热交换器及其使用方法与流程

1.本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种热交换器及其使用方法。


背景技术：

2.在物理气相沉积或者化学气相沉积成膜工艺中，通常使用热交换器对机台(比如氮化钛化学气相沉积设备、镍铂合金溅射设备)进行冷却。而且，在此成膜工艺中，需要采用去离子水来对机台进行降温，去离子水的电阻值和温度也需要满足成膜工艺中所要求的条件，避免影响晶圆成膜。
3.请参见图1，图1为现有技术中的热交换器的示例图。如图1所示，现有技术中的所述热交换器包括过滤器10、蓄水箱11、去离子器12和冷却器13。
4.现有的热交换器，当去离子水的电阻值偏低，就会导致去离子水中的导电离子变多，从而导致去离子器12对水的净化效果变差，于是需要更换去离子器12。然而，更换去离子器12时，会造成水温波动，从而需要暂停机台14。而且，也需要通过暂停整个机台14来更换去离子器12，从而浪费了机台14的正常运行时间。
5.另外，当工作人员向蓄水箱11内加入去离子水时，会导致蓄水箱11内的水温波动较大，从而需要暂停机台14，等到蓄水箱11内的水温达到预设温度，机台14才能正常运行。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供一种热交换器及其使用方法，以解决现有技术中存在的由于来自机台的去离子水的电阻值偏低导致去离子器的净化效果变差，需要暂停整个机台来更换去离子器，或者向蓄水箱内加去离子水，导致水温波动较大，需要暂停机台，从而浪费了机台的正常运行时间等其中的一个或多个问题。
7.为达到上述目的，本发明通过以下技术方案实现：一种热交换器，用于与在半导体集成电路制造领域使用的机台进行热量交换，所述热交换器包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；
8.所述蓄水箱内设置有抽水泵；
9.所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；
10.所述第一主出液管道与所述机台连接；
11.所述第二主出液管道上设置有第一阀门；其中，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门；所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接；
12.所述第一去离子器的出口与所述蓄水箱连接，所述第二去离子器的出口与所述蓄水箱连接。
13.可选的，所述第一阀门设置有控制器；所述控制器配置为当通过所述第一阀门的
液体的电阻值不低于预设上限值时，所述控制器控制所述第一阀门关闭；当通过所述第一阀门的液体的电阻值不高于预设下限值时，所述控制器控制所述第一阀门开启。
14.可选的，所述热交换器还包括第一控制单元，所述第一控制单元配置为当检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，则关闭所述第二阀门/所述第三阀门，打开所述第三阀门/所述第二阀门。
15.可选的，所述热交换器还包括注水箱；所述蓄水箱内设置有第一加热器；所述注水箱内设置有第二加热器；连接所述注水箱的出口和所述蓄水箱的管道上设置有第四阀门；所述第一加热器和所述第二加热器均设置相同的预设温度。
16.可选的，所述蓄水箱还包括液位传感器和第二控制单元；所述第二控制单元配置为当检测到所述蓄水箱内的液位不高于预设液位下限值时，则开启所述第四阀门，当检测到所述蓄水箱内的液位不低于预设上限值时，则关闭所述第四阀门。
17.可选的，所述注水箱还连接有自动补水装置。
18.可选的，所述热交换器还包括过滤器，所述过滤器的出口与所述蓄水箱连接。
19.可选的，所述过滤器上连接有冷却器。
20.为达到上述目的，本发明还提供了一种机台，所述机台应用在半导体集成电路制造领域；所述机台包括上述任一项所述的热交换器。
21.为达到上述目的，本发明还提供了一种热交换器的使用方法，其中，热交换器为上述任一项所述的热交换器，使用方法包括：
22.打开所述第二阀门/所述第三阀门，关闭所述第三阀门/所述第二阀门，启动所述第一去离子器/所述第二去离子器进行工作；
23.当第一控制单元检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，关闭所述第二阀门/所述第三阀门，开启所述第三阀门/所述第二阀门，启动所述第二去离子器/所述第一去离子器进行工作。
24.与现有技术相比，本发明提供的热交换器及其使用方法具有以下有益效果：
25.本发明提供的热交换器，用于与在半导体集成电路制造领域使用的机台进行热量交换，包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；所述蓄水箱内设置有抽水泵；所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；所述第一主出液管道与所述机台连接；所述第二主出液管道上设置有第一阀门；其中，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门；所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接；所述第一去离子器的出口与所述蓄水箱连接，所述第二去离子器的出口与所述蓄水箱连接。由此，本发明提供的热交换器，由于在蓄水箱内设置有抽水泵，所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道，因此能够将蓄水箱内的液体泵出到出液管道的第一主出液管道和第二主出液管道，所述第一主出液管道与所述机台连接，液体可以从第一主出液管道流入机台。而且，所述第二主出液管道上设置有第一阀门，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道，通过开启第一阀门，能够使液体流入第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门，所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的
进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接，通过第二阀门和第三阀门的开启和关闭，能够使得液体流入第一去离子器或第二去离子器，通过第一去离子器或第二去离子器可以去除液体中的导电离子，然后液体再流入蓄水箱内。当正在工作的第一去离子器/第二去离子器需要更换时，由于设置有第一去离子器和第二去离子器，因此，不需要暂停整个机台，通过关闭第二阀门/第三阀门，打开第三阀门/第二阀门，能够切换到第二去离子器/第一去离子器来进行工作，从而提高机台的运行效率。
26.较佳地，所述热交换器还包括第一控制单元，所述第一控制单元配置为当检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，则关闭所述第二阀门/所述第三阀门，打开所述第三阀门/所述第二阀门。由此，通过设置第一控制单元，能够更加便捷的对第一去离子器/第二去离子器进行切换。
27.进一步地，所述热交换器还包括与所述蓄水箱连接的注水箱，所述蓄水箱内设置有第一加热器，所述注水箱内设置有第二加热器，与所述注水箱的出口连接的管道上设置有第四阀门，所述第一加热器和所述第二加热器均设置相同的预设温度。由此，通过在蓄水箱内设置第一加热器，能够给所述蓄水箱内的液体加热；通过设置注水箱与蓄水箱连接，并且与注水箱的出口连接的管道上设置有第四阀门，通过启闭第四阀门能够给所述蓄水箱补水或者暂停补水。而且在所述注水箱内设置第二加热器，所述第二加热器设置的预设温度与所述第一加热器设置的预设温度相同，能够提前将注水箱内的液体加热至预设温度，所述注水箱内的液体流入蓄水箱时，能够避免造成蓄水箱内的液体温度波动较大，从而无需暂停整个机台，能够提高机台的运行效率。
28.较佳地，所述蓄水箱还包括液位传感器和第二控制单元，所述第二控制单元配置为当检测到所述蓄水箱内的液位不高于预设液位下限值时，则开启所述第四阀门，当检测到所述蓄水箱内的液位不低于预设上限值时，则关闭所述第四阀门。由此，通过液位传感器能够检测蓄水箱内的液位变化，然后通过第二控制单元控制第四阀门的启闭，更便于自动给蓄水箱进行补水或者暂停补水。
29.进一步地，所述注水箱还连接有自动补水装置。由此，通过自动补水装置不断给注水箱内补水，为注水箱向蓄水箱进行补水奠定了基础。
30.再进一步地，所述热交换器还包括过滤器，所述过滤器的出口与所述蓄水箱连接，能够过滤液体中的较大杂质。较佳地，所述过滤器上连接有冷却器，能够通过所述冷却器对所述热交换器进行冷却。
31.由于本发明提供的机台包括上述任一项所述的热交换器。因此，本发明提供的机台至少具有所述热交换器的所有优点，在此，不再赘述。
32.由于本发明提供的热交换器的使用方法中的热交换器为上述任一项所述的热交换器，因此，本发明提供的热交换器的使用方法至少具有所述热交换器的所有优点，在此，不再赘述。
附图说明
33.图1为现有技术中的热交换器的示例图；
34.图2为本发明实施例一提供的一种热交换器的示例图；
35.图3为本发明实施例二提供的另一种热交换器的示例图；
36.图4为本发明实施例二提供的另一种热交换器的其中一具体示例图；
37.图5为本发明实施例四提供的一种热交换器的使用方法的流程图；
38.图1-图5中的附图标记说明如下：
39.10-过滤器，11-蓄水箱，12-去离子器，121-第一去离子器，122-第二去离子器，13-冷却器，131-冷却器进口，132-冷却器出口，14-机台，15-出液管道，151-第一主出液管道，152-第二主出液管道，1521-第一分支出液管道，1522-第二分支出液管道，16-第一阀门，17-进液管道，18-第二阀门，19-第三阀门，20-注水箱，21-第四阀门。
具体实施方式
40.以下结合附图和具体实施例对本发明提出的热交换器及其使用方法作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。为了使本发明的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明实施的限定条件，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在与本发明所能产生的功效及所能达成的目的相同或近似的情况下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。本文所公开的本发明的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。
41.实施例一
42.本实施例提供了一种热交换器。具体地，请参见图2，图2为本实施例提供的一种热交换器的示例图。如图2所示，本实施例提供的热交换器用于与在半导体集成电路制造领域使用的机台14进行热量交换，本实施例提供的热交换器包括蓄水箱11、第一去离子器121和第二去离子器122；所述蓄水箱11内设置有抽水泵(图中未示出)；所述抽水泵的出口与出液管道15连接，所述出液管道15包括第一主出液管道151和第二主出液管道152；所述第一主出液管道151与所述机台14连接；所述第二主出液管道152上设置有第一阀门16；其中，所述第二主出液管道152包括第一分支出液管道1521和第二分支出液管道1522；所述第一分支出液管道1521上设置有第二阀门18，所述第二分支出液管道1522上设置有第三阀门19；所述第一分支出液管道1521与所述第一去离子器121的进口连接，所述第二分支出液管道1522与所述第二去离子器122的进口连接；所述第一去离子器121的出口与所述蓄水箱11连接，所述第二去离子器122的出口与所述蓄水箱11连接。由此，通过在蓄水箱11内设置有抽水泵，所述抽水泵的出口与出液管道15连接，所述出液管道15包括第一主出液管道151和第二主出液管道152，因此能够将蓄水箱11内的液体泵出到出液管道15的第一主出液管道151和第二主出液管道152，所述第一主出液管道151与所述机台14连接，液体可以从第一主出液管道151流入机台14。而且，所述第二主出液管道152上设置有第一阀门16，所述第二主出液管道152包括第一分支出液管道1521和第二分支出液管道1522，通过开启第一阀门16，能够使液体流入第一分支出液管道1521和第二分支出液管道1522；所述第一分支出液管道1521上设置有第二阀门18，所述第二分支出液管道1522上设置有第三阀门19，所述第一分
支出液管道1521与所述第一去离子器121的进口连接，所述第二分支出液管道1522与所述第二去离子器122的进口连接，通过第二阀门18和第三阀门19的开启和关闭，能够使得液体流入第一去离子器121或第二去离子器122，通过第一去离子器121或第二去离子器122可以去除液体中的导电离子，然后液体再流入蓄水箱11内。由于设置有第一去离子器121和第二去离子器122，使得正在工作的第一去离子器121/第二去离子器122需要更换时，不需要暂停整个机台14，通过关闭第二阀门18/第三阀门19，打开第三阀门19/第二阀门18，能够切换到第二去离子器122/第一去离子器121来进行工作。
43.进一步地，所述第一阀门16设置有控制器(图中未示出)；所述控制器配置为当通过所述第一阀门16的液体的电阻值不低于预设上限值时，所述控制器控制所述第一阀门16关闭；当通过所述第一阀门16的液体的电阻值不高于预设下限值时，所述控制器控制所述第一阀门16开启。由此，通过设置控制器，使得当流向第一阀门16的液体的电阻值不高于预设下限值时，所述控制器能够控制第一阀门16的开启，从而使得液体流入第一去离子器121/第二去离子器122；当流向第一阀门16的液体的电阻值不低于预设上限值时，所述控制器能够控制第一阀门16关闭，从而使得液体从第一主出液管道151流入机台14。
44.为了更便于理解本发明，示例性地，以预设下限值为2兆欧、预设上限值为3兆欧时为例，对本发明提供的热交换器的第一阀门16的开启和关闭进行说明。具体地，比如说第一阀门16一开始处于关闭状态，随着液体的循环流动，当流向第一阀门16的液体的电阻值不高于2兆欧时，控制器控制第一阀门16开启，一部分液体通过第一阀门16流向第一去离子器121/第二去离子器122，另一部分液体从第一主出液管道151流入机台14，再从机台14流入热交换器，如此循环流动，然后，当流向第一阀门16的液体的电阻值不低于3兆欧时，控制器控制第一阀门16关闭，液体从第一主出液管道151流入机台14，再从机台14流入热交换器，如此往复循环上述，实现了热交换器与机台14之间的热量交换。需要说明的是，可以理解地，上述预设下限值为2兆欧、预设上限值为3兆欧仅是示例性说明，而非本发明的限制，在具体实施时，应根据实际需要合理设置，预设下限值可以为2兆欧、预设上限值可以为3兆欧，预设下限值也可以为除2兆欧之外的其他值，预设上限值也可以为除3兆欧之外的其他值。
45.优选地，所述热交换器还包括第一控制单元(图中未示出)，所述第一控制单元配置为当检测到正在工作的所述第一去离子器121/所述第二去离子器122无法正常工作时，则关闭所述第二阀门18/所述第三阀门19，打开所述第三阀门19/所述第二阀门18。由此，能够更加便捷的对第一去离子器121/第二去离子器122进行切换。
46.示例性地，在使用本发明提供的热交换器时，可以先开启第二阀门18，关闭第三阀门19，使用第一去离子器121来工作。当第一控制单元检测到正在工作的所述第一去离子器121无法正常工作时，则会控制所述第二阀门18关闭，开启所述第三阀门19，以使得所述第二去离子器122进行工作。需要说明的是，上述仅是示例性说明，在其他的实施方式中，也可以先使用第二去离子器122来工作，在此，不再赘述。另外，本发明对所述第二阀门18和所述第三阀门19的开启和关闭方式并不限定，可以是手动开启和关闭，也可以是自动开启和关闭。
47.再进一步地，所述蓄水箱11内设置有第一加热器(图中未示出)和液位传感器(图中未示出)。由此，通过所述第一加热器对液体进行加热，以使得液体的温度能够达到机台
14正常工作所需的温度条件；通过所述液位传感器检测蓄水箱11内的液位情况。
48.又进一步地，所述热交换器还包括过滤器10，所述过滤器10的出口与所述蓄水箱11连接。由此，能够过滤液体中的较大杂质。
49.较佳地，所述过滤器10上连接有冷却器13，能够通过所述冷却器13对所述热交换器进行冷却。具体地，所述冷却器13包括冷却器进口131和冷却器出口132，冷却水从所述冷却器进口131进入，与热交换器进行热量交换，然后从所述冷却器出口132流出，通过所述冷却器13对所述热交换器进行降温。
50.为了更便于理解本发明，请继续参见图2，以下对本发明提供的热交换器的工作流程予以示例性说明：
51.首先，来自机台14的去离子水进入过滤器10中进行过滤，通过过滤器10过滤掉去离子水中的较大杂质后，进入蓄水箱11，然后通过蓄水箱11中设置的抽水泵进入出液管道15。所述出液管道15包括第一主出液管道151和第二主出液管道152，所述第一主出液管道151与机台14连接。所述第二主出液管道152上设置有第一阀门16，其中，所述第二主出液管道152包括第一分支出液管道1521和第二分支出液管道1522；所述第一分支出液管道1521上设置有第二阀门18，所述第二分支出液管道1522上设置有第三阀门19；所述第一分支出液管道1521与所述第一去离子器121的进口连接，所述第二分支出液管道1521与所述第二去离子器122的进口连接。并且，所述第一阀门16设置有控制器，所述热交换器还包括第一控制单元。当流向所述第一阀门16的去离子水的电阻值不低于预设上限值时，所述控制器控制所述第一阀门16关闭，去离子水从第一主出液管道151流出到机台14；当流向所述第一阀门16的去离子水的电阻值不高于预设下限值时，所述控制器控制所述第一阀门16开启，一部分去离子水从第一主出液管道151流出到机台14，另一部分去离子水从第一分支出液管道1521流入正在工作的第一去离子器121，当第一控制单元检测到正在工作的所述第一去离子器121无法正常工作时，则控制所述第二阀门18关闭，控制所述第三阀门19开启，切换至第二去离子器122进行工作。通过第一去离子器121/第二去离子器122来去除导电离子，然后所述去离子水流入蓄水箱11。通过去离子水在机台14的循环流动，从而给机台14进行降温。并且，所述过滤器10上连接有冷却器13，通过设置的冷却器13来对热交换器进行降温。另外，蓄水箱11中设置有第一加热器，所述第一加热器设定一个预设温度(比如60度)，使得整个过程中去离子水的温度稳定在设定的预设温度，这样才能使得机台14正常运作。当蓄水箱11内的液位不高于液位传感器的预设液位下限值时，需要工作人员手动向蓄水箱11内加入温度与预设温度相同的去离子水，从而使得机台14能够正常工作。
52.实施例二
53.本实施例提供了另一种热交换器。具体地，请参见图3，图3为本实施例提供的另一种热交换器的示例图。从图3可以看出，与上述实施例不同的是，本实施例提供的热交换器还包括注水箱20；所述蓄水箱11内设置有第一加热器(图中未示出)；所述注水箱20内设置有第二加热器(图中未示出)；连接所述注水箱20的出口和所述蓄水箱11的管道上设置有第四阀门21；所述第一加热器和所述第二加热器均设置相同的预设温度。由此，通过设置注水箱20与蓄水箱11连接，并且连接注水箱20的出口和所述蓄水箱11的管道上设置有第四阀门21，通过启闭第四阀门21能够给所述蓄水箱11补水或者暂停补水。而且在所述注水箱20内设置第二加热器，所述第二加热器设置的预设温度与所述第一加热器设置的预设温度相
同，能够提前将注水箱20内的液体加热至预设温度，避免所述注水箱20内的液体流入蓄水箱11时，导致蓄水箱11内的液体温度波动较大，从而需要暂停整个机台14，浪费了机台14的正常运行时间。
54.需要说明的是，注水箱20也可以与第一分支出液管道1521连接，然后再通过管道与蓄水箱11连接，当第一去离子器121/第二去离子器122需要补水时，也可以通过所述注水箱20进行补水。
55.较佳地，所述蓄水箱11还包括液位传感器(图中未示出)和第二控制单元(图中未示出)，所述第二控制单元配置为当检测到所述蓄水箱11内的液位不高于预设液位下限值时，则开启所述第四阀门21，当检测到所述蓄水箱11内的液位不低于预设上限值时，则关闭所述第四阀门21。由此，通过液位传感器能够检测蓄水箱11内的液位变化，然后通过第二控制单元控制第四阀门21的启闭，更便于自动给蓄水箱11进行补水或者暂停补水。需要说明的是，本发明对所述第四阀门21的开启和关闭方式并不限定，可以是手动开启和关闭，也可以是自动开启和关闭。
56.进一步地，所述注水箱20还连接有自动补水装置(图中未示出)。由此，通过自动补水装置不断给注水箱20内补水，为注水箱20向蓄水箱11进行补水奠定了基础。
57.需要说明的是，在本实施例的其中一种具体实施方式中，所述热交换器中可以只设置一个去离子器。具体的，如图4所示，图4为本实施例提供的另一种热交换器的其中一具体示例图。从图4可以看出，所述第二主出液管道152与去离子器12连接，所述注水箱20与所述蓄水箱11连接。当所述去离子器12正常工作时，通过注水箱20可以向蓄水箱11提供相同预设温度的液体，水温不会波动较大，此时不需要暂停机台14；当所述去离子器12无法正常工作时，需要暂停机台14对所述去离子器12进行更换。
58.实施例三
59.本实施例提供了一种机台，所述机台应用在半导体集成电路制造领域；所述机台包括上述任一实施方式所述的热交换器。具体地，所述机台包括氮化钛化学气相沉积设备、镍铂合金溅射设备等设备。
60.由于本实施例提供的机台包括上述任一实施方式所述的热交换器，因此，本实施例提供的机台至少具有上述各实施方式提供的热交换器的所有优点，在此，不再赘述。
61.实施例四
62.本实施例提供了一种热交换器的使用方法，其中，热交换器为上述任一实施方式所述的热交换器，具体地，请参见图5，图5为本实施例提供的一种热交换器的使用方法的流程图，从图5可以看出，使用方法包括：
63.打开所述第二阀门18/所述第三阀门19，关闭所述第三阀门19/所述第二阀门18，启动所述第一去离子器121/所述第二去离子器122进行工作；
64.当第一控制单元检测到正在工作的所述第一去离子器121/所述第二去离子器122无法正常工作时，关闭所述第二阀门18/所述第三阀门19，开启所述第三阀门19/所述第二阀门18，启动所述第二去离子器122/所述第一去离子器121进行工作。
65.由于本实施例提供的热交换器的使用方法中的热交换器为上述任一实施方式所述的热交换器，因此，本实施例提供的热交换器的使用方法至少具有上述各实施方式提供的热交换器的所有优点，在此，不再赘述。
66.综上所述，本发明提供的热交换器及其使用方法，具有如下优点：所述热交换器，用于与在半导体集成电路制造领域使用的机台进行热量交换，包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；所述蓄水箱内设置有抽水泵；所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；所述第一主出液管道与所述机台连接；所述第二主出液管道上设置有第一阀门；其中，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门；所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接；所述第一去离子器的出口与所述蓄水箱连接，所述第二去离子器的出口与所述蓄水箱连接。由此，本发明提供的热交换器，由于在蓄水箱内设置有抽水泵，所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道，因此能够将蓄水箱内的液体泵出到出液管道的第一主出液管道和第二主出液管道，所述第一主出液管道与所述机台连接，液体可以从第一主出液管道流入机台。而且，所述第二主出液管道上设置有第一阀门，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道，通过开启第一阀门，能够使液体流入第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门，所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接，通过第二阀门和第三阀门的开启和关闭，能够使得液体流入第一去离子器或第二去离子器，通过第一去离子器或第二去离子器可以去除液体中的导电离子，然后液体再流入蓄水箱内。当正在工作的第一去离子器/第二去离子器需要更换时，由于设置有第一去离子器和第二去离子器，因此，不需要暂停整个机台，通过关闭第二阀门/第三阀门，打开第三阀门/第二阀门，能够切换到第二去离子器/第一去离子器来进行工作，从而提高机台的运行效率。
67.较佳地，所述热交换器还包括第一控制单元，所述第一控制单元配置为当检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，则关闭所述第二阀门/所述第三阀门，打开所述第三阀门/所述第二阀门。由此，通过设置第一控制单元，能够更加便捷的对第一去离子器/第二去离子器进行切换。
68.进一步地，所述热交换器还包括与所述蓄水箱连接的注水箱，所述蓄水箱内设置有第一加热器，所述注水箱内设置有第二加热器，与所述注水箱的出口连接的管道上设置有第四阀门，所述第一加热器和所述第二加热器均设置相同的预设温度。由此，通过在蓄水箱内设置第一加热器，能够给所述蓄水箱内的液体加热；通过设置注水箱与蓄水箱连接，并且与注水箱的出口连接的管道上设置有第四阀门，通过启闭第四阀门能够给所述蓄水箱补水或者暂停补水。而且在所述注水箱内设置第二加热器，所述第二加热器设置的预设温度与所述第一加热器设置的预设温度相同，能够提前将注水箱内的液体加热至预设温度，所述注水箱内的液体流入蓄水箱时，能够避免造成蓄水箱内的液体温度波动较大，从而无需暂停整个机台，能够提高机台的运行效率。
69.较佳地，所述蓄水箱还包括液位传感器和第二控制单元，所述第二控制单元配置为当检测到所述蓄水箱内的液位不高于预设液位下限值时，则开启所述第四阀门，当检测到所述蓄水箱内的液位不低于预设上限值时，则关闭所述第四阀门。由此，通过液位传感器能够检测蓄水箱内的液位变化，然后通过第二控制单元控制第四阀门的启闭，更便于自动
给蓄水箱进行补水或者暂停补水。
70.进一步地，所述注水箱还连接有自动补水装置。由此，通过自动补水装置不断给注水箱内补水，为注水箱向蓄水箱进行补水奠定了基础。
71.再进一步地，所述热交换器还包括过滤器，所述过滤器的出口与所述蓄水箱连接，能够过滤液体中的较大杂质。较佳地，所述过滤器上连接有冷却器，能够通过所述冷却器对所述热交换器进行冷却。
72.由于本发明提供的机台包括上述任一项所述的热交换器。因此，本发明提供的机台至少具有所述热交换器的所有优点，在此，不再赘述。
73.由于本发明提供的热交换器的使用方法中的热交换器为上述任一项所述的热交换器，因此，本发明提供的热交换器的使用方法至少具有所述热交换器的所有优点，在此，不再赘述。
74.最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围。

技术特征：
1.一种热交换器，用于与在半导体集成电路制造领域使用的机台进行热量交换，其特征在于，所述热交换器包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；所述蓄水箱内设置有抽水泵；所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；所述第一主出液管道与所述机台连接；所述第二主出液管道上设置有第一阀门；其中，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门；所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接；所述第一去离子器的出口与所述蓄水箱连接，所述第二去离子器的出口与所述蓄水箱连接。2.如权利要求1所述的热交换器，其特征在于，所述第一阀门设置有控制器；所述控制器配置为当通过所述第一阀门的液体的电阻值不低于预设上限值时，所述控制器控制所述第一阀门关闭；当通过所述第一阀门的液体的电阻值不高于预设下限值时，所述控制器控制所述第一阀门开启。3.如权利要求1所述的热交换器，其特征在于，所述热交换器还包括第一控制单元，所述第一控制单元配置为当检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，则关闭所述第二阀门/所述第三阀门，打开所述第三阀门/所述第二阀门。4.如权利要求1所述的热交换器，其特征在于，所述热交换器还包括注水箱；所述蓄水箱内设置有第一加热器；所述注水箱内设置有第二加热器；连接所述注水箱的出口和所述蓄水箱的管道上设置有第四阀门；所述第一加热器和所述第二加热器均设置相同的预设温度。5.如权利要求4所述的热交换器，其特征在于，所述蓄水箱还包括液位传感器和第二控制单元；所述第二控制单元配置为当检测到所述蓄水箱内的液位不高于预设液位下限值时，则开启所述第四阀门，当检测到所述蓄水箱内的液位不低于预设上限值时，则关闭所述第四阀门。6.如权利要求4所述的热交换器，其特征在于，所述注水箱还连接有自动补水装置。7.如权利要求1所述的热交换器，其特征在于，所述热交换器还包括过滤器，所述过滤器的出口与所述蓄水箱连接。8.如权利要求7所述的热交换器，其特征在于，所述过滤器上连接有冷却器。9.一种机台，其特征在于，所述机台应用在半导体集成电路制造领域；所述机台包括如权利要求1-8任一项所述的热交换器。10.一种热交换器的使用方法，其特征在于，其中，热交换器为权利要求1-9任一项所述的热交换器，使用方法包括：打开所述第二阀门/所述第三阀门，关闭所述第三阀门/所述第二阀门，启动所述第一去离子器/所述第二去离子器进行工作；当第一控制单元检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，关闭所述第二阀门/所述第三阀门，开启所述第三阀门/所述第二阀门，启动所述第二
去离子器/所述第一去离子器进行工作。

技术总结
本发明提供了一种热交换器及其使用方法，热交换器包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；蓄水箱内设置有抽水泵；抽水泵的出口与出液管道连接，出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；其中，第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；第一分支出液管道与第一去离子器的进口连接，第二分支出液管道与第二去离子器的进口连接。本发明提供的热交换器及其使用方法，热交换器包括第一去离子器和第二去离子器，使得正在工作的第一去离子器/第二去离子器需要更换时，不需要暂停整个机台，能够切换到第二去离子器/第一去离子器来进行工作。离子器来进行工作。离子器来进行工作。


技术研发人员：邰晓东 柳小敏 朱亮 张啸
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2023.03.31
技术公布日：2023/8/9