基板支撑装置的制作方法

1.本发明涉及一种基板支撑装置。


背景技术：

2.基板支撑装置利用包括以下的技法用于处理晶片：刻蚀、物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)、化学气相沉积(chemical vapor deposition，cvd)、等离子体增强化学气相沉积(plasma-enhanced chemical vapor deposition，pecvd)、原子层沉积(atomic layer deposition，ald)、等离子体增强原子层沉积(plasmaenhanced atomic layer deposition，peald)、脉冲沉积层(pulsed deposition layer，pdl)、等离子体增强脉冲沉积层(plasma-enhanced pulsed deposition layer，pepdl)及抗蚀剂去除。
3.基板支撑装置为包括包含上部电极及下部电极的反应腔室的等离子体处理装置，且在电极之间施加射频(radio frequency，rf)电力以在反应腔室中激发工艺气体成为沉积晶片的等离子体。
4.以往第一现有文献(韩国公开专利公报10-2020-0014881)是涉及一种用于在半导体处理中使用的静电卡盘，揭示了关于可进行操作以沉积薄膜的等离子体-增强的化学气相沉积处理装置的内容。
5.另外，以往第二现有文献(日本公开专利公报2012-089694)是涉及一种双层rf结构的晶片支撑体，对在彼此不同的深度处埋设圆形状rf电极与圆环形rf电极的双层rf结构进行揭示。
6.图1是示出以往基板支撑装置中的网状(mesh)结构的例示图。
7.参照图1的(a)-图1的(c)，如图1的(a)所示，存在一个网状电极110，或者如图1的(b)所示，第一网状电极110及可在所述第一网状电极110的下部布置第二网状电极120。在此种情况，第二网状电极120为圆盘类型而非环类型。
8.另外，如图1的(c)所示，第一网状电极被划分成两个子电极111、112，且在两个子电极111、112的下部可布置第二网状电极130。而且，第二网状电极130在内部形成两个半圆形状，且两个半圆形状通过交叉网格(cross mesh)(131)区分。而且，在两个半圆形状各自的内部布置有一个子电极。
9.然而，由于在以往网状结构中电流的路径(path)是随机的，且在第二网状电极的边缘(141、142)存在阻抗差异，因此具有电流路径(path)产生随意性的问题。
10.因此，有必要提出用于进行高的均匀性控制的新型网状结构。
11.[现有技术文献]
[0012]
[专利文献]
[0013]
[专利文献1]韩国公开专利公报10-2020-0014881
[0014]
[专利文献2]日本公开专利公报2012-089694


技术实现要素：

[0015]
[发明所要解决的问题]
[0016]
因此，本发明提供一种具有新型网状结构的基板支撑装置。
[0017]
本发明的目的不限于以上提及的目的，且未提及的本发明的其他目的及优点可通过下述的说明理解，并通过本发明的实施例理解得更清楚。另外，可容易得知，本发明的目的及优点可通过权利要求中示出的手段及其组合实现。
[0018]
[解决问题的技术手段]
[0019]
为了达成此种目的，根据本发明一实施例的基板支撑装置包括：基板支撑部，在上部安装有晶片，且包括第一网状电极以及布置在所述第一网状电极的下部的第二网状电极；夹持(chucking)电路部，利用所述第一网状电极施加直流电压；以及边沿控制电路部，对与所述第一网状电极及所述第二网状电极相关的动作的定时进行控制，并生成射频(radio frequency，rf)，且所述第二网状电极可以被划分成多个第二子网状电极来消除由闭合回路引起的感应电动势的产生的方式形成。
[0020]
根据一实施例，所述基板支撑部包括布置在所述第二网状电极的下部以提供热的加热部，且所述加热部可包括与所述第一网状电极的个数对应的加热元件。
[0021]
根据一实施例，所述第二网状电极可为环形态。
[0022]
根据一实施例，还可包括布置在所述第一网状电极的下部的辐条(spoke)。
[0023]
根据一实施例，所述第一网状电极可为一个或者被划分成两个第一子网状电极。
[0024]
根据一实施例，在所述第一网状电极被划分成所述两个第一子网状电极的情况，所述两个第一子网状电极可在所述第二网状电极的内周面上重叠且隔以固定间隔来布置。
[0025]
根据一实施例，在所述第一网状电极被划分成所述两个第一子网状电极且所述第二网状电极被划分成四个第二子网状电极的情况，可包括第一辐条以及第二辐条，所述第一辐条在与所述两个第一子网状电极的隔开方向一致的方向上布置在所述两个第一子网状电极的下部，所述第二辐条与所述第一辐条垂直布置。
[0026]
根据一实施例，所述两个第一子网状电极可在所述两个第一子网状电极的隔开方向与所述四个第二子网状电极的隔开方向不一致的方向上，在所述四个第二子网状电极的内周面上重叠且隔以固定间隔来布置。
[0027]
根据一实施例，在所述第一网状电极被划分成所述两个第一子网状电极且所述第二网状电极被划分成两个第二子网状电极的情况，可包括在与所述两个第二子网状电极的隔开方向垂直的方向上布置在所述两个第一子网状电极的下部的辐条。
[0028]
根据一实施例，所述两个第一子网状电极可在所述两个第一子网状电极的隔开方向将所述两个第二子网状电极的隔开方向与所述辐条的方向形成的夹角二等分的方向上，在所述两个第二子网状电极的内周面上重叠且隔以固定间隔来布置。
[0029]
根据一实施例，在所述第一网状电极被划分成所述两个第一子网状电极且所述第二网状电极被划分成三个第二子网状电极的情况，可包括以与所述三个第二子网状电极的隔开形状相反的形状布置在所述两个第一子网状电极的下部的辐条。
[0030]
根据一实施例，在所述第一网状电极为一个且所述第二网状电极被划分成四个第二子网状电极的情况，包括布置在所述第一网状电极的下部的第一辐条及第二辐条，所述第一辐条可在将所述四个第二子网状电极的隔开方向形成的夹角二等分的方向上布置，且
所述第二辐条在与所述第一辐条垂直的方向上布置。
[0031]
另外，根据本发明另一实施例的对晶片的表面执行沉积工艺的基板支撑装置包括：第一网状电极，布置在所述晶片的下部，且为一个或者被划分成两个；以及第二网状电极，布置在所述第一网状电极的下部，所述第二网状电极可被划分成两个、三个或四个中的任一者，且以消除由与所述第一网状电极的闭合回路引起的感应电动势的产生的方式形成。
[0032]
[发明的效果]
[0033]
本发明可将布置在下部的网状电极划分成多个子网状电极，从而消除由闭合回路引起的感应电动势的产生。
[0034]
另外，本发明可消除网状电极的电流路径的随意性。
[0035]
除了上述效果之外，本发明的具体效果将在说明用于实施以下发明的具体事项的同时一并记述。
附图说明
[0036]
图1的(a)-图1的(c)是示出以往基板支撑装置中的网状结构的例示图。
[0037]
图2是示出根据本发明一实施例的基板支撑装置的电路结构的概略图。
[0038]
图3是示出根据本发明第一实施例的网状电极的结构的例示图。
[0039]
图4是示出根据本发明第二实施例的网状电极的结构的例示图。
[0040]
图5是示出根据本发明第三实施例的网状电极的结构的例示图。
[0041]
图6是示出根据本发明第四实施例的网状电极的结构的例示图。
具体实施方式
[0042]
参照附图对上述目的、特征及优点进行详细叙述，由此本发明所属的技术领域中技术人员可容易实施本发明的技术思想。在对本发明进行说明时，在判断出对与本发明相关公知技术的具体说明可能不必要地使本发明的要旨含糊不清的情况下，省略详细的说明。以下，将参照附图详细地对根据本发明的优选实施例进行说明。在图中，相同的参考符号用于指示相同或类似的构成要素。
[0043]
虽然第一、第二等用于阐述各种构成要素，但显然这些构成要素不受这些用语限制。这些用语只是用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分，除非存在特别相反的记载，否则第一构成要素当然也可为第二构成要素。
[0044]
以下，在构成要素的“上部(或下部)”或者构成要素的“上(或下)”布置任意的构成可意指不仅任意的构成可与所述构成要素的上表面(或下表面)相接来布置，而且也可在所述构成要素与布置在所述构成要素上(或下)的任意的构成之间介置其他构成。
[0045]
另外，在记载为某个构成要素“连接”、“结合”或“连结”到另一构成要素的情况，应理解，所述构成要素可彼此直接连接或连结，但也可在各构成要素之间“介置”另一构成要素、或者各构成要素通过另一构成要素“连接”、“结合”或“连结”。
[0046]
以下将对根据本发明的若干实施例的基板支撑装置进行说明。
[0047]
图2是示出根据本发明一实施例的基板支撑装置的电路结构的概略图。
[0048]
参照图2，根据本发明一实施例的基板支撑装置200可包括：基板支撑部220，安装
有晶片240；夹持(chucking)电路部250，利用所述基板支撑部220中包括的网状电极(例如：第一网状电极221)施加直流电压；以及边沿(edge)控制电路部210，对与所述基板支撑部220内的第一网状电极221及第二网状电极222相关的动作的定时进行控制，并生成射频(rf)。例如，可在基板支撑部220中埋置第一网状电极221与第二网状电极222。
[0049]
图2中所示的基板支撑装置200的构成是根据一实施例的构成，基板支撑装置200的构成要素并不限定于图2中所示的实施例，且视需要可附加、变更或删除一部分构成要素。
[0050]
根据一实施例，基板支撑部220可由具有绝缘体的特性的陶瓷形成，且在上部安装晶片240。而且，基板支撑部220在上部布置从夹持电路部250接收直流电压的第一网状电极221，在所述第一网状电极221的下部布置第二网状电极222，且在第二网状电极222的下部布置提供热的加热部230。所述加热部230可包括与第一网状电极221的划分个数对应的加热元件。例如，所述加热部230可包括加热电极231、232。例如，加热电极231、232可包括电阻。
[0051]
而且，此种加热电极231、232执行接收电力并将基板支撑部220加热到工艺温度的功能。而且，加热电极231、232连接到接地242。
[0052]
在利用等离子体对晶片执行工艺的情况，电极由一对组成。一个电极为位于晶片240上部的喷头电极(未示出)，且另一电极为网状电极(例如：第一网状电极221与第二网状电极222)。此种喷头电极与网状电极起到彼此相对的电极的作用。
[0053]
根据一实施例，所述第一网状电极221可为一个或者被划分成两个子网状电极。而且，划分出的两个子网状电极可隔以固定间隔来布置。第一网状电极221为用于利用静电力吸附基板的夹持(chucking)电极兼等离子体电极。因此，第一网状电极221连接有用于提供静电荷的直流电源253与用于等离子体的接地电极212二者。而且，第一网状电极221为一个时为单极(mono-polar)类型的静电卡盘(electrostatic chuck，esc)，而为两个时为双极(bi-polar)类型的esc。
[0054]
根据一实施例，在所述第一网状电极221的下部可布置有至少一个辐条(spoke)。例如，所述辐条可布置在与第二网状电极222相同的平面上。此种辐条根据是否划分第一网状电极221、或布置结构来布置的形态可为多样的。所述辐条作为将多个网状电极电连接到设置在基板支撑部的中央的轴的rf杆的rf电流通电路径，如第二网状电极222般由网状电极形成。因此，第二网状电极222比第一网状电极221处于下方，且辐条可布置在第一网状电极221的下部。
[0055]
另外，所述辐条根据第二网状电极222被划分的个数、划分出的第二子网状电极的布置结构来布置的形态可为多样的。而且，弥补第二网状电极222在边沿侧工艺均匀性下降的情形。
[0056]
而且，本发明不限于辐条的此种布置形态。
[0057]
根据一实施例，所述第二网状电极222形成为环(ring)形态，且可被划分成具有均匀的大小的两个、三个或四个第二子网状电极。例如，所述第二网状电极222可被划分成多个第二子网状电极以防止产生由闭合回路引起的感应电动势。通过以下[数学式1]计算感应电动势。
[0058]
[数学式1]
[0059]
ε＝δφb/δt(ε：感应电动势，φb：磁通量)
[0060]
此种感应电动势随着通过闭合回路的线圈的磁通量的时间变化而产生。
[0061]
根据一实施例，在第一网状电极221被划分成两个第一子网状电极的情况，划分出的两个第一子网状电极可彼此在第二网状电极的内周面上重叠(即，第一子网状电极的直径比第二网状电极的内周直径大以使得一部分区域交叠(overlap))且隔以固定间隔来布置。
[0062]
根据一实施例，在第一网状电极221被划分成两个第一子网状电极且第二网状电极222被划分成四个第二子网状电极的情况，第一辐条在与所述两个第一子网状电极的隔开方向一致的方向上布置在所述两个第一子网状电极的下部，且第二辐条可与所述第一辐条垂直布置。而且，所述第一辐条及第二辐条可布置在与第二网状电极222相同的平面上。
[0063]
例如，两个第一子网状电极可在两个第一子网状电极的隔开方向与四个第二子网状电极的隔开方向不一致的方向上，在四个第二子网状电极的内周面上重叠且隔以固定间隔来布置。
[0064]
根据一实施例，在第一网状电极221被划分成两个第一子网状电极且第二网状电极222被划分成两个第二子网状电极的情况，可在与所述两个第一子网状电极的隔开方向相同的方向上在所述两个第一子网状电极的下部布置辐条。例如，所述辐条可布置在与两个第二子网状电极相同的平面上。
[0065]
再者，晶片因在腔室结构方面非对称而可能扭曲，为了与其相匹配，辐条431也可相对于第一子网状电极的隔开方向以斜线布置。
[0066]
根据一实施例，在第一网状电极221被划分成两个第一子网状电极且第二网状电极222被划分成三个第二子网状电极的情况，可以与所述三个第二子网状电极的隔开形状相反的形状在所述两个第一子网状电极的下部布置辐条。例如，辐条可布置在与所述三个第二子网状电极相同的平面上。
[0067]
根据一实施例，在第一网状电极221为一个且第二网状电极222被划分成四个第二子网状电极的情况，第一辐条及第二辐条可布置在所述第一网状电极221的下部。而且，所述第一辐条在将所述四个第二子网状电极的隔开方向形成的夹角二等分的方向上布置，所述第二辐条可在与所述第一辐条垂直的方向上布置。
[0068]
根据一实施例，夹持电路部250可包括两个电阻251、252与直流电源253。
[0069]
根据一实施例，第一电阻251连接到第一网状电极221被划分成的至少两个(例如：两个)子网状电极中的任一子网状电极，且第二电阻252通过连接到所述至少两个子网状电极中的另一者，从直流电源253提供的直流电压被提供到第一网状电极221。
[0070]
根据一实施例，通过夹持电路部250的电阻251、252的直流电压不能被边沿控制电路部210的电容器211、212导通，而被传递到基板支撑部220。
[0071]
根据一实施例，边沿控制电路部210包括与第一网状电极电连接的电容器211、212、与第二网状电极电连接的线圈213及生成rf的可变电容器214。
[0072]
此种边沿控制电路部210执行与rf网状电极相关的动作的定时、与生成低频率/高频率相关的动作。
[0073]
图3是示出根据本发明第一实施例的网状电极的结构的例示图。
[0074]
参照图3，第一网状电极221可被划分成两个第一子网状电极311、312，且两个第一
子网状电极311、312可分别彼此隔以固定间隔并布置在第二网状电极222的上部。而且，第二网状电极222可被划分成四个第二子网状电极321、322、323、324，且四个第二子网状电极321、322、323、324可分别彼此隔以固定间隔并布置在第一网状电极221的下部。
[0075]
根据一实施例，第一网状电极221可在第二网状电极222的内周面上重叠(即，第一网状电极221的周缘比第二网状电极222的内周直径大以使得一部分区域交叠)且隔以固定间隔来布置。例如，两个第一子网状电极311、312可分别以与四个第二子网状电极321、322、323、324各自的内周面重叠的方式布置。
[0076]
而且，在第一网状电极221与第二网状电极222之间通过绝缘体材质的物质(例如：陶瓷)绝缘。
[0077]
根据一实施例，第一辐条331在与第一子网状电极311、312的隔开方向一致的方向上布置在第一子网状电极311、312的下部。而且，在第一子网状电极311、312的下部在与所述第一辐条331的行进方向垂直的方向上布置第二辐条332。
[0078]
如上所述，根据本发明第一实施例的网状电极的结构布置有四个第二子网状电极321、322、323、324，且在四个第二子网状电极321、322、323、324的上部布置有两个第一子网状电极311、312。另外，在两个第一子网状电极311、312的下部布置有在彼此垂直的方向上布置的两个辐条331、332。
[0079]
根据一实施例，在第二网状电极222的下部布置有提供热的加热部230，且此种加热部230可包括与第一网状电极221的划分个数对应的加热元件。例如，在第一网状电极221被划分成两个第一子网状电极311、312的情况，所述加热部230可包括两个加热电极231、232，且各个加热电极可布置在相应的第一子网状电极的下部。
[0080]
根据一实施例，在第一网状电极221与第二网状电极222之间通过绝缘体材质的物质(例如：陶瓷)绝缘。另外，在辐条331、332与第一子网状电极311、312之间也通过绝缘体材质的物质(例如：陶瓷)绝缘。另外，在第二子网状电极321、322、323、324与加热部230之间也通过绝缘体材质的物质(例如：陶瓷)绝缘。
[0081]
本发明通过将第二网状电极222划分成四个第二子网状电极，使闭合回路变成开放回路，并消除由闭合回路引起的感应电动势的产生，从而可控制第二网状电极222的电流路径(path)341、342，由此可消除随意性。
[0082]
图4是示出根据本发明第二实施例的网状电极的结构的例示图。
[0083]
参照图4，第一网状电极221可被划分成两个第一子网状电极311、312，且两个第一子网状电极311、312可分别彼此隔以固定间隔并布置在第二网状电极222的上部。而且，第二网状电极222可被划分成两个第二子网状电极421、422，且两个第二子网状电极421、422可分别彼此隔以固定间隔并布置在第一网状电极221的下部。
[0084]
根据一实施例，第一网状电极221可在第二网状电极222的内周面上重叠(即，第一网状电极221的周缘比第二网状电极222的内周直径大以使得一部分区域交叠)且隔以固定间隔来布置。例如，两个第一子网状电极311、312可分别以与两个第二子网状电极421、422各自的内周面重叠的方式布置。
[0085]
而且，两个第一子网状电极311、312与两个第二子网状电极421、422可以隔开方向彼此不一致的方式布置。
[0086]
而且，第一网状电极221与第二网状电极222可通过绝缘体材质的物质(例如：陶
瓷)绝缘。
[0087]
根据一实施例，辐条431在与第一子网状电极311、312的隔开间隔一致的方向上布置在第一子网状电极311、312的下部。在此种情况，具有以下优点：可补偿第一子网状电极之间的间隔部分的rf路径被漏掉的缺点。
[0088]
另一方面，虽然未示出，但辐条431可在与第一子网状电极311、312的隔开间隔垂直的方向上布置在第一子网状电极311、312的下部。在此种情况，具有对称的结构从而rf路径的均匀性变好。
[0089]
另一方面，腔室的内部空间根据设计无法完美地对称。因此，虽然未示出，但为了根据腔室的非对称结构使rf路径的均匀性变好，可以各种角度布置辐条431。
[0090]
如上所述，根据本发明第二实施例的网状电极的结构布置有两个第二子网状电极421、422，且在两个第二子网状电极421、422的上部布置有两个第一子网状电极311、312。另外，在两个第一子网状电极311、312的下部在与两个第一子网状电极311、312的隔开方向不同的方向上布置有辐条431。
[0091]
根据一实施例，在第二网状电极222的下部布置有提供热的加热部230，且此种加热部230可包括与第一网状电极221的划分个数对应的加热元件。例如，在第一网状电极221被划分成两个第一子网状电极311、312的情况，所述加热部230可包括两个加热电极231、232，且各个加热电极可布置在相应的第一子网状电极的下部。
[0092]
根据一实施例，第一网状电极221与第二网状电极222可通过绝缘体材质的物质(例如：陶瓷)绝缘。另外，在辐条431与第一子网状电极311、312之间、以及第二子网状电极421、422与加热部230之间也可同样绝缘。
[0093]
本发明通过将第二网状电极222划分成两个第二子网状电极，使闭合回路变成开放回路，并消除由闭合回路引起的感应电动势的产生，从而可控制第二网状电极222的电流路径，由此可消除随意性。
[0094]
图5是示出根据本发明第三实施例的网状电极的结构的例示图。
[0095]
参照图5，第一网状电极221可被划分成两个第一子网状电极311、312，且两个第一子网状电极311、312可分别彼此隔以固定间隔并布置在第二网状电极222的上部。而且，第二网状电极222可被划分成三个第二子网状电极521、522、523，且三个第二子网状电极521、522、523可分别彼此隔以固定间隔并布置在第一网状电极221的下部。
[0096]
根据一实施例，第一网状电极221可在第二网状电极222的内周面上重叠(即，第一网状电极221的周缘比第二网状电极222的内周直径大以使得一部分区域交叠)且隔以固定间隔来布置。例如，两个第一子网状电极311、312可分别以与三个第二子网状电极521、522、523各自的内周面重叠的方式布置。
[0097]
而且，两个第一子网状电极311、312与三个第二子网状电极521、522、523可以隔开方向的至少一部分彼此不一致的方式布置。
[0098]
例如，三个第二子网状电极521、522、523的隔开形状与两个第一子网状电极311、312的隔开形状彼此不同。
[0099]
根据一实施例，辐条531、532、533在与第一子网状电极311、312的隔开方向不一致的方向上布置在第一子网状电极311、312的下部。
[0100]
例如，在辐条531、532、533的布置形状为“y”形态的情况，由三个第二子网状电极
521、522、523形成的隔开方向具有将辐条531、532、533布置的“y”形状旋转180
°
的形状。
[0101]
如上所述，根据本发明第三实施例的网状电极的结构布置有三个第二子网状电极521、522、523，且在三个第二子网状电极521、522、523的上部布置有两个第一子网状电极311、312。另外，在两个第一子网状电极311、312的下部在与两个第一子网状电极311、312的隔开方向相反的方向上布置有辐条531、532、533。此种辐条531、532、533也可与三个第二子网状电极521、522、523布置在相同的平面。
[0102]
根据一实施例，在第二网状电极222的下部布置有提供热的加热部230，且此种加热部230可包括与第一网状电极221的划分个数对应的加热元件。例如，在第一网状电极221被划分成两个第一子网状电极311、312的情况，所述加热部230可包括两个加热电极231、232，且各个加热电极可布置在相应的第一子网状电极的下部。
[0103]
根据一实施例，第一网状电极221与第二网状电极222、辐条531、532、533与第一子网状电极311、312、以及第二子网状电极521、522、523与加热部230可通过绝缘体材质的物质(例如：陶瓷)绝缘。
[0104]
本发明通过将第二网状电极222划分成三个第二子网状电极，使闭合回路变成开放回路，并消除由闭合回路引起的感应电动势的产生，从而可控制第二网状电极222的电流路径，由此可消除随意性。如上所述，本发明可在双极中应用。另外，本发明中第二网状电极被划分的个数越多，越具有高的均匀性。
[0105]
图6是示出根据本发明第四实施例的网状电极的结构的例示图。
[0106]
参照图6，第一网状电极610可为一个，且布置在第二网状电极222的上部。而且，第二网状电极222可被划分成四个第二子网状电极621、622、623、624，且四个第二子网状电极621、622、623、624可分别彼此隔以固定间隔并布置在第一网状电极610的下部。
[0107]
根据一实施例，第一网状电极610可在第二网状电极222的内周面上重叠(即，第一网状电极610的周缘比第二网状电极222的内周直径大以使得一部分区域交叠)且隔以固定间隔来布置。例如，第一网状电极610可以与四个第二子网状电极621、622、623、624各自的内周面重叠的方式布置。
[0108]
根据一实施例，在第一网状电极610的下部在与第二子网状电极621、622、623、624的隔开方向不一致的方向上布置有辐条631、632。例如，辐条631、632也可与第二子网状电极621、622、623、624布置在相同的平面。
[0109]
例如，在由四个第二子网状电极621、622、623、624形成的隔开形状为“x”的情况，辐条631、632的布置形状可为“+”形态。
[0110]
如上所述，根据本发明第四实施例的网状电极的结构布置有四个第二子网状电极621、622、623、624，且在四个第二子网状电极621、622、623、624的上部布置有第一网状电极610。
[0111]
根据一实施例，在第二网状电极222的下部布置有提供热的加热部230，且此种加热部230可包括与第一网状电极610对应的加热元件。例如，在第一网状电极610为一个的情况，所述加热部230可包括一个加热电极。
[0112]
根据一实施例，第一网状电极610与第二网状电极222、辐条631、632与第一网状电极610、以及第二子网状电极621、622、623、624与加热部230可通过绝缘体材质的物质(例如：陶瓷)绝缘以使得彼此不干涉。
[0113]
本发明通过将第二网状电极222划分成四个第二子网状电极，使闭合回路变成开放回路，并消除由闭合回路引起的感应电动势的产生，从而可控制第二网状电极222的电流路径，由此可消除随意性。如上所述，本发明不仅可在双极中应用，也可在单极中应用。
[0114]
以上叙述的各流程图中的各步骤可与示出的顺序无关地进行操作，或者可同时执行。另外，本发明的至少一个构成要素与在所述至少一个构成要素中执行的至少一个操作可能够利用硬件和/或软件实现。
[0115]
如上所述，参照例示的附图对本发明进行了说明，但显然本发明不限定于本说明书中揭示的实施例与附图，且在本发明的技术思想的范围内技术人员可进行各种变形。而且，即使在前文说明本发明的实施例的同时未明确记载并说明由本发明构成带来的作用效果，也应该认定为由相应构成带来的可预测的效果。

技术特征：
1.一种基板支撑装置，包括：基板支撑部，在上部安装有晶片，且包括第一网状电极以及布置在所述第一网状电极的下部的第二网状电极；夹持电路部，利用所述第一网状电极施加直流电压；以及边沿控制电路部，对与所述第一网状电极及所述第二网状电极相关的动作的定时进行控制，并生成射频，其中所述第二网状电极以被划分成多个第二子网状电极的方式形成，以消除由闭合回路引起的感应电动势的产生。2.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其中所述第二网状电极为环形态。3.根据权利要求1所述的基板支撑装置，还包括布置在所述第一网状电极的下部的辐条，所述辐条布置在与所述第二网状电极相同的平面上。4.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其中所述第一网状电极为一个或被划分成两个第一子网状电极。5.根据权利要求4所述的基板支撑装置，其中在所述第一网状电极被划分成两个所述第一子网状电极的情况，两个所述第一子网状电极在所述第二网状电极的内周面上重叠且隔以固定间隔来布置。6.根据权利要求4所述的基板支撑装置，其中在所述第一网状电极被划分成两个所述第一子网状电极且所述第二网状电极被划分成四个所述第二子网状电极的情况，包括第一辐条以及第二辐条，所述第一辐条在与两个所述第一子网状电极的隔开方向一致的方向上布置在两个所述第一子网状电极的下部，所述第二辐条与所述第一辐条垂直布置。7.根据权利要求6所述的基板支撑装置，其中两个所述第一子网状电极在两个所述第一子网状电极的隔开方向与四个所述第二子网状电极的隔开方向不一致的方向上，在四个所述第二子网状电极的内周面上重叠且隔以固定间隔来布置。8.根据权利要求4所述的基板支撑装置，其中在所述第一网状电极被划分成两个所述第一子网状电极且所述第二网状电极被划分成两个所述第二子网状电极的情况，包括在与两个所述第二子网状电极的隔开方向垂直的方向上布置在两个所述第一子网状电极的下部的辐条。9.根据权利要求8所述的基板支撑装置，其中两个所述第一子网状电极在两个所述第一子网状电极的隔开方向将两个所述第二子网状电极的隔开方向与所述辐条的方向形成的夹角二等分的方向上，在两个所述第二子网状电极的内周面上重叠且隔以固定间隔来布置。10.根据权利要求4所述的基板支撑装置，其中在所述第一网状电极被划分成两个所述第一子网状电极且所述第二网状电极被划分成三个所述第二子网状电极的情况，包括以与三个所述第二子网状电极的隔开形状相反的形状布置在两个所述第一子网状电极的下部的辐条。
11.根据权利要求4所述的基板支撑装置，其中在所述第一网状电极为一个且所述第二网状电极被划分成四个所述第二子网状电极的情况，包括布置在所述第一网状电极的下部的第一辐条及第二辐条，所述第一辐条在将四个所述第二子网状电极的隔开方向形成的夹角二等分的方向上布置，所述第二辐条在与所述第一辐条垂直的方向上布置。12.一种基板支撑装置，对晶片的表面执行沉积工艺，包括：第一网状电极，布置在所述晶片的下部，且为一个或者被划分成两个；以及第二网状电极，布置在所述第一网状电极的下部，其中所述第二网状电极被划分成两个、三个或四个中的任一者，且以消除由与所述第一网状电极的闭合回路引起的感应电动势的产生的方式形成。13.根据权利要求12所述的基板支撑装置，其中在所述第一网状电极被划分成两个第一子网状电极且所述第二网状电极被划分成四个第二子网状电极的情况，包括第一辐条以及第二辐条，所述第一辐条在与两个所述第一子网状电极的隔开方向一致的方向上布置在两个所述第一子网状电极的下部，所述第二辐条与所述第一辐条垂直布置。14.根据权利要求12所述的基板支撑装置，其中在所述第一网状电极被划分成两个第一子网状电极且所述第二网状电极被划分成两个第二子网状电极的情况，包括在与两个所述第二子网状电极的隔开方向垂直的方向上布置在两个所述第一子网状电极的下部的辐条。15.根据权利要求12所述的基板支撑装置，其中在所述第一网状电极被划分成两个第一子网状电极且所述第二网状电极被划分成三个第二子网状电极的情况，包括以与三个所述第二子网状电极的隔开形状相反的形状布置在两个所述第一子网状电极的下部的辐条。16.根据权利要求12所述的基板支撑装置，其中在所述第一网状电极为一个且所述第二网状电极被划分成四个第二子网状电极的情况，包括布置在所述第一网状电极的下部的第一辐条及第二辐条，所述第一辐条在将四个所述第二子网状电极的隔开方向形成的夹角二等分的方向上布置，所述第二辐条在与所述第一辐条垂直的方向上布置。

技术总结
本发明涉及一种基板支撑装置。为此，根据本发明一实施例的基板支撑装置包括：基板支撑部，在上部安装有晶片，且包括第一网状电极以及布置在所述第一网状电极的下部的第二网状电极；夹持电路部，利用所述第一网状电极施加直流电压；以及边沿控制电路部，对与所述第一网状电极及所述第二网状电极相关的动作的定时进行控制，并生成射频(RF)，且所述第二网状电极可以被划分成多个第二子网状电极来消除由闭合回路引起的感应电动势的产生的方式形成。成。成。


技术研发人员：全尙珍 黄玄想
受保护的技术使用者：TES股份有限公司
技术研发日：2023.02.17
技术公布日：2023/8/21