辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法与流程

1.本发明涉及单晶硅生产及设备维护技术领域，特别涉及一种辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法。


背景技术：

2.硅片是半导体领域的主要生产材料，硅片多线切割技术是目前比较先进的硅片加工技术。它的原理是通过钢线的高速运动带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，进而实现切割的目的。在整个过程中，钢线通过滑轮组件的引导后在导轮上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进而，以实现对硅片的切割。线切割不同于传统的砂轮片、刀锯片等切割技术，其具有效率高、产能高以及精度高等有点，是目前采用最广泛的硅片切割技术。
3.然而，随着线切割机的使用年限的增加设备会出现磨损，同时线切割机的轴承箱在经常进行拆卸安装等维修操作的过程中也会影响设备机体的孔径，如此使得线切割机在工作时，轴承箱会产生较大的震动，而轴承箱产生较大的震动则又会影响线切割加工的精度，进而严重影响了硅片加工的质量。


技术实现要素：

4.有鉴于此，针对以上不足，有必要提出一种辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法，以减少轴承箱产生的震动，使得线切割机具有较高的精度，进而提高硅片加工的质量。
5.第一方面，本发明提供了一种辅助减少轴承箱震动的夹具，包括：弧形块、弹性组件和n个固定件；所述弧形块的正侧面上设置有贯穿的第一固定孔，用以将该弧形块固定在待进行减震的轴承箱上；弧形块的内侧面和外侧面为同向弯曲的弧面，所述弹性组件固定连接在所述弧形块的内侧面上，且弹性组件与所述内侧面之间存在间隙；外侧面上设置有n个第二固定孔，每一个第二固定孔均贯穿所述弧形块的外侧面和内侧面，每一个固定件的一端均穿过一个第二固定孔接触到所述弹性组件上。
6.优选的，所述第二固定孔均为螺纹孔，固定件为螺栓。
7.优选的，第二固定孔为两个，且该两个第二固定孔关于所述第一固定孔对称。
8.优选的，所述弹性组件包括第一连接件、第一弹片和第二弹片；所述第一连接件固定在所述第一固定孔的正下方，所述第一弹片和第二弹片对称固定在所述第一连接件的两侧，且使两个弹片分别正对两个第二固定孔，两个弹片均与所述弧形块的内侧面存在间隙。
9.优选的，所述弹性组件和所述弧形块可一体成型。
10.优选的，所述第一弹片、第二弹片和所述第一连接件构成的弧形面与所述弧形块的内侧面具有相同的弧度。
11.优选的，所述弹性组件包括：第二连接件、第一弹簧、第二弹簧和第三连接件；所述第一弹簧和第二弹簧的两端分别固定与所述第二连接件和所述第三连接件上，且关于第一
连接件和第二连接件的中心位置对称；所述第二连接件面向所述弧形块的一面设置有两个非贯穿的第三固定孔，该第三固定孔为与所述第二固定孔孔径相同的螺纹孔，且每一个螺栓穿过一个第二固定孔后能够螺纹齿合进一个第三固定孔。
12.优选的，所述第三连接件与所述弧形块的内侧面具有相同的弧度。
13.第二方面，本发明提供了一种辅助减少轴承箱震动的夹具的安装方法，包括以下步骤：步骤1：确定轴承箱发生震动的机台；步骤2：拆掉发生震动的机台的边缘上处于对称位置上的两个螺栓；步骤3：在每一个拆掉螺栓的螺纹孔位置上，利用拆掉的螺栓穿过所述辅助减少轴承箱震动的夹具的第一固定孔进行固定，使得该夹具以弹性组件正对发生震动的机台中心的方式固定在该机台上；步骤4：紧固夹具上的固定件，以驱使所述弹性组件紧致压实在所述轴承箱的机台上。
14.由上述技术方案可知，本发明提供的辅助减少轴承箱震动的夹具主要可以包括弧形块、弹性组件和固定件，弹性组件固定设置在内侧面上，弧形块的正侧面和外侧面上分别设置第一固定孔和第二固定孔，第一固定孔用于将该弧形块固定在轴承箱上，固定件用于穿过第二固定孔接触到弹性组件上。如此，在安装好夹具后，弹性组件紧挨着待减震的轴承箱，通过紧固固定件即可驱动弹性组件运动，进而紧紧压在轴承箱上，达到减少轴承箱震动的目的。进一步，轴承箱震动减少，线切割机的工作精度也就更高，进而线切割机加工出的硅片质量也就更高。
附图说明
15.图1为本发明实施例提供的一种辅助减少轴承箱震动的夹具的结构示意图。
16.图2为本发明实施例提供的一种弹性组件和弧形块一体成型的夹具的结构示意图。
17.图3为本发明实施例提供的一种弹性组件的结构示意图。
18.图4为本发明实施例提供的一种辅助减少轴承箱震动的夹具的安装示意图。
19.图中：弧形块1、弹性组件2、第一连接件21、第一弹片22、第二弹片23、第二连接件24、第三固定孔241/242、第一弹簧25、第二弹簧26、第三连接件27、固定件3、第一固定孔4、内侧面5、外侧面6、间隙7、第二固定孔8、机台9、辅助减少轴承箱震动的夹具10。
具体实施方式
20.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.参见图1-3，本发明实施例提供了一种辅助减少轴承箱震动的夹具，包括：弧形块1、弹性组件2和n个固定件3；弧形块1的正侧面上设置有贯穿的第一固定孔4，用以将该弧形块1固定在待进行减震的轴承箱上；弧形块1的内侧面5和外侧面6为同向弯曲的弧面，弹性组件2固定连接在弧形块1的内侧面5上，且弹性组件2与内侧面5之间存在间隙7；外侧面6上
设置有n个第二固定孔8，每一个第二固定孔8均贯穿弧形块1的外侧面6和内侧面5，每一个固定件3的一端均穿过一个第二固定孔8接触到弹性组件2上。
22.本实施例中，通过将该夹具安装在轴承箱上后，弹性组件2紧挨着待减震的轴承箱，通过紧固固定件3即可驱动弹性组件2运动，进而紧紧压在轴承箱上，达到减少轴承箱震动的目的。进一步，轴承箱震动减少，线切割机的工作精度也就更高，进而线切割机加工出的硅片质量也就更高。
23.需要指出的是，弧形块1的弧度根据具体的轴承箱确定，一般情况下弧形块1的弧度为25
°
左右即可实现与轴承箱的贴合。
24.在一种实施例中，第二固定孔8为螺纹孔，固定件3为螺栓，如此通过控制螺栓的旋进量即可控制弹性组件2与轴承箱的压紧程度，从而可以根据实际的震动情况对弹性组件2和轴承箱之间的接触程度进行控制。
25.进一步，第二固定孔8可以设置为两个，且该两个第二固定孔8关于第一固定孔4对称。如此能够保证弹性组件2的受力均衡，进而保证轴承箱受力更均衡。当轴承箱发生震动时，通过对称的两个固定件3对弹性组件2施加力，能够抵消轴承箱横向的震动力，进而达到减少轴承箱震动的目的。
26.在一种实施例中，弹性组件2包括第一连接件21、第一弹片22和第二弹片23；第一连接件21固定在第一固定孔4的正下方，第一弹片22和第二弹片23对称固定在第一连接件21的两侧，且使两个弹片分别正对两个第二固定孔8，两个弹片均与弧形块1的内侧面5存在间隙7。
27.本实施例中，弹性组件2和弧形块1可以一体成型。比如，将金属块车出弧形块1的形状，然后在弧形块1的内侧面5上方位置切两个细槽。两细槽中间正对的位置不贯通，与弧形块1上部分为一体。如此，本实施例提供的方案加工方便，只需要切、削、磨钻等工序即可完成，加工流程简单，成本费用低。
28.需要指出的是，第一弹片22、第二弹片23和第一连接件21构成的弧形面与弧形块1的内侧面5具有相同的弧度，如此在当弹性组件2受力时具有弧度的弹片接触到轴承箱的行程较小，从而弹片不需要弯曲太大的角度，进而弹片也就能够具有更长的使用寿命。
29.需要指出的是，第一弹片22和第二弹片23的厚度为1mm，两个弹片与弧形块1内侧面5之间的间隙7均为1mm。
30.在另一种实施例中，弹性组件2包括：第二连接件24、第一弹簧25、第二弹簧26和第三连接件27；第一弹簧25和第二弹簧26的两端分别固定与第二连接件24和第三连接件27上，且关于第一连接件21和第二连接件24的中心位置对称；第二连接件24面向弧形块1的一面设置有两个非贯穿的第三固定孔241/242，该第三固定孔为与第二固定孔8孔径相同的螺纹孔，且每一个螺栓穿过一个第二固定孔8后能够螺纹齿合进一个第三固定孔。
31.本实施例中，弹性组件2由第二连接件24、第一弹簧25、第二弹簧26和第三连接件27组成，通过紧固固定件3，如通过旋进第二固定孔8上的螺栓，能够推动第二连接件24向前运动，进而压缩弹簧使得第三连接件27紧致压在轴承箱上。本实施例提供的方案中弹性组件2与弧形块1不是硬连接，第二连接件24与弧形块1不是一体或固定的连接方式，如此弹性组件2的第二连接件不会由于螺栓的旋进产生弯曲、折断等情况的损坏，进而能够大大提高弹性组件2的使用寿命。
32.此外，本实施例中，第二连接件可以通过连接杆与弧形块进行连接，在固定件紧固时，第二连接件被推动向前运动，连接杆伸缩。当然，第二连接件和弧形块之间还可以仅通过固定件进行连接。第二连接件中设置有非贯穿的第三固定孔，固定件旋进至第三固定孔中即可实现与弧形块与第二连接件的连接。如此，弹性组件和弧形块可以设置成分离的部件，当其中一部分部件损坏时不会导致整个夹具损坏，只需要更换对应损坏的一部分即可，从而能够大大节省夹具维护的成本。
33.容易理解的是，第三连接件27与弧形块1的内侧面5具有相同的弧度，由于弧形块1的内侧面5是依据轴承箱的弧度设计的，其能更加吻合轴承箱的弧度。本实施例中第三连接件27与轴承箱的表面需要贴合接触，将其弧度设计为与弧形块1的内侧面5相同，能够在受螺栓旋进的力压在轴承箱上时能够与轴承箱贴合接触，进而能够具有更大的接触面积，进而进一步减少轴承箱产生的震动。
34.需要指出的是，本方案各实施例提出的辅助减少轴承箱震动的夹具利用40#钢加工制成。
35.参见图4，本发明还提供了一种辅助减少轴承箱震动的夹具的安装方法，包括以下步骤：步骤1：确定轴承箱发生震动的机台9；步骤2：拆掉发生震动的机台9的边缘上处于对称位置上的两个螺栓；步骤3：在每一个拆掉螺栓的螺纹孔位置上，利用拆掉的螺栓穿过辅助减少轴承箱震动的夹具10的第一固定孔4进行固定，使得该夹具以弹性组件正对发生震动的机台中心的方式固定在该机台上；步骤4：紧固夹具上的固定件3，以驱使弹性组件紧致压实在轴承箱的机台上。
36.本发明实施例中，在对辅助减少轴承箱震动的夹具进行安装时，首先拆掉发生震动的机台的边缘上处于对称位置上的两个螺栓，然后利用该螺栓穿过夹具的第一固定孔进行固定，并紧固夹具上的固定件，使得弹性组件紧致压实在轴承箱的机台上。由此可见，本方案仅仅利用了轴承箱上原有的螺栓、螺纹孔等，不需要额外增加固定等部件，结构简单、成本较低，而且安装的方法也简单易操作。
37.此外，本实施例中在安装辅助减少轴承箱震动的夹具时，是以位置对称的方式安装一对，如此能够在一定程度上抵消同一个维度上的震动力，进而大大减少轴承箱产生的震动。
38.本发明实施例装置中的模块或单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

技术特征：
1.一种辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，包括：弧形块、弹性组件和n个固定件；所述弧形块的正侧面上设置有贯穿的第一固定孔，用以将该弧形块固定在待进行减震的轴承箱上；弧形块的内侧面和外侧面为同向弯曲的弧面，所述弹性组件固定连接在所述弧形块的内侧面上，且弹性组件与所述内侧面之间存在间隙；外侧面上设置有n个第二固定孔，每一个第二固定孔均贯穿所述弧形块的外侧面和内侧面，每一个固定件的一端均穿过一个第二固定孔接触到所述弹性组件上。2.根据权利要求1所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述第二固定孔均为螺纹孔，固定件为螺栓。3.根据权利要求2所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，第二固定孔为两个，且该两个第二固定孔关于所述第一固定孔对称。4.根据权利要求3所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述弹性组件包括第一连接件、第一弹片和第二弹片；所述第一连接件固定在所述第一固定孔的正下方，所述第一弹片和第二弹片对称固定在所述第一连接件的两侧，且使两个弹片分别正对两个第二固定孔，两个弹片均与所述弧形块的内侧面存在间隙。5.根据权利要求4所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述弹性组件和所述弧形块可一体成型。6.根据权利要求4所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述第一弹片、第二弹片和所述第一连接件构成的弧形面与所述弧形块的内侧面具有相同的弧度。7.根据权利要求3所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述弹性组件包括：第二连接件、第一弹簧、第二弹簧和第三连接件；所述第一弹簧和第二弹簧的两端分别固定与所述第二连接件和所述第三连接件上，且关于第一连接件和第二连接件的中心位置对称；所述第二连接件面向所述弧形块的一面设置有两个非贯穿的第三固定孔，该第三固定孔为与所述第二固定孔孔径相同的螺纹孔，且每一个螺栓穿过一个第二固定孔后能够螺纹齿合进一个第三固定孔。8.根据权利要求7所述的辅助减少轴承箱震动的夹具，其特征在于，所述第三连接件与所述弧形块的内侧面具有相同的弧度。9.一种辅助减少轴承箱震动的夹具的安装方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：确定轴承箱发生震动的机台；步骤2：拆掉发生震动的机台的边缘上处于对称位置上的两个螺栓；步骤3：在每一个拆掉螺栓的螺纹孔位置上，利用拆掉的螺栓穿过所述辅助减少轴承箱震动的夹具的第一固定孔进行固定，使得该夹具以弹性组件正对发生震动的机台中心的方式固定在该机台上；步骤4：紧固夹具上的固定件，以驱使所述弹性组件紧致压实在所述轴承箱的机台上。

技术总结
一种辅助减少轴承箱震动的夹具及其安装方法，该夹具包括：弧形块、弹性组件和N个固定件；弧形块的正侧面上设置有贯穿的第一固定孔，用以将该弧形块固定在待进行减震的轴承箱上；弧形块的内侧面和外侧面为同向弯曲的弧面，弹性组件固定连接在弧形块的内侧面上，且弹性组件与内侧面之间存在间隙；外侧面上设置有N个第二固定孔，每一个第二固定孔均贯穿弧形块的外侧面和内侧面，每一个固定件的一端均穿过一个第二固定孔接触到弹性组件上。本方案能够减少轴承箱产生的震动，使得线切割机具有更高的精度，进而提高硅片加工的质量。进而提高硅片加工的质量。进而提高硅片加工的质量。


技术研发人员：陈元寿 马玉怀 赵娜 徐慶晧 王黎光 曹启刚 芮阳 王忠保 张昆
受保护的技术使用者：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
技术研发日：2023.07.26
技术公布日：2023/9/9