则在第一弹簧303的作用下可向平台202方向移动并与底座201的顶面活动贴合，此时滑板302配合底座201将左侧圆杆204限位使得左侧圆杆204仅可以自转动。
49.接着气缸404启动带动平台202和待测件9基于左侧圆杆204偏转，使得待测件9右侧接口可以快速与测试机构快速连接进行测试。同理，当弧形杆403与前后左三个方向的滑板302贴合时，右侧圆杆204受到限位使得平台202带动待测件9可基于右侧圆杆204偏转；进而使得平台202可带动待测件9向前后左右四个方向偏转，使得待测件9对应侧的接口可快速插接完成测试。
50.综上所述，通过滑板302、弧形杆403、底座201和圆杆204等结构的配合，可使得平台202带动待测件9分别向前后左右四个方向偏转，以便于待测件9上不同方向元件的快速
插接测试，可有效提高整体的测试效率；搭配气缸404与平台202的连接设计，可使得平台202带动待测件9转动大角度完成对待测件9的双面观测，可进一步提高测试效率，实用性更高。
51.实施例二：
52.请参阅图1至图6，在实施例一的基础上，为了实现对偏转时待测件9的有效限位，做平台202做出改进：在平台202的内部滑动安装有可向平台202正中心往复移动的滑动组件6，滑动组件6的数量为四个分别置于平台202的四角且四个滑动组件6可以同步移动；当四个滑动组件6同时向平台202的正中心移动时即可实现对待测件9的限位，当四个滑动组件6同时远离平台202的正中心时即可方便待测件9的取放。
53.为了实现四个滑动组件6的同步移动，平台202、支杆203和圆杆204之间共同设置有相对于支杆203突出的调节组件7，调节组件7的数量为八个即两个调节组件7对应一个滑动组件6，且八个调节组件7分别与八个支杆203对应，使得前后左右四个方向的每个方向上均具有两个调节组件7。
54.以图6的视角来看，左上方的两个调节组件7对应左上角的滑动组件6(各自方位的两个调节组件7对应各自方位上的滑动组件6)；对应方位上两个调节组件7中任意一个调节组件7的移动均可以带动该方位上的滑动组件6，例如左上方两个调节组件7中的任意一个移动均可以带动左上角的滑动组件6移动。
55.进一步的，在滑板302的两侧均固定安装有横杆304，横杆304远离滑板302的端部固定安装有与调节组件7位置对应的罩壳305，每个方向具有两个罩壳305使得罩壳305的数量共计八个。当滑板302移动时即可通过横杆304带动罩壳305同步移动，使得罩壳305与对应的调节组件7接触，进而使得调节组件7启动以带动滑动组件6移动。
56.在上述结构中，罩壳305呈半圆形设计使得圆杆204在带动支杆203转动时，支杆203始终可与罩壳305保持贴合状态，进而使得调节组件7和滑动组件6保持工作状态。
57.请参阅图1至图8，在本实施例中，优选的：平台202的顶部四角处开设有四个空腔205以分别安置四个滑动组件6。滑动组件6包括与空腔205滑动配合且与调节组件7固定连接的滑座601，滑座601靠近平台202的端部固定安装有用于实现待测件9限位的夹块602，夹块602远离滑座601的端部与平台202保持齐平状态；其另一个端部与空腔205之间固定安装有第二弹簧603，在第二弹簧603的作用下滑座601具有带动夹块602向远离平台202正中心的方向移动，而滑座601又可在调节组件7的作用下形成靠近。
58.进一步的，调节组件7包括固定安装在空腔205内的导柱701和滑动安装在支杆203内的凸块702，凸块702的表面与支杆203固定安装有第三弹簧704，在第三弹簧704的作用下凸块702具有向支杆203外移动的趋势。同时，凸块702的表面固定安装有绕过导柱701并与滑座601固定连接的拉绳703，当凸块702向支杆203外移动时可通过拉绳703拉动滑座601，使得滑座601向平台202的正中心方向移动。
59.在上述结构中，拉绳703与滑座601的连接处位于滑座601安装第二弹簧603的一侧，使得拉绳703在经过导柱701可呈v形状态，使得拉绳703被拉动时滑座601具有向空腔205外移动的趋势。同时，支杆203和圆杆204之间共同开设有用于安置凸块702和第三弹簧704的凹槽206。
60.其中，如图7所示，两个调节组件7的导柱701和拉绳703分别基于滑座601呈对称设
置，当任意一个拉绳703拉动滑座601时均可以带动滑座601移动并释放滑座601另一侧的拉绳703，此时滑座601另一侧的拉绳703不会对滑座601的移动产生干涉。
61.为了通过滑板302实现对横杆304和罩壳305的驱动，将弧形杆403和悬臂402均分割成三个且一一对应连接，使得相邻两个弧形杆403之间形成有间距，而气缸404设置在其中一个悬臂402上。以此使得电机401在带动悬臂402和弧形杆403转动时，若弧形杆403未与滑板302接触时滑板302可带动罩壳305与支杆203接触，使得所有的凸块702向各自的凹槽206内收缩，使得平台202整体如实施例一中所述的状态以便于待测件9的取放；若弧形杆403与其中三个滑板302接触时滑块可带动三个方向的罩壳305与支杆203分离，使得这三个方向的凸轮从各自的凹槽206内伸出，使得拉绳703经过导柱701拉动滑座601带动夹块602从空腔205内滑出。
62.使用时，通过滑板302和弧形杆403等结构可带动待测件9分别向前后左右四个方向偏转以便于测试，该部分工作过程和效果与实施例一中相同，在此不重复赘述。区别在于：先启动电机401通过悬臂402带动三个弧形杆403转动与所有的滑板302均处于分离状态，此时前后左右四个方向的罩壳305均可以与支杆203贴合使得凸块702收进凹槽206内，进而使得所有的夹块602收进空腔205内，以便于待测件9放到平台202上。
63.接着启动电机401带动三个弧形杆403与三个滑板302接触，可带动三个方向的罩壳305与支杆203贴合使得这三个方向凸块702收进凹槽206内，进而使得这三个方向的六根拉绳703分别拉动对应的滑座601移动，最边际的两根拉绳703可拉动凸块702未移动一侧的滑座601移动，使得三个方向的滑板302移动后所有的夹块602均可以从空腔205内滑出，对平台202上的待测件9形成有效限位，保证平台202在带动待测件9偏转时的位置稳定。
64.实施例一中，平台202需要与待测件9的尺寸刚好适配，才能使得平台202在带动待测件9偏转时不会发生偏移，且当平台202带动待测件9转动大角度时(即大于90度)，待测件9具有从平台202上掉落的风险，存在一定的使用局限性。
65.相比于实施例一，通过弧形杆403、凸块702、滑座601和拉绳703等结构的配合，既可带动所有的夹块602收进平台202内以便于待测件9的取放，也可以带动所有的夹块602从平台202内伸出对待测件9实现夹紧，进而可以实现偏转时对待测件9的有效限位，避免其在平台202上发生偏移和掉落，保证测试的顺利进行。整体方案与支杆203和圆杆204的设置结合在一起，可相对增大平台202的尺寸以便于适用不同尺寸的待测件9，进而使得本装置的适用范围也得到提高；且对于待检测的放置也更加方便不用刚好与平台202卡合，同时在限位时可自动将待测件9限位在平台202的正中心位置，即还具有自动对中的效果可便于后续连接测试，适用性更强。
66.实施例三：
67.请参阅图1至图9，在实施例二的基础上，为了进一步防止待测件9的掉落和偏移，与滑座601联动做出改进：在滑座601与空腔205之间共同设置有移动组件8，当滑座601从空腔205内滑出时移动组件8也可从空腔205内移动出并位于夹板的上方。即移动组件8的移动行程是大于滑座601移动型材的，使得移动组件8在移出时可位于夹板上，移动组件8在收回时可与滑座601对应(即与夹块602错开)，不会影响待测件9向平台202的放置。
68.请参阅图1至图10，在本实施例中，优选的：移动组件8包括两个齿条801和与两个齿条801均传动连接的齿轮802，其中一个齿条801位于上方且固定安装在空腔205的顶腔壁
上，另一个齿条801位于下方且滑动安装在滑座601的顶面，而齿轮802转动安装在滑动的顶面；使得滑座601在移动时可带动齿轮802同步移动，通过上方齿条801带动下方齿条801移动更远的距离。同时，在下方齿条801的端部固定安装有与夹块602位置对应的挡板803，下方齿条801可带动挡板803移动更远距离与夹块602的顶面活动贴合。
69.其中，可对夹块602沿上下方向的长度尺寸进行限定，使得挡板803移动至夹块602的上方进行贴合后，即使待检测进行大角度偏转，待测件9的顶面仍可与挡板803形成良好接触。
70.使用时，通过滑板302和弧形杆403等结构可带动待测件9分别向前后左右四个方向偏转以便于测试，通过凸块702和拉绳703等结构可带动所有的夹块602合拢对待测件9实现夹紧。该部分工作过程和效果与实施例二中相同，在此不重复赘述。区别在于：当罩壳305与支杆203贴合通过拉绳703使得滑座601带动夹块602从空腔205内滑出时，滑座601带动齿条801和下方齿条801同步滑出，在上方齿条801的传动作用下使得挡板803可移动更远并位于夹块602的正上方，此时平台202带动待测件9的大角度偏转后可被挡板803挡住，使得大角度偏转后可随意进行测试。
71.需要说明的是，挡板803也可与夹块602呈一体成型式设计，使得挡板803始终位于夹块602的正上方形成如房屋转角的形式，但是需要对夹块602的初始位置进行调整，即对于第二弹簧603、拉绳703和第三弹簧704进行调整，以使得一体成型后的夹块602和挡板803可全收进空腔205内，进而才能不影响待测件9基于平台202的取放。
72.实施例二中，当平台202带动待测件9进行大角度偏转进行测试时，待检测因重力还具有向下移动的趋势，其虽然可能不会从平台202上掉落，但是其可能基于平台202的顶面发生偏移，进而影响整体测试进行，存在一定的使用局限性。
73.相比于实施例二，通过滑座601、齿轮802、齿条801和挡板803等结构的配合，当滑座601带动夹块602从空腔205内移出对待测件9进行限位时，还可以带动挡板803移动至夹块602的上方，进而在平台202带动待测件9转动大角度后可完全避免掉落的风险，同时还可以避免待测件9沿着平台202发生上下偏移，保证测试工作的顺利进行。整体方案与滑座601的移动结合在一起，可使得待测件9的测试不受时间限制，即待测件9在长时间保持大角度偏转的状态时仍不会发生偏移，可保证测试的可靠性，满足了实际使用中的更多需求。
74.实施例四：
75.请参阅图1至图10，本发明实施例提供一种集成电路的可靠性测试方法，该实施例采用实施例一至三中的任意一个，因此也具备相应的有益效果。具体来说：首先待测件9先放到支撑组件2上，然后启动控制组件4与其中三个限位组件3接触，使得这三个限位组件3解除对支撑组件2和待测件9对应三个方向的限位(只留一个限位组件3对支撑组件2保持一个方向的限位)，接着可通过控制组件4带动支撑组件2和待测件9向被限位的方向偏转。
76.通过调整控制组件4位置，使其与不同的三个限位组件3接触，进而调整被限位的方向，进而使得支撑组件2和待测件9可向前后左右四个方向偏转。

技术特征：
1.一种集成电路的可靠性测试装置，包括工作台和设置在工作台上的测试机构，其特征在于，所述工作台上设置有用于支撑待测件的支撑组件和与支撑组件四个方向分别对应的四个限位组件，工作台的内部设置有用于带动支撑组件转动的控制组件；启动控制组件与其中三个限位组件接触，使得这三个限位组件解除对支撑组件三个对应方向的限位，再启动控制组件通过剩余一个限位组件可带动支撑组件向未被解除限位的方向偏转。2.根据权利要求1所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述支撑组件包括用于放置待测件的平台和固定安装在工作台上的四个底座，四个底座位于平台的四个方向且与四个限位组件位置对应；平台的四个侧面均固定安装有支杆，支杆的内部固定安装有与底座活动贴合的圆杆。3.根据权利要求2所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，每个侧面的所述支杆数量均为两个，底座位于两个支杆之间均与两个支杆均活动贴合，底座的顶面开设有以供圆杆安置的凹陷。4.根据权利要求2所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述限位组件包括固定安装在工作台上的壳体，壳体的内部滑动安装有与底座位置对应的滑板，滑板的底部延伸至工作台的内部并与控制组件位置对应，滑板的表面与壳体之间固定安装有第一弹簧。5.根据权利要求4所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述壳体和工作台之间共同开设有以供滑板滑动的滑槽，滑板基于滑槽可沿着工作台的径向方向往复滑动；当滑块滑动至与底座的顶面贴合后，可配合底座形成对圆杆的限位使得圆杆只能自转动。6.根据权利要求2-5任意一项所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述控制组件包括与工作台固定连接的电机，电机的输出轴固定安装有悬臂，悬臂远离电机的端部固定安装有可与其中三个滑板活动贴合的弧形杆，悬臂的表面设置有用于带动平台转动的气缸。7.根据权利要求6所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述弧形杆的端部设置有倒角，当弧形杆与限位组件接触时通过倒角可带动限位组件远离底座解除对圆杆的限位。8.根据权利要求6所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述气缸与悬臂固定连接，且气缸的输出端与平台的底面活动贴合，使得气缸带动平台的可转动角度小于90度。9.根据权利要求6所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述气缸与悬臂和平台的底面之间均呈转动连接，使得气缸带动平台的可转动角度大于90度且小于180度。10.一种集成电路的可靠性测试方法，采用如权利要求1-9任意一项所述的测试装置，其特征在于，包括以下步骤：s1、先将待测件放到支撑组件上，然后启动控制组件与其中三个限位组件接触，使得这三个限位组件解除对支撑组件三个对应方向的限位；s2、再启动控制组件通过剩余一个限位组件，可带动支撑组件向未被解除限位的方向偏转；s3、继续启动控制组件改变方向可调整支撑组件未被解除限位的方向，进而使得支撑组件可带动待测件向不同的方向偏转。

技术总结
本发明涉及电路测试领域，公开了一种集成电路的可靠性测试装置及测试方法，其中装置包括工作台和设置在工作台上的测试机构，所述工作台上设置有用于支撑待测件的支撑组件和与支撑组件四个方向分别对应的四个限位组件，工作台的内部设置有用于带动支撑组件转动的控制组件；启动控制组件与其中三个限位组件接触，使得这三个限位组件解除对支撑组件三个对应方向的限位，再启动控制组件通过剩余一个限位组件可带动支撑组件向未被解除限位的方向偏转。本发明通过支撑组件、限位组件和控制组件等之间的配合，可使得支撑组件带动待测件分别向前后左右四个方向偏转，以便于待测件上不同方向元件的快速测试。同方向元件的快速测试。同方向元件的快速测试。


技术研发人员：朱淑丹 陈德君 孙建齐 卢隽
受保护的技术使用者：深圳市堃联技术有限公司
技术研发日：2023.06.02
技术公布日：2023/8/6