一种40寸油扩散泵的制作方法

1.本发明涉及油扩散泵技术领域，具体为一种40寸油扩散泵。


背景技术：

2.油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。泵的抽气过程是油蒸汽被逐级压缩，速度接近超音速，从喷嘴中喷射而出，形成低压区，被抽气体便扩散到油蒸汽射流中而被携带到泵出口排除的过程。它由泵体、泵芯组件、油加热器、水冷挡油装置等组件组成。泵体采用sus304制造；泵芯组件是高真空油扩散泵的关键部件，由喷帽与导流管组成，材料主要有铝和碳钢；加热器为盘式加热器结构；排气口处装有挡油装置，防止油雾进入真空设备，降低了对真空设备的污染。大口径油扩散泵主要应用于真空镀膜设备、真空炉等。
3.目前国内市场上的扩散泵主要是口径普遍小于40英寸，针对大口径大抽速的高真空油扩散泵的研究很少。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种40寸油扩散泵，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种40寸油扩散泵，包括泵体、加热器、水冷挡油装置以及泵芯，所述泵体内设置有泵芯，加热器设置在泵体的底部，泵体的顶部设置有水冷挡油装置；所述泵体的外侧设置有冷却管，泵体的顶部设置有进气口法兰；所述泵体一侧底部设置有排气口结构；所述泵芯由喷嘴帽、喷嘴座、导流管组成，喷嘴帽、喷嘴座、导流管三者配套设置，且设置有若干组；所述喷嘴帽安装在喷嘴座的上侧，所述喷嘴座安装在导流管的顶部。
6.优选的，所述喷嘴帽、喷嘴座、导流管设置有五套，喷嘴帽包括第一喷嘴帽、第二喷嘴帽、第三喷嘴帽、第四喷嘴帽、第五喷嘴帽，喷嘴座包括第一喷嘴座、第二喷嘴座、第三喷嘴座、第四喷嘴座、第五喷嘴座，所述导流管包括一级导流管、二级导流管、三级导流管、四级导流管、五级导流管。
7.优选的，所述一级导流管顶部设置有第一喷嘴座，所述第一喷嘴帽安装在第一喷嘴座上侧，且二者之间通过调整垫片形成缝隙；其余成套的喷嘴帽、喷嘴座、导流管组装方式与第一喷嘴帽、第一喷嘴座、一级导流管的组装方式相同。
8.优选的，所述一级导流管内侧设置有螺杆，所述螺杆两端分别与最顶层的第一喷嘴座、最底层的第五喷嘴座固定连接。
9.优选的，所述第一喷嘴座、第二喷嘴座、第三喷嘴座、第四喷嘴座、第五喷嘴座均为伞帽形扩散喷嘴帽。
10.优选的，所述第一喷嘴座、第二喷嘴座、第三喷嘴座、第四喷嘴座、第五喷嘴座的喷射角度均为50
°
～60
°
。
11.优选的，所述水冷挡油装置由水冷挡油帽、水冷铜管组成，所述水冷铜管呈螺旋式
结构绕在水冷挡油帽外侧，所述水冷挡油帽配合套在最顶层的喷嘴帽上。
12.优选的，所述排气口结构由排气口扩散器、冷却水管、冷却铜片、排气口法兰组成；所述排气口扩散器设置在排气口结构的侧面，所述冷却水管呈螺旋式结构缠绕在排气口结构的外侧，所述冷却铜片设置在排气口结构的内部，所述排气口法兰设置在排气口结构的顶部。
13.优选的，所述泵芯采用旋压件焊接后组装。
14.优选的，所述加热器上设置有热电偶。
15.与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过加热泵油，使油蒸汽分五级喷射喷嘴喷出，使每级喷射喷嘴角度为55度，达到最佳抽气速率，实现大口径、大抽速、极限真空度高、节省能耗的效果。
附图说明
16.图1为本发明的结构示意图；
17.图2为图1中a-a处的剖面图；
18.图中标号：1、泵体；2、第一喷嘴帽；3、第二喷嘴帽；4、第三喷嘴帽；5、第四喷嘴帽；6、第五喷嘴帽；7、加热器；8、热电偶；9、进气口法兰；10、水冷挡油装置；11、排气口法兰；12、冷却水管；13、冷却铜片；14、排气口结构；15、泵芯；16、排气口扩散器；17、水冷挡油帽；18、水冷铜管；19、第一喷嘴座；20、第二喷嘴座；21、第三喷嘴座；22、第四喷嘴座；23、第五喷嘴座；24、一级导流管；25、二级导流管；26、三级导流管；27、四级导流管；28、五级导流管；29、螺杆。
具体实施方式
19.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
20.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
21.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
22.实施例：请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：一种40寸油扩散泵，包括泵体1、加热器7、水冷挡油装置10以及泵芯15，所述泵体1内设置有泵芯15，加热器7设置在泵体1的底部，泵体1的顶部设置有水冷挡油装置10；所述泵体1的外侧设置有冷却管，泵体1的顶部设置有进气口法兰9；所述泵体1一侧底部设置有排气口结构14；所述泵芯15由喷嘴帽、喷嘴
座、导流管组成，喷嘴帽、喷嘴座、导流管三者配套设置，且设置有若干组；所述喷嘴帽安装在喷嘴座的上侧，所述喷嘴座安装在导流管的顶部。通过加热器7对于泵油加热，形成油蒸气，根据喷嘴帽、喷嘴座、导流管的套数，可以选择油蒸汽分成多少级来喷出。
23.在本实施例中，所述喷嘴帽、喷嘴座、导流管设置有五套，喷嘴帽包括第一喷嘴帽2、第二喷嘴帽3、第三喷嘴帽4、第四喷嘴帽5、第五喷嘴帽6，喷嘴座包括第一喷嘴座19、第二喷嘴座20、第三喷嘴座21、第四喷嘴座22、第五喷嘴座23，所述导流管包括一级导流管24、二级导流管25、三级导流管26、四级导流管27、五级导流管28。喷嘴帽、喷嘴座、导流管设置五套，具有五个喷嘴帽，使油蒸汽分五级喷射喷嘴喷出。
24.在本实施例中，所述一级导流管24顶部设置有第一喷嘴座19，所述第一喷嘴帽2安装在第一喷嘴座19上侧，且二者之间通过调整垫片形成缝隙；其余成套的喷嘴帽、喷嘴座、导流管组装方式与第一喷嘴帽2、第一喷嘴座19、一级导流管24的组装方式相同。喷嘴帽、喷嘴座之间形成缝隙，供油蒸气喷出。
25.在本实施例中，所述一级导流管24内侧设置有螺杆29，所述螺杆29两端分别与最顶层的第一喷嘴座19、最底层的第五喷嘴座23固定连接。第一喷嘴座19位置通过螺杆29固定，能够调节最顶层的第一喷嘴座19的位置来配合使用。
26.在本实施例中，所述第一喷嘴座19、第二喷嘴座20、第三喷嘴座21、第四喷嘴座22、第五喷嘴座23均为伞帽形扩散喷嘴帽；伞帽形扩散喷嘴帽使得油蒸气的喷出角度为倾斜方向，更容易被抽气。
27.在本实施例中，所述第一喷嘴座19、第二喷嘴座20、第三喷嘴座21、第四喷嘴座22、第五喷嘴座23的喷射角度均为50
°
～60
°
；该角度喷出的油蒸气能够达到最佳抽气速率，实现大口径、大抽速、极限真空度高、节省能耗的效果。
28.在本实施例中，所述水冷挡油装置10由水冷挡油帽17、水冷铜管18组成，所述水冷铜管18呈螺旋式结构绕在水冷挡油帽17外侧，所述水冷挡油帽17配合套在最顶层的喷嘴帽上。从顶部对于泵芯15进行冷却处理，水冷挡油帽17堵住最顶层的喷嘴帽，通过缠绕的水冷铜管18达到冷却的目的。
29.在本实施例中，所述排气口结构14由排气口扩散器16、冷却水管12、冷却铜片13、排气口法兰11组成；所述排气口扩散器16设置在排气口结构14的侧面，所述冷却水管12呈螺旋式结构缠绕在排气口结构14的外侧，所述冷却铜片13设置在排气口结构14的内部，所述排气口法兰11设置在排气口结构14的顶部；冷却水管12、冷却铜片13相互配合对于出气进行冷却。
30.在本实施例中，所述泵芯15采用旋压件焊接后组装。
31.在本实施例中，所述加热器7上设置有热电偶8。
32.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种40寸油扩散泵，其特征在于：包括泵体(1)、加热器(7)、水冷挡油装置(10)以及泵芯(15)，所述泵体(1)内设置有泵芯(15)，加热器(7)设置在泵体(1)的底部，泵体(1)的顶部设置有水冷挡油装置(10)；所述泵体(1)的外侧设置有冷却管，泵体(1)的顶部设置有进气口法兰(9)；所述泵体(1)一侧底部设置有排气口结构(14)；所述泵芯(15)由喷嘴帽、喷嘴座、导流管组成，喷嘴帽、喷嘴座、导流管三者配套设置，且设置有若干组；所述喷嘴帽安装在喷嘴座的上侧，所述喷嘴座安装在导流管的顶部。2.根据权利要求1所述的一种40寸油扩散泵，其特征在于：所述喷嘴帽、喷嘴座、导流管设置有五套，喷嘴帽包括第一喷嘴帽(2)、第二喷嘴帽(3)、第三喷嘴帽(4)、第四喷嘴帽(5)、第五喷嘴帽(6)，喷嘴座包括第一喷嘴座(19)、第二喷嘴座(20)、第三喷嘴座(21)、第四喷嘴座(22)、第五喷嘴座(23)，所述导流管包括一级导流管(24)、二级导流管(25)、三级导流管(26)、四级导流管(27)、五级导流管(28)。3.根据权利要求2所述的一种40寸油扩散泵，其特征在于：所述一级导流管(24)顶部设置有第一喷嘴座(19)，所述第一喷嘴帽(2)安装在第一喷嘴座(19)上侧，且二者之间通过调整垫片形成缝隙；其余成套的喷嘴帽、喷嘴座、导流管组装方式与第一喷嘴帽(2)、第一喷嘴座(19)、一级导流管(24)的组装方式相同。4.根据权利要求2所述的一种40寸油扩散泵，其特征在于：所述一级导流管(24)内侧设置有螺杆(29)，所述螺杆(29)两端分别与最顶层的第一喷嘴座(19)、最底层的第五喷嘴座(23)固定连接。5.根据权利要求2所述的一种40寸油扩散泵，其特征在于：所述第一喷嘴座(19)、第二喷嘴座(20)、第三喷嘴座(21)、第四喷嘴座(22)、第五喷嘴座(23)均为伞帽形扩散喷嘴帽。6.根据权利要求5所述的一种40寸油扩散泵，其特征在于：所述第一喷嘴座(19)、第二喷嘴座(20)、第三喷嘴座(21)、第四喷嘴座(22)、第五喷嘴座(23)的喷射角度均为50
°
～60
°
。7.根据权利要求1所述的一种40寸油扩散泵，其特征在于：所述水冷挡油装置(10)由水冷挡油帽(17)、水冷铜管(18)组成，所述水冷铜管(18)呈螺旋式结构绕在水冷挡油帽(17)外侧，所述水冷挡油帽(17)配合套在最顶层的喷嘴帽上。8.根据权利要求1所述的一种40寸油扩散泵，其特征在于：所述排气口结构(14)由排气口扩散器(16)、冷却水管(12)、冷却铜片(13)、排气口法兰(11)组成；所述排气口扩散器(16)设置在排气口结构(14)的侧面，所述冷却水管(12)呈螺旋式结构缠绕在排气口结构(14)的外侧，所述冷却铜片(13)设置在排气口结构(14)的内部，所述排气口法兰(11)设置在排气口结构(14)的顶部。9.根据权利要求1所述的一种40寸油扩散泵，其特征在于：所述泵芯(15)采用旋压件焊接后组装。10.根据权利要求1所述的一种40寸油扩散泵，其特征在于：所述加热器(7)上设置有热电偶(8)。

技术总结
本发明涉及油扩散泵技术领域，具体公开了一种40寸油扩散泵，包括泵体、加热器、水冷挡油装置以及泵芯，所述泵体内设置有泵芯，加热器设置在泵体的底部，泵体的顶部设置有水冷挡油装置；所述泵体的外侧设置有冷却管，所述水冷挡油装置顶部设置有水冷挡油帽，泵体的顶部设置有进气口法兰；所述泵体一侧底部设置有排气口结构；所述泵芯由喷嘴帽、喷嘴座、导流管组成，喷嘴帽、喷嘴座、导流管三者配套设置，且设置有若干组；所述喷嘴帽安装在喷嘴座的上侧，且二者之间通过调整垫片形成缝隙，所述喷嘴座安装在导流管的顶部；本发明通过加热泵油，使油蒸汽分多级喷射喷嘴喷出，达到最佳抽气速率，实现大口径、大抽速、极限真空度高、节省能耗的效果。耗的效果。耗的效果。


技术研发人员：高杰 王路 梁亚军 王帅峰
受保护的技术使用者：蒙城繁枫真空科技有限公司
技术研发日：2023.06.21
技术公布日：2023/8/16