一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置及方法与流程

1.本发明涉及金属层分层膜厚测量技术领域，具体为一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置及方法。


背景技术：

2.湿法刻蚀是一个纯粹的化学反应过程，是指利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而达到刻蚀目的。其特点是：湿法刻蚀在半导体工艺中有着广泛应用，膜厚测试仪，分为手持式和台式二种，手持式又有磁感应镀层测厚仪，电涡流镀层测厚仪，荧光x射线仪镀层测厚仪。手持式的磁感应原理时，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小，来测定覆层厚度，现有的金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置金属湿法刻蚀后需要人工拉出不方便分层膜厚测量。
3.现有的金属层分层膜厚测量装置存在的缺陷是：
4.1、专利文件cn104155855b公开了一种蚀刻速率测试控片的制作方法与重复利用方法，“该重复利用方法包括如下步骤：步骤10、提供一已使用过的蚀刻速率测试控片；步骤20、将光阻层(4)全部去除；步骤30、在非金属膜(3)上涂布另一光阻层(4’)，将曝光位置偏离所述已被蚀刻过的测试过孔(31)对该另一光阻层(4’)进行曝光；步骤40、测量未被所述另一光阻层(4’)覆盖的非金属膜(3)的厚度h1；步骤50、对未被另一光阻层(4’)覆盖的非金属膜(3)进行一定时间t的蚀刻，形成另一测试过孔(32)；步骤60、蚀刻完成后，测量位于另一测试过孔(32)下方的非金属膜(3)的厚度h2；并根据非金属膜(3)的厚度h1与h2、及蚀刻时间t计算蚀刻速率v”，但是现有的金属层分层膜厚测量装置金属湿法刻蚀后需要人工拉出不方便分层膜厚测量；
5.2、专利文件cn106206283a公开了一种沟槽刻蚀方法及第一金属层制造方法，“在所述沟槽刻蚀方法中，在对氧化物掩膜层进行刻蚀以实现沟槽图形转移时，能够根据测量出的氧化物掩膜层的沉积厚度，来适应性调整所述刻蚀停止在所述层间介质层中的深度，从而可以根据所述深度适应性调整后续层间介质层主刻蚀的深度，形成一种反馈机制，可以保证形成的沟槽的形貌和特征尺寸的稳定性，进而提高产品良率；而采用本发明的沟槽刻蚀方法制作的第一金属层，由于其形成的第一金属沟槽的形貌和特征尺寸的稳定性较佳，因此第一金属层在该第一金属沟槽中具有较好的填充效果，能够与其下方的金属插塞接触良好，避免了第一金属层的电阻值漂移、寄生电容增加、漏电等问题”，但是现有的金属层分层膜厚测量装置放置金属分层膜厚测量时不能固定容易偏移测量准确度不高；
6.3、专利文件cn114664649a公开了碳化硅高深宽比槽刻蚀工艺优化方法，“包括以下步骤：s1、采用镀膜设备镀膜，测量非金属掩膜层膜厚h1、折射率n1；s2、采用加密设备加密，测量其膜厚h2、折射率n2；s3、判断加密工艺有效性；s4、判断s1、s2步骤是否结束；s5、采用光刻工艺制作光刻胶掩膜；s6、采用刻蚀工艺刻蚀非金属掩膜、采用化学腐蚀工艺去除残留光刻胶；
7.s7、采用刻蚀工艺刻蚀碳化硅沟槽；s8、观察碳化硅沟槽刻蚀形貌，计算选择比
selectivity，判定刻蚀完整性。本发明用以解决非金属掩膜作碳化硅刻蚀掩膜刻蚀选择比小于3，碳化硅沟槽线宽损失大的问题”，但是现有的金属层分层膜厚测量装置不能对检测头表面的污渍自动清理会降低金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度；
8.4、专利文件cn105529278b公开了一种加工半导体结构的装置，“包括第一机械手、晶圆缓存台、第二机械手、膜厚测量装置、电化学抛光腔、清洗腔、预加热腔、第三机械手、干法气相刻蚀腔及后冷却腔。第一机械手在晶圆缓存台、预加热腔及后冷却腔之间传送晶圆；晶圆缓存台放置晶圆；第二机械手在晶圆缓存台、膜厚测量装置、电化学抛光腔及清洗腔之间传送晶圆；膜厚测量装置寻找晶圆上的缺口并测量晶圆上金属层的厚度；电化学抛光腔电化学抛光晶圆；清洗腔清洗和干燥晶圆；预加热腔加热晶圆；第三机械手在预加热腔、干法气相刻蚀腔及后冷却腔之间传送晶圆；干法气相刻蚀腔干法气相刻蚀晶圆；后冷却腔冷却晶圆。本发明的装置结构紧凑，占地面积小，工艺效率高，降低了加工半导体结构的成本”，但是现有的金属层分层膜厚测量装置的滤网需要拆除清理加大人工劳动。


技术实现要素：

9.本发明的目的在于提供一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置及方法，以解决上述背景技术中提出的缺少拉出功能、缺少固定功能、缺少清洁结构、缺少除尘结构的技术问题。
10.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，包括外壳、支撑板、第一支盒和移动组件，所述外壳的内壁安装有支撑板，所述支撑板的顶部安装有第一支盒，所述外壳的内壁安装有移动组件；
11.所述第一支盒的顶部设有第五开口，所述第一支盒的内壁安装有第一电机，所述第一电机的输出端安装有转杆，所述转杆的外壁安装有收卷轮，所述收卷轮的外壁安装有拉绳，所述第一支盒的内壁安装有滑杆，所述滑杆的外壁安装有第一滑筒，所述第一滑筒的外壁安装有放置板，且拉绳的一端与放置板的顶部连接，所述滑杆的外壁安装有第一支块；
12.所述第一支块的外壁安装有第一弹簧，且第一弹簧的一端与放置板的顶部连接。
13.优选的，所述放置板的顶部安装有第二支盒，支撑板的顶部安装有支撑盒，移动组件的外壁安装有检测头。
14.优选的，所述第二支盒的外壁设有第二开口，第二支盒的内壁安装有滑道，滑道的内壁安装有滑轮，第二支盒的外壁贯穿安装有压杆，压杆的外壁安装有第二弹簧，且第二弹簧的一端与第二支盒的内壁连接，压杆的外壁安装有压头，压杆的外壁安装有拉杆。
15.优选的，所述支撑盒的内壁安装有第二支块，支撑盒的顶部设有第三开口，第二支块的外壁安装有压力传感器，外壳的内壁安装有第二电机，且第二电机的输出端延伸至支撑盒的内部，第二电机的输出端安装有清洁刷，支撑盒的内壁安装有导流块，支撑盒的外壁贯穿安装有管道，管道的一端安装有堵头，移动组件的外壁安装有第三支块。
16.优选的，所述转杆的一端通过轴承与第一支盒的内壁连接，压杆通过第二开口进行移动，支撑盒位于第二支盒的一侧，管道的一端延伸至外壳的外壁。
17.优选的，所述支撑板的底部安装有伸缩杆，外壳的外壁安装有机门，外壳的外壁安装有控制组件。
18.优选的，所述伸缩杆的输出端安装有第四支盒，第四支盒的外壁贯穿安装有第一
套筒，第一套筒的内壁贯穿安装有第二支杆，第二支杆的一端安装有刮头，第二支杆的一端安装有第三弹簧，且第三弹簧的一端与第四支盒的内壁连接，外壳的外壁贯穿安装有滤网，外壳的内壁安装有第三支杆，第三支杆的外壁安装有风机。
19.优选的，所述外壳的底部安装有支撑块，外壳的内壁安装有处理组件。
20.优选的，该测量装置的工作步骤如下：
21.s1、第一电机转动带动转杆转动，转杆转动带动收卷轮转动，收卷轮转动带动拉绳移动，拉绳移动带动放置板移动，放置板移动带动第一滑筒移动，第一滑筒移动使放置板带动第一弹簧移动，第一弹簧移动使放置板将湿法刻蚀液内的金属快速拉出方便分层膜厚测量，实现了金属湿法刻蚀后快速拉出方便分层膜厚测量的功能；
22.s2、拉动拉杆带动压杆移动，压杆移动带动滑轮移动，滑轮移动使压杆带动第二弹簧移动，第二弹簧移动使拉杆带动压头使其拉起，将金属放置压头下方后，松开拉杆由第二弹簧带动压杆使压头将金属固定，实现了放置金属分层膜厚测量时防止偏移的功能；
23.s3、由移动组件带动检测头移动，检测头移动带动第三支块移动，第三支块移动触碰压力传感器使通过处理组件控制移动组件停止，此时第二电机转动带动清洁刷转动，清洁刷转动使检测头表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度，支撑盒内部设置有清洁液，将堵头移出管道，废弃的清洁液通过导流块的导向由管道排出，实现了检测头表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度的功能；
24.s4、第三支杆的作用是为风机提供支撑，第一套筒的作用是为第二支杆的移动提供支撑，伸缩杆移动带动第四支盒移动，第四支盒移动带动刮头移动，刮头移动带动第二支杆移动，第二支杆移动带动第三弹簧移动，第三弹簧移动使刮头在滤网表面刮动，使滤网表面的灰尘刮除，在刮头刮动的同时风机转动，产生风力使灰尘吹出外壳使其方便金属层分层膜厚测量装置滤网清理减少人工劳动的功能。
25.优选的，在所述步骤s1中还包括如下步骤：
26.s11、第一滑筒通过滑杆进行移动，第一弹簧由第一支块进行支撑；
27.在所述步骤s2中还包括如下步骤：
28.s21、滑轮通过滑道进行移动，压杆通过第二开口进行移动。
29.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
30.1.本发明通过安装有拉绳、第一弹簧和收卷轮，实现了金属湿法刻蚀后快速拉出方便分层膜厚测量的效果，第一电机转动带动转杆转动，转杆转动带动收卷轮转动，收卷轮转动带动拉绳移动，拉绳移动带动放置板移动，放置板移动带动第一滑筒移动，第一滑筒移动使放置板带动第一弹簧移动，第一弹簧移动使放置板将湿法刻蚀液内的金属快速拉出方便分层膜厚测量，实现了金属湿法刻蚀后快速拉出方便分层膜厚测量的功能；
31.2.本发明通过安装有第二弹簧、滑轮和压头，实现了放置金属分层膜厚测量时防止偏移的效果，拉动拉杆带动压杆移动，压杆移动带动滑轮移动，滑轮移动使压杆带动第二弹簧移动，第二弹簧移动使拉杆带动压头使其拉起，将金属放置压头下方后，松开拉杆由第二弹簧带动压杆使压头将金属固定，实现了放置金属分层膜厚测量时防止偏移的功能；
32.3.本发明通过安装有清洁刷、压力传感器和堵头，实现了检测头表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度的效果，由移动组件带动检测头移动，检测头移动带动第三支块移动，第三支块移动触碰压力传感器使通过处理组件控制移动组件停
止，此时第二电机转动带动清洁刷转动，清洁刷转动使检测头表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度，支撑盒内部设置有清洁液，将堵头移出管道，废弃的清洁液通过导流块的导向由管道排出，实现了检测头表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度的功能；
33.4.本发明通过安装有刮头、伸缩杆和第四支盒，实现了方便金属层分层膜厚测量装置滤网清理减少人工劳动的效果，第三支杆的作用是为风机提供支撑，第一套筒的作用是为第二支杆的移动提供支撑，伸缩杆移动带动第四支盒移动，第四支盒移动带动刮头移动，刮头移动带动第二支杆移动，第二支杆移动带动第三弹簧移动，第三弹簧移动使刮头在滤网表面刮动，使滤网表面的灰尘刮除，在刮头刮动的同时风机转动产生风力使灰尘吹出外壳，实现了方便金属层分层膜厚测量装置滤网清理减少人工劳动的功能。
附图说明
34.图1为本发明的正视结构示意图；
35.图2为本发明的正面结构示意图；
36.图3为本发明的第一弹簧示意图；
37.图4为本发明的压头结构示意图；
38.图5为本发明的清洁刷结构示意图；
39.图6为本发明的固定槽结构示意图；
40.图7为本发明的刮头结构示意图；
41.图8为本发明的流程示意图。
42.图中：1、外壳；2、机门；3、控制组件；4、支撑块；5、移动组件；6、检测头；7、支撑板；8、第一支盒；9、第五开口；10、第一电机；11、转杆；12、收卷轮；13、拉绳；14、滑杆；15、第一滑筒；16、放置板；17、第一弹簧；18、第一支块；19、第二支盒；20、第二开口；21、滑道；22、滑轮；23、压杆；24、第二弹簧；25、压头；26、拉杆；27、支撑盒；28、第三开口；29、第二支块；30、压力传感器；31、第二电机；32、清洁刷；33、导流块；34、管道；35、堵头；36、伸缩杆；37、第三支杆；38、风机；39、滤网；40、第四支盒；41、第一套筒；42、第二支杆；43、第三弹簧；44、刮头；45、第三支块；46、处理组件。
具体实施方式
43.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
44.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
45.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设
置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
46.请参阅图1-图8，本发明提供的一种实施例：一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，包括外壳1、支撑板7、第一支盒8和移动组件5，外壳1的作用是为金属湿法刻蚀金属层分层膜厚测量装置提供保护，支撑板7的作用是为第一支盒8提供支撑，第一支盒8的作用是为金属湿法刻蚀液提供存放场所，外壳1的内壁安装有支撑板7，支撑板7的顶部安装有第一支盒8，外壳1的内壁安装有移动组件5，放置板16的顶部安装有第二支盒19，第二支盒19的作用是为清洁液提供存放场所，支撑板7的顶部安装有支撑盒27，支撑盒27的作用是为第二支块29提供支撑，移动组件5的外壁安装有检测头6，检测头6为x射线检测器，转杆11的一端通过轴承与第一支盒8的内壁连接，压杆23通过第二开口20进行移动，支撑盒27位于第二支盒19的一侧，管道34的一端延伸至外壳1的外壁，支撑板7的底部安装有伸缩杆36，外壳1的外壁安装有机门2，机门2的作用是方便金属的拿取，外壳1的外壁安装有控制组件3，控制组件3的作用是控制金属层分层膜厚测量装置的启停，外壳1的底部安装有支撑块4，支撑块4的作用是为外壳1提供支撑，外壳1的内壁安装有处理组件46。
47.第一支盒8的顶部设有第五开口9，第一支盒8的内壁安装有第一电机10，第一电机10的输出端安装有转杆11，转杆11的外壁安装有收卷轮12，收卷轮12的外壁安装有拉绳13，第一支盒8的内壁安装有滑杆14，滑杆14的外壁安装有第一滑筒15，第一滑筒15的外壁安装有放置板16，且拉绳13的一端与放置板16的顶部连接，滑杆14的外壁安装有第一支块18，第一支块18的外壁安装有第一弹簧17，且第一弹簧17的一端与放置板16的顶部连接，第一电机10转动带动转杆11转动，转杆11转动带动收卷轮12转动，收卷轮12转动带动拉绳13移动，拉绳13移动带动放置板16移动，放置板16移动带动第一滑筒15移动，第一滑筒15移动使放置板16带动第一弹簧17移动，第一弹簧17移动使放置板16将湿法刻蚀液内的金属快速拉出方便分层膜厚测量，实现了金属湿法刻蚀后快速拉出方便分层膜厚测量的功能。
48.第二支盒19的外壁设有第二开口20，第二支盒19的内壁安装有滑道21，滑道21的内壁安装有滑轮22，第二支盒19的外壁贯穿安装有压杆23，压杆23的外壁安装有第二弹簧24，且第二弹簧24的一端与第二支盒19的内壁连接，压杆23的外壁安装有压头25，压杆23的外壁安装有拉杆26，拉动拉杆26带动压杆23移动，压杆23移动带动滑轮22移动，滑轮22移动使压杆23带动第二弹簧24移动，第二弹簧24移动使拉杆26带动压头25使其拉起，将金属放置压头25下方后，松开拉杆26由第二弹簧24带动压杆23使压头25将金属固定，实现了放置金属分层膜厚测量时防止偏移的功能。
49.支撑盒27的内壁安装有第二支块29，支撑盒27的顶部设有第三开口28，第二支块29的外壁安装有压力传感器30，外壳1的内壁安装有第二电机31，且第二电机31的输出端延伸至支撑盒27的内部，第二电机31的输出端安装有清洁刷32，支撑盒27的内壁安装有导流块33，支撑盒27的外壁贯穿安装有管道34，管道34的一端安装有堵头35，移动组件5的外壁安装有第三支块45，检测头6通过第三开口28进入支撑盒27内部，由移动组件5带动检测头6移动，检测头6移动带动第三支块45移动，第三支块45移动触碰压力传感器30使通过处理组件46控制移动组件5停止，此时第二电机31转动带动清洁刷32转动，清洁刷32转动使检测头
6表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度，支撑盒27内部设置有清洁液，将堵头35移出管道34，废弃的清洁液通过导流块33的导向由管道34排出，实现了检测头6表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度的功能。
50.伸缩杆36的输出端安装有第四支盒40，第四支盒40的外壁贯穿安装有第一套筒41，第一套筒41的内壁贯穿安装有第二支杆42，第二支杆42的一端安装有刮头44，第二支杆42的一端安装有第三弹簧43，且第三弹簧43的一端与第四支盒40的内壁连接，外壳1的外壁贯穿安装有滤网39，外壳1的内壁安装有第三支杆37，第三支杆37的外壁安装有风机38，第三支杆37的作用是为风机38提供支撑，第一套筒41的作用是为第二支杆42的移动提供支撑，伸缩杆36移动带动第四支盒40移动，第四支盒40移动带动刮头44移动，刮头44移动带动第二支杆42移动，第二支杆42移动带动第三弹簧43移动，第三弹簧43移动使刮头44在滤网39表面刮动，使滤网39表面的灰尘刮除，在刮头44刮动的同时风机38转动，产生风力使灰尘吹出外壳1使其方便金属层分层膜厚测量装置滤网39清理减少人工劳动的功能。
51.该测量装置的工作步骤如下：
52.s1、第一电机10转动带动转杆11转动，转杆11转动带动收卷轮12转动，收卷轮12转动带动拉绳13移动，拉绳13移动带动放置板16移动，放置板16移动带动第一滑筒15移动，第一滑筒15移动使放置板16带动第一弹簧17移动，第一弹簧17移动使放置板16将湿法刻蚀液内的金属快速拉出方便分层膜厚测量，实现了金属湿法刻蚀后快速拉出方便分层膜厚测量的功能；
53.s2、拉动拉杆26带动压杆23移动，压杆23移动带动滑轮22移动，滑轮22移动使压杆23带动第二弹簧24移动，第二弹簧24移动使拉杆26带动压头25使其拉起，将金属放置压头25下方后，松开拉杆26由第二弹簧24带动压杆23使压头25将金属固定，实现了放置金属分层膜厚测量时防止偏移的功能；
54.s3、由移动组件5带动检测头6移动，检测头6移动带动第三支块45移动，第三支块45移动触碰压力传感器30使通过处理组件46控制移动组件5停止，此时第二电机31转动带动清洁刷32转动，清洁刷32转动使检测头6表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度，支撑盒27内部设置有清洁液，将堵头35移出管道34，废弃的清洁液通过导流块33的导向由管道34排出，实现了检测头6表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度的功能；
55.s4、第三支杆37的作用是为风机38提供支撑，第一套筒41的作用是为第二支杆42的移动提供支撑，伸缩杆36移动带动第四支盒40移动，第四支盒40移动带动刮头44移动，刮头44移动带动第二支杆42移动，第二支杆42移动带动第三弹簧43移动，第三弹簧43移动使刮头44在滤网39表面刮动，使滤网39表面的灰尘刮除，在刮头44刮动的同时风机38转动，产生风力使灰尘吹出外壳1使其方便金属层分层膜厚测量装置滤网39清理减少人工劳动的功能。
56.在步骤s1中还包括如下步骤：
57.s11、第一滑筒15通过滑杆14进行移动，第一弹簧17由第一支块18进行支撑；
58.在步骤s2中还包括如下步骤：
59.s21、滑轮22通过滑道21进行移动，压杆23通过第二开口20进行移动。
60.工作原理，外壳1的作用是为金属湿法刻蚀金属层分层膜厚测量装置提供保护，支
撑板7的作用是为第一支盒8提供支撑，第一支盒8的作用是为金属湿法刻蚀液提供存放场所，第一电机10转动带动转杆11转动，转杆11转动带动收卷轮12转动，收卷轮12转动带动拉绳13移动，拉绳13移动带动放置板16移动，放置板16移动带动第一滑筒15移动，第一滑筒15移动使放置板16带动第一弹簧17移动，第一弹簧17移动使放置板16将湿法刻蚀液内的金属快速拉出方便分层膜厚测量，实现了金属湿法刻蚀后快速拉出方便分层膜厚测量的功能，拉动拉杆26带动压杆23移动，压杆23移动带动滑轮22移动，滑轮22移动使压杆23带动第二弹簧24移动，第二弹簧24移动使拉杆26带动压头25使其拉起，将金属放置压头25下方后，松开拉杆26由第二弹簧24带动压杆23使压头25将金属固定，实现了放置金属分层膜厚测量时防止偏移的功能，由移动组件5带动检测头6移动，检测头6移动带动第三支块45移动，第三支块45移动触碰压力传感器30使通过处理组件46控制移动组件5停止，此时第二电机31转动带动清洁刷32转动，清洁刷32转动使检测头6表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度，支撑盒27内部设置有清洁液，将堵头35移出管道34，废弃的清洁液通过导流块33的导向由管道34排出，实现了检测头6表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度的功能，第三支杆37的作用是为风机38提供支撑，第一套筒41的作用是为第二支杆42的移动提供支撑，伸缩杆36移动带动第四支盒40移动，第四支盒40移动带动刮头44移动，刮头44移动带动第二支杆42移动，第二支杆42移动带动第三弹簧43移动，第三弹簧43移动使刮头44在滤网39表面刮动，使滤网39表面的灰尘刮除，在刮头44刮动的同时风机38转动，产生风力使灰尘吹出外壳1使其方便金属层分层膜厚测量装置滤网39清理减少人工劳动的功能。
61.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

技术特征：
1.一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，包括外壳(1)、支撑板(7)、第一支盒(8)和移动组件(5)，其特征在于：所述外壳(1)的内壁安装有支撑板(7)，所述支撑板(7)的顶部安装有第一支盒(8)，所述外壳(1)的内壁安装有移动组件(5)；所述第一支盒(8)的顶部设有第五开口(9)，所述第一支盒(8)的内壁安装有第一电机(10)，所述第一电机(10)的输出端安装有转杆(11)，所述转杆(11)的外壁安装有收卷轮(12)，所述收卷轮(12)的外壁安装有拉绳(13)，所述第一支盒(8)的内壁安装有滑杆(14)，所述滑杆(14)的外壁安装有第一滑筒(15)，所述第一滑筒(15)的外壁安装有放置板(16)，且拉绳(13)的一端与放置板(16)的顶部连接，所述滑杆(14)的外壁安装有第一支块(18)；所述第一支块(18)的外壁安装有第一弹簧(17)，且第一弹簧(17)的一端与放置板(16)的顶部连接。2.根据权利要求1所述的一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，其特征在于：所述放置板(16)的顶部安装有第二支盒(19)，支撑板(7)的顶部安装有支撑盒(27)，移动组件(5)的外壁安装有检测头(6)。3.根据权利要求2所述的一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，其特征在于：所述第二支盒(19)的外壁设有第二开口(20)，第二支盒(19)的内壁安装有滑道(21)，滑道(21)的内壁安装有滑轮(22)，第二支盒(19)的外壁贯穿安装有压杆(23)，压杆(23)的外壁安装有第二弹簧(24)，且第二弹簧(24)的一端与第二支盒(19)的内壁连接，压杆(23)的外壁安装有压头(25)，压杆(23)的外壁安装有拉杆(26)。4.根据权利要求2所述的一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，其特征在于：所述支撑盒(27)的内壁安装有第二支块(29)，支撑盒(27)的顶部设有第三开口(28)，第二支块(29)的外壁安装有压力传感器(30)，外壳(1)的内壁安装有第二电机(31)，且第二电机(31)的输出端延伸至支撑盒(27)的内部，第二电机(31)的输出端安装有清洁刷(32)，支撑盒(27)的内壁安装有导流块(33)，支撑盒(27)的外壁贯穿安装有管道(34)，管道(34)的一端安装有堵头(35)，移动组件(5)的外壁安装有第三支块(45)。5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，其特征在于：所述转杆(11)的一端通过轴承与第一支盒(8)的内壁连接，压杆(23)通过第二开口(20)进行移动，支撑盒(27)位于第二支盒(19)的一侧，管道(34)的一端延伸至外壳(1)的外壁。6.根据权利要求1所述的一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，其特征在于：所述支撑板(7)的底部安装有伸缩杆(36)，外壳(1)的外壁安装有机门(2)，外壳(1)的外壁安装有控制组件(3)。7.根据权利要求6所述的一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，其特征在于：所述伸缩杆(36)的输出端安装有第四支盒(40)，第四支盒(40)的外壁贯穿安装有第一套筒(41)，第一套筒(41)的内壁贯穿安装有第二支杆(42)，第二支杆(42)的一端安装有刮头(44)，第二支杆(42)的一端安装有第三弹簧(43)，且第三弹簧(43)的一端与第四支盒(40)的内壁连接，外壳(1)的外壁贯穿安装有滤网(39)，外壳(1)的内壁安装有第三支杆(37)，第三支杆(37)的外壁安装有风机(38)。8.根据权利要求1所述的一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，其特征在于：所述外壳(1)的底部安装有支撑块(4)，外壳(1)的内壁安装有处理组件(46)。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置的使用方法，其特征在于，该测量装置的工作步骤如下：s1、第一电机(10)转动带动转杆(11)转动，转杆(11)转动带动收卷轮(12)转动，收卷轮(12)转动带动拉绳(13)移动，拉绳(13)移动带动放置板(16)移动，放置板(16)移动带动第一滑筒(15)移动，第一滑筒(15)移动使放置板(16)带动第一弹簧(17)移动，第一弹簧(17)移动使放置板(16)将湿法刻蚀液内的金属快速拉出方便分层膜厚测量，实现了金属湿法刻蚀后快速拉出方便分层膜厚测量的功能；s2、拉动拉杆(26)带动压杆(23)移动，压杆(23)移动带动滑轮(22)移动，滑轮(22)移动使压杆(23)带动第二弹簧(24)移动，第二弹簧(24)移动使拉杆(26)带动压头(25))使其拉起，将金属放置压头(25)下方后，松开拉杆(26)由第二弹簧(24)带动压杆(23)使压头(25))将金属固定，实现了放置金属分层膜厚测量时防止偏移的功能；s3、由移动组件(5)带动检测头(6)移动，检测头(6)移动带动第三支块(45)移动，第三支块(45)移动触碰压力传感器(30)使通过处理组件(46)控制移动组件(5)停止，此时第二电机(31)转动带动清洁刷(32)转动，清洁刷(32)转动使检测头(6)表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度，支撑盒(27)内部设置有清洁液，将堵头(35)移出管道(34)，废弃的清洁液通过导流块(33)的导向由管道(34)排出，实现了检测头(6)表面的污渍自动清理提高金属湿法刻蚀分层膜厚测量的精度的功能；s4、第三支杆(37)的作用是为风机(38)提供支撑，第一套筒(41)的作用是为第二支杆(42)的移动提供支撑，伸缩杆(36)移动带动第四支盒(40)移动，第四支盒(40)移动带动刮头(44)移动，刮头(44)移动带动第二支杆(42)移动，第二支杆(42)移动带动第三弹簧(43)移动，第三弹簧(43)移动使刮头(44)在滤网(39)表面刮动，使滤网(39)表面的灰尘刮除，在刮头(44)刮动的同时风机(38)转动，产生风力使灰尘吹出外壳(1)使其方便金属层分层膜厚测量装置滤网(39)清理减少人工劳动的功能。10.根据权利要求9所述的一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置的使用方法，其特征在于，在所述步骤s1中还包括如下步骤：s11、第一滑筒(15)通过滑杆(14)进行移动，第一弹簧(17)由第一支块(18)进行支撑；在所述步骤s2中还包括如下步骤：s21、滑轮(22)通过滑道(21)进行移动，压杆(23)通过第二开口(20)进行移动。

技术总结
本发明公开了一种金属湿法刻蚀进行金属层分层膜厚测量装置，包括外壳、支撑板、第一支盒和移动组件，所述外壳的内壁安装有支撑板，所述支撑板的顶部安装有第一支盒，所述外壳的内壁安装有移动组件，所述第一支盒的顶部设有第五开口。本发明通过安装有拉绳、第一弹簧和收卷轮，实现了金属湿法刻蚀后快速拉出方便分层膜厚测量的效果，第一电机转动带动转杆转动，转杆转动带动收卷轮转动，收卷轮转动带动拉绳移动，拉绳移动带动放置板移动，放置板移动带动第一滑筒移动，第一滑筒移动使放置板带动第一弹簧移动，第一弹簧移动使放置板将湿法刻蚀液内的金属快速拉出方便分层膜厚测量，实现了金属湿法刻蚀后快速拉出方便分层膜厚测量的功能。量的功能。量的功能。


技术研发人员：王黎明
受保护的技术使用者：江苏晟驰微电子有限公司
技术研发日：2023.05.10
技术公布日：2023/8/6