电容防护装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种电容防护装置。


背景技术：

2.射频化学气相沉积是指用射频等离子体激活反应气体，促进在基体表面或近表面空间进行化学反应，生成固态膜的技术。为更好匹配射频阻抗，射频匹配器上共配置有14颗云母电容，电容量从最小的2.2nf到51nf。出于工艺要求射频等离子体处于常态化工作状态，且在高深宽比填充工艺中需多次进行高频和低频的快速切换，电容在这样的的工作状态下，容易发生破裂现象，电容破裂所产生大量金属及燃烧产物溅射后会污染整个机台腔体表面各处，在开腔做维护保养时极易污染机台腔体内部的零部件，严重时甚至需更换gas ring(气体激光环)/esc(静电吸盘)等昂贵部件，造成极大损失。
3.为了防止电容破裂后金属掉落至机台腔体的穹顶上，目前有通过在射频匹配器的底部镂空部分加装绝缘垫片的做法，但是这种做法会导致电容散热不好造成电容使用寿命缩短且破裂方向发生变化。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种电容防护装置，解决了现有射频匹配器上的电容容易破裂以及破裂后极易污染机台腔体内的零部件的问题。
5.为达到上述目的，本实用新型提供一种电容防护装置，用于降低射频匹配器上的电容的破裂概率及污染影响，包括一绝缘保护垫及散热单元，所述绝缘保护垫位于射频转换器的壳体内且与所述射频匹配器具有预定距离，所述射频转换器的壳体位于所述射频匹配器的壳体与机台腔体之间，所述散热单元用于对所述射频匹配器上的电容进行散热。
6.可选的，所述散热单元包括设置在所述射频匹配器的壳体顶部的若干散热风扇以及设置在所述射频匹配器的壳体的侧壁上的若干排风口，所述散热风扇能够向所述电容吹气，所述排风口用于排气。
7.可选的，所述散热风扇的出风口竖直向下。
8.可选的，所述散热风扇的出风口对准所述射频匹配器上的电容。
9.可选的，所述散热风扇均匀分布在所述射频匹配器的壳体顶部。
10.可选的，所述散热风扇为四个且呈矩形阵列的方式分布在所述射频匹配器的壳体顶部。
11.可选的，所述排风口由若干孔洞排列而成。
12.可选的，所述绝缘保护垫通过螺纹连接的方式固定。
13.可选的，所述绝缘保护垫的周向边缘开设有若干用于与所述射频匹配器的壳体以及所述射频转换器的壳体螺纹连接的螺纹孔。
14.可选的，所述绝缘保护垫的材质为橡胶。
15.在本实用新型提供的一种电容防护装置中，通过在所述射频转换器的壳体内设置
绝缘保护垫，能够有效地承接电容破碎所产生大量金属及燃烧产物，防止掉落至机台腔体的穹顶上，进而避免开腔做维护保养时污染机台腔体内部的零部件。同时所述绝缘保护垫与所述电容具有较大的间距，当利用所述散热单元对所述电容进行散热时不会影响其散热效果，从而保证所述电容的使用寿命。
附图说明
16.本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本实用新型，而不对本实用新型的范围构成任何限定。其中：
17.图1为本实用新型一实施例提供的电容防护装置的结构示意图。
18.附图中：
19.1-电容；2-绝缘保护垫；3-散热风扇；4-射频转换器的壳体；5-射频匹配器的壳体；6-穹顶；7-排风口；8-穹顶保护壳。
具体实施方式
20.为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需要说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施方式的目的。为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型实施的限定条件，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在与本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的相同或近似的情况下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
21.如在本实用新型中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本实用新型中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本实用新型中所使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本实用新型中所使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征。
22.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.请参照图1，图1为本实用新型一实施例提供的电容防护装置的结构示意图。本实施例提供了一种电容防护装置，用于降低射频匹配器上的电容1的破裂概率及污染影响，包括一绝缘保护垫2及散热单元，所述绝缘保护垫2位于射频转换器的壳体4内且与所述射频匹配器具有预定距离，所述射频转换器的壳体4位于所述射频匹配器的壳体5与机台腔体之
间，所述散热单元用于对所述射频匹配器上的电容1进行散热。
24.通过在所述射频转换器的壳体4内设置绝缘保护垫2，能够有效地承接电容1破碎所产生大量金属及燃烧产物，防止掉落至机台腔体的穹顶6上，进而避免开腔做维护保养时污染机台腔体内部的零部件。同时所述绝缘保护垫2与所述电容1具有较大的间距，当利用所述散热单元对所述电容1进行散热时不会影响其散热效果，从而保证所述电容1的使用寿命。
25.具体的，所述散热单元包括设置在所述射频匹配器的壳体5顶部的若干散热风扇3以及设置在所述射频匹配器的壳体5的侧壁上的若干排风口7，所述散热风扇3能够向所述电容1吹气，所述排风口7用于排气。通过所述散热风扇3向所述电容1吹扫气体，能够有效带走所述电容1的热量，降低所述电容1的温度，同时在所述射频匹配器的壳体5的侧壁上开设排风口7，能够将升温后的气体排出，并形成风循环路径，进而源源不断地带走电容1上的热量。
26.优选的，所述散热风扇3的出风口竖直向下，也就是说，气体从上往下吹入所述射频匹配器，然后再从所述射频匹配器的侧壁排出，散热效果更佳。
27.更优选的，所述散热风扇3的出风口对准所述射频匹配器上的电容1。当然，考虑到成本和布局的问题，可以是所述散热风扇3对准部分所述电容，也可以是对准整个电容，本技术对此不作限制。
28.本实施例中，所述散热风扇3均匀分布在所述射频匹配器的壳体5顶部。当然，也可以采用非均匀的分布方式，例如根据电容1的位置适当调整所述散热风扇3的位置，本技术对此不作任何限制。
29.本实施例中，所述散热风扇3为四个且呈矩形阵列的方式分布在所述射频匹配器的壳体5顶部。同理，本技术对于所述散热风扇3的数量亦不作具体限制，可根据散热需求进行调整。
30.优选的，所述排风口7由若干孔洞排列而成，能够增加气体的流通，以及增加热风排出所述射频匹配器的壳体5外的速度，更好的带走所述射频匹配器内的热量，进而充分降低电容1所处环境温度，保证电容1使用寿命。
31.本实施例中，所述绝缘保护垫2通过螺纹连接的方式固定。
32.优选的，所述绝缘保护垫2的周向边缘开设有若干用于与所述射频匹配器的壳体5以及所述射频转换器的壳体4螺纹连接的螺纹孔。也就是说，可通过同一个螺钉从上往下依次旋紧固定所述射频匹配器的壳体5、所述绝缘保护垫2以及所述射频转换器的壳体4上对应位置处的螺纹孔，既简化了连接结构，同时也保证了所述射频匹配器的壳体5、所述绝缘保护垫2以及所述射频转换器的壳体4三者之间的连接稳固性。本实施例中，所述穹顶6外还设置有穹顶保护壳8，所述射频转换器的壳体4设置在所述穹顶保护壳8上。
33.优选的，所述绝缘保护垫2的材质为橡胶。当然，也可以采用其它绝缘材料，本技术对此不作限制。
34.综上，本实用新型实施例提供了一种电容1防护装置，用于降低射频匹配器上的电容1的破裂概率及污染影响，包括一绝缘保护垫2及散热单元，所述绝缘保护垫2位于射频转换器的壳体4内且与所述射频匹配器具有预定距离，所述射频转换器的壳体4位于所述射频匹配器的壳体5与机台腔体之间，所述散热单元用于对所述射频匹配器上的电容1进行散
热。通过在所述射频转换器的壳体4内设置绝缘保护垫2，能够有效地承接电容1破碎所产生大量金属及燃烧产物，防止掉落至机台腔体的穹顶6上，进而避免开腔做维护保养时污染机台腔体内部的零部件。同时所述绝缘保护垫2与所述电容1具有较大的间距，当利用所述散热单元对所述电容1进行散热时不会影响其散热效果，从而保证所述电容1的使用寿命。
35.上述描述仅是对本实用新型较佳实施方式的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本实用新型的保护范围。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若这些修改和变型属于本实用新型及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。

技术特征：
1.一种电容防护装置，用于降低射频匹配器上的电容的破裂概率及污染影响，其特征在于，包括一绝缘保护垫及散热单元，所述绝缘保护垫位于射频转换器的壳体内且与所述射频匹配器具有预定距离，所述射频转换器的壳体位于所述射频匹配器的壳体与机台腔体之间，所述散热单元用于对所述射频匹配器上的电容进行散热。2.根据权利要求1所述的电容防护装置，其特征在于，所述散热单元包括设置在所述射频匹配器的壳体顶部的若干散热风扇以及设置在所述射频匹配器的壳体的侧壁上的若干排风口，所述散热风扇能够向所述电容吹气，所述排风口用于排气。3.根据权利要求2所述的电容防护装置，其特征在于，所述散热风扇的出风口竖直向下。4.根据权利要求2或3所述的电容防护装置，其特征在于，所述散热风扇的出风口对准所述射频匹配器上的电容。5.根据权利要求2所述的电容防护装置，其特征在于，所述散热风扇均匀分布在所述射频匹配器的壳体顶部。6.根据权利要求5所述的电容防护装置，其特征在于，所述散热风扇为四个且呈矩形阵列的方式分布在所述射频匹配器的壳体顶部。7.根据权利要求2所述的电容防护装置，其特征在于，所述排风口由若干孔洞排列而成。8.根据权利要求1所述的电容防护装置，其特征在于，所述绝缘保护垫通过螺纹连接的方式固定。9.根据权利要求8所述的电容防护装置，其特征在于，所述绝缘保护垫的周向边缘开设有若干用于与所述射频匹配器的壳体以及所述射频转换器的壳体螺纹连接的螺纹孔。10.根据权利要求1所述的电容防护装置，其特征在于，所述绝缘保护垫的材质为橡胶。

技术总结
本实用新型提供了一种电容防护装置，用于降低射频匹配器上的电容的破裂概率及污染影响，包括一绝缘保护垫及散热单元，所述绝缘保护垫位于射频转换器的壳体内且与所述射频匹配器具有预定距离，所述射频转换器的壳体位于所述射频匹配器的壳体与机台腔体之间，所述散热单元用于对所述射频匹配器上的电容进行散热。通过在所述射频转换器的壳体内设置绝缘保护垫，能够有效地承接电容破碎所产生大量金属及燃烧产物，防止掉落至机台腔体的穹顶上，进而避免开腔做维护保养时污染机台腔体内部的零部件。同时所述绝缘保护垫与所述电容具有较大的间距，当利用所述散热单元对所述电容进行散热时不会影响其散热效果，从而保证所述电容的使用寿命。的使用寿命。的使用寿命。


技术研发人员：赵太林 黄彪 张欣 张波
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2023.02.24
技术公布日：2023/8/19