一种特殊气体扩充连接方法与流程

1.本发明涉及特气系统技术领域，具体涉及一种特殊气体扩充连接方法。


背景技术：

2.在众多的微电子行业会使用到一些特殊气体，使用设备有：有机化学气相沉积设备、镀膜设备，特殊气体有：硅烷、氨气等。这些特殊气体的性质为易燃易爆、毒腐，特殊气体一般储存在钢瓶容器内，通过一系列的安全有效的供气设备供应至使用设备，供气设备有：大流量供应设备、分流盘、吹扫盘等，在这些供气设备的内部为了有效的响应后期生产设备的扩充，会在供气设备加装扩充阀门预留口，该扩充阀门预留口常生内漏现象，导致无法使用，在当前的众多的扩充口设计操作方案，不是设计不规范达不到预期效果，就是增加冗余措施导致增加造价，或者操作不当无法评判该扩充口是否可以使用，亟需一种可解决后续在扩充阀门预留口以降低冗余措施的造价和解决预留不规范导致该扩充口无法使用问题的方案。


技术实现要素：

3.1、发明要解决的技术问题
4.针对现有的扩充口设计操作方案设计不规范达不到预期效果、增加冗余措施导致增加造价或操作不当无法评判该扩充口是否可以使用技术问题，本发明提供了一种特殊气体扩充连接方法，它可以在较低造价成本的情况下评判扩充口是否可以使用，提高特气系统的安全性。
5.2、技术方案
6.为解决上述问题，本发明提供的技术方案为：
7.一种特殊气体扩充连接方法，包括以下步骤：
8.一、在vdb、gc、tbu、tsu、bsgs特气系统设备的出口或者tbu、vdb、vmb特气系统设备的进口增加扩充口后在易燃易爆或毒腐流体进出口采用隔膜阀加vcr cap封堵；
9.二、在隔膜阀和vcr cap封堵之间增加安装压力表；
10.三、在启用前先使用氮气对隔膜阀、vcr cap封堵处进行正压压强实验至合格，然后对隔膜阀、vcr cap封堵处进行负压压强实验至合格；
11.四、观察压力表，若压力表处于阈值以下，将进口或出口预留的隔膜阀关闭，则隔膜阀至vcr cap封堵处管道处于负压状态；
12.五、以上步骤完毕后再进行送气或送液动作。
13.作为可选，所述阈值为-30psi或-14mmhg。
14.作为可选，后续启用该扩充口只需观察负压是否和使用前负压一致即可，判定一致则使用对接，如不一致则利用原有系统重新吹扫达到使用条件。
15.作为可选，在所述隔膜阀和所述vcr cap封堵中间增加安装的压力表数量至少为一。
16.作为可选，所述氮气为6n高纯氮。
17.作为可选，所述vcr垫片使用前经检查为完好无损。
18.作为可选，正压压强实验和负压压强实验的合格标准为：正压符合≥0.9mpa；负压为表盘低值≤-0.1mpa。
19.作为可选，管道安装全线使用vcr接口或焊接形式，vcr cap封堵使用vcr垫片。
20.3、有益效果
21.采用本发明提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：
22.本发明提供的技术方案在隔膜阀和vcr cap封堵之间增加安装压力表，并且在启用前先使用氮气对隔膜阀、vcr cap封堵处进行正压压强实验至合格，然后对隔膜阀、vcr cap封堵处进行负压压强实验至合格，解决了扩充口无压力表无法观察是否可以使用，解决了扩充口有压力表，外部压强导致压力上升问题，解决了双阀串联预留的高造价，提供了操作方案，避免因操作问题带来的衍生问题。
附图说明
23.图1为本发明实施例提出的一种特殊气体扩充连接方法的管路示意图。
24.图2为本发明实施例提出的现有的vdb管路示意图。
25.图3为本发明实施例提出的现有的gc管路示意图。
26.图4为本发明实施例提出的现有的tbu管路示意图。
27.图5为本发明实施例提出的现有的tsu管路示意图。
28.图6为本发明实施例提出的现有的bsgs管路示意图。
29.图7为本发明实施例提出的现有的vmb管路示意图。
具体实施方式
30.为进一步了解本发明的内容，结合附图及实施例对本发明作详细描述。
31.下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。本发明中所述的第一、第二等词语，是为了描述本发明的技术方案方便而设置，并没有特定的限定作用，均为泛指，对本发明的技术方案不构成限定作用。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。同一实施例中的多个技术方案，以及不同实施例的多个技术方案之间，可进行排列组合形成新的不存在矛盾或冲突的技术方案，均在
本发明要求保护的范围内。
32.实施例
33.结合附图1-7，一种特殊气体扩充连接方法，包括以下步骤：
34.一、在vdb、gc、tbu、tsu、bsgs特气系统设备的出口或者tbu、vdb、vmb特气系统设备的进口增加扩充口后在易燃易爆或毒腐流体进出口采用隔膜阀加vcr cap封堵；
35.二、在隔膜阀和vcr cap封堵之间增加安装压力表；
36.三、在启用前先使用氮气对隔膜阀、vcr cap封堵处进行正压压强实验至合格，氮气为6n高纯氮，然后对隔膜阀、vcr cap封堵处进行负压压强实验至合格；
37.四、观察压力表，若压力表处于阈值以下，所述阈值为-30psi或-14mmhg，将进口或出口预留的隔膜阀关闭，则隔膜阀至vcr cap封堵处管道处于负压状态；
38.五、以上步骤完毕后再进行送气或送液动作。
39.后续启用该扩充口只需观察负压是否和使用前负压一致即可，判定一致则使用对接，如不一致则利用原有系统重新吹扫达到使用条件。
40.在所述隔膜阀和所述vcr cap封堵中间增加安装的压力表数量为一，一般现有的方案为双阀串联方案，根据一阀一表的原则会配置两个压力表，本发明设置一个压力表，降低成本。所述vcr垫片使用前经检查为完好无损，避免渗漏。正压压强实验和负压压强实验的合格标准为：正压符合≥0.9mpa；负压为表盘低值≤-0.1mpa。管道安装全线使用vcr接口或焊接形式，vcr cap封堵使用vcr垫片。
41.现有的方案一般具有以下对于不同的特气系统的缺陷：
42.如图2所示，vdb(用于危险气体场合，密闭并设抽风系统，多用于管路分支较多的分流厢，进气端与gc或bsgs连接，出气端于可与多个vmb连接)，缺陷在于：进口无压力表无法检查压力状态，vcr cap常用旧gasket无法保证密封；出口vcr cap常用旧gasket无法保证密封。
43.如图3所示，gc(压力工业管道)，缺陷在于：出口无压力表无法检查压力状态，vcr cap常用旧gasket无法保证密封。
44.如图4所示，tbu(特气液体系统)，缺陷在于：扩充口多增加阀门，增加费用
45.如图5所示，tsu(特气液体系统)，出口无压力表无法检查压力状态，vcr cap常用旧gasket无法保证密封
46.如图6所示，bsgs(大宗特气输送系统)，缺陷在于：出口无压力表无法检查压力状态，vcr cap常用旧gasket无法保证密封。工艺制程中会使用到用量较大的易燃易爆/有毒有害/腐蚀性等各类特种气体sih4，nh3，cl2等，大宗特气输送系统就是把以上各种特种气体安全、稳定的、以满足工艺制程要求的压力和流量等供应至工艺设备，并且大宗特气系统本身在供应输送过程中不会对特种气体产生二次污染。
47.如图7所示，vmb(一种内嵌多支分发管与排气管，实现高纯气体或或者液体分流的阀门箱)，缺陷在于：扩充口多增加阀门，增加费用；或者就是出口无压力表无法检查压力状态，vcr cap常用旧gasket无法保证密封。
48.本发明设有压力表解决了有的方案扩充口无压力表无法观察是否可以使用，解决了扩充口有压力表，外部压强导致压力上升问题，解决了双阀串联预留的高造价问题，提供了简便易行的操作方案，避免因操作问题带来的衍生问题，例如泄漏，甚至爆炸事故。本技
术方案适用于vdb、gc、tbu、tsu、bsgs设备的出口或者tbu、vdb、vmb进口增加扩充口，将图2至图6的方框的进出扩充口改为图1本发明的方案，vcr cap封堵处使用全新vcr gasket并配备压力表检测，搭配本发明提供的技术方案操作，可达到使用及降本效果。
49.以上示意性的对本发明及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本发明创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种特殊气体扩充连接方法，其特征在于，包括以下步骤：一、在vdb、gc、tbu、tsu、bsgs特气系统设备的出口或者tbu、vdb、vmb特气系统设备的进口增加扩充口后在易燃易爆或毒腐流体进出口采用隔膜阀加vcr cap封堵；二、在隔膜阀和vcr cap封堵之间增加安装压力表；三、在启用前先使用氮气对隔膜阀、vcr cap封堵处进行正压压强实验至合格，然后对隔膜阀、vcr cap封堵处进行负压压强实验至合格；四、观察压力表，若压力表处于阈值以下，将进口或出口预留的隔膜阀关闭，则隔膜阀至vcr cap封堵处管道处于负压状态；五、以上步骤完毕后再进行送气或送液动作。2.根据权利要求1所述的一种特殊气体扩充连接方法，其特征在于，所述阈值为-30psi或-14mmhg。3.根据权利要求1所述的一种特殊气体扩充连接方法，其特征在于，后续启用该扩充口只需观察负压是否和使用前负压一致即可，判定一致则使用对接，如不一致则利用原有系统重新吹扫达到使用条件。4.根据权利要求1所述的一种特殊气体扩充连接方法，其特征在于，在所述隔膜阀和所述vcr cap封堵中间增加安装的压力表数量至少为一。5.根据权利要求1所述的一种特殊气体扩充连接方法，其特征在于，所述氮气为6n高纯氮。6.根据权利要求1所述的一种特殊气体扩充连接方法，其特征在于，所述vcr垫片使用前经检查为完好无损。7.根据权利要求1所述的一种特殊气体扩充连接方法，其特征在于，正压压强实验和负压压强实验的合格标准为：正压符合≥0.9mpa；负压为表盘低值≤-0.1mpa。8.根据权利要求1所述的一种特殊气体扩充连接方法，其特征在于，管道安装全线使用vcr接口或焊接形式，vcr cap封堵使用vcr垫片。

技术总结
本发明公开了一种特殊气体扩充连接方法，涉及特气系统技术领域，包括以下步骤：一、在VDB、GC、TBU、TSU、BSGS特气系统设备的出口或者TBU、VDB、VMB特气系统设备的进口增加扩充口后在易燃易爆或毒腐流体进出口采用隔膜阀加VCR CAP封堵；二、在隔膜阀和VCR CAP封堵之间增加安装压力表；三、在启用前先使用氮气对隔膜阀、VCR CAP封堵处进行正压压强实验至合格，然后对隔膜阀、VCR CAP封堵处进行负压压强实验至合格；四、观察压力表，若压力表处于阈值以下，将进口或出口预留的隔膜阀关闭，则隔膜阀至VCR CAP封堵处管道处于负压状态；五、以上步骤完毕后再进行送气或送液动作。本发明可以在较低造价成本的情况下评判扩充口是否可以使用，提高特气系统的安全性。提高特气系统的安全性。提高特气系统的安全性。


技术研发人员：孙兆冉
受保护的技术使用者：浙江东开半导体科技有限公司
技术研发日：2023.05.16
技术公布日：2023/8/16