一种pod晶舟传送开盒装置及其晶圆扫描运算方法与流程

1.本发明涉及晶舟晶圆技术领域，特别是一种pod晶舟传送开盒装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅；高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅；硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆；国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
3.目前使用的晶舟传送盒开启装置操作方式较为复杂繁琐，无法实现全自动化操作，而且pod晶舟传送盒不便于更换，更换操作较为浪费时间，需人工判断pod晶舟传送盒是否放置到位，是否放置正确，并且在开盒或者关盒过程中容易把晶圆片碾碎或者其他原因未放置到位，导致晶舟架或者晶舟损坏，有严重的安全风险，为此，发明人设计了一款全自动开盒和关盒装置，并且在升降过程中，可以实时监测内部晶圆的状态。


技术实现要素：

4.本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本技术的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。
5.鉴于上述或现有技术中存在的问题，提出了本发明。
6.因此，本发明的目的是提供一种pod晶舟传送开盒装置，其能够全自动打开晶舟传送盒，在打开或者关闭传送盒过程中，可以通过扫描识别组件实时监测晶舟内的晶圆状态，防止晶舟传送盒压碎晶圆，并可以快速更换传送盒。
7.为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种pod晶舟传送开盒装置，其包括包括第一支撑组件、驱动组件、从动支撑组件、第二支撑组件、限位组件、感压组件、扫描识别组件以及固定组件；
8.第一支撑组件对驱动组件和第二支撑组件进行支撑，驱动组件对从动支撑组件进行驱动；
9.第二支撑组件包括外支撑件和内支撑件，外支撑件对内支撑件进行支撑，外支撑件可对关盒状态下的从动支撑组件进行支撑；
10.内支撑件上设置有限位组件，从动支撑组件上设置有扫描识别组件，从动支撑组件上设置有固定组件，固定组件对从动支撑组件进行固定。
11.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：驱动组件包括电机、联轴器、连接杆；
12.电机竖向固定在第一支撑组件侧面，电机和连接杆之间通过联轴器连接，联轴器设置在电机上侧的输出端。
13.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：从动支撑组件包括滑板、升降架、升降架板、晶舟传送盒、滑块；
14.滑板一侧与滑块固定连接，滑板另一侧与连接杆固定连接，滑块与第一支撑组件竖向滑动连接，升降架与滑板连接，升降架的上端面固定连接有升降架板，升降架板的上端面设置有晶舟传送盒。
15.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：外支撑件包括外支撑架、支撑底板；
16.外支撑架与第一支撑组件固定连接，设置于外支撑架上的支撑底板，外支撑架与支撑底板为固定连接。
17.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：内支撑件包括内支撑架、晶舟支撑板、晶舟架；
18.内支撑架设置在支撑底板的上端面，内支撑架的上端面连接有晶舟支撑板，晶舟支撑板的上方设置有晶舟架。
19.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：感压组件包括设置于晶舟支撑板上的压力传感器和光源感应传感器，压力传感器和光源感应传感器用于判断晶舟传送盒是否放置正确、是否放置到位。
20.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：固定组件包括固定电机、压片、压片腔室；
21.固定电机竖向固定在升降架板的下端面，压片腔室内开设有容纳压片的空腔，升降架板上和压片腔室内开设有圆孔，固定电机的伸出端穿过圆孔与压片连接。
22.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：晶舟传送盒上设置有台阶，便于压片固定台阶，从而使晶舟传送盒在升降过程中不会发生移动。
23.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：还包括设置在升降架板上端面的导向组件；
24.导向组件包括导向块、导向斜坡；
25.导向块与升降架板的上端面固定连接，导向块的上端面设置有导向斜坡，可以使晶舟传送盒快速正确放置到指定位置。
26.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：导向块设置为四组，导向块设置在晶舟传送盒四边棱角交汇处。
27.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：升降架板的上端面开设有第二槽口，第二槽口内容纳晶舟支撑板。
28.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：外支撑件中间为空腔，上端开设有第一槽口，第一槽口内容纳升降架板。
29.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：升降架设置在支撑底板的上方。
30.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：限位组件包括旋转气缸、销轴；
31.旋转气缸与晶舟支撑板下端面连接，晶舟支撑板内部设置有销轴，销轴与旋转气缸连接，旋转气缸可带动销轴做横向伸缩运动，晶舟传送盒内侧设置有销轴槽，销轴伸出可插进晶舟传送盒上的销轴槽，从而防止误操作导致晶舟传送盒移动。
32.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：扫描识别组件包括保护
盒识别传感器、晶圆凸片扫描传感器、片盒在位检测传感器、片盒凸出检测传感器以及晶圆扫描传感器；
33.保护盒识别传感器设置在升降架板的上端面，保护盒识别传感器用以扫描晶舟传送盒的id信息；
34.晶圆凸片扫描传感器设置在升降架板的下端面上，晶圆凸片扫描传感器用以扫描晶圆片是否凸出出来；
35.片盒在位检测传感器设置在升降架下方内侧，片盒在位检测传感器用以检测晶舟架是否在特定位置；
36.片盒凸出检测传感器设置在升降架板的下端面上，片盒凸出检测传感器用于检测晶舟架是否发生位移；
37.晶圆扫描传感器设置在升降架板的下端面上，晶圆扫描传感器用于检测晶圆是否在晶舟架上。
38.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：保护盒识别传感器设置在升降架板的前端或后端或前后端均设置；晶圆凸片扫描传感器设置为两组，设置在升降架板下端面的前端和后端；片盒在位检测传感器设置为两组，设置在升降架的左端和右端；片盒凸出检测传感器和晶圆扫描传感器均设置为两组，片盒凸出检测传感器在升降架板下端面的左端和右端，晶圆扫描传感器设置升降架板的下端面上的前后两端。
39.作为本发明pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：第一支撑组件包括侧支撑架、底侧支撑架、感应门、机器手感应传感器、导轨以及滚轮；
40.侧支撑架的侧面设置有导轨，导轨与滑块进行滑动连接，侧支撑架与外支撑架进行固定连接，底侧支撑架设置在外支撑架的下方并与侧支撑架连接，侧支撑架上设置有感应门，感应门设置在晶舟架的侧方，感应门底侧设置有机器手感应传感器，底侧支撑架下方连接有滚轮。
41.本发明的pod晶舟传送开盒装置的有益效果：本发明通过驱动组件可以带动从动支撑组件上的晶舟传送盒进行上下运动，带动晶舟传送盒打开或者关闭，在打开或者上升过程中，可以对晶舟架上的晶圆进行各种数据分析，打开晶舟传送盒后，机器手臂可以夹取晶舟架上的晶圆。
42.本发明还提供一种晶圆扫描运算方法，其包含一种pod晶舟传送开盒装置，以及，本方法能够提供一种对晶舟内的晶圆进行扫描运算，监测具体的状态，并实时传送到控制中心。
43.作为本发明晶圆扫描运算方法的一种优选方案，其中：打开晶舟传送盒步骤
44.s1:中央控制系统控制旋转气缸旋转销轴从而打开晶舟传送盒的限位；
45.s2:接着中央控制系统控制电机驱动连接杆带动滑板上的滑块沿着导轨上升，滑板带动升降架，升降架带动升降架板上升，保护盒液随之上升；
46.s3:在上升过程中，晶圆扫描传感器会陆续扫描晶舟架上每一层的晶圆状态，晶圆凸片扫描传感器扫描晶圆片是否凸出出来，片盒在位检测传感器检测晶舟架是否在特定位置，片盒凸出检测传感器检测晶舟架是否发生位移，并依次把结果传送至中央控制系统，由中央处理系统进行分析处理；
47.s4：当晶舟传送盒到指定位置后，电机停止运动，中央控制系统控制感应门开启；
48.s5:随后机器手臂会对晶舟架上的晶圆进行送取，当机器手感应传感器检测到机器手臂进来之后，会把结果送至中央控制系统，中央控制系统会控制电机禁止转动，避免了晶舟传送盒压到机器手臂从而挤压到晶圆。
49.本发明的晶圆扫描运算方法的有益效果：本发明在传送盒开启或者关闭时通过晶圆扫描传感器可以扫描每一层晶圆的状态，通过晶圆凸片扫描传感器扫描晶圆片是否凸出出来，片盒在位检测传感器检测晶舟架是否在特定位置，片盒凸出检测传感器检测晶舟架是否发生位移，并依次把结果传送至中央控制系统，由中央处理系统进行分析处理，从而下达命令。
附图说明
50.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
51.图1为pod晶舟传送开盒装置的整体示意图。
52.图2为pod晶舟传送开盒装置的隐藏晶舟传送盒示意图。
53.图3为pod晶舟传送开盒装置的隐藏晶舟架示意图。
54.图4为pod晶舟传送开盒装置的f处放大图。
55.图5为pod晶舟传送开盒装置的隐藏外支撑架示意图。
56.图6为pod晶舟传送开盒装置的隐藏升降架和升降架板示意图。
57.图7为pod晶舟传送开盒装置的俯视图。
58.图8为pod晶舟传送开盒装置的正视图。
59.图9为pod晶舟传送开盒装置的a-a处剖视图。
60.图10为pod晶舟传送开盒装置的仰视立体局部示意图图。
61.图11为pod晶舟传送开盒装置的仰视隐藏支撑底板示意图。
62.图12为晶圆扫描运算方法的流程示意图。
63.图中，100、第一支撑组件，200、驱动组件，300、从动支撑组件，400、第二支撑组件，500、限位组件，600、感压组件，700、扫描识别组件，800、固定组件，900、导向组件，201、电机，202、联轴器，203、连接杆，301、滑板，302、升降架，303、升降架板，304、晶舟传送盒，305、滑块，401、外支撑件，402、内支撑件，401a、外支撑架，401b、支撑底板，402a、内支撑架，402b、晶舟支撑板，402c、晶舟架，601、压力传感器，602、光源感应传感器，801、固定电机，802、压片，803、压片腔室，901、导向块，902、导向斜坡，501、旋转气缸，701、保护盒识别传感器，702、晶圆凸片扫描传感器，703、片盒在位检测传感器，704、片盒凸出检测传感器，705、晶圆扫描传感器(705)，101、侧支撑架，102、底侧支撑架，103、感应门，104、机器手感应传感器，105、导轨，106、滚轮。
具体实施方式
64.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
65.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
66.其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本发明至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。
67.实施例1
68.参照图1～11，为本发明第一个实施例，该实施例提供了一种pod晶舟传送开盒装置，其包括第一支撑组件100、驱动组件200、从动支撑组件300、第二支撑组件400、限位组件500、感压组件600、扫描识别组件700、固定组件800、导向组件900，通过驱动组件200可以驱动从动支撑组件300，通过限位组件500可以限制从动支撑组件300移动，通过感压组件600可以感应晶舟传送盒304是否放置到位，通过导向组件900可以准确快速的放置晶舟传送盒304，通过固定组件800可以对晶舟传送盒304进行固定，通过第二支撑组件400可以对关盒状态下的从动支撑组件300进行支撑，通过第一支撑组件100可以支撑第二支撑组件400、从动支撑组件300和驱动组件200进行支撑。
69.具体的，包括第一支撑组件100、驱动组件200、从动支撑组件300、第二支撑组件400、限位组件500、感压组件600、扫描识别组件700以及固定组件800；
70.第一支撑组件100对驱动组件200和第二支撑组件400进行支撑，驱动组件200对从动支撑组件300进行驱动；
71.第二支撑组件400包括外支撑件401和内支撑件402，外支撑件401对内支撑件402进行支撑，外支撑件401可对关盒状态下的从动支撑组件300进行支撑；
72.内支撑件402上设置有限位组件500，从动支撑组件300上设置有扫描识别组件700，从动支撑组件300上设置有固定组件800，固定组件800对从动支撑组件300进行固定。
73.综上，本发明通过第一支撑组件100可以对驱动组件200、从动支撑组件300和第二支撑组件400进行支撑，通过驱动组件200对从动支撑组件300可以升降运动，从动支撑组件300上的晶舟传送盒304随着升降，可以对晶舟架402c进行打开或者关闭，进而机器手臂可以对打开状态下的晶舟架402c上的晶圆进行夹取，在从动支撑组件300升降过程中扫描识别组件700可以晶舟架上的晶圆进行扫描分析，并将结果送至控制中心，并下达相应的命令。
74.实施例2
75.参照图1～11，为本发明第二个实施例，在上一个实施例中，pod晶舟传送开盒装置包括第一支撑组件100、驱动组件200、从动支撑组件300、第二支撑组件400、限位组件500、感压组件600、扫描识别组件700、固定组件800、导向组件900，通过驱动组件200可以驱动从动支撑组件300，通过限位组件500可以限制从动支撑组件300移动，通过感压组件600可以感应晶舟传送盒304是否放置到位，通过导向组件900可以准确快速的放置晶舟传送盒304，通过固定组件800可以对晶舟传送盒304进行固定，通过第二支撑组件400可以对关盒状态下的从动支撑组件300进行支撑，通过第一支撑组件100可以支撑第二支撑组件400、从动支撑组件300和驱动组件200进行支撑。
76.具体的，包括第一支撑组件100、驱动组件200、从动支撑组件300、第二支撑组件
400、限位组件500、感压组件600、扫描识别组件700以及固定组件800；
77.第一支撑组件100对驱动组件200和第二支撑组件400进行支撑，驱动组件200对从动支撑组件300进行驱动；
78.第二支撑组件400包括外支撑件401和内支撑件402，外支撑件401对内支撑件402进行支撑，外支撑件401可对关盒状态下的从动支撑组件300进行支撑；
79.内支撑件402上设置有限位组件500，从动支撑组件300上设置有扫描识别组件700，从动支撑组件300上设置有固定组件800，固定组件800对从动支撑组件300进行固定。
80.进一步的，驱动组件200包括电机201、联轴器202、连接杆203；
81.电机201竖向固定在第一支撑组件100侧面，电机201和连接杆203之间通过联轴器202连接，联轴器202设置在电机201上侧的输出端。连接杆203为可伸缩杆，电机201通过联轴器202可带动连接杆203进行升降运动。
82.进一步的，从动支撑组件300包括滑板301、升降架302、升降架板303、晶舟传送盒304、滑块305；
83.滑板301一侧与滑块305固定连接，滑板301另一侧与连接杆203固定连接，滑块305与第一支撑组件100竖向滑动连接，升降架302与滑板301连接，升降架302的上端面固定连接有升降架板303，升降架板303的上端面设置有晶舟传送盒304。滑块305与侧支撑架101上的导轨105滑动连接。
84.较佳的，电机201通过联轴器202可带动连接杆203进行升降，连接杆203带动滑板301的滑块沿着侧支撑架101上的导轨105进行上下运动，滑板301带动升降架302和升降架板303进行运动，升降架板303会带动晶舟传送盒304上下运动。
85.进一步的，外支撑件401包括外支撑架401a、支撑底板401b；
86.外支撑架401a与第一支撑组件100固定连接，设置于外支撑架401a上的支撑底板401b，外支撑架401a与支撑底板401b为固定连接。外支撑架401a与侧支撑架101固定连接，外支撑架401a设置在侧支撑架101的侧方，支撑底板401b设置在外支撑架401a的底侧，支撑底板401b与外支撑架401a为固定连接。
87.进一步的，内支撑件402包括内支撑架402a、晶舟支撑板402b、晶舟架402c；
88.内支撑架402a设置在支撑底板401b的上端面，内支撑架402a的上端面固定连接有晶舟支撑板402b，晶舟支撑板402b的上方设置有晶舟架402c，内支撑架402a与支撑底板401b为固定连接，晶舟架402c内可容纳晶圆。
89.较佳的，感压组件600包括设置于晶舟支撑板402b上的压力传感器601和光源感应传感器602，压力传感器601和光源感应传感器602用于判断晶舟传送盒304是否放置正确、是否放置到位。压力传感器601用以判断是否放置晶舟传送盒304，光源感应传感器602用以判断晶舟传送盒304是否放置正确，如果能检测到光源则证明晶舟传送盒304未正确放置。
90.进一步的，固定组件800包括固定电机801、压片802、压片腔室803；
91.固定电机801竖向固定在升降架板303的下端面，压片腔室803内开设有容纳压片802的空腔，升降架板303上和压片腔室803内开设有圆孔，固定电机801的伸出端穿过圆孔与压片802连接。
92.较佳的，固定组件800左右对称设置为两组，可以更好的对晶舟传送盒304进行固定。
93.进一步的，晶舟传送盒304上设置有台阶，便于压片802固定台阶，从而使晶舟传送盒304在升降过程中不会发生移动。晶舟传送盒304底侧四周设置有台阶
94.较佳的，固定电机801通过连接杆驱动带动压片802进行90
°
旋转，压片802伸出空腔，使压片802卡在晶舟传送盒304台阶的上方，对晶舟传送盒304进行固定，防止在升降过程中出现滑动位移。
95.进一步的，还包括设置在升降架板303上端面的导向组件900；
96.导向组件900包括导向块901、导向斜坡902；
97.导向块901与升降架板303的上端面固定连接，导向块901的上端面设置有导向斜坡902，可以使晶舟传送盒304快速正确放置到指定位置。
98.进一步的，导向块901设置为四组，导向块901设置在晶舟传送盒304四边棱角交汇处。导向块901还可以起到防止晶舟传送盒304移动的作用。
99.较佳的，导向块901上的导向斜坡902便于在放置晶舟传送盒304时快速放入，避免出现传送盒无法放入的情况。
100.进一步的，升降架板303的上端面开设有第二槽口，第二槽口内容纳晶舟支撑板402b。
101.进一步的，外支撑件401中间为空腔，上端开设有第一槽口，第一槽口内容纳升降架板303。
102.进一步的，升降架302设置在支撑底板401b的上方。支撑底板401b可以起到一定的支撑限位作用，在晶舟传送盒304处于关闭状态下。
103.进一步的，限位组件500包括旋转气缸501、销轴；
104.旋转气缸501与晶舟支撑板402b下端面连接，晶舟支撑板402b内部设置有销轴，销轴与旋转气缸501连接，旋转气缸501可带动销轴做横向伸缩运动，晶舟传送盒304内侧设置有销轴槽，销轴伸出可插进晶舟传送盒304上的销轴槽，从而防止误操作导致晶舟传送盒304移动。
105.较佳的，通过旋转气缸501可以带动销轴进行运动，使销轴伸出晶舟支撑板402b的左右两端，使销轴图中未示出卡入晶舟传送盒304内侧的销轴槽图中未示出内，可以禁止晶舟传送盒304移动。
106.进一步的，扫描识别组件700包括保护盒识别传感器701、晶圆凸片扫描传感器702、片盒在位检测传感器703、片盒凸出检测传感器704以及晶圆扫描传感器705；
107.保护盒识别传感器701设置在升降架板303的上端面，保护盒识别传感器701用以扫描晶舟传送盒304的id信息，扫描确认晶舟传送盒304是否放置正确。
108.晶圆凸片扫描传感器702固定设置在升降架板303的下端面上，晶圆凸片扫描传感器702用以扫描晶圆片是否凸出出来；
109.片盒在位检测传感器703固定设置在升降架302下方内侧，片盒在位检测传感器703用以检测晶舟架402c是否在特定位置；
110.片盒凸出检测传感器704固定设置在升降架板303的下端面上，片盒凸出检测传感器704用于检测晶舟架402c是否发生位移；
111.晶圆扫描传感器705固定设置在升降架板303的下端面上，晶圆扫描传感器705用于检测晶圆是否在晶舟架402c上。
112.进一步的，保护盒识别传感器701设置在升降架板303的前端或后端或前后端均设置；晶圆凸片扫描传感器702设置为两组，设置在升降架板303下端面的前端和后端；片盒在位检测传感器703设置为两组，设置在升降架302的左端和右端；片盒凸出检测传感器704和晶圆扫描传感器705均设置为两组，片盒凸出检测传感器704设置在升降架板303下端面的左端和右端，晶圆扫描传感器705设置升降架板的下端面上的前后两端。
113.进一步的，第一支撑组件100包括侧支撑架101、底侧支撑架102、感应门103、机器手感应传感器104、导轨105以及滚轮106；
114.侧支撑架101的侧面固定设置有导轨105，导轨105与滑块305进行滑动连接，侧支撑架101与外支撑架401a进行固定连接，底侧支撑架102设置在外支撑架401a的下方并与侧支撑架101连接，侧支撑架101上设置有感应门103，感应门103设置在晶舟架402c的侧方，感应门103底侧设置有机器手感应传感器104，底侧支撑架102下方连接有滚轮106。
115.在使用时，放置晶舟传送盒304运动：智能搬运机器人把晶舟传送盒304通过导向块901上的导向斜坡902可以快速放到升降架板303的上端面，并且升降架板303上的压力传感器601和光源感应传感器602可以感应传送盒是位置否放置正确，通过保护盒识别传感器701可以识别晶舟传送盒304的id信息，来判断晶舟传送盒304的型号是否放置正确；
116.然后中央控制系统会下达命令，对晶舟传送盒304进行固定，固定电机801通过连接杆驱动带动压片802进行90
°
旋转，压片802伸出空腔，使压片802卡在晶舟传送盒304台阶的上方，对晶舟传送盒304和升降架板303进行固定在一起，防止在升降过程中出现滑动位移；
117.再次通过旋转气缸501可以带动销轴进行水平运动，使销轴伸出晶舟支撑板402b的左右两端，使销轴图中未示出卡入晶舟传送盒304内侧的销轴槽图中未示出内，可以禁止晶舟传送盒304和升降架板303移动。
118.打开晶舟传送盒304运动：首先控制系统控制旋转气缸501使销轴远离晶舟传送盒304内侧的销轴槽，这样升降架板303便可解除了限位，可以自由升降；利用电机201通过联轴器202可带动连接杆203进行上升，连接杆203带动滑板301的滑块沿着侧支撑架101上的导轨105进行向上滑动，滑板301带动升降架302和升降架板303向上运动，升降架板303会带动晶舟传送盒304向上运动，当升到特定位置时，晶舟传送盒304内的晶舟架402c就会完全漏出来，控制系统就会控制感应门103打开，机械手臂就会深入到晶舟架402c内，对晶舟架402c内的晶圆进行夹取，机器手感应传感器104探测到机械手臂进入之后，便会禁止电机201转动，防止晶舟传送盒304突然下降，从而砸到机械手臂，进一步砸到晶舟架402c内的晶圆。
119.晶舟传送盒304升降过程中的扫描检测运动：在升降架302和升降架板303上下运动时，升降架板303会带动前后两组晶圆凸片扫描传感器702对晶舟架402c上的晶圆片状态进行扫描；升降架302上的片盒在位检测传感器703用以检测晶舟架402c是否在特定位置；升降架板303上的片盒凸出检测传感器704用于检测晶舟架402c是否发生位移；晶圆扫描传感器705用于检测晶圆是否在晶舟架402c上；并将结果实时传送到中央控制系统，系统进行分析从而下达命令。
120.综上，本发明通过导向组件900可以快速把晶舟传送盒304放置到升降架板303上，通过固定组件800可以快速把晶舟传送盒304和升降架板303固定在一起，通过转动驱动组
件200可以对从动支撑组件300进行升降，从而把晶舟传送盒304进行打开或者关闭，在从动支撑组件300升降过程中扫描识别组件700可以对晶舟架402c内晶圆状态进行扫描并把结果送至中央控制系统进行数据分析并下达命令。
121.实施例3
122.参照图12，为本发明第三个实施例，该实施例提供了一种晶圆扫描运算方法，包括打开晶舟传送盒304步骤
123.s1:中央控制系统控制旋转气缸501旋转销轴从而打开晶舟传送盒304的限位；
124.s2:接着中央控制系统控制电机201驱动连接杆203带动滑板301上的滑块305沿着导轨105上升，滑板301带动升降架302，升降架302带动升降架板303上升，晶舟传送盒304随之上升；
125.s3:在上升过程中，晶圆扫描传感器705会陆续扫描晶舟架402c上每一层的晶圆状态，晶圆凸片扫描传感器702扫描晶圆片是否凸出出来，片盒在位检测传感器703检测晶舟架402c是否在特定位置，片盒凸出检测传感器704检测晶舟架402c是否发生位移，并依次把结果传送至中央控制系统，由中央处理系统进行分析处理；
126.s4：当晶舟传送盒304到指定位置后，电机201停止运动，中央控制系统控制感应门103开启；
127.s5:随后机器手臂会对晶舟架402c上的晶圆进行送取，当机器手感应传感器104检测到机器手臂进来之后，会把结果送至中央控制系统，中央控制系统会控制电机禁止转动，避免了晶舟传送盒304压到机器手臂从而挤压到晶圆。
128.关闭晶舟传送盒304步骤，
129.s6:首先机器手臂会伸出感应门103之外，控制感应门103进行关闭；
130.s7：接着中央控制系统控制电机201驱动连接杆203带动滑板301上的滑块305沿着导轨105下降，滑板301带动升降架302运动，升降架302带动升降架板303下降，晶舟传送盒304随之下降；
131.s8：在下降过程中，晶圆扫描传感器705会陆续扫描晶舟架402c上每一层的晶圆状态，晶圆凸片扫描传感器702扫描晶圆片是否凸出出来，片盒在位检测传感器703检测晶舟架402c是否在特定位置，片盒凸出检测传感器704检测晶舟架402c是否发生位移，并依次把结果传送至中央控制系统，由中央处理系统进行分析处理；
132.s9：当晶舟传送盒304到指定位置后，晶舟传送盒304完全盖住内部的晶舟架402c后，电机201停止运动。
133.s10：最后中央控制系统控制旋转气缸501可以带动销轴进行水平运动，使销轴伸出晶舟支撑板402b的左右两端，使销轴卡入晶舟传送盒304内侧的销轴槽内，可以禁止晶舟传送盒304和升降架板303移动。
134.综上，本发明通过从动支撑组件300在升降过程中扫描识别组件700对内部晶舟架402c和晶舟架402c上的晶圆片进行读取，检测晶圆是否有斜片、叠片、是否有片等等，可以同时识别各种晶圆，并及时将结果送至中央控制系统进行分析，并下达指令。
135.重要的是，应注意，在多个不同示例性实施方案中示出的本技术的构造和布置仅是例示性的。尽管在此公开内容中仅详细描述了几个实施方案，但参阅此公开内容的人员应容易理解，在实质上不偏离该申请中所描述的主题的新颖教导和优点的前提下，许多改
型是可能的(例如，各种元件的尺寸、尺度、结构、形状和比例、以及参数值(例如，温度、压力等)、安装布置、材料的使用、颜色、定向的变化等)。例如，示出为整体成形的元件可以由多个部分或元件构成，元件的位置可被倒置或以其它方式改变，并且分立元件的性质或数目或位置可被更改或改变。因此，所有这样的改型旨在被包含在本发明的范围内。可以根据替代的实施方案改变或重新排序任何过程或方法步骤的次序或顺序。在权利要求中，任何“装置加功能”的条款都旨在覆盖在本文中所描述的执行所述功能的结构，且不仅是结构等同而且还是等同结构。在不背离本发明的范围的前提下，可以在示例性实施方案的设计、运行状况和布置中做出其他替换、改型、改变和省略。因此，本发明不限制于特定的实施方案，而是扩展至仍落在所附的权利要求书的范围内的多种改型。
136.此外，为了提供示例性实施方案的简练描述，可以不描述实际实施方案的所有特征(即，与当前考虑的执行本发明的最佳模式不相关的那些特征，或与实现本发明不相关的那些特征)。
137.应理解的是，在任何实际实施方式的开发过程中，如在任何工程或设计项目中，可做出大量的具体实施方式决定。这样的开发努力可能是复杂的且耗时的，但对于那些得益于此公开内容的普通技术人员来说，不需要过多实验，所述开发努力将是一个设计、制造和生产的常规工作。
138.应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

技术特征：
1.一种pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：包括第一支撑组件、驱动组件、从动支撑组件、第二支撑组件、限位组件、感压组件、扫描识别组件以及固定组件；所述第一支撑组件对所述驱动组件和所述第二支撑组件进行支撑，所述驱动组件对从动支撑组件进行驱动；所述第二支撑组件包括外支撑件和内支撑件，所述外支撑件对内支撑件进行支撑，所述外支撑件可对关盒状态下的从动支撑组件进行支撑；所述内支撑件上设置有限位组件，所述从动支撑组件上设置有扫描识别组件，所述从动支撑组件上设置有固定组件，所述固定组件对从动支撑组件进行固定。2.如权利要求1所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述驱动组件包括电机、联轴器、连接杆；所述电机竖向固定在第一支撑组件侧面，所述电机和连接杆之间通过联轴器连接，所述联轴器设置在电机上侧的输出端。3.如权利要求2所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述从动支撑组件包括滑板、升降架、升降架板、晶舟传送盒、滑块；所述滑板一侧与滑块固定连接，所述滑板另一侧与连接杆固定连接，所述滑块与所述第一支撑组件竖向滑动连接，所述升降架与所述滑板连接，所述升降架的上端面固定连接有升降架板，所述升降架板的上端面设置有晶舟传送盒。4.如权利要求3所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述外支撑件包括外支撑架、支撑底板；所述外支撑架与所述第一支撑组件固定连接，设置于所述外支撑架上的支撑底板，所述外支撑架与所述支撑底板为固定连接。5.如权利要求4所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述内支撑件包括内支撑架、晶舟支撑板、晶舟架；所述内支撑架设置在支撑底板的上端面，所述内支撑架的上端面连接有晶舟支撑板，所述晶舟支撑板的上方设置有晶舟架。6.如权利要求5所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述感压组件包括设置于所述晶舟支撑板上的压力传感器和光源感应传感器，所述压力传感器和所述光源感应传感器用于判断晶舟传送盒是否放置正确、是否放置到位。7.如权利要求6所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述固定组件包括固定电机、压片、压片腔室；所述固定电机竖向固定在升降架板的下端面，所述压片腔室内开设有容纳压片的空腔，所述升降架板上和压片腔室内开设有圆孔，所述固定电机的伸出端穿过所述圆孔与所述压片连接。8.如权利要求7所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述晶舟传送盒上设置有台阶，便于所述压片固定台阶，从而使晶舟传送盒在升降过程中不会发生移动。9.如权利要求8所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：还包括设置在所述升降架板上端面的导向组件；所述导向组件包括导向块、导向斜坡；所述导向块与所述升降架板的上端面固定连接，所述导向块的上端面设置有导向斜
坡，可以使晶舟传送盒快速正确放置到指定位置。10.如权利要求9所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述导向块设置为四组，所述导向块设置在所述晶舟传送盒四边棱角交汇处。11.如权利要求10所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述升降架板的上端面开设有第二槽口，所述第二槽口内容纳晶舟支撑板。12.如权利要求11所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述外支撑件中间为空腔，上端开设有第一槽口，所述第一槽口内容纳升降架板。13.如权利要求12所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述升降架设置在支撑底板的上方。14.如权利要求13所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述限位组件包括旋转气缸、销轴；所述旋转气缸与所述晶舟支撑板下端面连接，所述晶舟支撑板内部设置有销轴，所述销轴与旋转气缸连接，旋转气缸可带动销轴做横向伸缩运动，所述晶舟传送盒内侧设置有销轴槽，所述销轴伸出可插进晶舟传送盒上的销轴槽，从而防止误操作导致晶舟传送盒移动。15.如权利要求14所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述扫描识别组件包括保护盒识别传感器、晶圆凸片扫描传感器、片盒在位检测传感器、片盒凸出检测传感器以及晶圆扫描传感器；所述保护盒识别传感器设置在所述升降架板的上端面，所述保护盒识别传感器用以扫描所述晶舟传送盒的id信息；所述晶圆凸片扫描传感器设置在所述升降架板的下端面上，所述晶圆凸片扫描传感器用以扫描晶圆片是否凸出出来；所述片盒在位检测传感器设置在所述升降架下方内侧，所述片盒在位检测传感器用以检测所述晶舟架是否在特定位置；所述片盒凸出检测传感器设置在所述升降架板的下端面上，所述片盒凸出检测传感器用于检测所述晶舟架是否发生位移；所述晶圆扫描传感器设置在所述升降架板的下端面上，所述晶圆扫描传感器用于检测晶圆是否在所述晶舟架上。16.如权利要求15所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述保护盒识别传感器设置在所述升降架板的前端或后端或前后端均设置；所述晶圆凸片扫描传感器设置为两组，设置在所述升降架板下端面的前端和后端；所述片盒在位检测传感器设置为两组，设置在所述升降架的左端和右端；所述片盒凸出检测传感器和所述晶圆扫描传感器均设置为两组，所述片盒凸出检测传感器在所述升降架板下端面的左端和右端，所述晶圆扫描传感器设置升降架板的下端面上的前后两端。17.如权利要求16所述的pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：所述第一支撑组件包括侧支撑架、底侧支撑架、感应门、机器手感应传感器、导轨以及滚轮；所述侧支撑架的侧面设置有导轨，所述导轨与所述滑块进行滑动连接，所述侧支撑架与所述外支撑架进行固定连接，所述底侧支撑架设置在所述外支撑架的下方并与所述侧支撑架连接，所述侧支撑架上设置有感应门，所述感应门设置在晶舟架的侧方，所述感应门底
侧设置有机器手感应传感器，所述底侧支撑架下方连接有滚轮。18.一种晶圆扫描运算方法，其特征在于：包含权利要求17所述的一种pod晶舟传送开盒装置，以及，打开晶舟传送盒步骤，s1:中央控制系统控制旋转气缸旋转销轴从而打开晶舟传送盒的限位；s2:接着中央控制系统控制电机驱动连接杆带动滑板上的滑块沿着导轨上升，滑板带动升降架，升降架带动升降架板上升，晶舟传送盒随之上升；s3:在上升过程中，晶圆扫描传感器会陆续扫描晶舟架上每一层的晶圆状态，晶圆凸片扫描传感器扫描晶圆片是否凸出出来，片盒在位检测传感器检测所述晶舟架是否在特定位置，片盒凸出检测传感器检测所述晶舟架是否发生位移，并依次把结果传送至中央控制系统，由中央处理系统进行分析处理；s4：当晶舟传送盒到指定位置后，电机停止运动，中央控制系统控制感应门开启；s5:随后机器手臂会对晶舟架上的晶圆进行送取，当机器手感应传感器检测到机器手臂进来之后，会把结果送至中央控制系统，中央控制系统会控制电机禁止转动，避免了晶舟传送盒压到机器手臂从而挤压到晶圆。

技术总结
本发明公开了一种pod晶舟传送开盒装置，包括第一支撑组件、驱动组件、从动支撑组件、第二支撑组件、限位组件、感压组件、扫描识别组件以及固定组件，第一支撑组件对驱动组件和第二支撑组件进行支撑，驱动组件对从动支撑组件进行驱动；第二支撑组件包括外支撑件和内支撑件，外支撑件对内支撑件进行支撑，外支撑件可对关盒状态下的从动支撑组件进行支撑。本发明的有益效果为通过驱动组件可以带动从动支撑组件上的晶舟传送盒进行上下运动，带动晶舟传送盒打开或者关闭，在打开或者上升过程中，可以对晶舟架上的晶圆进行各种数据分析，打开晶舟传送盒后，机器手臂可以夹取晶舟架上的晶圆。圆。圆。


技术研发人员：季滔 顾俊 申勇
受保护的技术使用者：上海禾芯威半导体科技有限公司
技术研发日：2023.05.17
技术公布日：2023/9/6