一种提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具及应用的制作方法

1.本发明涉及一种提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具及应用，属于半导体激光器技术领域。


背景技术：

2.半导体激光器具有全固态、体积小、重量轻、长寿命、转换效率高等优点，被广泛应用于军事、医疗、光通信、激光加工等领域。有着非常广泛的应用前景，市场需求量及发展潜力巨大。在半导体激光器芯片生产的工艺过程中，需要将晶片解理成巴条，并对巴条的自然解理面也就是腔面进行镀膜，进一步提高输出功率，降低阈值电流，保护腔面不被氧化，提高激光器的使用寿命。
3.目前腔面镀膜工艺从抽真空、加热、镀膜、破真空，生产时间较长。且传统夹具所夹持的巴条数量较少，大部分为镀膜夹具本身所占设备工件盘空间，相同时间下产出巴条数量较低，导致生产成本较高。同时传统夹具对巴条的夹持主要通过刚性压紧和弹簧拉紧的方式，在镀膜高温环境下，容易导致巴条的掉落，对产品造成一定损失，减低巴条产出率。
4.传统巴条镀膜夹具主要分为两种结构：
5.中国专利文件cn105006740a公开了一种条形半导体端面镀膜夹具及其应用，提出了一种条形半导体激光器端面镀膜夹具及其应用，其结构是u形底框，两侧设有滑槽，压板两端凸字形结构嵌入滑槽，并通过滑槽压住巴条，然后用螺丝拧紧压板。这种结构精度不高，容易造成巴条和陪条之间错位。且无法夹持数量较多巴条。在高低温情况下夹具本身刚性夹持产生的应变容易导致巴条掉落，造成损失。
6.中国专利cn104218446a公开了一种半导体激光器装条装置及装条方法，其结构是通过滑杆、滑块、弹簧组成的结构，导向用的滑杆用弹簧控制，通过两侧弹簧拉力对巴条进行夹持。该结构巴条夹持数量受限于滑杆的长度和弹簧的拉力，同时滑杆需要留出上滑块移动的空间，对夹具镀膜空间利用上造成一定浪费。
7.同时该结构滑杆未做防护，对两轴之间位置公差精度高，常会出现卡住滑块导致两侧弹簧拉力不一致，从而受力不均，使得夹持力度有偏差，对产品造成膜料渗入、镀膜不均、甚至掉落的影响。该结构装在设备工件盘上需要压住上下滑块，降低弹簧起到的作用，对夹具本身夹持巴条也有一定风险。


技术实现要素：

8.针对现有技术的不足，本发明提供了一种提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具及应用，通过设计燕尾定向导轨，使夹板单一方向滑动，并减少上下夹板的面积，与传统夹具巴条夹持数量相比，单位空间内提高2倍巴条夹持数量。同时夹板上设有锁定和弹性结构，夹板通过弹簧弹性夹住巴条，消除高温和急速降温过程中，夹具工装产生应变而导致巴条掉落，提高巴条的产量和良率。
9.本发明的夹具设有防护盖，与弹簧夹板保持一定间隙，确保弹簧夹板上的弹簧对
巴条保持一定的弹性势能，同时防护盖对导轨起到保护作用，防止被镀膜，延长夹具的使用寿命，提高生产效率，降低生产成本。夹具镀膜面设有放置陪镀片平台，与巴条位置距离较近，能每炉监控巴条前后腔面反射率状态，且不占用夹持巴条空间。
10.本发明采用如下技术方案：
11.一种提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，包括底座、防护盖和弹簧夹板，其中底座为方形框架结构，两侧设有燕尾台；
12.弹簧夹板成对设置，一对弹簧夹板包括一弹簧夹板a和一弹簧夹板b，弹簧夹板a和弹簧夹板b两侧均设置有燕尾槽，与底座的燕尾台配合能够上下滑动；一对弹簧夹板中，弹簧夹板a和弹簧夹板b之间用于夹持巴条和陪条，弹簧夹板a、b中间设有弹簧，保持前后带有一定弹性；其中，弹簧夹板a固定于底座上，弹簧夹板b为滑动连接，利用弹力夹紧巴条和陪条，所述弹簧夹板b与下一对弹簧夹板的弹簧夹板a之间通过弹簧连接，通过弹簧提供弹性力；如图7所示，包括4对弹簧夹板，其中最后一对弹簧夹板需要额外的弹簧夹板a来提供弹力，即弹簧夹板b数量为4个，弹簧夹板a的数量为5个；
13.所述防护盖盖在底座上方，防护盖上和底座下方均设有陪镀片平台，用于放置陪镀片。
14.优选的，所述防护盖为方形框架结构，中间设有方孔，方孔四周上表面设有非对称倒角，不会阻挡各个角度的蒸镀分子沉积在巴条腔面；
15.陪镀片平台设置于方孔一侧用于放置镀膜陪镀片监控镀膜反射率，所述防护盖下表面两侧设有台阶，与底座设置两侧沉台配合定位，确保防护盖与弹簧夹板之间保持1mm间隙。
16.优选的，所述底座也为方形框架结构，中间设置有方孔，方孔的大小、位置与防护盖的方孔一致，便于露出巴条进行镀膜；
17.底座方孔下表面四周设置有非对称倒角，确保不会遮挡蒸镀分子沉积，底座上表面两侧设有沉台，与防护盖两侧的台阶配合定位；陪镀片平台设置于方孔一侧，用于监控不同面的镀膜反射率。因为巴条前腔面和后腔面都需要镀膜，且薄膜不一样，正反面都需要放置陪镀片监控，陪镀片采用耐温胶粘贴在陪镀片平台上。本发明能够最大程度利用镀膜空间，陪镀片平台位置与巴条位置相近，能最大限度体现出巴条腔面的反射率和厚度。
18.优选的，防护盖长79mm宽55mm，方孔长68mm，宽24.5mm，防护盖上的非对称倒角，横向偏置4mm，竖向偏置1.5mm，台阶高度为5.4mm；
19.底座长79mm宽55mm，因底座厚度较厚，厚度为3mm，设置倒角横向偏置5mm，竖向偏置2.3mm；偏置是指指定方向的偏移位移量；
20.底座上燕尾台高1.5mm，宽3mm，贯穿底座长度方向，与弹簧夹板两侧的燕尾槽配合，通过定义其角度公差、对称度、光洁度、平行度、平面度，实现高精度定向滑动；燕尾台距离方孔边缘6mm，减少了膜料渗入到导轨，对导轨精度产生影响，延长夹具的使用寿命；底座前后端设有底座凸台，底座凸台长27.5mm，宽3mm，高4mm，用于支撑防护盖。
21.优选的，所述弹簧夹板a上部两端设置有螺纹孔，顶丝穿过螺纹孔固定于底座的燕尾台上；
22.弹簧夹板a一侧设置有凸台a，用于夹持巴条，另一侧设置有三个直径2mm厚度1mm的沉孔，其中两端的沉孔均固定连接有连接件，连接件上套有弹簧，弹簧始终保持压缩状
态，中间的沉孔中心设有圆台，用于卡住弹簧一端。
23.优选的，弹簧夹板b与弹簧夹板a类似，弹簧夹板b的燕尾槽顶部不再设有螺纹孔，为活动夹板；所述弹簧夹板b一侧设置有凸台b，用于与凸台a配合夹持巴条，另一侧的两端设置有两个2mm的沉孔，沉孔之间设有1mm通孔，用于穿过连接件；中间设置有沉孔，沉孔中心设有圆台，用于卡住弹簧的另一端。弹簧夹板b通过弹簧夹板a、b之间弹簧在活动方向具有一定弹性压缩空间。连接件从通孔穿过，套上弹簧，连接件端部螺纹与弹簧夹板a的螺纹连接固定。弹簧夹板压住巴条时，弹簧夹板a固定在燕尾台，通过中间的三个弹簧使得弹簧夹板b弹性压住巴条，解决刚性夹持件高低温环境下产生的巴条掉落风险。
24.优选的，所述弹簧夹板a两端的沉孔内设置有螺纹孔，所述连接件为圆柱形结构，其一端设置有外螺纹，用于螺纹固定在弹簧夹板a两端的直径1mm的螺纹孔内，另一端穿过弹簧夹板b的通孔，端部设置有限位凸台，限位凸台的设置能够限定弹簧夹板b与弹簧夹板a之间的最大距离。工作时，弹簧夹板b能够相对于弹簧夹板a移动，由于连接件上套有弹簧，圆台上也设有弹簧，弹簧始终保持压缩状态，依靠弹簧的弹力推动弹簧夹板b夹紧巴条。
25.优选的，三个弹簧的结构、性质相同，弹簧自由长度为3mm，弹簧夹板a的长43.5mm宽4mm，凸台a和凸台b尺寸相同，以夹持1000μm腔长巴条为例，凸台a和凸台b长为22mm，高为0.8mm，宽为2.5mm，针对不同腔长的巴条可修改不同的凸台高度，比如夹持1000μm腔长巴条，则凸台高度为0.8mm；夹持4000μm腔长巴条，凸台高度为2mm，凸台高度实质小于巴条腔长，能够适应不同产品巴条的夹持。要求凸台a和凸台b表面平面度0.02mm和粗糙度3.6，确保刚性夹持件对巴条不会产生损伤或夹持存在缝隙产生的膜料渗入，影响巴条产出。
26.弹簧夹板a的圆台直径为1.3mm，圆台用于卡住弹簧。弹簧夹板a底部左右两侧设有燕尾槽，同样和燕尾台有角度公差、平面度、光洁度要求，与底座燕尾台配合。弹簧夹板a上部两端的螺纹孔之间为2mm，方便顶丝压紧弹簧夹板a，使得弹簧夹板a固定。
27.一种上述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具的应用，包括如下步骤：
28.(1)准备好巴条和陪条，将一对弹簧夹板的弹簧夹板a通过燕尾槽和燕尾台配合固定在底座上，与一侧的底座凸台紧贴；
29.(2)首先使用吸笔吸取陪条，该陪条接触弹簧夹板a的凸台a，然后吸取巴条紧靠在陪条一侧放置，依次放置多个陪条、巴条，陪条与巴条交替放置，最后以陪条结束；放置完成后，安装下一对弹簧夹板的弹簧夹板a，将弹簧夹板b套入燕尾台压紧陪条和巴条，确保弹簧处于压缩状态，连接件带有外螺纹的一端穿过弹簧夹板b的通孔，拧紧在下一对弹簧夹板a两侧的两端的沉孔内，弹簧夹板b连接与下一对的弹簧夹板a连接，通过弹簧弹性夹住巴条；
30.(3)将下一对的弹簧夹板a作为固定夹板继续承载巴条，重复步骤(2)，直到达到预定弹簧夹板对数；
31.(4)在防护盖上部和底座下表面的陪镀片平台上采用耐温胶带贴附陪镀片；
32.(5)将底座放入镀膜翻转工装内，防护盖盖住底座；
33.(6)使用镀膜翻转工装的l形压板用螺丝将防护盖压住，完成镀膜前产品装夹，可进行翻转镀膜。
34.优选的，步骤(2)中，陪条长度大于巴条，放置后，巴条高度高于陪条。
35.本发明未详尽之处，均可参见现有技术。
36.本发明的有益效果为：
37.1、本发明通过设计弹簧夹板结构，减少夹板所占镀膜空间，增加弹性夹板个数，提高单位空间内夹持巴条的数量。每部分巴条互不影响，降低巴条同时掉落的风险；同时根据不同产品可自由更换不同厚度夹板，来适应不同腔长产品的巴条。
38.2、本发明通过设计弹簧夹板，其中间设置弹簧，通过弹性压住巴条，减少高低温环境下工装变形对巴条产生的影响，解决刚性夹持件对巴条产品的损伤和掉落，提高巴条良率和产量。
39.3、本发明通过设计防护盖和燕尾台，确保防护盖与弹簧夹板之间保持1mm间隙，避免因固定在镀膜工件盘上时弹性夹板不起作用。同时防护盖可有效避免膜料分子渗入影响滑台精度，延长夹具的使用寿命，降低生产成本。
40.4、本发明镀膜面设计陪镀片平台，方便激光器巴条镀膜后通过分光光度计测试其陪镀片的光谱曲线来代表激光器巴条前后腔面的镀膜厚度和反射率。相比传统镀膜放置陪镀片夹具占据镀膜空间，此结构不占据镀膜空间，且与巴条位置相近，能更好的代替巴条腔面的光学性能。
附图说明
41.构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
42.图1为本发明的整体结构示意图；
43.图2为本发明的防护盖的结构示意图，其中(a)为正面；(b)为底面；
44.图3为本发明的底座的结构示意图，其中(a)为正面；(b)为底面；；
45.图4为本发明的弹簧夹板b与下一对弹簧夹板a的配合关系示意图；
46.图5为本发明的弹簧夹板a的结构示意图；
47.图6为本发明的弹簧夹板b的结构示意图；
48.图7为本发明的多对弹簧夹板配合巴条产品的示意图；
49.图8为本发明夹具在镀膜工装上的示意图；
50.图9为传统夹具在镀膜工装上的示意图；
51.图10为巴条放置的局部示意图；
52.图11为陪条、巴条的排布方式局部示意图；
53.其中：1、防护盖；2、弹簧夹板；3、底座；4、巴条；5、陪镀片，6-陪条；
54.1-1、陪镀片平台；1-2、非对称倒角；1-3、方孔；1-4、台阶；
55.2-1、弹簧夹板a；2-2、弹簧夹板b；2-3、顶丝；2-4、连接件；2-5、弹簧；
56.2-1-1、螺纹孔；2-1-2、燕尾槽；2-1-3、沉孔；2-1-4、螺纹孔；2-1-5、凸台a；2-1-6、圆台；
57.2-2-1、凸台b；2-2-2、圆台；2-2-3、通孔；2-2-4、沉孔；2-2-5、燕尾槽；
58.3-1、底座凸台；3-2、燕尾台；3-3、沉台；3-4、方孔；3-5、陪镀片平台；3-6、非对称倒角。
1，底座凸台长27.5mm，宽3mm，高4mm，用于支撑防护盖。
73.实施例3
74.一种提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，如实施例2所述，所不同的是，弹簧夹板a2-1上部两端设置有螺纹孔2-1-1，顶丝2-3穿过螺纹孔2-1-1固定于底座的燕尾台3-2上；
75.弹簧夹板a2-1一侧设置有凸台a2-1-5，用于夹持巴条4，另一侧设置有三个直径2mm厚度1mm的沉孔2-1-3，其中两端的沉孔均固定连接有连接件2-4，连接件2-4上套有弹簧2-5，弹簧2-5始终保持压缩状态，中间的沉孔中心设有圆台2-1-6，用于卡住弹簧一端。
76.优选的，弹簧夹板b与弹簧夹板a类似，弹簧夹板b 2-2的燕尾槽2-2-5顶部不再设有螺纹孔，为活动夹板；弹簧夹板b一侧设置有凸台b 2-2-1，用于与凸台a2-1-5配合夹持巴条，另一侧的两端设置有两个2mm的沉孔2-2-4，沉孔之间设有1mm通孔2-2-3，用于穿过连接件2-4；中间设置有沉孔，沉孔中心设有圆台2-2-2，用于卡住弹簧的另一端。弹簧夹板b通过弹簧夹板a、b之间弹簧在活动方向具有一定弹性压缩空间。连接件2-4从通孔2-2-3穿过，套上弹簧2-5，连接件2-4端部螺纹与弹簧夹板a的螺纹连接固定。弹簧夹板压住巴条时，弹簧夹板a固定在燕尾台，通过中间的三个弹簧使得弹簧夹板b弹性压住巴条，解决刚性夹持件高低温环境下产生的巴条掉落风险。
77.优选的，弹簧夹板a2-1两端的沉孔内设置有螺纹孔2-1-4，连接件2-4为圆柱形结构，其一端设置有外螺纹，用于螺纹固定在弹簧夹板a两端的直径1mm的螺纹孔2-1-4内，另一端穿过弹簧夹板b的通孔2-2-3，端部设置有限位凸台，限位凸台的尺寸大于通孔2-2-3的内径，能够限定弹簧夹板b与弹簧夹板a之间的最大距离。工作时，弹簧夹板b能够相对于弹簧夹板a移动，由于连接件上套有弹簧，圆台上也设有弹簧，三个弹簧满足均匀受力，弹簧始终保持压缩状态，依靠弹簧的弹力推动弹簧夹板b夹紧巴条。
78.实施例4
79.一种提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，如实施例3所述，所不同的是，三个弹簧的结构、性质相同，能够保证弹力均匀，弹簧2-5自由长度为3mm，弹簧夹板a 2-1的长43.5mm宽4mm，凸台a和凸台b尺寸相同，以夹持1000μm腔长巴条为例，凸台a和凸台b长为22mm，高为0.8mm，宽为2.5mm，针对不同腔长的巴条可修改不同的凸台高度，比如夹持1000μm腔长巴条，则凸台高度为0.8mm；夹持4000μm腔长巴条，凸台高度为2mm，凸台高度实质小于巴条腔长，能够适应不同产品巴条的夹持。要求凸台a和凸台b表面平面度0.02mm和粗糙度3.6，确保刚性夹持件对巴条不会产生损伤或夹持存在缝隙产生的膜料渗入，影响巴条产出。
80.弹簧夹板a的圆台2-1-6直径为1.3mm，圆台用于卡住弹簧。弹簧夹板a底部左右两侧设有燕尾槽，同样和燕尾台有角度公差、平面度、光洁度要求，与底座燕尾台配合。弹簧夹板a上部两端的螺纹孔之间为2mm，方便顶丝压紧弹簧夹板a，使得弹簧夹板a固定。
81.实施例5
82.一种提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具的应用，包括如下步骤：
83.(1)准备好巴条4和陪条6，将一对弹簧夹板的弹簧夹板a 2-1通过燕尾槽2-1-2和燕尾台3-2配合固定在底座3上，与一侧的底座凸台3-1紧贴；
84.(2)首先使用吸笔吸取陪条，该陪条接触弹簧夹板a的凸台a，然后吸取巴条紧靠在
陪条一侧放置，依次放置多个陪条、巴条，陪条与巴条交替放置，最后以陪条结束，放置完成后，安装下一对弹簧夹板的弹簧夹板a，将弹簧夹板b套入燕尾台压紧陪条和巴条，确保弹簧处于压缩状态，连接件带有外螺纹的一端穿过弹簧夹板b的通孔，拧紧在下一对弹簧夹板a两侧的两端的沉孔内，弹簧夹板b与下一对的弹簧夹板a连接起来，通过弹簧弹性夹住巴条；
85.陪条长度大于巴条，放置后，巴条高度高于陪条。
86.(3)将下一对的弹簧夹板a作为固定夹板继续承载巴条，重复步骤(2)，直到达到预定弹簧夹板对数；
87.(4)在防护盖上部和底座下表面的陪镀片平台上采用耐温胶带贴附陪镀片；
88.(5)将底座放入镀膜翻转工装内，防护盖盖住底座；
89.(6)使用镀膜翻转工装的l形压板用螺丝将防护盖压住，完成镀膜前产品装夹，可进行翻转镀膜。
90.如图7为本发明的多对弹簧夹板配合巴条产品的示意图，装载巴条时将弹簧夹板a1通过底座燕尾台3-2滑动到底部，紧贴底座凸台3-1，通过顶丝2-3固定拧紧在底座作为夹持巴条4的下夹板，排巴时将通用的排巴平台放置在夹具底座3的方孔3-4的下方，使用吸笔先吸取陪条表面放置在凸台a 2-1-5上，陪条6底部由排巴平台承载。之后用吸笔吸取巴条4的p面，将n面贴合陪条，巴条4底部承载台为通用的排巴平台，平台有光纤，承载巴条和陪条的腔面，之后采用相同的方法依次放置陪条和巴条，通过优化，夹持40条为最佳条数，即巴条20条，陪条20条，最后陪条在最外侧。再安装下一对弹簧夹板，使其中弹簧夹板b1的凸台b 2-2-1夹住陪条，使得中间弹簧2-5压缩，存储一定弹性势能，通过弹簧的挤压力夹紧巴条，用顶丝2-3拧紧弹簧夹板a2，完成巴条夹持。后续将弹簧夹板a2作为下个巴条的下夹板，通过相同的方法夹持，依次排巴、安装固定弹簧夹板2，夹持巴条大约160条结束，最后用弹簧夹板a5固定锁紧，完成装夹。
91.在步骤(2)的排巴过程中，准备1000μm腔长巴条，其所需陪条的腔长是980μm，即巴条的高度大于陪条，排巴平台包括四根光纤，其中最外侧的两个光纤结构相同，用于排列陪条，最内侧的两个光纤结构相同，用于排列巴条，相比于内侧的两光纤，外侧的两光纤之间的距离较大，且高度较高；排巴时，将排巴平台放置在夹具底座3的方孔3-4的下方，由于陪条长度比巴条长度长，其中最外侧两根光纤为高度为120μm，承载陪条，中间两根高度为110μm，承载巴条。用不同尺寸的光纤承载能够确保巴条比陪条凸出10μm，且光纤承载相比刚性工装承载，减少对巴条腔面的损伤。
92.首先用吸笔吸取两根陪条，将陪条放置在凸台2-1-5上，陪条由排巴平台上120μm光纤和凸台2-1-5承载。再用相同的方法吸取巴条p面,将n面贴合陪条表面，腔面由排巴平台上110μm光纤承载。依次排列陪条和巴条。巴条排列20条后，外侧放置两根陪条保护，再安装弹簧夹板2，使其中弹簧夹板b 2-2的凸台2-2-1夹住陪条，使得中间弹簧2-5压缩，存储一定弹性势能，通过弹簧的挤压力夹紧巴条，用顶丝2-3拧紧a2夹板，完成巴条夹持。后续将a2夹板作为下个巴条的下夹板，通过相同的方法夹持，依次排巴、安装固定弹簧夹板2，夹持巴条和陪条大约共160条结束，最后用a5弹簧夹板2-1固定锁紧，完成装夹。
93.在弹簧夹板宽度为11mm,以传统夹具巴条夹持40条，其中巴条20条，陪条20条为例。本发明的方孔长度60mm，每40条为一个单元增加一个弹性夹板，可夹持巴条160条，其中巴条80条，陪条80条。各夹板因固定在底座导轨上，所以其中一个单元巴条掉落或者倾斜对
其他单元的巴条不会产生影响。传统夹具，如图9所示，同样的空间下只能夹持80条，其中40条好条，40条陪条。单位空间内相比传统夹具本发明可明显提高夹持巴条数量。
94.以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，其特征在于，包括底座、防护盖和弹簧夹板，其中底座为方形框架结构，两侧设有燕尾台；弹簧夹板成对设置，一对弹簧夹板包括一弹簧夹板a和一弹簧夹板b，弹簧夹板a和弹簧夹板b两侧均设置有燕尾槽，与底座的燕尾台配合能够上下滑动；一对弹簧夹板中，弹簧夹板a和弹簧夹板b之间用于夹持巴条和陪条，其中，弹簧夹板a固定于底座上，弹簧夹板b为滑动连接，利用弹力夹紧巴条和陪条，所述弹簧夹板b与下一对弹簧夹板的弹簧夹板a之间通过弹簧连接，通过弹簧提供弹性力；所述防护盖盖在底座上方，防护盖上和底座下方均设有陪镀片平台，用于放置陪镀片。2.根据权利要求1所述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，其特征在于，所述防护盖为方形框架结构，中间设有方孔，方孔四周上表面设有非对称倒角，不会阻挡各个角度的蒸镀分子沉积在巴条腔面；陪镀片平台设置于方孔一侧用于放置镀膜陪镀片监控镀膜反射率，所述防护盖下表面两侧设有台阶。3.根据权利要求2所述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，其特征在于，所述底座也为方形框架结构，中间设置有方孔，方孔的大小、位置与防护盖的方孔一致，便于露出巴条进行镀膜；底座方孔下表面四周设置有非对称倒角，确保不会遮挡蒸镀分子沉积，底座上表面两侧设有沉台，与防护盖两侧的台阶配合定位；陪镀片平台设置于方孔一侧。4.根据权利要求3所述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，其特征在于，防护盖长79mm宽55mm，方孔长68mm，宽24.5mm，防护盖上的非对称倒角，横向偏置4mm，竖向偏置1.5mm，台阶高度为5.4mm；底座长79mm宽55mm，底座厚度为3mm，设置倒角横向偏置5mm，竖向偏置2.3mm；底座上燕尾台高1.5mm，宽3mm，贯穿底座长度方向，与弹簧夹板两侧的燕尾槽配合，通过定义其角度公差、对称度、光洁度、平行度、平面度，实现高精度定向滑动；燕尾台距离方孔边缘6mm，以避免蒸镀分子渗入影响配合精度；底座前后端设有底座凸台，底座凸台长27.5mm，宽3mm，高4mm，用于支撑防护盖。5.根据权利要求1所述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，其特征在于，所述弹簧夹板a上部两端设置有螺纹孔，顶丝穿过螺纹孔固定于底座的燕尾台上；弹簧夹板a一侧设置有凸台a，用于夹持巴条，另一侧设置有三个沉孔，其中两端的沉孔均固定连接有连接件，连接件上套有弹簧，弹簧始终保持压缩状态，中间的沉孔中心设有圆台，用于卡住弹簧一端。6.根据权利要求2所述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，其特征在于，所述弹簧夹板b一侧设置有凸台b，用于与凸台a配合夹持巴条，另一侧的两端设置有两个沉孔，该沉孔中心设置有通孔，用于穿过连接件；中间设置有沉孔，沉孔中心设有圆台，用于卡住弹簧的另一端。7.根据权利要求6所述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，其特征在于，所述弹簧夹板a两端的沉孔内设置有螺纹孔，所述连接件为圆柱形结构，其一端设置有外螺纹，用于螺纹固定在弹簧夹板a两端的螺纹孔内，另一端穿过弹簧夹板b的通孔，端部设置有限位凸台。
8.根据权利要求7所述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具，其特征在于，弹簧自由长度为3mm，弹簧夹板a的长43.5mm宽4mm，凸台a和凸台b尺寸相同，长为22mm，高为0.8mm，宽为2.5mm，弹簧夹板a的圆台直径为1.3mm，弹簧夹板a上部两端的螺纹孔之间为2mm，方便顶丝压紧弹簧夹板a，使得弹簧夹板a固定。9.一种权利要求7所述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具的应用，其特征在于，包括如下步骤：(1)准备好巴条和陪条，将一对弹簧夹板的弹簧夹板a通过燕尾槽和燕尾台配合固定在底座上，与一侧的底座凸台紧贴；(2)首先使用吸笔吸取陪条，该陪条接触弹簧夹板a的凸台a，然后吸取巴条紧靠在陪条一侧放置，依次放置多个陪条、巴条，陪条与巴条交替放置，最后以陪条结束，放置完成后，安装下一对弹簧夹板的弹簧夹板a，将弹簧夹板b套入燕尾台压紧陪条和巴条，确保弹簧处于压缩状态，连接件带有外螺纹的一端穿过弹簧夹板b的通孔，拧紧在下一对弹簧夹板a两侧的两端的沉孔内，弹簧夹板b连接与下一对的弹簧夹板a连接，通过弹簧弹性夹住巴条；(3)将下一对的弹簧夹板a作为固定夹板继续承载巴条，重复步骤(2)，直到达到预定弹簧夹板对数；(4)在防护盖上部和底座下表面的陪镀片平台上采用耐温胶带贴附陪镀片；(5)将底座放入镀膜翻转工装内，防护盖盖住底座；(6)使用镀膜翻转工装的l形压板用螺丝将防护盖压住，完成镀膜前产品装夹，可进行翻转镀膜。10.根据权利要求9所述的提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具的应用，其特征在于，步骤(2)中，陪条长度大于巴条，放置后，巴条高度高于陪条。

技术总结
本发明涉及一种提高半导体激光器巴条夹持数量的弹性镀膜夹具及应用，属于半导体激光器领域，包括底座、防护盖和弹簧夹板，底座两侧设有燕尾台；弹簧夹板成对设置，弹簧夹板两侧均设置有燕尾槽；一对弹簧夹板中，弹簧夹板A和弹簧夹板B之间用于夹持巴条和陪条；弹簧夹板A固定，弹簧夹板B为滑动连接，弹簧夹板B与下一对弹簧夹板的弹簧夹板A之间通过弹簧连接，通过弹簧提供弹性力。本发明减少夹板了面积，最大利用镀膜空间，单位空间能稳定弹性夹持更多巴条，提高每炉产出率，节省镀膜设备准备时间，且弹性夹持解决高低温环境下刚性件应力变形导致的巴条损伤、镀膜不均甚至掉落的风险，提高镀膜产出率，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。


技术研发人员：崔庆尚 任夫洋 苏建 刘琦
受保护的技术使用者：山东芯光光电科技有限公司
技术研发日：2023.05.31
技术公布日：2023/8/21