一种搅拌装置和镀膜系统的制作方法

1.本发明涉及气体镀膜技术领域，具体而言，涉及一种搅拌装置和镀膜系统。


背景技术：

2.搅拌桨可以用作于粉体或液体材料的分散、混合等应用场景中，对于一些粘结性较强的粉体或液体材料，如微纳米材料，由于其具有大比表，粒径小，比表面能高等特点，随着搅拌混合的进行，粉末会慢慢在罐体壁或桨叶等罐内的物理结构件上发生粘附现象，从而造成内部的维护及清理困难等问题，同时也会影响粉料的分散、以及混合均匀性。
3.而研究表明，通过刮刀刮壁可以对沾壁粉末进行刮除，但是由于两者是直接接触的摩擦作用，长时间使用会损伤反应腔内壁，造成腔壁材料或者刮刀材料的脱落，同时会对粉末材料造成二次污染。另外，采用机械震动防沾也会造成设备的机构形变、开裂、漏气，产生较高的故障率。从而，现有的搅拌装置，不能有效清理搅拌桨及罐内结构的粘附物，且功能单一，操作不便，尤其是在镀膜工艺中仅仅是对粉料的搅拌仍不足以达到所需的工艺要求。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明的目的在于提供一种搅拌装置和镀膜系统，以解决上述问题。
5.本发明采用了如下方案：
6.本技术提供了一种搅拌装置，包括转轴件以及配置在转轴件上的搅拌件；所述转轴件至少开设有用于传输镀膜气体的第一气路和用于传输吹粉气体的第二气路，且所述第一气路和第二气路相互独立设置；沿所述转轴件的长度方向间隔设置有多个所述搅拌件，各搅拌件可择定连通于其中之一的气路，用于在转轴件处于旋转的工作状态后对应沿所配属的气路输出气体至搅拌件的外界使用。
7.作为进一步改进，所述转轴件包含套接在法兰盘上的轴体部，所述轴体部的一端用于接合至外部动力件上，所述法兰盘开设有连通至第一气路的第一进气槽和连通至第二气路的第二进气槽。
8.作为进一步改进，所述法兰盘包括套接在轴体部的头部的第一轴承件和第二轴承件，两轴承件相接合呈一台阶状的安装结构，适于将转轴件及搅拌件横置限定在轴线方向上的旋转位置。
9.作为进一步改进，所述第一轴承件固设在轴体部上，所述第一进气槽开设在所述第一轴承件上，所述第一进气槽的其中一端口连通至轴承件外的供气装置上，其中另一端口对接至第一气路上。
10.作为进一步改进，所述第二轴承件固设在轴体部上且贴设在第一轴承部的后方，所述第二轴承部的外径大于第一轴承部的外径；所述第二进气槽开设在所述第二轴承件上，所述第二进气槽的其中一端口连通至轴承件外的供气装置上，其中另一端口对接至第二气路上。
11.作为进一步改进，所述第一气路和第二气路以同心配置的方式分别设在轴体部的中心轴线上，所述第一气路靠内设置在轴体部的中心处，所述第二气路相对密封隔开设置在第一气路的外围处。
12.作为进一步改进，所述搅拌件包括一体形成在轴体部外侧的桨杆部以及配置在浆杆部上的桨叶部，沿轴体部的尾部方向间隔设置有至少三个所述桨杆部。
13.作为进一步改进，处于尾部的所述浆杆部开设有连通至第一气路的出气通道，所述出气通道居中开设在该桨杆部的中心处，在其桨叶部上形成连通至出气通道的出气孔。
14.作为进一步改进，远离尾部的所述桨杆部开设有连通至第二气路的射流通道，所述射流通道居中开设在该桨杆部的中心处，在其桨叶部以及桨杆部上形成有多个沿不同方向开设的喷射孔。
15.本技术另提供一种镀膜系统，包括反应腔装置以及配置在反应腔装置的搅拌装置和提供气体的供气装置。
16.通过采用上述技术方案，本发明可以取得以下技术效果：
17.本技术的搅拌装置，在转轴件上开设有两个不同气路，用于输入所需类型的气体，在第一气路中输入镀膜气体，用于对搅拌件所搅拌分散的粉料进行镀膜操作，在第二气路中输入吹粉气体，用于对搅拌结构及腔室结构对应进行吹扫清洁从而将沾壁的粉末吹落回粉料中。且两个气路都是沿处于旋转的工作状态的搅拌件的外界进行输出气体，可显著提升大面积、全范围的气体镀膜以及吹扫清洁。尤其是，直接通过搅拌装置引入镀膜工艺所需的气体，实现对内部粉料的工艺制程，精简了镀膜系统的结构配置，使得搅拌装置的功能更为丰富多样。并且，输入惰性气体至第二气路进行清洁吹扫，避免杂质物污染粉料，同时也不会对装置造成剧烈的机械外力破坏，只需在转轴件和搅拌件上对应开设气体通路，即可实现便捷式的输气使用，更方便于镀膜工艺的操作实施。
附图说明
18.图1是本发明实施例的搅拌装置在第一视角下的结构示意图；
19.图2是本发明实施例的搅拌装置在第二视角下的结构示意图；
20.图3是图2中的剖示图；
21.图4是本发明实施例的搅拌装置在第三视角下的结构示意图；
22.图5是图4中的剖示图；
23.图6是本发明实施例的搅拌装置在其他视角下的结构示意图。
24.图标：1-转轴件；2-搅拌件；3-第一气路；4-第二气路；5-法兰盘；6-轴体部；7-第一进气槽；8-第二进气槽；9-第一轴承件；10-第二轴承件；11-桨杆部；12-桨叶部；13-出气通道；14-出气孔；15-射流通道；16-喷射孔。
具体实施方式
25.为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明
保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
26.实施例
27.结合图1至图6，本实施例提供了一种搅拌装置，包括转轴件1以及配置在转轴件1上的搅拌件2。所述转轴件1至少开设有用于传输镀膜气体的第一气路3和用于传输吹粉气体的第二气路4，且所述第一气路3和第二气路4相互独立设置。沿所述转轴件1的长度方向间隔设置有多个所述搅拌件2，各搅拌件2可择定连通于其中之一的气路，用于在转轴件1处于旋转的工作状态后对应沿所配属的气路输出气体至搅拌件2的外界使用。
28.上述中的搅拌装置，在转轴件1上开设有两个不同气路，用于输入所需类型的气体，在第一气路3中输入镀膜气体，用于对搅拌件2所搅拌分散的粉料进行镀膜操作，在第二气路4中输入吹粉气体，用于对搅拌结构及腔室结构对应进行吹扫清洁从而将沾壁的粉末吹落回粉料中。且两个气路都是沿处于旋转的工作状态的搅拌件2的外界进行输出气体，可显著提升大面积、全范围的气体镀膜以及吹扫清洁。尤其是，直接通过搅拌装置引入镀膜工艺所需的气体，实现对内部粉料的工艺制程，精简了镀膜系统的结构配置，使得搅拌装置的功能更为丰富多样。并且，输入惰性气体至第二气路4进行清洁吹扫，避免杂质物污染粉料，同时也不会对装置造成剧烈的机械外力破坏，只需在转轴件1和搅拌件2上对应开设气体通路，即可实现便捷式的输气使用，更方便于镀膜工艺的操作实施。
29.需要提到的是，优选地，粉料为钴酸锂粉，其是一种常见的金属粉末材料，由于其粒度小，活性大，形状不规则(洋葱头层状结构)，具有许多独特的性能，因此被广泛应用于电子、化工、医药、食品、农业等领域。而通过使用原子层沉积方式对钴酸锂粉进行镀膜包覆，可以提高其耐腐蚀性以及电学性能，具有广泛的应用前景。而利用原子层沉积方法镀金属氧化物膜的方式来实现功能和效果，更具体地金属氧化物膜即为氧化铝膜，采用的镀膜气体可以是三甲基铝(tma)和超纯水(离子水)等气化体。而采用的吹粉气体可以是氮气、氩气等惰性气体。
30.如图2至图4所示，在本实施例中，所述转轴件1包含套接在法兰盘5上的轴体部6，所述轴体部6的一端用于接合至外部动力件上，所述法兰盘5开设有连通至第一气路3的第一进气槽7和连通至第二气路4的第二进气槽8。从而，通过第一进气槽7接入所需的镀膜气体，第二进气槽8接入所需的吹粉气体，分别输入至所连通的气路中，以实现气体的外接进入。
31.其中，所述法兰盘5包括套接在轴体部6的头部的第一轴承件9和第二轴承件10，两轴承件相接合呈一台阶状的安装结构，适于将转轴件1及搅拌件2横置限定在轴线方向上的旋转位置。将安装结构作为一整个轴承对应安装在所需搅拌操作的反应腔装置中，安装结构起到固定放置和滚动接触的目的，可大大提升搅拌装置在反应腔装置内的旋转运动。
32.更进一步地，所述第一轴承件9固设在轴体部6上，所述第一进气槽7开设在所述第一轴承件9上，所述第一进气槽7的其中一端口连通至轴承件外的供气装置上，其中另一端口对接至第一气路3上。以及，所述第二轴承件10固设在轴体部6上且贴设在第一轴承部的后方，所述第二轴承部的外径大于第一轴承部的外径。所述第二进气槽8开设在所述第二轴
承件10上，所述第二进气槽8的其中一端口连通至轴承件外的供气装置上，其中另一端口对接至第二气路4上。优选地，第二进气槽8的孔径大于第一进气槽7的孔径，确保可在最短时间内输入较大的吹粉气体至第二气路4中。且各个气路分别配置有单独的储气罐，且沿储气罐输入至所属气路的气体压力配置成小于10mpa。
33.在本实施例中，所述第一气路3和第二气路4以同心配置的方式分别设在轴体部6的中心轴线上，所述第一气路3靠内设置在轴体部6的中心处，所述第二气路4相对密封隔开设置在第一气路3的外围处。从而，两个同心同轴设置的气路分别连通各自的进气槽和所属于气路的通道，并沿通道方向将气体输出至搅拌件2外。
34.如图2至图6所示，在本实施例中，所述搅拌件2包括一体形成在轴体部6外侧的桨杆部11以及配置在浆杆部上的桨叶部12，沿轴体部6的尾部方向间隔设置有至少三个所述桨杆部11。显然的，桨杆部11沿水平横向贯穿形成在纵向设置的轴体部6上，水平延伸在轴体部6外侧的一桨杆部11及其配属的桨叶部12构成一个相对独立的搅拌单元。且至少设有三个搅拌部对应形成三个搅拌单元，至少一个搅拌单元设有连通至第一气路3的通道，至少一个搅拌单元设有连通至第二气路4的通道。
35.具体地，处于尾部的所述浆杆部开设有连通至第一气路3的出气通道13，所述出气通道13居中开设在该桨杆部11的中心处，在其桨叶部12上形成连通至出气通道13的出气孔14。以及，远离尾部的所述桨杆部11开设有连通至第二气路4的射流通道15，所述射流通道15居中开设在该桨杆部11的中心处，在其桨叶部12以及桨杆部11上形成有多个沿不同方向开设的喷射孔16。而多个喷射孔16的水平延伸设置，以及竖向延伸设置，可进行多方位的吹粉操作而输出高速高压的脉冲吹扫气流，充分对外部腔壁进行充分吹扫、及搅拌装置进行自清洁的防沾吹扫。
36.从而，设置多层间隔设置的桨杆部11，分别为上层的远离尾部的桨杆部11，中层桨杆部11，以及下层处于尾部的桨杆部11，且每层的桨杆部11对置设有相配合的桨叶部12，两桨叶部12沿同一水平面360度均匀分布。且每个桨叶部12配置成一倾斜叶片，其倾斜角度相对轴线呈0至90度分布，以此来提升搅拌性能以及出气效率。
37.需要说明的是，通过供气装置沿第一进气槽7输入镀膜气体进入第一气路3，顺着气路将镀膜气体输入桨杆部11的出气通道13，然后沿桨叶部12水平延伸出的出气孔14排出，且镀膜气体排出的同时转轴件1及其搅拌件2进旋转式的搅拌运动，对应形成均匀的、且大范围铺满气体的效果。相对独立的是，通过供气装置沿第二进气槽8输入吹粉气体进入第二气路4，顺着气路将吹粉气体输入桨杆部11的射流通道15，然后沿桨叶部12水平延伸以及桨杆部11竖向延伸的喷射孔16排出，或流向腔壁、或流向搅拌装置，使得喷射气流形成大面积吹扫范围，同时搅拌装置旋转运动，形成均匀、全面的清扫效果，可有效将粘附的粉末等附着物吹落下来。
38.其中，进一步地为了提升清洁效果，所述桨杆部11和桨叶部12的表面喷涂设有一涂层，涂层为特氟龙、碳化钨、氮化钛等，通过涂层可以大大提高该装置的使用性能，例如耐磨性、耐腐蚀性、金属隔离等等。
39.另外，本实施例又提供一种镀膜系统，包括反应腔装置(图未示)以及配置在反应腔装置的搅拌装置和提供气体的供气装置(图未示)。从而，通过搅拌装置在反应腔装置内的旋转搅拌操作，以及连接供气装置后的输气操作，进而实现对反应腔内的粉料进行高效
的镀膜工艺。
40.以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种搅拌装置，包括转轴件以及配置在转轴件上的搅拌件；其特征在于，所述转轴件至少开设有用于传输镀膜气体的第一气路和用于传输吹粉气体的第二气路；其中，沿所述转轴件设有多个所述搅拌件，各搅拌件可择定连通于其中之一的气路，用于在转轴件处于旋转的工作状态后对应沿所配属的气路输出气体至搅拌件的外界使用。2.根据权利要求1所述的搅拌装置，其特征在于，所述转轴件包含套接在法兰盘上的轴体部，所述轴体部的一端用于接合至外部动力件上，所述法兰盘开设有连通至第一气路的第一进气槽和连通至第二气路的第二进气槽。3.根据权利要求2所述的搅拌装置，其特征在于，所述法兰盘包括套接在轴体部的头部的第一轴承件和第二轴承件，两轴承件相接合呈一台阶状的安装结构，适于将转轴件及搅拌件横置限定在轴线方向上的旋转位置。4.根据权利要求3所述的搅拌装置，其特征在于，所述第一轴承件固设在轴体部上，所述第一进气槽开设在所述第一轴承件上，所述第一进气槽的其中一端口连通至轴承件外的供气装置上，其中另一端口对接至第一气路上。5.根据权利要求4所述的搅拌装置，其特征在于，所述第二轴承件固设在轴体部上且贴设在第一轴承部的后方，所述第二轴承部的外径大于第一轴承部的外径；所述第二进气槽开设在所述第二轴承件上，所述第二进气槽的其中一端口连通至轴承件外的供气装置上，其中另一端口对接至第二气路上。6.根据权利要求2所述的搅拌装置，其特征在于，所述第一气路和第二气路以同心配置的方式分别设在轴体部的中心轴线上，所述第一气路靠内设置在轴体部的中心处，所述第二气路相对密封隔开设置在第一气路的外围处。7.根据权利要求6所述的搅拌装置，其特征在于，所述搅拌件包括一体形成在轴体部外侧的桨杆部以及配置在浆杆部上的桨叶部，沿轴体部的尾部方向间隔设置有至少三个所述桨杆部。8.根据权利要求7所述的搅拌装置，其特征在于，处于尾部的所述浆杆部开设有连通至第一气路的出气通道，所述出气通道居中开设在该桨杆部的中心处，在其桨叶部上形成连通至出气通道的出气孔。9.根据权利要求7所述的搅拌装置，其特征在于，远离尾部的所述桨杆部开设有连通至第二气路的射流通道，所述射流通道居中开设在该桨杆部的中心处，在其桨叶部以及桨杆部上形成有多个沿不同方向开设的喷射孔。10.一种镀膜系统，其特征在于，包括反应腔装置以及配置在反应腔装置的如权利要求1-9任意一项所述的搅拌装置和提供气体的供气装置。

技术总结
本发明提供了一种搅拌装置和镀膜系统，该搅拌装置包括转轴件以及配置在转轴件上的搅拌件；所述转轴件至少开设有用于传输镀膜气体的第一气路和用于传输吹粉气体的第二气路；沿所述转轴件设置有多个所述搅拌件，各搅拌件可择定连通于其中之一的气路，用于在转轴件处于旋转的工作状态后对应沿所配属的气路输出气体至搅拌件的外界使用。从而，直接通过搅拌装置引入镀膜工艺所需的气体，实现对内部粉料的工艺制程，精简了镀膜系统的结构配置，使得搅拌装置的功能更为丰富多样。且输入惰性气体至第二气路进行清洁吹扫，避免杂质物污染粉料，同时也不会对装置造成剧烈的机械外力破坏。同时也不会对装置造成剧烈的机械外力破坏。同时也不会对装置造成剧烈的机械外力破坏。


技术研发人员：刘彦峰 赖海斌 陈斌 林秀芳 王韫宇
受保护的技术使用者：厦门韫茂科技有限公司
技术研发日：2023.05.25
技术公布日：2023/8/23