基板保持装置以及基板处理系统的制作方法

1.本发明涉及保持基板的基板保持装置以及具备基板保持装置的基板处理系统。基板可列举例如半导体基板、fpd(flat panel display)用基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板、磁盘用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。fpd可列举例如液晶显示装置、有机el(electroluminescence)显示装置等。


背景技术：

2.基板处理装置具备将基板保持为大致水平的姿势并使该基板旋转的基板保持部。基板保持部具备：圆板状的旋转基座；以及以大致等角度间隔配置于旋转基座的周缘部的六根保持销(卡盘销)。六根保持销由三根固定保持销和三根可动保持销构成。
3.图9是局部地表示现有可动保持销103的纵向剖视图。可动保持销103具备：配置在旋转基座101的顶罩101a的上表面侧的头105；以及贯通顶罩101a并且上端与头105相接地配置的轴杆107。
4.头105具备头主体111和螺纹件罩113。在头主体111的上表面设有孔部115。头主体111通过配置于孔部115而且以从上朝向下的方式紧固的螺纹件117固定于轴杆107。另外，在螺纹件117配置于孔部115的状态下，螺纹件117暴露于处理液中，因此孔部115由螺纹件罩113堵塞(例如，参照专利文献1)。
5.现有技术文献
6.专利文献1：日本特开2010－010627号公报
7.但是，现有例具有以下的问题。具体地说明。配置有螺纹件117的孔部115由螺纹件罩113堵塞。但是，难以用螺纹件罩113完全密闭孔部115。因此，有处理液通过螺纹件罩113与头主体111的间隙而侵入到孔部115的可能性。由此，有腐蚀螺纹件117的可能性。另外，在使旋转基座101旋转时，有产生螺纹件罩113引起的气流的紊乱的可能性。


技术实现要素：

8.本发明是鉴于这样的事情而提出的方案，目的在于提供一种能够解决螺纹件罩引起的问题的基板保持装置以及基板处理系统。
9.本发明为了实现这样的目的而采用如下的结构。即，本发明的基板保持装置的特征在于，具备：板状部件，其绕铅垂地延伸的旋转轴旋转；以及至少三根保持销，其绕上述旋转轴呈环状竖立设置于上述板状部件，以夹住基板的侧面的方式保持上述基板，上述保持销具备：头，其配置在上述板状部件的上表面侧，且在与上述板状部件的上表面对置的上述头的下表面形成有有底的螺纹孔；轴杆，其与上述螺纹孔同芯地配置并贯通上述板状部件，并且上端与上述头相接，且具有从下端铅垂地延伸至上述上端的第一贯通孔；以及头用螺纹件，其从上述轴杆的上述下端侧插入到上述轴杆的上述第一贯通孔，前端与上述头的上述螺纹孔螺纹结合，从而将上述头固定于上述轴杆。
10.根据本发明的基板保持装置，头用螺纹件从轴杆的下端侧插入到轴杆的第一贯通
孔。另外，头用螺纹件通过头用螺纹件的前端与头的有底的螺纹孔螺纹结合从而将头固定于轴杆。由于不从头侧相对于轴杆紧固头用螺纹件，因此头不需要具备螺纹件罩。因此，能够解决螺纹件罩引起的问题。
11.另外，在上述的基板保持装置中，优选为，上述保持销具有至少一根固定保持销以及至少一根可动保持销，上述可动保持销具备上述头、上述轴杆以及上述头用螺纹件，上述可动保持销构成为，上述头、上述轴杆以及上述头用螺纹件绕铅垂轴一体地旋转。由此，在绕铅垂轴旋转的可动保持销中，能够解决螺纹件罩引起的问题。
12.另外，在上述的基板保持装置中，优选为，还具备旋转位置检测传感器单元，上述旋转位置检测传感器单元检测上述可动保持销绕上述铅垂轴的旋转位置，且具有被检测部件、以及对上述被检测部件进行检测的传感器，上述可动保持销具备：安装部件，其具有配置在上述轴杆的上述下端侧并且形成有与上述第一贯通孔同芯的第二贯通孔的第一筒状部；以及管状螺纹件，其以插入到上述第一筒状部的上述第二贯通孔的方式配置在上述轴杆的上述下端侧，具有形成有与上述第一贯通孔同芯的第三贯通孔的第二筒状部，而且在上述第二筒状部的上端侧形成有螺纹部，上述安装部件具有臂，该臂从上述第一筒状部沿水平方向延伸，而且保持上述被检测部件以及上述传感器的一方，上述轴杆在上述第一贯通孔的下端侧形成有内螺纹部，上述管状螺纹件插入到上述第一筒状部的上述第二贯通孔，上述第二筒状部的上端侧的螺纹部与上述轴杆的上述内螺纹部螺纹结合，由此将上述安装部件固定于上述轴杆，上述头用螺纹件从上述管状螺纹件侧插入到上述第一贯通孔、上述第二贯通孔以及上述第三贯通孔，上述头用螺纹件的上述前端与上述头的上述螺纹孔螺纹结合，由此将上述头固定于上述轴杆，上述可动保持销构成为，上述头、上述轴杆、上述安装部件、上述管状螺纹件以及上述头用螺纹件绕上述铅垂轴一体地旋转。
13.在将保持于安装部件的臂的被检测部件以及传感器的一方的位置相对于轴杆调整之后，安装部件由管状螺纹件固定。另外，在调整了基板的载置高度位置之后，头由头用螺纹件固定。即，这两个调整使用各自的螺纹件。因此，能够容易地进行两个调整。
14.另外，在上述的基板保持装置中，上述被检测部件的一例是磁铁。另外，上述传感器的一例是检测上述磁铁的磁性的磁性传感器。
15.另外，本发明的基板处理系统的特征在于，具备：上述基板保持装置；以及喷嘴，其向保持于上述基板保持装置的上述基板喷出处理液。
16.本发明的效果如下。
17.根据本发明的基板保持装置以及基板处理系统，能够解决螺纹件罩引起的问题。
附图说明
18.图1是实施例的基板处理装置的概略结构图。
19.图2是从上观察旋转卡盘(旋转基座以及六根保持销)的俯视图。
20.图3是表示可动保持销的结构的纵向剖视图。
21.图4是从下观察顶罩以及可动保持销的仰视图。
22.图5是用于说明旋转位置传感器单元的概略结构图。
23.图6(a)是表示在轴杆的下端侧配置安装部件的情形的纵向剖视图，(b)是用于说明由管状螺纹件将安装部件固定于轴杆的动作的纵向剖视图，(c)是用于说明由头用螺纹
件将头固定于轴杆的动作的纵向剖视图。
24.图7是表示变形例的可动保持销的结构的纵向剖视图。
25.图8是表示变形例的固定保持销的结构的纵向剖视图。
26.图9是局部地表示现有的可动保持销的纵向剖视图。
27.图中：1—基板处理装置，2—基板保持部，3—喷嘴，13—旋转基座，13a—顶罩，15—保持销，25(25a、25b、25c)—可动保持销，27—固定保持销，31—头，31a—头主体，31d—螺纹孔，33、81—轴杆，33a、81a—第一贯通孔，33c—内螺纹部，40—安装部件，40a—第一筒状部，40b—臂，40d—第二贯通孔，41—管状螺纹件，41a—第二筒状部，41b—第三贯通孔，43—头用螺纹件，61—旋转位置传感器单元(传感器单元)，63—检测用磁铁，65、66、67—磁性传感器，70—控制部，ax1—旋转轴，ax2—铅垂轴。
具体实施方式
28.以下，参照附图对本发明的实施例进行说明。图1是实施例的基板处理装置1的概略结构图。图2是从上观察旋转卡盘7(旋转基座13以及六根保持销15)的俯视图。此外，基板处理装置1相当于本发明的基板处理系统。另外，基板保持部2相当于本发明的基板保持装置。
29.(1)基板处理装置1的结构
30.参照图1、图2。基板处理装置1具备：将基板w保持(把持)为大致水平的姿势的基板保持部2；以及向保持于基板保持部2的基板w喷出处理液的喷嘴3。配管5与喷嘴3连接。配管5的基端与处理液供给源6连接。处理液经由配管5从处理液供给源6输送至喷嘴3。开闭阀v1设于配管5。开闭阀v1构成为使处理液从喷嘴3喷出、另外停止处理液的喷出。
31.作为处理液，例如可以使用光致抗蚀剂液、显影液、纯水、蚀刻液或清洗液。作为纯水，例如使用去离子水(diw)。作为蚀刻液，例如使用氢氟酸(hf)、氢氟酸与硝酸(hno3)的混合液、氢氟酸与过氧化氢水(h2o2)的混合液、或者tmah(氢氧化四甲基铵：tetramethylammonium hydroxide)。另外，作为清洗液，例如使用sc1、sc2或者spm。sc1是氨、过氧化氢水和水的混合液。sc2是盐酸(hcl)、过氧化氢和水的混合液。spm是硫酸(h2so4)和过氧化氢水的混合液。
32.基板保持部2具备旋转卡盘7、旋转轴杆9、以及旋转驱动部11。旋转卡盘7保持基板w。旋转卡盘7具备圆板状的旋转基座13和六根保持销15。如图1、图2所示，旋转轴ax1通过旋转基座13(即顶罩13a)的中心。旋转轴杆9的前端与旋转基座13连结。旋转轴杆9的基端与旋转驱动部11的旋转输出轴(未图示)连接。旋转驱动部11经由旋转轴杆9使旋转基座13绕旋转轴ax1旋转。旋转驱动部11例如具备电动马达。
33.基板保持部2具备气体喷出口17、气体供给管19、气体配管21、气体供给源23以及开闭阀v2。气体喷出口17具有绕旋转轴ax1的大致一圈那样的环状的狭缝，从旋转轴ax1沿水平的大致所有方向喷出气体。气体供给管19向气体喷出口17输送气体。气体供给管19设为沿旋转轴ax1贯通旋转轴杆9以及旋转驱动部11。
34.气体配管21从气体供给源23向气体供给管19输送气体(例如氮气等惰性气体)。在气体配管21设有开闭阀v2。开闭阀v2进行气体的供给及其停止。气体喷出口17在基板w与旋转基座13的间隙中以气体从基板w的中心侧流向基板w的外缘的方式喷出气体。
35.旋转基座13在内部具备空间。旋转基座13具备顶罩13a和下罩(底罩)13b。下罩13b能够从顶罩13a分离。此外，顶罩13a相当于本发明的板状部件。
36.如图2所示，六根保持销15绕旋转轴ax1呈环状地竖立设置于旋转基座13的顶罩13a。六根保持销15以大致等角度间隔配置。六根保持销15由三根可动保持销25a、25b、25c和三根固定保持销27构成。此外，在不区别三根可动保持销25a、25b、25c时，称为“可动保持销25”。另外，基板保持部2具备至少三根保持销15即可。至少三根保持销15具有至少一根固定保持销27以及至少一根可动保持销25。
37.各可动保持销25能够绕通过其内部的铅垂轴ax2旋转。各固定保持销27并非如可动保持销25那样构成为能够旋转。六根保持销15(三根可动保持销25以及三根固定保持销27)以夹住基板w的侧面的方式保持基板w。
38.图3是表示可动保持销25的结构的纵向剖视图。三根可动保持销25分别具备头31、轴杆33、两个轴承35、36、固定部件38、安装部件40、管状螺纹件41以及头用螺纹件43。
39.头31配置在顶罩13a的上表面13u侧。头31具备头主体31a、抵接部31b、大径孔31c、螺纹孔31d以及内螺纹部31e。头主体31a是载置基板w的外缘的部分。抵接部31b相对于铅垂轴ax2偏心，并且设置在头主体31a上。抵接部31b是与基板w的侧面接触的部分。
40.大径孔31c形成于头主体31a的下表面。在大径孔31c中插入轴杆33以及头用螺纹件43各自的前端部。此外，大径孔31c构成为在绕铅垂轴ax2的预定的旋转位置插入轴杆33。因此，头31构成为相对于轴杆33无法绕铅垂轴ax2旋转。
41.螺纹孔31d形成于大径孔31c的里面，直径比大径孔31c的直径小。即，螺纹孔31d经由大径孔31c形成于头主体31a(头31)的下表面。螺纹孔31d未贯通至头主体31a的上表面，具有底面(或者顶面)。螺纹孔31d供头用螺纹件43的前端部插入。螺纹孔31d的铅垂方向的中心轴与铅垂轴ax2一致。在螺纹孔31d的内周面形成有内螺纹部(螺纹槽)31e。
42.轴承35由形成于顶罩13a的下表面13d的保持孔部45保持。轴杆33在轴承35中通过。轴杆33与螺纹孔31d同芯(同心)地配置。轴杆33贯通顶罩13a。轴杆33的上端与头31相接。轴杆33为了使头用螺纹件43通过而具有从轴杆33的上端铅垂地延伸至下端的第一贯通孔33a。另外，轴杆33为了使可动保持销25绕铅垂轴ax2旋转而具有沿水平方向呈直线状延伸的杆部件33b。轴杆33在第一贯通孔33a的下端侧形成有内螺纹部33c。即，在轴杆33的下端部的第一贯通孔33a的内周面形成有螺纹槽。
43.固定部件38具有轴承36。固定部件38经由轴承36保持轴杆33的下端侧，并且安装于顶罩13a。固定部件38是拱状的部件。在固定部件38的中央设有用于使头用螺纹件43通过的开口部。固定部件38例如由两个螺纹件38a安装于顶罩13a。
44.参照图3、图4。图4是从下观察顶罩13a以及可动保持销25的仰视图。安装部件40具备第一筒状部40a和两根臂40b、40c。第一筒状部40a配置在轴杆33的下端侧。第一筒状部40a以越从下朝向上则越变细的方式形成为台阶状。在第一筒状部40a形成有与第一贯通孔33a同芯的第二贯通孔40d。第二贯通孔40d沿铅垂方向延伸
45.两个臂40b、40c从第一筒状部40a沿水平方向呈直线状延伸。在图4中，两个臂40b、40c形成为l字状或者飞镖状。在臂40b的前端部设有后述的检测用磁铁63。即，臂40b保持检测用磁铁63。
46.参照图3。管状螺纹件41是将安装部件40固定于轴杆33的部件。管状螺纹件41以插
入于第一筒状部40a的第二贯通孔40d的方式配置于轴杆33的下端侧。即，管状螺纹件41经由安装部件40的第一筒状部40a配置于轴杆33的下端侧。管状螺纹件41形成为台阶状。管状螺纹件41具有第二筒状部41a。在第二筒状部41a形成有与第一贯通孔33a同芯的第三贯通孔41b。第三贯通孔41b沿铅垂方向延伸。在第二筒状部41a的上端侧形成有外螺纹部(螺纹部)41c。即，在第二筒状部41a的上端部的外周面设有螺纹槽。外螺纹部41c构成为与轴杆33的内螺纹部33c啮合。管状螺纹件41从第一筒状部40a的下端侧插入到第一筒状部40a的第二贯通孔40d。另外，管状螺纹件41通过使第二筒状部41a的上端侧的外螺纹部41c与轴杆33的内螺纹部33c螺纹结合而将安装部件40固定于轴杆33。
47.头用螺纹件43沿铅垂方向延伸。在头用螺纹件43的上端部(前端部)的外周面形成有外螺纹(螺纹槽)43a。外螺纹部43a构成为与头31的螺纹孔31d的内螺纹部31e啮合。头用螺纹件43从管状螺纹件41侧插入到第一贯通孔33a、第二贯通孔40d以及第三贯通孔41b。并且，头用螺纹件43的前端的外螺纹部43a与头31的螺纹孔31d的内螺纹部31e螺纹结合。由此，头用螺纹件43将头31固定于轴杆33。此外，符号47是垫圈。另外，头31与顶部基座13a由未图示的密封部件密闭。
48.这样的可动保持销25构成为，头31、轴杆33(包含杆部件33b)、安装部件40、管状螺纹件41以及头用螺纹件43等绕铅垂轴ax2一体地旋转。
49.此外，如图1所示，三根固定保持销27分别具备头31。各固定保持销27的头31具备载置基板w的外缘的头主体31a、以及设置在该头主体31a上的抵接部31b。
50.以下，对图1所示的销旋转机构51进行说明。基板保持部2具备使三根可动保持销25绕各自的铅垂轴ax2旋转的销旋转机构51。销旋转机构51具备驱动部53和变换部55。
51.驱动部53配置在从旋转基座13离开的位置、例如旋转基座13的下方。驱动部53例如具备第一磁铁、以及使该第一磁铁升降的线性致动器。线性致动器例如具备气缸、电动马达或者电磁螺线管。
52.另外，变换部55构成为，将由驱动部53进行的升降动作变换成各轴杆33的杆部件33b绕铅垂轴ax2的旋转动作。变换部55具备对三个杆部件33b分别进行导向的三个导向部件、以及将三个导向部件支撑为能够升降的升降部件。升降部件具备第二磁铁。
53.若驱动部53使第一磁铁上升，则由于第一磁铁与第二磁铁的斥力，第二磁铁与升降部件一起上升。若升降部件与三个导向部件一起上升，则各导向部将上升动作变换成各杆部件33b的正向的旋转动作。从该状态开始，若驱动部53使第一磁铁下降，则由于自重或者弹簧的弹性力，第二磁铁与升降部件一起下降。若升降部件与三个导向部件一起下降，则各导向部将下降动作变换成各杆部件33b的逆向的旋转动作。
54.以下，参照图4、图5，对旋转位置检测传感器单元61进行说明。旋转卡盘7(基板保持部2)具备检测可动保持销25绕铅垂轴ax2的旋转位置的旋转位置检测传感器单元61。此外，以下将旋转位置检测传感器单元61称为“传感器单元61”。
55.传感器单元61设于三根可动保持销25的每个。即，旋转卡盘7具备三个传感器单元61。三个传感器单元61分别具备检测用磁铁63、以及对检测用磁铁63的磁性进行检测的三个磁性传感器65、66、67。如上所述，在臂40b的前端部设有检测用磁铁63。
56.三个磁性传感器65～67分别具备霍尔元件或者mr元件。三个磁性传感器65～67分别设于顶罩13a的下表面13d。另外，如图4所示，三个磁性传感器65～67配置在检测用磁铁
63的移动路径rt上。三个磁性传感器65～67各自的位置适当设定。
57.参照图5。例如，检测用磁铁63处于与磁性传感器67对置的位置。该情况下，磁性传感器67对检测用磁铁63的磁性进行检测。由此，基板处理装置1的后述的控制部70判断为可动保持销25a处于“关闭状态”的位置。此外，不与检测用磁铁63对置的两个磁性传感器65、66不对检测用磁铁63的磁性进行检测。
58.然后，可动保持销25a绕铅垂轴ax2旋转，检测用磁铁63向与磁性传感器65对置的位置移动。该情况下，磁性传感器65对检测用磁铁63的磁性进行检测。由此，控制部70判断为可动保持销25a处于“打开状态”的位置。然后，可动保持销25a绕铅垂轴ax2旋转，检测用磁铁63向与中间的磁性传感器66对置的位置移动(图4、图5所示的状态)。该情况下，磁性传感器66对检测用磁铁63的磁性进行检测。由此，控制部70判断为可动保持销25a处于“抵接部31b与基板w的侧面接触的状态”、即处于基板保持部2保持基板w的状态的位置。此外，其它两根可动保持销25b、25c的情况也同样。
59.返回图1。基板处理装置1具备控制部70和存储部(未图示)。控制部70控制基板处理装置1的各结构。控制部70例如具备中央运算处理装置(cpu)等一个或者多个处理器。存储部例如具备rom(read-only memory)、ram(random-access memory)、以及硬盘的至少一个。存储部存储为了控制基板处理装置1的各结构所必需的计算机程序。此外，也可以基板保持部2具有控制部70。该情况下，基板保持部2的控制部70控制基板保持部2的各结构。
60.(2)基板处理装置1的动作
61.以下，对基板处理装置1的动作进行说明。在基板保持部2未保持基板w的情况下，三根可动保持销25通常称为关闭状态(全闭状态)。因此，在将基板w纳入基板保持部2时，需要使三根可动保持销25处于打开状态。
62.因此，销旋转机构51使三根可动保持销25绕各自的铅垂轴ax2旋转。例如，在图2中，可动保持销25a的抵接部31b以铅垂轴ax2为中心向逆时针方向呈弧状地旋转。其它两根可动保持销25b、25c的两个抵接部31b也同样。由此，三个抵接部31b以从旋转轴ax1离开的方式沿水平方向扩展。因此，三根可动保持销25成为打开状态(全开状态)。
63.未图示的基板搬运机器人在六根保持销15的六个抵接部31b之间的六个头主体31a上搬运基板w。
64.在搬运了基板w之后，销旋转机构51使三根可动保持销25绕各自的铅垂轴ax2逆旋转。例如，在图2中，可动保持销25a的抵接部31b以铅垂轴ax2为中心向顺时针方向呈弧状旋转。其它两根可动保持销25b、25c的两个抵接部31b也同样。由此，三根可动保持销25的三个抵接部31b被按压于基板w的侧面。因此，基板保持部2以由三根可动保持销25以及三根固定保持销27的六个抵接部31b夹住基板w的侧面的方式保持基板w。此时，传感器单元61的检测用磁铁63位于与磁性传感器66对置的位置。
65.在保持了基板w之后，使开闭阀v2处于打开状态。由此，气体喷出口17在基板w与旋转基座13的间隙中以气体从基板w的中心侧流向基板w的外缘的方式喷出气体。然后，使开闭阀v1工作。由此，从喷嘴3向保持于基板保持部2的基板w喷出预先设定的量的处理液。旋转驱动部11在任意的时机使保持有基板w的旋转卡盘7绕旋转轴ax1旋转。通过基板w旋转，喷出到基板w上的处理液在基板w上扩展。
66.对基板w进行了预定的处理之后，旋转驱动部11使旋转卡盘7的旋转停止。另外，使
开闭阀v2处于关闭状态。由此，使来自气体喷出口17的气体的喷出停止。然后，销旋转机构51使三根可动保持销25绕各自的铅垂轴ax2旋转。由此，使三根可动保持销25处于打开状态(全开状态)。然后，未图示的基板搬运机器人接受载置于六根保持销15的六个头主体31a上的基板w，将该基板w搬运至下一目的地。
67.(3)可动保持销25的组装方法
68.以下，参照图6(a)～图6(c)，对可动保持销25的组装方法中的尤其是管状螺纹件41以及头用螺纹件43的紧固方法进行说明。
69.参照图6(a)。在轴杆33的下端侧配置安装部件40的第一筒状部40a。参照图6(b)。然后，一边将第二筒状部41a插入于第一筒状部40a的第二贯通孔40d，一边将第二筒状部41a配置在轴杆33的下端侧。另外，将管状螺纹件41的外螺纹部41c松动地螺纹拧紧于轴杆33的内螺纹部33c。此外，如图4所示，在第二筒状部41a，为了紧固管状螺纹件41的外螺纹部41c而设有四个槽部41d。
70.然后，通过对安装部件40的臂40b的位置进行微调，来调整设于该臂40b的检测用磁铁63的位置。然后，以预定的转矩将管状螺纹件41的外螺纹部41c牢固地拧紧。由此，检测用磁铁63相对于轴杆33的位置被固定。
71.参照图6(c)。然后，头用螺纹件43从管状螺纹件41侧插入于第一贯通孔33a、第二贯通孔40d以及第三贯通孔41b。另外，在将轴杆33插入于头31的大径孔31c时，例如在头31与轴杆33的上端之间配置用于调整基板w的载置高度位置的垫片(间隔物)72。此外，配置有垫片72的位置也可以是头31与轴杆33的上端之间以外的位置。然后，以预定的转矩将头用螺纹件43的前端部的外螺纹部43a紧固于头31的螺纹孔31d的内螺纹部31e。此外，如图3、图4所示，在头用螺纹件43，为了紧固头用螺纹件43而设有槽部43b。
72.另外，在需要再次调整基板w的载置高度位置的情况下，松开头用螺纹件43，从轴杆33拆下头31。然后，将配置于轴杆33的上端的垫片72更换为不同的高度的垫片，再次紧固头用螺纹件43，由此将头31固定于轴杆33。例如在可动保持销25a的基板w的载置高度与其它五根保持销15不同的情况下，在基板w旋转时产生基板w波动的现象。但是，通过调整基板w的载置高度，能够防止该现象。
73.另外，本实施例具有以下的效果。在相对于轴杆33调整了保持于安装部件40的臂40b的检测用磁铁63的位置之后，安装部件40由管状螺纹件41固定。另外，在调整了基板w的载置高度位置之后，头31由头用螺纹件43固定。即，这两个调整使用了各自的螺纹件41、43。因此，能够容易地进行两个调整。
74.根据本实施例，头用螺纹件43从轴杆33的下端侧插入到轴杆33的第一贯通孔33a。另外，头用螺纹件43通过头用螺纹件43的前端与头31的有底的螺纹孔31d螺纹结合从而将头31固定于轴杆33。由于未从头31侧相对于轴杆33紧固头用螺纹件43，因此头31不需要具备螺纹件罩113(参照图9)。因此，能够解决螺纹件罩113引起的问题。
75.具体而言，由于头31不具备螺纹件罩113，因此能够防止因通过螺纹件罩113与头主体111的间隙而侵入的处理液使将头31固定于轴杆33的头用螺纹件43腐蚀。另外，也能够防止若处理液的液滴残留在螺纹件罩113与头主体111的台阶，则导致之后搬运的基板w上带有残留的液滴的情况。另外，能够防止螺纹件罩113引起的气流的紊乱。例如，由于从气体喷出口17喷出的气体的气流不会在基板w的外缘附近紊乱，因此能够防止处理液的雾气蔓
延到基板w的下表面而附着。
76.本发明并不限于上述实施方式，能够如下述那样进行变形实施。
77.(1)在上述的实施例中，由管状螺纹件41将安装部件40固定于轴杆33。关于这一点，可动保持销25也可以根据需要而不具备管状螺纹件41(参照图7)。该情况下，需要由头用螺纹件43固定头31和安装部件40。因此，必需同时进行检测用磁铁63相对于轴杆33的位置的调整、以及基板w的载置高度位置的调整。因此，有难以进行两个调整的情况。
78.(2)在上述的实施例中，可动保持销25的头31由从轴杆33的下端侧插入到轴杆33的第一贯通孔33a的头用螺纹件43固定(参照图3)。并且固定保持销27也可以同样地构成(参照图8)。
79.固定保持销27具备头31、轴杆81以及头用螺纹件43。头31配置在顶罩13a的上表面13u侧。轴杆81与螺纹孔31d同芯地配置并贯通顶罩13a。轴杆81的上端与头31的头主体31a相接。另外，轴杆81具有从下端铅垂地延伸至上端的第一贯通孔81a。
80.头用螺纹件43从轴杆81的下端侧插入到轴杆81的第一贯通孔81a。另外，头用螺纹件43通过头用螺纹件43的前端的外螺纹部43a与头31的螺纹孔31d的内螺纹部31e螺纹结合从而将头31固定于轴杆81。此外，轴杆81构成为不绕头用螺纹件43旋转。
81.(3)在上述的实施例以及各变形例中，传感器单元61具备三个磁性传感器65～67。关于这一点，磁性传感器的个数不限于三个。即，传感器单元61具备至少一个磁性传感器即可。
82.(4)在上述的实施例以及各变形例中，安装部件40的臂40b保持检测用磁铁63，例如磁性传感器65设置在顶罩13a的下表面13d。关于这一点，也可以相反。即，也可以是，安装部件40的臂40b保持磁性传感器65，一个以上的检测用磁铁63设置在顶罩13a的下表面13d。
83.(5)在上述的实施例以及各变形例中，传感器单元61具备检测用磁铁63(被检测部件)和磁性传感器65。关于这一点，传感器单元61也可以具备投光元件和受光元件。例如，也可以构成为，受光元件(传感器)设置在顶罩13a的下表面13d，对从保持于臂40b的投光元件(被检测部件)发出的光进行检测。另外，传感器单元61也可以具备具有投光元件及受光元件的光电传感器、以及反射板或者遮光板。
84.(6)在上述的实施例以及各变形例中，在图1所示的基板保持部2，从下依次配置有旋转驱动部11、旋转轴杆9、旋转基座13以及六根保持销15。关于这一点，也可以是使图1所示的基板保持部2的上下相反的结构。即，也可以从下依次配置有六根保持销15、旋转基座13、旋转轴杆9以及旋转驱动部11。

技术特征：
1.一种基板保持装置，其特征在于，具备：板状部件，其绕铅垂地延伸的旋转轴旋转；以及至少三根保持销，其绕上述旋转轴呈环状竖立设置于上述板状部件，以夹住基板的侧面的方式保持上述基板，上述保持销具备：头，其配置在上述板状部件的上表面侧，且在与上述板状部件的上表面对置的上述头的下表面形成有有底的螺纹孔；轴杆，其与上述螺纹孔同芯地配置并贯通上述板状部件，并且上端与上述头相接，且具有从下端铅垂地延伸至上述上端的第一贯通孔；以及头用螺纹件，其从上述轴杆的上述下端侧插入到上述轴杆的上述第一贯通孔，前端与上述头的上述螺纹孔螺纹结合，从而将上述头固定于上述轴杆。2.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，上述保持销具有至少一根固定保持销以及至少一根可动保持销，上述可动保持销具备上述头、上述轴杆以及上述头用螺纹件，上述可动保持销构成为，上述头、上述轴杆以及上述头用螺纹件绕铅垂轴一体地旋转。3.根据权利要求2所述的基板保持装置，其特征在于，还具备旋转位置检测传感器单元，上述旋转位置检测传感器单元检测上述可动保持销绕上述铅垂轴的旋转位置，且具有被检测部件、以及对上述被检测部件进行检测的传感器，上述可动保持销具备：安装部件，其具有配置在上述轴杆的上述下端侧并且形成有与上述第一贯通孔同芯的第二贯通孔的第一筒状部；以及管状螺纹件，其以插入到上述第一筒状部的上述第二贯通孔的方式配置在上述轴杆的上述下端侧，具有形成有与上述第一贯通孔同芯的第三贯通孔的第二筒状部，而且在上述第二筒状部的上端侧形成有螺纹部，上述安装部件具有臂，该臂从上述第一筒状部沿水平方向延伸，而且保持上述被检测部件以及上述传感器的一方，上述轴杆在上述第一贯通孔的下端侧形成有内螺纹部，上述管状螺纹件插入到上述第一筒状部的上述第二贯通孔，上述第二筒状部的上端侧的螺纹部与上述轴杆的上述内螺纹部螺纹结合，由此将上述安装部件固定于上述轴杆，上述头用螺纹件从上述管状螺纹件侧插入到上述第一贯通孔、上述第二贯通孔以及上述第三贯通孔，上述头用螺纹件的上述前端与上述头的上述螺纹孔螺纹结合，由此将上述头固定于上述轴杆，上述可动保持销构成为，上述头、上述轴杆、上述安装部件、上述管状螺纹件以及上述头用螺纹件绕上述铅垂轴一体地旋转。4.根据权利要求3所述的基板保持装置，其特征在于，上述被检测部件是磁铁，上述传感器是检测上述磁铁的磁性的磁性传感器。5.一种基板处理系统，其特征在于，
具备：权利要求1至4任一项中所述的基板保持装置；以及向保持于上述基板保持装置的上述基板喷出处理液的喷嘴。

技术总结
本发明涉及基板保持装置以及基板处理系统。在基板保持部(2)中，保持销(15)具备头(31)、轴杆(33)以及头用螺纹件(43)。头(31)配置在顶罩(13A)的上表面侧。头(31)在与顶罩(13A)的上表面对置的头(31)的下表面形成有底的螺纹孔(31D)。轴杆(33)与螺纹孔(31D)同芯地配置并贯通板状部件，并且上端与头(31)相接。轴杆(33)具有从下端铅垂地延伸至上端的第一贯通孔(33A)。头用螺纹件(43)从轴杆(33)的下端侧插入到轴杆(33)的第一贯通孔(33A)。另外，头用螺纹件(43)通过前端与头(31)的螺纹孔(31D)螺纹结合从而将头固定于轴杆。(31D)螺纹结合从而将头固定于轴杆。(31D)螺纹结合从而将头固定于轴杆。


技术研发人员：藤内裕史
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2023.02.20
技术公布日：2023/8/23