一种真空等离子表面处理机的制作方法

1.本发明属于等离子处理机技术领域，具体是真空等离子表面处理机。


背景技术：

2.真空等离子机表面处理机，一种用于表面处理前处理的一种工艺设备，目的是使产品表面处理的效果更好，更牢固，通过高压电场和射频电源激励氩气，氦气等气体成为等离子态基团，等离子态基团有正离子、负离子、自由基和各种活性基团等，作用到产品表面，能清除表面原有的微量污染物和杂质；此过程也会产生刻蚀作用，能够将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品表面的粗糙比例，提高了固体表面的粘合及浸润性能。
3.传统的真空等离子表面处理机将电极片设置在两侧，再将工件放置在电极片之间，从而进行等离子处理，直接将工件放置在承载平台上，会导致一面无法进行等离子处理，等离子处理时间正常处理较长，需要对另一面再次等离子处理，需要消耗大量的时间，降低工作下效率，同时，对工件放置在承载平台上是固定不动的，对于有些孔洞内部不能进行很好的内部处理。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.为解决上述背景技术中提出的问题，本发明提供了真空等离子表面处理机，具有一次性将工件进行表面处理，同时，对孔洞内部也有很好的处理效果，大大提高工作的效率，节省处理时间的优点。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：真空等离子表面处理机，包括清洁箱体内壁两侧转动设置的固定叉，两个所述固定叉一端固设有旋转机构；
8.所述旋转机构包括与固定叉两侧固设的外固定环，两个所述外固定环之间转动设有支撑环，所述支撑环内壁相对应的位置固设有用于夹持的夹持机构，其中一个所述固定叉上端固设有用于驱动支撑环旋转的第二驱动机构；
9.所述夹持机构包括与支撑环固设的固定套，所述固定套内部滑动设有用于固定球座的滑杆，所述球座一端可转动设有夹持架；
10.所述清洁箱体侧壁开设有用于固定第一驱动机构的设备仓，所述清洁箱体开口处一侧转动设有用于密封的箱门。
11.上述技术方案中，优选的，所述夹持机构还包括开设在所述球座一端的球槽，所述球槽内活动设有半球，所述半球一端与夹持架之间固接有固定柱，所述球槽与半球相互限位。
12.上述技术方案中，优选的，所述夹持架两侧开设有纵滑槽，两个所述纵滑槽内部滑动设有与上u型夹板固定的滑块，所述夹持架下端固设有与上u型夹板相对应的下夹板，所述下夹板与上u型夹板之间夹持有工件10。
13.上述技术方案中，优选的，所述上u型夹板上端与夹持架之间固设有电缸，所述球座下端固设有用于夹持架定位的限位板，所述下夹板与上u型夹板相对的一侧均粘贴固定有用于防滑的橡胶垫。
14.上述技术方案中，优选的，所述固定套内腔底部固设有用于驱动的第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出轴通过联轴器连接有螺杆，且螺杆与滑杆中部螺纹设置。
15.上述技术方案中，优选的，所述旋转机构还包括开设在两个所述外固定环一侧的环槽，所述环槽内部转动设有与支撑环两侧固设的限位环，所述支撑环外侧周围固设有外齿圈，所述固定叉一侧开设有用于容纳旋转机构的固定槽，所述固定槽内壁两侧与两个所述外固定环固接。
16.上述技术方案中，优选的，所述第二驱动机构包括与所述固定叉表面固接的第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出轴活动贯穿固定叉侧壁并固接有与外齿圈啮合的驱动齿轮。
17.上述技术方案中，优选的，所述第一驱动机构包括固定在所述设备仓底部的减速器，所述减速器表面固设有用于驱动的第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴与减速器的输入轴固接。
18.上述技术方案中，优选的，两个所述固定叉位于清洁箱体内壁的一侧固设有与清洁箱体内壁活动插接的连接轴，位于所述第一伺服电机一侧的连接轴贯穿清洁箱体内壁并位于设备仓内，与所述减速器的输出轴固接。
19.上述技术方案中，优选的，所述清洁箱体内腔与箱门中部均设有产生等离子的电极板，且两个电极板相对应，所述清洁箱体位于设备仓上端设置的卡槽与箱门一端固定的卡扣相适配，并形成锁紧组件。
20.(三)有益效果
21.与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
22.本发明通过上u型夹板与下夹板将工件夹紧，第一伺服电机通过减速器、连接轴带动固定叉旋转，从而带动旋转机构旋转，可以改变工件在真空处理机内部的位置，使工件处于两个电极产生等离子的范围内，提高处理效果。
23.本发明通过第二伺服电机带动驱动齿轮旋转从而带动外齿圈在两个外固定环之间旋转，从而通过支撑环带动夹持机构转动，可以带动工件移动至任意位置，在第一驱动机构以及第二驱动机构工作时，在重力的作用下，工件带动半球会在球座的球槽内自由缓慢的转动，可以使工件每个表面均处于等离子范围内，从而增加表面处理效果，增加处理面积。
24.本发明通过对应一侧夹持机构的第三伺服电机带动螺杆旋转从而带动滑杆在固定套内移动，从而使夹持架向着工件一侧缓慢移动，直至工件位于上u型夹板与下夹板之间，对应一侧夹持机构的上u型夹板向下移动，将工件一端夹紧，原先夹紧的夹持机构将工件释放，使没有被处理的表面露出，从而进行表面处理，综上，该装置一次性将工件进行表面处理，从而自动操作自动处理的能力，不需要人工将真空处理箱打开，更换处理面，无需重复抽真空，节约大量的时间。
附图说明
25.图1为本发明清洁箱体立体内部示意图；
26.图2为本发明箱门与电极板位置示意图；
27.图3为本发明清洁箱体内部前视示意图；
28.图4为本发明旋转机构、第二驱动机构以及第一驱动机构示意图；
29.图5为本发明第二驱动机构俯视示意图；
30.图6为本发明旋转机构爆炸示意图；
31.图7为本发明固定套、第三伺服电机以及滑杆连接示意图；
32.图8为本发明夹持机构爆炸示意图。
33.图中：1、清洁箱体；2、夹持机构；21、夹持架；22、球座；23、固定套；24、滑杆；25、螺杆；26、第三伺服电机；27、限位板；28、球槽；29、半球；290、固定柱；210、纵滑槽；211、上u型夹板；212、电缸；213、滑块；214、橡胶垫；215、下夹板；3、固定叉；4、旋转机构；41、外齿圈；42、外固定环；43、环槽；44、支撑环；45、限位环；5、箱门；6、设备仓；7、第二驱动机构；71、第二伺服电机；72、驱动齿轮；8、第一驱动机构；81、第一伺服电机；82、连接轴；83、减速器；9、电极板；10、工件；11、固定槽；12、卡扣；13、卡槽。
具体实施方式
34.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
35.如图1至图8所示，本发明提供真空等离子表面处理机，包括清洁箱体1内壁两侧转动设置的固定叉3，两个固定叉3一端固设有旋转机构4；旋转机构4包括与固定叉3两侧固设的外固定环42，两个外固定环42之间转动设有支撑环44，支撑环44内壁相对应的位置固设有用于夹持的夹持机构2，其中一个固定叉3上端固设有用于驱动支撑环44旋转的第二驱动机构7；夹持机构2包括与支撑环44固设的固定套23，固定套23内部滑动设有用于固定球座22的滑杆24，球座22一端可转动设有夹持架21；清洁箱体1侧壁开设有用于固定第一驱动机构8的设备仓6，清洁箱体1开口处一侧转动设有用于密封的箱门5。
36.其中，第一伺服电机81、第二伺服电机71、第三伺服电机26、减速器83以及电缸212为现有技术，其结构原理不再进行赘述，本发明包括与第一伺服电机81、第二伺服电机71、第三伺服电机26适配的编译器，与电网连接的电源、控制器，微电脑以及开关等，因不是主要技术不再进行详述，同时，清洁箱体1为现有的真空箱体，还包括真空装置，等离子发生装置等，本发明为其中一个结构，设置的两个夹持机构2均为独立控制。
37.本发明分别三个操作步骤，一、夹持工件10，并将工件10固定在真空等离子箱体内；二、使工件10旋转进行表面进行处理；三、对遮挡无法清理的表面进行等离子清理，具体如下：
38.一、使用者将待处理的工件10放置在其中一个夹持机构2的上u型夹板211与下夹板215之间，然后，电缸212推动上u型夹板211向下移动，使上u型夹板211与下夹板215之间的距离变小，从而将工件10夹紧，该设置只可夹紧工件10一侧即可，从而增加工件10处理面
积，提高工件10表面处理效果。
39.二、固定完成后，需要注意的是两个夹持机构2常态下夹持架21处理垂直状态，夹持架21一侧与限位板27抵接，限位板27对夹持架21进行位置限定，另一个夹持机构2的上u型夹板211与下夹板215始终保持在开合的状态，并在常态下，使工件10一端与另一个夹持机构2的上u型夹板211与下夹板215开口相对应，第一伺服电机81、第二伺服电机71，同时接收编译器的电信号开始工作，第一伺服电机81通过减速器83、连接轴82带动固定叉3旋转，从而带动旋转机构4以连接轴82为轴心旋转，可以改变工件10在真空处理机内部的位置，因两个电极产生等离子具有一定的范围，此设置可以使工件10移动至该处理范围中，提高处理效果。
40.第二伺服电机71带动驱动齿轮72旋转从而带动外齿圈41在两个外固定环42之间旋转，从而通过支撑环44带动夹持机构2转动，该设置可以实现360度旋转，可以带动工件10移动至任意位置，在第一驱动机构8以及第二驱动机构7工作时，半球29会在球座22的球槽28内自由转动，可以使工件10每个表面均处于等离子范围内，从而增加表面处理效果，增加处理面积，如，常态下，固定柱290与球座22产生倾斜的角度，当夹持工件10的夹持机构2旋转至外固定环42的顶端时，工件10会在重力的作用下带动固定柱290和半球29与球槽28位于同一轴线，可以对工件10不同位置表面进行处理。需要注意的是，以上过程需要缓慢进行，因工件10可以变换角度因此对工件10孔洞内部也有很好的处理效果，大大提高工作的效率，节省处理时间。
41.三、大部分工件10表面处理完成后，需要使工件10旋转至常态下的位置，此时，对应一侧夹持机构2的第三伺服电机26接收编译器信号，并带动螺杆25旋转从而带动滑杆24在固定套23内移动，从而使夹持架21向着工件10一侧缓慢移动，直至工件10位于上u型夹板211与下夹板215之间，此时，对应一侧夹持机构2的电缸212通电带动上u型夹板211向下移动，从而将工件10一端夹紧，原先夹紧的夹持机构2将工件10释放，使没有被处理的表面漏出，然后，真空处理机重复上述一和二的步骤，对工件10表面进行处理，通过上述操作可以一次性将工件10进行表面处理，从而自动操作自动处理的能力，不需要人工将真空处理箱打开，更换处理面，需要重复抽真空，浪费大量的时间，还浪费内部充满的气体，增加使用成本。
42.如图1、3、4以及8所示，夹持机构2还包括开设在球座22一端的球槽28，球槽28内活动设有半球29，半球29与球槽28卡接并活动，半球29一端与夹持架21之间固接有固定柱290，半球29与固定柱290为一体铸造，增加结构稳定性，球槽28与半球29相互限位，固定套23内腔底部与第三伺服电机26安装端通过螺丝固定，第三伺服电机26的输出轴通过联轴器连接有螺杆25，且螺杆25与滑杆24中部螺纹设置，滑杆24中部设有内螺纹槽，并与螺杆25连接。
43.采用上述方案：第三伺服电机26接收编译器信号，第三伺服电机26的输出轴带动螺杆25旋转从而带动滑杆24在固定套23内移动，从而使夹持架21向着工件10一侧缓慢移动，实现夹持的动作，伺服电机具有精度高的优点，也可以通过增加减速装置为伺服电机进行减速增扭，从而增加夹持力度，半球29与球槽28相互限位，因此，半球29在球槽28内随意转动也不会掉落，固定柱290起到连接固定的作用，从而将半球29与夹持架21连接固定。
44.如图1、3、4、7、8所示，夹持架21两侧开设有纵滑槽210，两个纵滑槽210内部滑动设
有与上u型夹板211固定的滑块213，上u型夹板211与滑块213焊接固定，夹持架21下端固设有与上u型夹板211相对应的下夹板215，下夹板215与上u型夹板211之间夹持有工件10，上u型夹板211上端与夹持架21之间固设有电缸212，电缸212两端通过螺丝与上u型夹板211上端、夹持架21固定，球座22下端焊接固定有用于夹持架21定位的限位板27，下夹板215与上u型夹板211相对的一侧均粘贴固定有用于防滑的橡胶垫214，旋转机构4还包括开设在两个外固定环42一侧的环槽43，环槽43内部转动设有与支撑环44两侧固设的限位环45，支撑环44外侧周围固设有外齿圈41，固定叉3一侧开设有用于容纳旋转机构4的固定槽11，固定槽11内壁两侧与两个外固定环42固接。
45.采用上述方案：纵滑槽210与上u型夹板211滑动并限位，增加结构稳定性，纵滑槽210优选为t型槽，具有良好的限位效果，电缸212的伸缩端伸出推动上u型夹板211在纵滑槽210内向下移动，使上u型夹板211与下夹板215之间的距离变小，直到与工件10表面接触并抵紧，从而将工件10夹紧，该设置只可夹紧工件10一侧即可，从而增加工件10处理面积，提高工件10表面处理效果，橡胶垫214可以增加装置固定工件10的摩擦力，从而使工件10固定更加的牢固，防止旋转时脱落，同时，可以对工件10表面进行保护，从而因受力过大而损坏，外齿圈41带动支撑环44两侧的限位环45在外固定环42的环槽43内旋转，从而对支撑环44进行限位支撑，从而使支撑环44旋转更加的流畅。
46.如图1、3、5所示，两个固定叉3位于清洁箱体1内壁的一侧固设有与清洁箱体1内壁活动插接的连接轴82，位于第一伺服电机81一侧的连接轴82贯穿清洁箱体1内壁并位于设备仓6内，与减速器83的输出轴固接。
47.采用上述方案：两个所固定叉3通过连接轴82将旋转机构4支撑，使旋转机构4在清洁箱体1内部悬空，从而方便旋转，设备仓6用于放置驱动设备，对驱动装置进行保护，也是等离子处理机更加的美观。
48.如图4、5所示，第二驱动机构7包括与固定叉3表面与第二伺服电机71的安装端通过螺丝固定，第二伺服电机71的输出轴活动贯穿固定叉3侧壁并固接有与外齿圈41啮合的驱动齿轮72，第二伺服电机71的输出轴与驱动齿轮72过盈配合。
49.采用上述方案：第二伺服电机71的输出轴带动驱动齿轮72旋转从而带动外齿圈41在两个外固定环42之间旋转，使夹持机构2实现360度旋转，以提高工件10表面处理效果。
50.如图3、4所示，第一驱动机构8包括固定在设备仓6底部的减速器83，减速器83表面固设有用于驱动的第一伺服电机81，第一伺服电机81的输出轴与减速器83的输入轴固接。
51.采用上述方案：第一伺服电机81输出轴带动减速器83工作、减速器83带动连接轴82旋转从而带动固定叉3旋转，固定叉3带动旋转机构4以连接轴82为轴心旋转，可以改变工件10在真空处理机内部的位置，该设置需要使固定叉3缓慢旋转，以提高工件10表面处理效果。
52.如图1、2所示，清洁箱体1内腔与箱门5中部均设有产生等离子的电极板9，且两个电极板9相对应，清洁箱体1位于设备仓6上端设置的卡槽13与箱门5一端固定的卡扣12相适配，并形成锁紧组件。
53.采用上述方案：外界的控制装置使两个电极板9通电，将气体电离，形成等离子，两个电极板9之间会产生等离子区域，使工件10位于此区域即可实现表面处理的效果，而，卡槽13内部设置有锁扣，锁扣可以将卡扣12锁紧，市面上具有该种结构的锁具均可适用，使清
洁箱体1与箱门5进行密封即可，不仅限位于本发明所提及的锁紧装置。
54.本发明的工作原理及使用流程：
55.使用者先将箱门5打开，再将待处理的工件10放置在其中一个夹持机构2的上u型夹板211与下夹板215之间，然后，电线传输电力使电缸212通电其伸缩端伸出并推动上u型夹板211向下移动，使上u型夹板211与下夹板215之间的距离变小，使橡胶垫214与工件10表面接触并抵紧，从而将工件10夹紧，该设置只可夹紧工件10一侧即可，固定完成后，通过卡槽13与卡扣12锁固将箱门5与清洁箱体1闭合，通过真空设备将清洁箱体1内部抽真空处理，需要注意的是两个夹持机构2，常态下，夹持架21处理垂直状态，夹持架21一侧与限位板27抵接，限位板27对夹持架21进行位置限定，另一个夹持机构2的上u型夹板211与下夹板215始终保持在开合的状态，常态下，使工件10一端与另一个夹持机构2的上u型夹板211与下夹板215开口相对应，第一伺服电机81、第二伺服电机71，同时接收编译器的电信号开始通电工作，第一伺服电机81的输出轴带动减速器83的输入轴旋转，从而使减速器83工作，减速器83的输出轴带动连接轴82旋转从而带动固定叉3旋转，固定叉3带动旋转机构4以连接轴82为轴心旋转，在此旋转过程中，半球29在球槽28内转动，并使夹持架21在限位板27移动滑动，在重力的作用下，工件10始终与地面垂直，并改变工件10在真空处理机内部的位置。
56.第二伺服电机71通电工作，其输出轴带动驱动齿轮72旋转从而带动外齿圈41旋转，外齿圈41带动支撑环44两侧的限位环45在外固定环42的环槽43内旋转，从而对支撑环44进行限位支撑，从而通过支撑环44带动夹持机构2转动，该设置可以实现360度旋转，可以带动工件10移动至任意位置，夹持机构2转动至不同的位置，工件10的姿态也会有所不同，工件10始终受到重力的作用垂直于地面，第一驱动机构8与旋转机构4相配合，在第一驱动机构8以及第二驱动机构7工作时，半球29会在球座22的球槽28内自由转动，可以使工件10每个表面均处于等离子范围内，如，常态下，固定柱290与球座22产生倾斜的角度，当夹持工件10的夹持机构2旋转至外固定环42的顶端时，工件10会在重力的作用下带动固定柱290和半球29与球槽28位于同一轴线，可以对工件10不同位置表面进行处理，需要注意的是，以上过程需要缓慢进行，因工件10可以变换角度因此对工件10孔洞内部也有很好的处理效果。
57.工件10大部分表面处理完成后，需要使工件10旋转至常态的位置，此时，对应一侧夹持机构2的第三伺服电机26接收编译器信号，第三伺服电机26输出轴旋转并带动螺杆25旋转从而带动滑杆24在固定套23内移动，从而使夹持架21向着工件10一侧缓慢移动，直至工件10位于上u型夹板211与下夹板215之间，此时，对应一侧夹持机构2的电缸212通电带动上u型夹板211向下移动，从而将工件10一端夹紧，原先夹紧的夹持机构2将工件10释放，使没有被处理的表面露出，然后，真空处理机重复上述一和二的步骤，对工件10表面进行处理，通过上述操作可以一次性将工件10进行表面处理，从而自动操作自动处理的能力。
58.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
59.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以
理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种真空等离子表面处理机，其特征在于：包括清洁箱体(1)内壁两侧转动设置的固定叉(3)，两个所述固定叉(3)一端固设有旋转机构(4)；所述旋转机构(4)包括与固定叉(3)两侧固设的外固定环(42)，两个所述外固定环(42)之间转动设有支撑环(44)，所述支撑环(44)内壁相对应的位置固设有用于夹持的夹持机构(2)，其中一个所述固定叉(3)上端固设有用于驱动支撑环(44)旋转的第二驱动机构(7)；所述夹持机构(2)包括与支撑环(44)固设的固定套(23)，所述固定套(23)内部滑动设有用于固定球座(22)的滑杆(24)，所述球座(22)一端可转动设有夹持架(21)；所述清洁箱体(1)侧壁开设有用于固定第一驱动机构(8)的设备仓(6)，所述清洁箱体(1)开口处一侧转动设有用于密封的箱门(5)。2.根据权利要求1所述的真空等离子表面处理机，其特征在于：所述夹持机构(2)还包括开设在所述球座(22)一端的球槽(28)，所述球槽(28)内活动设有半球(29)，所述半球(29)一端与夹持架(21)之间固接有固定柱(290)，所述球槽(28)与半球(29)相互限位。3.根据权利要求2所述的真空等离子表面处理机，其特征在于：所述夹持架(21)两侧开设有纵滑槽(210)，两个所述纵滑槽(210)内部滑动设有与上u型夹板(211)固定的滑块(213)，所述夹持架(21)下端固设有与上u型夹板(211)相对应的下夹板(215)，所述下夹板(215)与上u型夹板(211)之间夹持有工件(10)。4.根据权利要求3所述的真空等离子表面处理机，其特征在于：所述上u型夹板(211)上端与夹持架(21)之间固设有电缸(212)，所述球座(22)下端固设有用于夹持架(21)定位的限位板(27)，所述下夹板(215)与上u型夹板(211)相对的一侧均粘贴固定有用于防滑的橡胶垫(214)。5.根据权利要求1所述的真空等离子表面处理机，其特征在于：所述固定套(23)内腔底部固设有用于驱动的第三伺服电机(26)，所述第三伺服电机(26)的输出轴通过联轴器连接有螺杆(25)，且螺杆(25)与滑杆(24)中部螺纹设置。6.根据权利要求1所述的真空等离子表面处理机，其特征在于：所述旋转机构(4)还包括开设在两个所述外固定环(42)一侧的环槽(43)，所述环槽(43)内部转动设有与支撑环(44)两侧固设的限位环(45)，所述支撑环(44)外侧周围固设有外齿圈(41)，所述固定叉(3)一侧开设有用于容纳旋转机构(4)的固定槽(11)，所述固定槽(11)内壁两侧与两个所述外固定环(42)固接。7.根据权利要求6所述的真空等离子表面处理机，其特征在于：所述第二驱动机构(7)包括与所述固定叉(3)表面固接的第二伺服电机(71)，所述第二伺服电机(71)的输出轴活动贯穿固定叉(3)侧壁并固接有与外齿圈(41)啮合的驱动齿轮(72)。8.根据权利要求1所述的真空等离子表面处理机，其特征在于：所述第一驱动机构(8)包括固定在所述设备仓(6)底部的减速器(83)，所述减速器(83)表面固设有用于驱动的第一伺服电机(81)，所述第一伺服电机(81)的输出轴与减速器(83)的输入轴固接。9.根据权利要求8所述的真空等离子表面处理机，其特征在于：两个所述述固定叉(3)位于清洁箱体(1)内壁的一侧固设有与清洁箱体(1)内壁活动插接的连接轴(82)，位于所述第一伺服电机(81)一侧的连接轴(82)贯穿清洁箱体(1)内壁并位于设备仓(6)内，与所述减速器(83)的输出轴固接。10.根据权利要求1所述的真空等离子表面处理机，其特征在于：所述清洁箱体(1)内腔
与箱门(5)中部均设有产生等离子的电极板(9)，且两个电极板(9)相对应，所述清洁箱体(1)位于设备仓(6)上端设置的卡槽(13)与箱门(5)一端固定的卡扣(12)相适配，并形成锁紧组件。

技术总结
本发明属于等离子处理机技术领域，且公开了一种真空等离子表面处理机，包括清洁箱体内壁两侧转动设置的固定叉，两个固定叉一端固设有旋转机构；其中一个固定叉上端固设有用于驱动支撑环旋转的第二驱动机构；清洁箱体侧壁开设有用于固定第一驱动机构的设备仓，清洁箱体开口处一侧转动设有用于密封的箱门。一次性将工件进行表面处理，同时，对孔洞内部也有很好的处理效果，大大提高工作的效率，节省处理时间。间。间。


技术研发人员：肖刚 林云峰 王金相
受保护的技术使用者：广州市安旭特电子有限公司
技术研发日：2023.05.31
技术公布日：2023/8/16