掩膜数据的处理方法及装置与流程

1.本技术涉及数据处理领域，尤其涉及一种掩膜数据的处理方法及装置。


背景技术：

2.随着半导体行业的发展，在芯片制造过程中，由于可能进行光学边缘修正、相移掩膜、等分辨率增强和图形压裂等处理，从而使得芯片制造过程中涉及的掩膜数据也日益复杂。
3.相关技术中，由于掩膜数据可能有多种格式，多种格式的掩膜数据之间可能无法进行转换，从而导致掩膜数据的处理极为不便。由此，如何提高对掩膜数据进行处理的便捷性，显得至关重要。


技术实现要素：

4.本技术提供一种掩膜数据的处理方法及装置，用以解决现有技术中通过人工方式进行掩膜数据的处理与评估时带来的效率较为低下、准确性不高的技术问题。
5.根据本技术的第一方面，提供一种掩膜数据的处理方法，该方法包括：响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件；将所述多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定所述掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，所述参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息；将所述掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。
6.在一些实施方式中，在所述将所述掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中之后，所述方法还包括：响应于接收到窗口显示指令，确定待显示的窗口位置；基于所述待显示的窗口位置及所述图像单元中的坐标点信息，确定与所述窗口位置具有重合关系的目标图像单元；将所述目标图像单元进行展示。
7.在一些实施方式中，所述响应于接收到窗口显示指令，确定待显示的窗口位置，包括：在检测到窗口关联的控件被触发的情况下，基于接收的窗口显示指令信息，确定所述待显示的窗口位置，其中，所述窗口显示指令信息包括中心点坐标及窗口尺寸数值。
8.在一些实施方式中，所述基于所述待显示的窗口位置及所述图像单元中的坐标点信息，确定与所述窗口位置具有重合关系的目标图像单元，包括：基于所述窗口位置，确定对应的扫描区域及所述扫描区域中每条所述扫描线对应的位置信息；基于所述扫描区域，在所述数据单元中确定目标图形区域；基于每条所述扫描线对应的位置信息，在所述目标图形区域中进行遍历，以确定与所述扫描线对应的位置信息有重合的目标图像单元。
9.在一些实施方式中，在所述基于所述待显示的窗口位置及所述图像单元中的坐标点信息，确定与所述窗口位置具有重合关系的目标图像单元之后，所述方法还包括：在接收到窗口变换指令的情况下，基于所述窗口变换指令对当前显示的窗口进行变换，其中，所述窗口变换指令中包括缩放信息、镜像信息、平移信息或旋转信息。
10.在一些实施方式中，所述将所述目标图像单元进行展示，包括：获取待显示窗口的
中心点坐标；将所述目标图像单元及所述中心点坐标进行展示。
11.在一些实施方式中，在将所述目标图像单元进行展示之后，所述处理方法还包括：响应于接收到测量指令，基于所述测量指令中包含的测量参数，确定测量线及所述测量线对应的第一边框，其中，所述测量参数包括测量点坐标及测量方向；基于所述数据单元中的图像单元，确定图像单元组对应的第二边框，其中，任一图像单元组中包含至少一个图像单元；在所述第一边框与任一第二边框相交的情况下，确定与所述任一第二边框对应的图像单元组中每个图像单元对应的第三边框；在所述第一边框与至少一个第三边框相交的情况下，确定所述测量线与所述至少一个第三边框对应的图像单元间的交点；将所述交点中与所述测量点距离最近、且位于所述测量点两侧的两个交点确定为目标点；将所述目标点构成的目标线段进行展示。
12.根据本技术的第二方面，提供一种掩膜数据的处理装置，其包括：获取模块，用于响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件；解析模块，用于将所述多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定所述掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，所述参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息；存储模块，用于将所述掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。
13.在一些实施方式中，所述装置还包括：第一确定模块，用于响应于接收到窗口显示指令，确定待显示的窗口位置；第二确定模块，用于基于所述待显示的窗口位置及所述图像单元中的坐标点信息，确定与所述窗口位置具有重合关系的目标图像单元；展示模块，用于将所述目标图像单元进行展示。
14.在一些实施方式中，所述第一确定模块，具体用于在检测到窗口关联的控件被触发的情况下，基于接收的窗口显示指令信息，确定所述待显示的窗口位置，其中，所述窗口显示指令信息包括中心点坐标及窗口尺寸数值。
15.在一些实施方式中，所述第二确定模块，具体用于：基于所述窗口位置，确定对应的扫描区域及所述扫描区域中每条所述扫描线对应的位置信息；基于所述扫描区域，在所述数据单元中确定目标图形区域；基于每条所述扫描线对应的位置信息，在所述目标图形区域中进行遍历，以确定与所述扫描线对应的位置信息有重合的目标图像单元。
16.在一些实施方式中，所述装置还包括：变换模块，用于在接收到窗口变换指令的情况下，基于所述窗口变换指令对当前显示的窗口进行变换，其中，所述窗口变换指令中包括缩放信息、镜像信息、平移信息或旋转信息。
17.在一些实施方式中，所述展示模块，具体用于：获取待显示窗口的中心点坐标；将所述目标图像单元及所述中心点坐标进行展示。
18.在一些实施方式中，所述第一确定模块，还用于响应于接收到测量指令，基于所述测量指令中包含的测量参数，确定测量线及所述测量线对应的第一边框，其中，所述测量参数包括测量点坐标及测量方向；所述第一确定模块，还用于基于所述数据单元中的图像单元，确定图像单元组对应的第二边框，其中，任一图像单元组中包含至少一个图像单元；所述第一确定模块，还用于在所述第一边框与任一第二边框相交的情况下，确定与所述任一第二边框对应的图像单元组中每个图像单元对应的第三边框；所述第一确定模块，还用于在所述第一边框与至少一个第三边框相交的情况下，确定所述测量线与所述至少一个第三边框对应的图像单元间的交点；所述第一确定模块，还用于将所述交点中与所述测量点距
离最近、且位于所述测量点两侧的两个交点确定为目标点；所述展示模块，还用于将所述目标点构成的目标线段进行展示。
19.根据本技术的第三方面，提供一种电子设备，电子设备包括：处理器以及存储有计算机程序指令的存储器；处理器执行计算机程序指令时实现上述的任一种掩膜数据的处理方法。
20.根据本技术的第四方面，提供一种计算机可读存储介质，其特征在于，计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的任一种掩膜数据的处理方法。
21.综上所述，本技术提供的掩膜数据的处理方法及装置至少具有以下有益效果：
22.本技术的掩膜数据的处理方法包括：可以响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件，之后可以将多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息，之后又可以将掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。由此，通过对多种格式的掩膜数据文件进行解析，可以获取到掩膜上的所有图像单元的参数信息，之后可以将其存储到对应的数据单元中，后续可以从该数据单元中获取数据进行处理，从而实现了对多种格式的掩膜数据文件的处理，也提高了对掩膜数据文件处理的效率和便捷性。
附图说明
23.为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1为本技术的实施例提供的一种掩膜数据的处理方法的流程图；
25.图2为本技术的实施例提供的一种掩膜数据的处理方法的流程图；
26.图3为本技术的实施例提供的一种窗口的界面示意图；
27.图4为本技术的实施例提供的一种掩膜数据的处理方法的流程图；
28.图5为本技术的实施例提供的一种待显示的窗口的界面示意图；
29.图6为本技术的实施例提供的一种当前显示的窗口的界面示意图；
30.图7为本技术的实施例提供的一种当前窗口的界面示意图；
31.图8为本技术的实施例提供的一种当前窗口的界面示意图；
32.图9为本技术的实施例提供的一种掩膜数据的处理方法的流程图；
33.图10为本技术的实施例提供的一种当前窗口的界面示意图；
34.图11为本技术的实施例提供的一种掩膜数据的处理过程的流程图；
35.图12为本技术的实施例提供的一种掩膜数据的处理装置的结构图；
36.图13为本技术的实施例提供的一种电子设备的结构图。
具体实施方式
37.为了使本技术的上述以及其他特征和优点更加清楚，下面结合附图进一步描述本
申请。应当理解，本文给出的具体实施例是出于向本领域的技术人员解释的目的，仅是示例性的，而非限制性的。
38.在以下描述中，阐述了许多具体细节以提供对本技术的透彻理解。然而，对于本领域的技术人员来说，明显的是，不需要采用具体细节来实践本技术。在其他情况下，未详细描述众所周知的步骤或操作，以避免模糊本技术。
39.本技术实施例提供的掩膜数据的处理方法，可由本技术实施例提供的掩膜数据的处理装置执行，该装置可配置于电子设备中。
40.参考图1，本技术提供了一种掩膜数据的处理方法，该方法包括：
41.步骤101，响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件。
42.通常，掩膜数据可能有多种格式，仅有特定的处理平台才能处理特定格式的掩膜数据，多种格式的掩膜数据之间也无法进行转换，从而导致掩膜数据的处理极为不便。从而本技术实施例中，可以在接收到掩膜数据处理请求时，通过对该处理请求进行解析，以获取到待处理的多种格式的掩膜数据文件，进而可以对这多种格式的掩膜数据文件进行处理操作等。
43.可以理解的是，掩膜数据处理请求中可以包含多个掩膜数据文件，这多个掩膜数据文件可能均为不同格式的数据文件，或者也可能其中部分格式相同、部分格式不同等等，或者，也可能存在经图形压裂处理后数据文件等等，本技术对此不做限定。
44.另外，掩膜数据文件的格式可能有多种，比如可以为oasis、gdsii、制造电子束雕刻系统mebes等等，或者也可以为其他任何可存储的文件格式等等，本技术对此不做限定。
45.步骤102，将多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息。
46.其中，获取到的待处理的多种格式的掩膜数据文件，可能为同一掩膜层对应的数据文件，比如可以为同一掩膜层中不同位置的数据文件等；或者也可能为不同掩膜层对应的数据文件等，本技术对此不做限定。
47.另外，参数信息可以为图像单元中各个坐标点信息、以及图像单元的分辨率、所属的层级信息。比如，通过对掩膜数据文件1进行解析，确定出其对应于掩膜层1；通过对掩膜数据文件2进行解析，确定出其对应于掩膜层2；通过对掩膜数据文件3进行解析，确定出其对应于掩膜层3等等，本技术对此不做限定。
48.另外，图像单元中的坐标点信息，可以包括各个点的坐标，也可以包括各个点之间的关系，比如可以包含某一节点对应的父节点、根节点、叶子节点等等，或者也可以为与某一节点有连接关系的下一节点等等，本技术对此不做限定。
49.另外，分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式，通常光刻的分辨率可能受光源衍射的限制，所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等有一定的关系，从而本技术中的参数信息中也可以包含图像单元的分辨率。
50.步骤103，将掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。
51.可以理解的是，由于待处理的多种格式的掩膜数据文件属于同一芯片，其可能对应同一掩膜层，或者也可能对应不同掩膜层，那么可以通过对多个掩膜数据文件分别进行解析，之后可以将解析得到的掩膜上的所有图像单元存储到内存中对应的数据单元中。
52.可选的，由于多个掩膜数据文件的格式可能不完全相同，那么通过对其进行解析，获取到各个掩膜数据对应的图像单元的参数信息后，可以按照各个图像单元所属的层级信息，将图像单元进行汇总，之后可以基于各个图像单元中的坐标点信息，将汇总的图像单元按照坐标顺序存储至内存中对应的一个数据单元中等等，本技术对此不做限定。
53.可以理解的是，由于掩膜数据文件的格式可能不相同，通过对其解析得到的参数信息在格式上可能也不完全一致，为了实现对多种格式的掩膜数据文件的处理，若某一参数对应不同的格式，那么可以将其进行格式上的统一，比如可以转化为某一掩膜数据文件中的参数格式，或者也可以使用指定的参数格式等等，本技术对此不做限定。
54.举例来说，通过对掩膜数据文件1进行解析，确定出其对应的层级划分参数为layer/datatype，通过对掩膜数据文件2进行解析，确定出其对应的层级划分参数为level，通过对掩膜数据文件3进行解析，确定出其对应的层级划分参数为layer/datatype，那么可以将掩膜数据文件2中“level”部分转化为“layer/datatype”；或者也可以将上述掩膜数据文件1、2及3中层级表示均用新的参数进行替换等等，本技术对此不做限定。
55.可选的，在将掩膜上的所有图像单元存储在数据单元中时，可以按照每个图像单元的坐标点信息依次存储。比如可以提前在数据单元中划分多个子单元，并设定各个子单元与坐标区域间的对应关系，之后可以将图像单元按照坐标点信息及该对应关系，依次存储至不同的子单元中在数据单元中存储的图像单元。
56.从而本技术实施例中，在解析得到掩膜上的所有图像单元的参数信息后，可以通过对所有图像单元的参数信息进行处理，并将其存储到内存中对应的数据单元中，那么后续在需要对图像单元进行处理时，可以直接从数据单元中获取相应的数据，从而实现了对多种格式的掩膜数据文件的处理，提高了对掩膜数据文件处理的效率和便捷性。
57.本技术实施例，可以响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件，之后可以将多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息，之后又可以将掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。由此，通过对多种格式的掩膜数据文件进行解析，可以获取到掩膜上的所有图像单元的参数信息，之后可以将其存储到对应的数据单元中，后续可以从该数据单元中获取数据进行处理，从而实现了对多种格式的掩膜数据文件的处理，也提高了对掩膜数据文件处理的效率和便捷性。
58.如图2所示，该掩膜数据的处理方法，可以包括以下步骤：
59.步骤201，响应于接收到窗口显示指令，确定待显示的窗口位置。
60.其中，窗口显示指令可以为任意形式的指令，比如可以为控件形式、语音形式等等，本技术对此不做限定。
61.可以理解的是，窗口显示指令中可以包含顶点坐标信息，从而通过对该窗口显示指令进行解析，可以基于获取的顶点坐标，确定出当前待显示的窗口位置等等，本技术对此不做限定。
62.可选的，可以在检测到窗口关联的控件被触发的情况下，基于接收的窗口显示指令信息，确定待显示的窗口位置，其中，窗口显示指令信息包括中心点坐标及窗口尺寸数值。
63.其中，中心点坐标可以为待显示的窗口对应的中心点坐标，窗口尺寸数值可以用
于表征待显示的窗口的尺寸大小等等，本技术对此不做限定。
64.可选的，窗口显示指令中还可以包括待显示窗口的形状属性，比如可以为矩形、圆形等等。比如，通过对窗口显示指令进行解析，确定出：中心点坐标为(100，100)，窗口尺寸为1200、形状属性为圆形，那么待显示的窗口可以为：以(100，100)为圆心、以1200的尺寸的圆形窗口。或者，若通过对窗口显示指令进行解析，确定出：中心点坐标为(100，100)，窗口尺寸为1100、形状属性为矩形，那么待显示的窗口可以为：以(100，100)为中心点、以1100为高的矩形窗口等等，本技术对此不做限定。可选的，待显示的窗口的宽度信息可以为提前设定的，或者也可以根据需要进行调整，比如可以为提前配置的1000；或者也可以屏幕可显示的全部范围等等，本技术对此不做限定。
65.可以理解的是，本技术实施例中，在将掩膜上的所有图像单元的参数信息存储在内存中对应的数据单元后，若接收到后续对图像单元进行处理的操作请求，可以直接对该数据单元中存储的图像单元进行处理，从而实现了对多种格式的掩膜数据的处理，提高了掩膜数据处理的效率。
66.步骤202，基于待显示的窗口位置及图像单元中的坐标点信息，确定与窗口位置具有重合关系的目标图像单元。
67.其中，由于数据单元中存储的为掩膜上的所有图像单元，其数量较多，从而在接收到窗口显示指令后，可以基于该窗口显示指令，仅显示与窗口位置有重合关系的目标图像单元，从而可以减少待渲染处理的数据量，提高了数据处理效率，节省了时间。
68.另外，图像单元与窗口位置有重合关系，可以理解为在图像单元中至少有一个坐标点落于窗口位置内，即认为该图像单元与窗口位置重合。
69.比如，对于某一图像单元来说，若其全部坐标点位于窗口位置内部，那么可以认为其与窗口位置具有重合关系。或者，或者，若某一图像单元中部分坐标点位于窗口位置内部，那么可以认为其与窗口位置具有重合关系等等，本技术对此不做限定。
70.举例来说，在待显示的窗口的宽度为屏幕的宽度的情况下，若待显示的窗口以(100，100)中心点、且窗口高度为1000，那么此时可以基于该待显示窗口对应的位置信息，遍历查找数据单元中存储的图像单元中的各个坐标点，将坐标点落于该待显示的窗口内的图像单元确定为目标图像单元等等，本技术对此不做限定。
71.步骤203，将目标图像单元进行展示。
72.可以理解的是，在基于待显示的窗口位置，遍历数据单元中存储的图像单元的坐标点，确定出目标图像单元后，可以将该窗口内展示该确定出的目标图像单元。由于展示的目标图像单元仅为与窗口位置存在重合的部分图像单元，从而在渲染展示时，涉及的数据较少，待处理的数据量也较少，从而极大地提高了数据处理效率，节省了时间。
73.可选的，可以先获取待显示窗口的中心点坐标，之后可以将目标图像单元及中心点坐标进行展示。
74.其中，可以通过对接收的窗口显示指令进行解析，以确定出待显示窗口的中心点坐标，之后在将目标图像单元展示时，可以将该中心点坐标添加至相应位置，并进行展示。比如，接收的窗口显示指令可以如图3中的(a)部分所示，可知中心点坐标为(1000，1000)，在将目标图像单元进行展示时，显示窗口的界面可以如图3中的(b)部分所示所示。
75.需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本技术实施例中待显示窗
口的中心点坐标、目标图像单元等的限定。
76.本技术实施例，可以在接收到窗口显示指令的情况下，确定待显示的窗口位置，之后可以基于待显示的窗口位置及图像单元中的坐标点信息，确定与窗口位置具有重合关系的目标图像单元，之后可以将目标图像单元进行展示。由此，可以在确定出待显示的窗口位置后，通过对数据单元中存储的图像单元进行遍历，确定出目标图像单元，并将其进行展示，也即仅渲染处理与窗口位置具有重合关系的目标图像单元，所涉及的数据较少，待处理的数据量也较少，从而极大地提高了数据处理效率，节省了时间。
77.如图4所示，该掩膜数据的处理方法，可以包括以下步骤：
78.步骤401，响应于接收到窗口显示指令，确定待显示的窗口位置。
79.步骤402，基于待显示的窗口位置，确定对应的扫描区域及扫描区域中每条扫描线对应的位置信息。
80.其中，可以将待显示的窗口位置确定为对应的扫描区域，之后可以将扫描区域划分为多条自上而下、长度为窗口框的扫描线。
81.其中，扫描线的数量可以为提前设定的，比如可以为10条、15条等等，或者也可以根据扫描区域的尺寸进行调整，比如扫描区域的尺寸较大时，扫描线的数量较多，待显示窗口的尺寸较小时，扫描线的数量较少等等，本技术对此不做限定。
82.步骤403，基于扫描区域，在数据单元中确定目标图形区域。
83.可选的，由于在将掩膜上的所有图像单元存储在数据单元中时，可以按照每个图像单元的坐标点信息依次存储。比如可以提前在数据单元中划分多个子单元，并设定各个子单元与坐标区域间的对应关系，之后可以将图像单元按照坐标点信息，依次存储至不同的子单元中在数据单元中存储的图像单元。从而本技术实施例中，在确定出扫描区域后，可以基于该扫描区域及对应关系，在数据单元中进行查找，以确定出对应的目标图形区域。
84.步骤404，基于每条扫描线对应的位置信息，在目标图形区域中进行遍历，以确定与扫描线对应的位置信息有重合的目标图像单元。
85.可以理解的是，在数据单元中确定出目标图形区域后，可以基于每条扫描线对应的位置信息，仅在目标图形区域中进行遍历，而无需遍历数据单元中的所有图形区域，即可确定出目标图像单元，从而极大地减少了待处理地数据量，提高了数据处理效率，节省了时间。
86.步骤405，将目标图像单元进行展示。
87.可选的，在将目标图像单元进行展示，也可以展示对应的扫描线、目标图像单元中各个顶点的坐标等等，本技术对此不做限定。
88.举例来说，待显示的窗口界面可以如图5所示，由图5可知，其中共有9条扫描线，共有6个顶点，该图示中同样可以展示有各个顶点的坐标等等，本技术对此不做限定。
89.需要说明的是，图5中的窗口画面仅为示意性说明，不能作为对本技术中扫描线数量及坐标、图像单元的尺寸、位置等的限定。
90.可选的，在接收到窗口变换指令的情况下，可以基于窗口更改指令信息对当前显示的窗口进行变换，其中，窗口变换指令信息中包括缩放信息、镜像信息、平移信息或旋转信息。
91.举例来说，若当前显示的窗口如图6中的(a)所示，若通过对接收的窗口变换指令
进行解析，确定出当前的变换指令为“缩小为原来的0.5倍”，那么对显示的窗口进行变换后可以如图6中的(b)所示。或者，若通过对接收的窗口变换指令进行解析，确定出当前的变换指令为“向x轴正方向平移2个单位”，那么对显示的窗口进行变换后可以如图6中的(c)所示。或者，若通过对接收的窗口变换指令进行解析，确定出当前的变换指令为“顺时针旋转90
°”
，那么对显示的窗口进行变换后可以如图6中的(d)所示。
92.需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本技术实施例中窗口变换指令、显示窗口的具体样式、显示内容等的限定。
93.可选的，也可以根据接收的图像单元变换指令，对显示窗口内的图像单元进行操作。
94.其中，该图像单元变换指令可以为用户触发的操作指令，通过对接收的图像单元变换指令可以确定出其中包含的变换参数，之后可以按照该变换参数对显示窗口内的图像单元进行操作。
95.可以理解的是，对图像单元进行的变换操作可以有多种，比如可以为镜像、旋转、缩放、平移中的一项，或者也可以为多项等等，本技术对此不做限定。
96.举例来说，在接收图像单元变换指令时，其显示界面如图7所示的情况下，可以通过对其进行解析，确定出当前的变换参数为r90，也即“逆时针旋转90
°”
。若当前窗口显示的图像单元如图8中的(a)所示，那么“逆时针旋转90
°”
后，窗口显示的图像单元可以如图8中的(b)所示。
97.可以理解的是，为方便起见，也可以使用“r0”表示保持原样，使用“r90”表示逆时针旋转90
°
，使用“r180”表示逆时针旋转180
°
，使用“r270”表示逆时针旋转270
°
。可以使用“m0”表示基于x轴翻转，使用“m45”表示逆时针旋转90
°
后基于y轴翻转，使用“m90”表示逆时针旋转180
°
后基于x轴翻转，使用“m90”表示逆时针旋转90
°
后基于y轴翻转等等，本技术对此不做限定。
98.本技术实施例，可以响应于接收到窗口显示指令，确定待显示的窗口位置，之后可以基于待显示的窗口位置，确定对应的扫描区域及扫描区域中每条扫描线对应的位置信息，之后可以基于扫描区域，在数据单元中确定目标图形区域，之后再基于每条扫描线对应的位置信息，在目标图形区域中进行遍历，以确定与扫描线对应的位置信息有重合的目标图像单元，并将目标图像单元进行展示。由此，可以在确定出待显示的窗口位置后，先确定出对应的扫描区域及扫描线的对应位置，之后可以基于扫描区域确定出目标图形区域，通过对目标图形区域中的图像单元进行遍历，即可确定出目标图像单元，并将其进行展示，也即仅渲染处理目标图形区域内与扫描线有重合的目标图像单元，所涉及的数据较少，待处理的数据量也较少，从而极大地提高了数据处理效率，节省了时间。
99.如图9所示，该掩膜数据的处理方法，可以包括以下步骤：
100.步骤901，响应于接收到测量指令，基于测量指令中包含的测量参数，确定测量线及测量线对应的第一边框。
101.其中，测量参数可以包括测量点坐标及测量方向；该测量参数可以为用户输入的数据，通过对接收的测量指令进行解析，可以获取到该测量指令中包含的测量点坐标及测量方向。之后以测量点为起点，向测量方向发射射线即可构成测量线，之后以测量线为对角线构造矩阵，即可得到对应的第一边框。其中，测量线的长度可以提前设定的，或者也可以
为用户输入的等等，本技术对此不做限定。
102.另外，测量点可能为一个，或者也可能为多个，若存在多个测量点，每个测量点对应的测量方向可以相同，或者也可能不同等等，本技术对此不做限定。
103.步骤902，基于数据单元中的图像单元，确定图像单元组对应的第二边框，其中，任一图像单元组中包含至少一个图像单元。
104.其中，图像单元组中可以包含一个图像单元，或者也可以包含多个图像单元，可以通过对数据单元中的图像单元进行解析，确定出其所属的图像单元组。或者也可以通过对数据单元中特定位置的参数进行解析，即可确定出各个图像单元组等等，本技术对此不做限定。
105.另外，图像单元组对应的第二边框，可以理解为可以使该图像单元组内的全部图像单元均落入其中的规则图形边框，比如可以为矩形边框等等，本技术对此不做限定。
106.步骤903，在第一边框与任一第二边框相交的情况下，确定与任一第二边框对应的图像单元组中每个图像单元对应的第三边框。
107.举例来说，共有三个图像单元组，测量线对应的第一边框与图像单元组2相交，那么此时可以进一步确定出该图像单元组2中每个图像单元对应的第三边框。其中，第三边框可以理解为可以包括该图像单元的矩形边框，也即该图像单元可以落于该矩形边框内等等，本技术对此不做限定。
108.步骤904，在第一边框与至少一个第三边框相交的情况下，确定测量线与至少一个图像单元间的交点。
109.步骤905，将交点中与测量点距离最近、且位于测量点两侧的两个交点确定为目标点。
110.其中，第一边框可能与一个第三边框相交，或者也可能与多个第三边框相交，那么可以先确定出与第一边框相交的各个第三边框对应的相交图像单元，之后确定出测量线与各个相交图像单元间的交点。由于获取到的交点可能有多个，那么可以进一步确定出各个交点与测量点间的位置关系，比如可以通过比较各交点的坐标与测量点的坐标间的差值，确定出各交点与测量点间的距离。之后可以将交点中与测量点距离最近、且位于测量点两侧的两个交点确定为目标点。
111.从而本技术实施例中，在进行测量时，可以先利用测量线对应的第一边框与各个图像单元组对应的第二边框间的位置关系，确定出相交的第二边框，从而缩小范围。之后可以从该第二边框中确定出相交的第三边框，进而确定出测量线与各个图像单元间的交点，再基于交点与测量点间的位置关系，可以较为快速的确定出目标点，也即通过边框相交原则，从相交的边框中即可较快确定出目标点，避免了测量线在大规模掩膜版图中反复递归的过程，从而极大地提升了数据处理的速度，节省了时间。
112.步骤906，将目标点构成的目标线段进行展示。
113.可以理解的是，在确定目标点之后，可以连接两个目标点以构成目标线段，也即实现了两个目标点、两个图像单元间距离的测量，之后可以将该目标线段进行展示，也即将测量结果展示在界面，从而可使得测量结果的展示更为简洁、清晰，进而用户可以较为清晰、明了地获知到测量结果。
114.举例来说，在测量方向为x轴的情况下，确定出目标线段后的展示界面可以如图10
中的(a)部分所示，其中的虚线部分即为目标线段。在测量方向为135
°
的情况下，在确定出目标线段后的展示界面可以如图10中的(b)部分所示，其中的虚线部分即为目标线段。
115.可选的，若测量方向为坐标轴，那么其对应的第一边框也可以为其自身等等，本技术对此不做限定。
116.需要说明的是，图10中的测量点、测量方向、图像单元的数量、尺寸、位置等仅为示意性说明，不能作为对本技术实施例中确定目标线段并进行展示等的限定。
117.从而本技术实施例中，在进行测量时，通过边框相交原则可以较快确定出目标点，并基于目标点构成目标线段实现测量，避免了测量线在大规模掩膜版图中反复递归的过程，从而极大地提升了数据处理的速度，节省了时间，提高了掩膜数据测量的效率。
118.可以理解的是，本技术提供的掩膜数据的处理方法可以适用于任意格式的掩膜数据文件中，下面结合图11对本技术提供的掩膜数据的处理过程进行详细说明。
119.由图11可知，在接收到测量指令后，可以先基于测量指令中包含的测量参数，创建测量线及测量线对应的第一边框。之后可以确定当前掩膜层中图像单元组的第二边框，并将第一边框与第二边框进行匹配，以确定二者间是否相交。若第一边框与当前掩膜层的第二边框均不相交，那么可以继续确定第一边框与下一个掩膜层中的第二边框是否相交。
120.若第一边框与当前第二边框相交，那么可以进一步确定与第二边框对应的图像单元组中是否具有更小的图像单元组。若存在更小的图像单元组，可以切换至更小的图像单元组。
121.若与第二边框对应的图像单元组中没有更小的图像单元组，那么可以遍历该第二边框中每个图像单元，并确定出每个图像单元的第三边框。之后可以将第一边框与各个第三边框进行匹配，以确定各个第三边框是否与第一边框相交。若其中存在与第一边框相交的第三边框，那么可以进一步获取到测量线与各个图像单元间的交点，并将交点存入容器r内。若容器中存在两个及以上个交点、且分布在测量点两侧，那么可以将交点中与测量点距离最近、且位于测量点两侧的两个交点确定为目标点，之后可以将目标点输出到自动量测对话框。若容器中没有存在两个及以上个交点、且分布在测量点两侧，那么结束当前测量。
122.需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本技术实施例中对掩膜数据进行处理的过程及方式等的限定。
123.本技术实施例中，可以响应于接收到测量指令，基于测量指令中包含的测量参数，确定测量线及测量线对应的第一边框，之后可以基于数据单元中的图像单元，确定图像单元组对应的第二边框，其中，任一图像单元组中包含至少一个图像单元，在第一边框与任一第二边框相交的情况下，确定与任一第二边框对应的图像单元组中每个图像单元对应的第三边框，在第一边框与至少一个第三边框相交的情况下，确定测量线与至少一个相交的第三边框对应的图像单元间的交点，之后可以将交点中与测量点距离最近、且位于测量点两侧的两个交点确定为目标点，并将目标点构成的目标线段进行展示。由此，在进行测量时，可以先利用测量线对应的第一边框与各个图像单元组对应的第二边框间的位置关系，确定出相交的第二边框，之后再从该相交的第二边框中确定出相交的第三边框，进而确定出交点，再基于交点与测量点间的位置关系，可确定出目标点，也即通过边框相交原则，可以较为快速地确定出目标点，避免了测量线在大规模掩膜版图中反复递归的过程，从而极大地提升了数据处理的速度，节省了时间，提高了掩膜数据测量的效率。
124.根据本技术提供一种掩膜数据的处理装置，如图12所示，该装置包括获取模块1210、解析模块1220和存储模块1230。
125.其中，获取模块1210用于响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件；解析模块1220用于将所述多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定所述掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，所述参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息；存储模块1230用于将所述掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。
126.在一些实施方式中，所述装置还包括：第一确定模块用于响应于接收到窗口显示指令，确定待显示的窗口位置；第二确定模块用于基于所述待显示的窗口位置及所述图像单元中的坐标点信息，确定与所述窗口位置具有重合关系的目标图像单元；展示模块用于将所述目标图像单元进行展示。
127.在一些实施方式中，所述第一确定模块具体用于在检测到窗口关联的控件被触发的情况下，基于接收的窗口显示指令信息，确定所述待显示的窗口位置，其中，所述窗口显示指令信息包括中心点坐标及窗口尺寸数值。
128.在一些实施方式中，所述第二确定模块具体用于：基于所述窗口位置，确定对应的扫描区域及所述扫描区域中每条所述扫描线对应的位置信息；基于所述扫描区域，在所述数据单元中确定目标图形区域；基于每条所述扫描线对应的位置信息，在所述目标图形区域中进行遍历，以确定与所述扫描线对应的位置信息有重合的目标图像单元。
129.在一些实施方式中，所述装置还包括：变换模块用于在接收到窗口变换指令的情况下，基于所述窗口变换指令对当前显示的窗口进行变换，其中，所述窗口变换指令中包括缩放信息、镜像信息、平移信息或旋转信息。
130.在一些实施方式中，所述展示模块具体用于：获取待显示窗口的中心点坐标；将所述目标图像单元及所述中心点坐标进行展示。
131.在一些实施方式中，所述第一确定模块还用于响应于接收到测量指令，基于所述测量指令中包含的测量参数，确定测量线及所述测量线对应的第一边框，其中，所述测量参数包括测量点坐标及测量方向；所述第一确定模块还用于基于所述数据单元中的图像单元，确定图像单元组对应的第二边框，其中，任一图像单元组中包含至少一个图像单元；所述第一确定模块还用于在所述第一边框与任一第二边框相交的情况下，确定与所述任一第二边框对应的图像单元组中每个图像单元对应的第三边框；所述第一确定模块还用于在所述第一边框与至少一个第三边框相交的情况下，确定所述测量线与所述至少一个第三边框对应的图像单元间的交点；所述第一确定模块还用于将所述交点中与所述测量点距离最近、且位于所述测量点两侧的两个交点确定为目标点；所述展示模块还用于将所述目标点构成的目标线段进行展示。
132.本技术提供的掩膜数据的处理装置，可以响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件，之后可以将多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息，之后又可以将掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。由此，通过对多种格式的掩膜数据文件进行解析，可以获取到掩膜上的所有图像单元的参数信息，之后可以将其存储到对应的数据单元中，后续可以从该数据单元中获取数据进行
处理，从而实现了对多种格式的掩膜数据文件的处理，也提高了对掩膜数据文件处理的效率和便捷性。
133.应理解，本文中前述关于本技术的方法所描述的具体特征、操作和细节也可类似地应用于本技术的装置和系统，或者，反之亦然。另外，上文描述的本技术的方法的每个步骤可由本技术的装置或系统的相应部件或单元执行。
134.应理解，本技术的装置的各个模块/单元可全部或部分地通过软件、硬件、固件或其组合来实现。各模块/单元各自可以硬件或固件形式内嵌于电子设备的处理器中或独立于处理器，也可以软件形式存储于电子设备的存储器中以供处理器调用来执行各模块/单元的操作。各模块/单元各自可以实现为独立的部件或模块，或者两个或更多个模块/单元可实现为单个部件或模块。
135.如图13所示，本技术提供了一种电子设备1300，电子设备包括处理器1301以及存储有计算机程序指令的存储器1302。其中，处理器1301执行计算机程序指令时实现上述的掩膜数据的处理方法的各步骤。该电子设备1300可以广义地为服务器、终端，或任何其他具有必要的计算和/或处理能力的电子设备。
136.在一个实施例中，该电子设备1300可包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口、通信接口等。该电子设备1300的处理器可用于提供必要的计算、处理和/或控制能力。该电子设备1300的存储器可包括非易失性存储介质和内存储器。该非易失性存储介质可存储有操作系统、计算机程序等。该内存储器可为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该电子设备1300的网络接口和通信接口可用于与外部的设备通过网络连接和通信。该计算机程序被处理器执行时执行本技术的方法的步骤。
137.本技术提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的掩膜数据的处理方法。
138.本领域的技术人员可以理解，本技术的方法步骤可以通过计算机程序来指示相关的硬件如电子设备1300或处理器完成，计算机程序可存储于非暂时性计算机可读存储介质中，该计算机程序被执行时导致本技术的步骤被执行。根据情况，本文中对存储器、存储或其它介质的任何引用可包括非易失性或易失性存储器。非易失性存储器的示例包括只读存储器(rom)、可编程rom(prom)、电可编程rom(eprom)、电可擦除可编程rom(eeprom)、闪存、磁带、软盘、磁光数据存储装置、光学数据存储装置、硬盘、固态盘等。易失性存储器的示例包括随机存取存储器(ram)、外部高速缓冲存储器等。
139.以上描述的各技术特征可以任意地组合。尽管未对这些技术特征的所有可能组合进行描述，但这些技术特征的任何组合都应当被认为由本说明书涵盖，只要这样的组合不存在矛盾。
140.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。

技术特征：
1.一种掩膜数据的处理方法，其特征在于，包括：响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件；将所述多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定所述掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，所述参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息；将所述掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。2.如权利要求1所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，在所述将所述掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中之后，所述方法还包括：响应于接收到窗口显示指令，确定待显示的窗口位置；基于所述待显示的窗口位置及所述图像单元中的坐标点信息，确定与所述窗口位置具有重合关系的目标图像单元；将所述目标图像单元进行展示。3.如权利要求2所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述响应于接收到窗口显示指令，确定待显示的窗口位置，包括：在检测到窗口关联的控件被触发的情况下，基于接收的窗口显示指令信息，确定所述待显示的窗口位置，其中，所述窗口显示指令信息包括中心点坐标及窗口尺寸数值。4.如权利要求2所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述基于所述待显示的窗口位置及所述图像单元中的坐标点信息，确定与所述窗口位置具有重合关系的目标图像单元，包括：基于所述窗口位置，确定对应的扫描区域及所述扫描区域中每条所述扫描线对应的位置信息；基于所述扫描区域，在所述数据单元中确定目标图形区域；基于每条所述扫描线对应的位置信息，在所述目标图形区域中进行遍历，以确定与所述扫描线对应的位置信息有重合的目标图像单元。5.如权利要求2所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，在所述基于所述待显示的窗口位置及所述图像单元中的坐标点信息，确定与所述窗口位置具有重合关系的目标图像单元之后，所述方法还包括：在接收到窗口变换指令的情况下，基于所述窗口变换指令对当前显示的窗口进行变换，其中，所述窗口变换指令中包括缩放信息、镜像信息、平移信息或旋转信息。6.如权利要求2所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述将所述目标图像单元进行展示，包括：获取待显示窗口的中心点坐标；将所述目标图像单元及所述中心点坐标进行展示。7.如权利要求2所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，在将所述目标图像单元进行展示之后，所述处理方法还包括：响应于接收到测量指令，基于所述测量指令中包含的测量参数，确定测量线及所述测量线对应的第一边框，其中，所述测量参数包括测量点坐标及测量方向；基于所述数据单元中的图像单元，确定图像单元组对应的第二边框，其中，任一图像单元组中包含至少一个图像单元；在所述第一边框与任一第二边框相交的情况下，确定与所述任一第二边框对应的图像
单元组中每个图像单元对应的第三边框；在所述第一边框与至少一个第三边框相交的情况下，确定所述测量线与所述至少一个第三边框对应的图像单元间的交点；将所述交点中与所述测量点距离最近、且位于所述测量点两侧的两个交点确定为目标点；将所述目标点构成的目标线段进行展示。8.一种掩膜数据的处理装置，其特征在于，所述装置包括：获取模块，用于响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件；解析模块，用于将所述多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定所述掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，所述参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息；存储模块，用于将所述掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。9.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：处理器以及存储有计算机程序指令的存储器；所述处理器执行所述计算机程序指令时实现如权利要求1-7任意一项所述的掩膜数据的处理方法。10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被处理器执行时实现如权利要求1-7任意一项所述的掩膜数据的处理方法。

技术总结
本申请提供一种掩膜数据的处理方法及装置，涉及数据处理领域，该方法包括：响应于接收到掩膜数据处理请求，获取待处理的多种格式的掩膜数据文件；将所述多种格式的掩膜数据文件分别进行解析，以确定所述掩膜上的所有图像单元的参数信息，其中，所述参数信息包括坐标点信息、分辨率及层级信息；将所述掩膜上的所有图像单元的参数信息存储到内存中对应的数据单元中。由此，通过对多种格式的掩膜数据文件进行解析，可以获取到掩膜上的所有图像单元的参数信息，之后可以将其存储到对应的数据单元中，后续可以从该数据单元中获取数据进行处理，从而实现了对多种格式的掩膜数据文件的处理，也提高了对掩膜数据文件处理的效率和便捷性。性。性。


技术研发人员：刘云涛
受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
技术研发日：2023.04.17
技术公布日：2023/8/5