晶圆暂存储料装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆片储存设备技术领域，具体涉及晶圆暂存储料装置。


背景技术：

2.晶圆片加工需要经过多个工艺步骤，在不同的工艺流程中需要使用不同的加工设备，因此在一道工艺流程完成后就需要对晶圆片进行暂存，然后转运到下一个晶圆片加工的流程设备中。因为晶圆片易碎，并且需要保护晶圆片表面光洁度，因此就需要专门的用于晶圆片储存的箱体。如公开号为cn 208544579u的专利中就公开了一种两用晶圆放置箱，这种放置箱可以用来放置晶圆片，但是传统的放置箱一旦放置晶圆片后，就无法再改变外形和高度，为了拿取放置晶圆片方便，传统的放置箱通常设计的放置层较高，这样放置箱的体积很大，但是放置晶圆片反而不多，空间利用率较低。


技术实现要素：

3.针对以上问题，本实用新型提供一种方便改变放置晶圆片箱体高度，空间利用更加合理的晶圆暂存储料装置。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该晶圆暂存储料装置包括上下层位置水平的边层框，上下的边层框之间装配有两层以上的中层框，所述边层框为四方形状，所述中层框为具有三边结构的n形框架，所述边层框的两侧与中层框之间分别通过中间可以弯折的v字型折板相连，所述中层框与相邻的中层框之间通过两侧位置的所述折板相连，所述中层框三个边的内侧装配有夹块，所述夹块的中间加工有夹槽，晶圆片放置在中层框的三个夹块的夹槽中，上下层的所述边层框四个角位置分别通过竖直管状的抽拉件相连，上下的所述边层框、中层框之间通过抽拉件具有竖直的展开和压缩两种状态。
5.作为优选，所述边层框、中层框均使用金属方管制作而成。
6.作为优选，所述折板包括两片铰接的硬质板，底部硬质板上设计有顶块，当所述中层框与边层框位于压缩位置时，所述折板的上边板压紧在所述顶块位置。
7.作为优选，所述抽拉件包括竖直的粗管，以及滑动装配在所述粗管内的细管，所述细管可以相对所述粗管保持缩回和抽出两种状态。
8.作为优选，所述抽拉件为气缸。
9.作为优选，所述细管与粗管连接位置的端部设计有水平的通孔，所述通孔内侧贴紧有卡球，所述卡球的后部通过弹簧顶紧，所述粗管与细管的连接位置设计有水平贯通的卡口，当将所述细管从粗管拉出时，所述卡球伸出细管的通孔卡入所述卡口中。
10.作为优选，所述细管内部设计有更细的伸缩管。
11.作为优选，所述边层框的两侧中间位置设计有水平伸出的控制边。
12.本实用新型的有益效果在于：本晶圆暂存储料装置主要用来储存晶圆片，该装置使用时，通过抽拉件将该装置竖直向展开，使得所述上下两个中层框的距离变大，这时更加方便将晶圆片放置上去或者取出。当晶圆片在该装置中需要暂时储存时，通过抽拉件将该
装置竖直向压缩，使得该装置整体占用空间较小，方便放置储存，同时该装置使用框架结构，便于使用该装置直接放置烘干或者喷淋设备中，这时抽拉结构也方便该装置设置尺寸，可以将该装置使用在不同的放置尺寸中。
附图说明
13.图1是晶圆暂存储料装置压缩状态时正面的结构示意图。
14.图2是晶圆暂存储料装置展开状态时正面的结构示意图。
15.图3是图1中a-a向的剖面结构示意图。
16.图4是图2中p部分放大的剖面结构示意图。
具体实施方式
17.下面结合实施例对本实用新型进一步说明：
18.在本专利中，所使用的方向性词语，其关系均为基于附图1所示图形的方位或位置关系，仅是为了简化描述本技术，而不是指示装置或元件必须具有的特定方位，因此不能理解为对本技术的限制。
19.在本实施例中，如图1、图2和图3所示，该晶圆暂存储料装置整体采用框架结构，它包括上下层位置水平的边层框1，上下的边层框1之间装配有两层以上的中层框2，所述边层框1为四方形状，所述中层框2为具有三边结构的n形框架，在本实施例中，所述中层框2的三边均为直边。所述边层框1的两侧与中层框2之间分别通过中间可以弯折的v字型折板3相连，所述中层框2与相邻的中层框2之间通过两侧位置的所述折板3相连，所述中层框2三个边的内侧装配有夹块21，所述夹块使用橡胶材料制作。所述夹块21的中间加工有夹槽，所述晶圆片4放置在中层框2的三个夹块21的夹槽中。上下层的所述边层框1四个角位置分别通过竖直管状的抽拉件5相连，上下的所述边层框1、中层框2之间通过抽拉件5如图1所示的压缩状态，以及如图2所示的展开状态。
20.本晶圆暂存储料装置主要用来储存晶圆片4，该装置的每层中层框2都可以放置一个晶圆片4。该装置使用时，通过抽拉件5将该装置竖直向展开，使得所述上下两个中层框的距离变大，这时更加方便将晶圆片4放置上去或者取出。当晶圆片4在该装置中需要暂时储存时，通过抽拉件5将该装置竖直向压缩，使得该装置整体占用空间较小，方便放置储存，同时该装置使用框架结构，便于使用该装置直接放置烘干或者喷淋设备中，这时抽拉结构也方便该装置设置尺寸，可以将该装置使用在不同的放置尺寸中。另外该装置在两侧和后部均设计有夹块21，而装置整体成方框形状，这样将该装置仰卧放倒，同样可以用来放置晶圆片4。
21.在具体设计时，如图1、图2和图3所示，所述边层框1、中层框2均使用金属方管制作而成。这样便于在中层框2上安装夹块21，同时方管也便于切料焊接，而且方管制作的框架放置时也更为平整。所述折板3可以直接使用弹性弯折的单个板料制作，也可以使用两个硬质板铰接，同时在硬质板的底部设计有顶块31，当所述中层框2与边层框1位于压缩位置时，所述折板3的上边板压紧在所述顶块31位置。这样当该装置处于压缩状态时，所述顶块31可以起到支撑作用，防止中层框2之间的折板弯折的太厉害，防止中层框上的晶圆片受到挤压。另外该装置展开时，所述折板上下方向正好完全打开，使得上下晶圆板之间距离更大。
22.在具体设计时，如图1、图2和图4所示，所述抽拉件5包括竖直的粗管51，以及滑动装配在所述粗管内的细管52，所述细管52可以相对所述粗管保持缩回和抽出两种状态。为了使得所述细管52与粗管51可以保持抽出位置，所述细管52与粗管51连接位置的端部设计有水平的通孔，所述通孔内侧贴紧有卡球53，所述卡球53的后部通过弹簧54顶紧，所述粗管51与细管52的连接位置设计有水平贯通的卡口55，所述卡口55直径小于所述卡球53直径。这样可以防止卡球53从所述卡口漏出。当将所述细管52从粗管51拉出时，所述卡球53伸出细管52的通孔卡入所述卡口55中。这种锁紧结构，在如图1状态时，卡球53缩入所述粗管内，在图2所示状态时，卡球53左端伸出所述卡口55，实现锁死。但是这种锁死结构锁死力度较小，当细管52与粗管51使用较大的竖直轴向力时，可以重新将所述卡球53挤回所述粗管51内。这样抽拉件5保持两个状态都较为方便。具体设计时，所述抽拉件5为三抽结构，所述细管52内部设计有更细的伸缩管。这样所述粗管51可以抽出两段，伸缩比例更大。另外为了方便的拉伸和收缩，所述边层框1的两侧中间位置设计有水平伸出的控制边11。人们可以通过所述控制边实现对该装置的控制。
23.另外在具体设计时，所述抽拉件5也可以采用气缸结构，通过气动阀门实现对抽拉件的控制，实现自动化抽拉，使用更加的方便。
24.以上实施例仅为本实用新型的较佳方式，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种晶圆暂存储料装置，它包括上下层位置水平的边层框(1)，上下的边层框(1)之间装配有两层以上的中层框(2)，所述边层框(1)为四方形状，所述中层框(2)为具有三边结构的n形框架，其特征在于：所述边层框(1)的两侧与中层框(2)之间分别通过中间可以弯折的v字型折板(3)相连，所述中层框(2)与相邻的中层框(2)之间通过两侧位置的所述折板(3)相连，所述中层框(2)三个边的内侧装配有夹块(21)，所述夹块(21)的中间加工有夹槽，晶圆片(4)放置在中层框(2)的三个夹块(21)的夹槽中，上下层的所述边层框(1)四个角位置分别通过竖直管状的抽拉件(5)相连，上下的所述边层框(1)、中层框(2)之间通过抽拉件(5)具有竖直的展开和压缩两种状态。2.根据权利要求1所述的晶圆暂存储料装置，其特征在于：所述边层框(1)、中层框(2)均使用金属方管制作而成。3.根据权利要求1所述的晶圆暂存储料装置，其特征在于：所述折板(3)包括两片铰接的硬质板，底部硬质板上设计有顶块(31)，当所述中层框(2)与边层框(1)位于压缩位置时，所述折板(3)的上边板压紧在所述顶块(31)位置。4.根据权利要求1所述的晶圆暂存储料装置，其特征在于：所述抽拉件(5)包括竖直的粗管(51)，以及滑动装配在所述粗管内的细管(52)，所述细管(52)可以相对所述粗管(51)保持缩回和抽出两种状态。5.根据权利要求1-4中任一条所述的晶圆暂存储料装置，其特征在于：所述抽拉件为气缸。6.根据权利要求4所述的晶圆暂存储料装置，其特征在于：所述细管(52)与粗管(51)连接位置的端部设计有水平的通孔，所述通孔内侧贴紧有卡球(53)，所述卡球(53)的后部通过弹簧(54)顶紧，所述粗管(51)与细管(52)的连接位置设计有水平贯通的卡口(55)，当将所述细管(52)从粗管(51)拉出时，所述卡球(53)伸出细管(52)的通孔卡入所述卡口(55)中。7.根据权利要求6所述的晶圆暂存储料装置，其特征在于：所述细管(52)内部设计有更细的伸缩管。8.根据权利要求1-4中任一条所述的晶圆暂存储料装置，其特征在于：所述边层框(1)的两侧中间位置设计有水平伸出的控制边(11)。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆暂存储料装置，它包括上下层位置水平的边层框，上下的边层框之间装配有两层以上的中层框，所述边层框的两侧与中层框之间分别通过中间可以弯折的v字型折板相连，所述中层框与相邻的中层框之间通过两侧位置的所述折板相连，所述中层框三个边的内侧装配有夹块，所述夹块的中间加工有夹槽，晶圆片放置在中层框的三个夹块的夹槽中，上下层的所述边层框四个角位置分别通过竖直管状的抽拉件相连，上下的所述边层框、中层框之间通过抽拉件具有竖直的展开和压缩两种状态。展开状态便于晶圆片的放置和取出，压缩状态使得该装置整体占用空间较小，方便放置储存。方便放置储存。方便放置储存。


技术研发人员：曾麒文 洪成都
受保护的技术使用者：苏州桔云科技有限公司
技术研发日：2023.02.14
技术公布日：2023/8/19