一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法与流程

1.本发明涉及电子元器件技术领域，具体为一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法。


背景技术：

2.多层共烧陶瓷技术是于1982年由美国休斯公司开始发展起来的令人瞩目的3d集成技术，目前该技术已经成为无源集成的主流技术，成为无源元件领域的发展方向和新的元件产业的经济增长点，该技术是将陶瓷粉制成厚度精确而且致密的生瓷带，在生瓷带上利用多种等工艺制出所需要的电路图形，将多层生瓷片进行叠压在一起，通过高温烧结后制成三维空间互不干扰的高密度互联电路，也可制成内置无源元件的组件基板，在其表面可贴装lc和有源器件，制成无源/有源集成的功能模块，可进一步将电路小型化与高密度化，特别适合于高频通讯用组件。
3.中国专利公开号为cn114096083a公开了一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，通过ltcc/htcc基板上加工高位置精度和高尺寸精度的盲腔，以及凹凸腔体堆叠转化技术，解决了目前多层共烧陶瓷技术难以制备孤岛多层陶瓷电路的问题，制备的陶瓷孤岛与主体ltcc/htcc电路基板电气互联，具有互联位置精度高、尺寸范围可调等优势。
4.但该发明在制备方面仍存在以下问题：
5.1、由于纯陶瓷区域内没有布置导体图形和导体通孔，该区域的收缩率、收缩特性与电路基板区域有较大差异，而该差异也会导致电路基板的翘曲；
6.2、制备方面对于多层共烧陶瓷使用的材料，受到高温后容易产生过量有毒气体，在工作环境中的危害性较大。


技术实现要素：

7.(一)解决的技术问题
8.针对现有技术的不足，本发明提供了一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，具备无需额外工装夹具和环保制备等优点，解决了多层共烧陶瓷电路基板在共烧过程发生翘曲和过量污染环境的问题。
9.(二)技术方案
10.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，包括以下步骤：
11.s1、生瓷处理：根据设计图纸制作各层生瓷的导体通孔、导体图形和腔体，形成电路基板区域，在电路基板区域的外围留置宽度范围为0.2～15mm的结构补偿区域；
12.s2、混料与流延：将有机物和无机物成分按一定比例混合，用球磨的方法进行碾磨和均匀化，然后浇注在一个移动的载带上，通过一个干燥区，去除所有的溶剂，通过控制刮刀间隙，流延成所需要的厚度；
13.s3、激光打孔：利用激光打孔技术形成通孔，通孔是在生瓷片上打出的小孔，导体通孔的孔径为0.05mm～0.5mm，导体通孔的中心间距为2～10倍通孔的孔径，用在不同层上以互连电路，在此阶段还要冲制模具孔，帮助叠片时的对准，对准孔用于印刷导体和介质时自动对位；
14.s4、印刷：利用标准的厚膜印刷技术对导体浆料进行印刷和烘干，通孔填充和导体图形在箱式或链式炉中按相关工艺温度和时间进行烘干，根据需要，所有电阻器、电容器和电感器在此阶段印刷和烘干；
15.s5、通孔填充：利用传统的厚膜丝网印刷或模板挤压把特殊配方的高固体颗粒含量的导体浆料填充到通孔；
16.s6、叠片处理：生瓷片在烧结前，按预先设计的层数、次序叠到一起，在一定温度和压力下，使其紧密粘接，一般说来，热压温度为70120℃，压力为50250kg/2cm，视基板面积、层数不同前异；
17.s7、排胶与烧结：200-500c之间的区域被称为有机排胶区，然后在5-15min将叠层共烧至峰值温度，通常为1700℃，气氛烧成金属化的典型排胶和烧成曲线会用上2-10h，烧成的部件准备好后烧工艺，在烧结后在分片工艺步骤中，通过分片的方式去除结构补偿区域，获得多层共烧陶瓷电路基板；
18.s8、检验：然后对电路进行激光调阻、测试、切片和检验，ltcc封装中可用硬钎焊引线或散热片。
19.优选的，由于使用w、mo等做导体材料，在空气中极易氧化，烧结后需在w、mo表面做电镀或化学镀处理，镀上一层ni、au等，以便焊接引线或供键合芯。
20.优选的，aln陶瓷具有良好热导率，理论值为320w/m.k，且有和硅器件相接近的热膨胀系数为4.3～4.5*108。
21.优选的，高温共烧aln瓷料是由高纯aln粉加入适量添加剂组成。aln粉的合成使用还原法，其反应原理如以下公式所示。
22.优选的，将95wt％以上的aln粉添加适量的助烧剂如cao、y2o3、cac2等，充分混合后即得aln瓷料配方。
23.(三)有益效果
24.与现有技术相比，本发明提供了一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，具备以下有益效果：
25.该基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，通过分片的方式去除结构得到补偿区域，在结构补偿区域中设有导体通孔，实现对产品结构的补偿设计，实现该区域与电路基板区域在收缩率和收缩特性上的一致，避免出现较大差异导致电路基板的翘曲的问题，以及al2o3具有优良的绝缘性能和抗折强度，且材料无毒，在制备方面具备一定的环保性。
具体实施方式
26.下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.实施例一：
28.一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，包括以下步骤：
29.s1、生瓷处理：根据设计图纸制作各层生瓷的导体通孔、导体图形和腔体，形成电路基板区域，在电路基板区域的外围留置宽度范围为0.2～15mm的结构补偿区域；
30.s2、混料与流延：将有机物和无机物成分按一定比例混合，用球磨的方法进行碾磨和均匀化，然后浇注在一个移动的载带上，通过一个干燥区，去除所有的溶剂，通过控制刮刀间隙，流延成所需要的厚度；
31.s3、激光打孔：利用激光打孔技术形成通孔，通孔是在生瓷片上打出的小孔，导体通孔的孔径为0.05mm～0.5mm，导体通孔的中心间距为2～10倍通孔的孔径，用在不同层上以互连电路，在此阶段还要冲制模具孔，帮助叠片时的对准，对准孔用于印刷导体和介质时自动对位，在生瓷带上用激光打孔的原理是:聚焦的激光束沿着通孔边缘将连续的光脉冲发射到生瓷带上，激光能量将陶瓷材料逐层蒸发掉，最终形成一个通孔；
32.s4、印刷：利用标准的厚膜印刷技术对导体浆料进行印刷和烘干，通孔填充和导体图形在箱式或链式炉中按相关工艺温度和时间进行烘干，根据需要，所有电阻器、电容器和电感器在此阶段印刷和烘干；
33.s5、通孔填充：利用传统的厚膜丝网印刷或模板挤压把特殊配方的高固体颗粒含量的导体浆料填充到通孔；
34.s6、叠片处理：生瓷片在烧结前，按预先设计的层数、次序叠到一起，在一定温度和压力下，使其紧密粘接，一般说来，热压温度为70120℃，压力为50250kg/2cm，视基板面积、层数不同前异，为了避免烧结中分层、起泡、开裂，在热压时将生坯放在真空室内进行，这样有利于排除气泡，提高粘附强度；
35.s7、排胶与烧结：200-500c之间的区域被称为有机排胶区，然后在5-15min将叠层共烧至峰值温度，通常为1700℃，气氛烧成金属化的典型排胶和烧成曲线会用上2-10h，烧成的部件准备好后烧工艺，在烧结后在分片工艺步骤中，通过分片的方式去除结构补偿区域，获得多层共烧陶瓷电路基板，将热压叠片后的陶瓷生坯放入炉中排胶，由于使用的导体材料不同，排胶烧结的气氛也不同，对于贱金属导体如w、mo、cu，ni等材料需在nz、h等气氛下进行，而对于贵金属导体au、ab、pd-ab来说，只需在空气中排胶；
36.s8、检验：然后对电路进行激光调阻、测试、切片和检验，ltcc封装中可用硬钎焊引线或散热片，对排胶、烧结、焊接完成后的ltcc元件还须进行多方面的检测，以保证其性能的可靠性，这些检测包括外观、尺寸、强度、电性能等方面。
37.由于使用w、mo等做导体材料，在空气中极易氧化，烧结后需在w、mo表面做电镀或化学镀处理，镀上一层ni、au等，以便焊接引线或供键合芯，aln陶瓷具有良好热导率，理论值为320w/m.k，且有和硅器件相接近的热膨胀系数为4.3～4.5*108，高温共烧aln瓷料是由高纯aln粉加入适量添加剂组成。aln粉的合成使用还原法，其反应原理如以下公式所示：
[0038][0039]
本发明的有益效果是：该基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，通过分片的方式去除结构得到补偿区域，在结构补偿区域中设有导体通孔，实现对产品结构的补偿设计，实现该区域与电路基板区域在收缩率和收缩特性上的一致，避免出现较大
差异导致电路基板的翘曲的问题，以及al2o3具有优良的绝缘性能和抗折强度，且材料无毒，在制备方面具备一定的环保性。
[0040]
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，其特征在于，包括以下步骤：s1、生瓷处理：根据设计图纸制作各层生瓷的导体通孔、导体图形和腔体，形成电路基板区域，在电路基板区域的外围留置宽度范围为0.2～15mm的结构补偿区域；s2、混料与流延：将有机物和无机物成分按一定比例混合，用球磨的方法进行碾磨和均匀化，然后浇注在一个移动的载带上，通过一个干燥区，去除所有的溶剂，通过控制刮刀间隙，流延成所需要的厚度；s3、激光打孔：利用激光打孔技术形成通孔，通孔是在生瓷片上打出的小孔，导体通孔的孔径为0.05mm～0.5mm，导体通孔的中心间距为2～10倍通孔的孔径，用在不同层上以互连电路，在此阶段还要冲制模具孔，帮助叠片时的对准，对准孔用于印刷导体和介质时自动对位；s4、印刷：利用标准的厚膜印刷技术对导体浆料进行印刷和烘干，通孔填充和导体图形在箱式或链式炉中按相关工艺温度和时间进行烘干，根据需要，所有电阻器、电容器和电感器在此阶段印刷和烘干；s5、通孔填充：利用传统的厚膜丝网印刷或模板挤压把特殊配方的高固体颗粒含量的导体浆料填充到通孔；s6、叠片处理：生瓷片在烧结前，按预先设计的层数、次序叠到一起，在一定温度和压力下，使其紧密粘接，一般说来，热压温度为70120℃，压力为50250kg/cm2，视基板面积、层数不同前异；s7、排胶与烧结：200-500c之间的区域被称为有机排胶区，然后在5-15min将叠层共烧至峰值温度，通常为1700℃，气氛烧成金属化的典型排胶和烧成曲线会用上2-10h，烧成的部件准备好后烧工艺，在烧结后在分片工艺步骤中，通过分片的方式去除结构补偿区域，获得多层共烧陶瓷电路基板；s8、检验：然后对电路进行激光调阻、测试、切片和检验，ltcc封装中可用硬钎焊引线或散热片。2.根据权利要求1所述的一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，其特征在于：由于使用w、mo等做导体材料，在空气中极易氧化，烧结后需在w、mo表面做电镀或化学镀处理，镀上一层ni、au等，以便焊接引线或供键合。3.根据权利要求1所述的一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，其特征在于：aln陶瓷具有良好热导率，理论值为320w/m
·
k，且有和硅器件相接近的热膨胀系数为4.3～4.5*108。4.根据权利要求1所述的一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，其特征在于：高温共烧aln瓷料是由高纯aln粉加入适量添加剂组成。aln粉的合成使用还原法，其反应原理如以下公式所示：5.根据权利要求1所述的一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，其特征在于：将95wt％以上的aln粉添加适量的助烧剂如cao、y2o3、cac2等，充分混合后即得aln瓷料配方。

技术总结
本发明涉及电子元器件技术领域，具体为一种基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，包括以下步骤：S1、生瓷处理：根据设计图纸制作各层生瓷的导体通孔、导体图形和腔体，形成电路基板区域，在电路基板区域的外围留置宽度范围为0.2～15mm的结构补偿区域。该基于共烧陶瓷的多层孤岛陶瓷电路基板及其制备方法，通过分片的方式去除结构得到补偿区域，在结构补偿区域中设有导体通孔，实现对产品结构的补偿设计，实现该区域与电路基板区域在收缩率和收缩特性上的一致，避免出现较大差异导致电路基板的翘曲的问题，以及Al2O3具有优良的绝缘性能和抗折强度，且材料无毒，在制备方面具备一定的环保性。备方面具备一定的环保性。


技术研发人员：戴玮明 李广坤 张景龙 王忠军 贺亮
受保护的技术使用者：株洲艾森达新材料科技有限公司
技术研发日：2023.04.14
技术公布日：2023/8/14