一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统

1.本发明涉及光学领域，更具体地说，涉及一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统。


背景技术：

2.在光学相关的实验中，有时需要改变一些参数，如偏振状态、光强、入射角等，由于光源和样品可能会因其体积大、质量大或结构精密复杂等原因不易移动，对于不易移动且需要改变入射角的光源和样品，不易满足在实验室中改变入射角的需求。
3.为解决在不移动光源和样品的情况下改变入射角这一问题，目前常采用光纤、准直镜和聚焦透镜，将光束引至入射光路末端，以适应射向样品的入射角度；但是，由于光纤的功率承载能力和瞬时功率承载能力有限，限制了通过光纤的光束的平均功率和瞬时功率，并且由于光纤材料的自身性质，经由光纤传播的短脉冲会有频率色散，对于多模光纤来说，不同模式的传播路径、传播角度、在光纤中经历的光程以及从光纤端面射出的位置均不相同，从而导致从光纤射出的光束无法很好地汇聚，另外光束经过准直镜和聚焦透镜后，聚焦位置和脉冲到达时间也不同，还会对功率密度和峰值电场强度造成损耗，光纤耦合难度较大还会造成实验操作不便。
4.因此，如何在光源和样品均无法移动或不易移动的情况下，且在不改变光束本身性质的情况下改变光对样品入射角，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。


技术实现要素：

5.有鉴于此，为解决上述问题，本发明提供一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统，技术方案如下：
6.一种用于改变入射角的光路调节装置，所述光路调节装置包括：
7.光源、可转动镜架结构、圆弧形导轨和样品台；
8.所述圆弧形导轨所在平面与所述样品台所在平面垂直，所述样品台用于放置待测样品，所述待测样品的入射点位于所述圆弧形导轨的圆心；
9.所述圆弧形导轨具有旋转轴，所述旋转轴垂直于所述圆弧形导轨所在平面，且经过所述圆弧形导轨的圆心；
10.所述可转动镜架结构在第一方向上延伸，且所述可转动镜架结构在所述第一方向上具有相对的第一端和第二端；所述可转动镜架结构的第一端固定在所述圆弧形导轨上，且基于所述圆弧形导轨进行滑动；所述可转动镜架结构的第二端沿所述第一方向延伸至所述旋转轴，所述第一方向平行于所述圆弧形导轨所在平面，且由所述可转动镜架结构的第一端指向所述第二端；
11.所述光源用于发出第一入射光，所述第一入射光沿所述旋转轴射向所述可转动镜架结构的第二端；所述可转动镜架结构将所述第一入射光转化为第二入射光，所述第二入射光沿所述第一方向射向所述待测样品。
12.优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述可转动镜架结构包括：外框支架，所述外框支架包括多个独立的支撑柱；
13.所述支撑柱沿所述第一方向延伸。
14.优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述可转动镜架结构还包括：多个支持板；所述支持板所在平面与所述第一方向垂直，多个所述支持板在所述第一方向上依次排布，所述支撑柱沿所述第一方向贯穿所述支持板。
15.优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述可转动镜架结构还包括：多个反射镜，多个所述反射镜固定在所述支撑柱上；
16.所述第一入射光通过多个所述反射镜转化为所述第二入射光。
17.优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述反射镜的法向量与多个所述支撑柱围绕的轴线的夹角为45
°
。
18.优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述可转动镜架结构还包括：多个固定器，所述固定器所在平面与所述反射镜所在平面平行，所述反射镜固定在所述固定器上。
19.优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述固定器具有多个通孔，所述支撑柱通过所述通孔与所述固定器连接。
20.优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述光路调节装置还包括：固定背板，所述固定背板所在平面与所述圆弧形导轨所在平面平行，所述圆弧形导轨固定在所述固定背板上。
21.优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述光路调节装置还包括：
22.位于所述样品台背离所述待测样品一侧的运动模块。
23.本技术还提供了一种用于改变入射角的光路调节系统，所述光路调节系统包括：控制模块，所述控制模块用于输出控制指令，以控制上述光路调节装置的工作状态。
24.相较于现有技术，本发明实现的有益效果为：
25.本发明提供的一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统，所述光路调节装置包括：光源、可转动镜架结构、圆弧形导轨和样品台；由于圆弧形导轨所在平面与样品台所在平面垂直，可转动镜架结构的第一端设置在圆弧形导轨上，可转动镜架结构的第二端沿第一方向延伸至圆弧形导轨的旋转轴，第一方向平行于圆弧形导轨所在平面，且由可转动镜架结构的第一端指向第二端，当可转动镜架结构的第一端沿圆弧形导轨运动，可转动镜架结构的第二端在所述旋转轴上保持不变，从而实现可转动镜架结构绕旋转轴旋转；并且，可转动镜架结构将光源发出的第一入射光转化为第二入射光，第二入射光沿第一方向射向位于旋转轴上的待测样品，当可转动镜架结构绕旋转轴旋转时，第二入射光也绕旋转轴旋转，从而可以改变第二入射光射向待测样品的入射角度；另外，光源发出的第一入射光沿旋转轴射向可转动镜架结构的第二端，由于所述可转动镜架结构的第二端随着可转动镜架结构的运动保持不变，从而保证在改变入射角的过程中无需改变光源的位置；第一入射光转化为第二入射光，仅改变光传播的方向，不改变光的特性，从而可以在不改变光源和待测样品位置、不改变光束特性的情况下，改变光束射向待测样品的入射角度。
附图说明
26.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
27.图1为本发明实施例提供的一种用于改变入射角的光路调节装置的结构示意图；
28.图2为本发明实施例提供的一种可转动镜架结构的示意图；
29.图3为本发明实施例提供的另一种可转动镜架结构的示意图；
30.图4为本发明实施例提供的另一种用于改变入射角的光路调节装置的结构示意图；
31.图5为本发明实施例提供的一种用于改变入射角的光路调节系统的结构示意图。
具体实施方式
32.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
33.基于背景技术记载的内容而言，发明人在本发明的发明创造过程中发现为解决在不移动光源和样品的情况下改变入射角这一问题，目前常采用光纤、准直镜和聚焦透镜，将光束引至入射光路末端，以适应射向样品的入射角度；但是，由于光纤的功率承载能力和瞬时功率承载能力有限，限制了通过光纤的光束的平均功率和瞬时功率，并且由于光纤材料的自身性质，经由光纤传播的短脉冲会有频率色散，对于多模光纤来说，不同模式的传播路径、传播角度、在光纤中经历的光程以及从光纤端面射出的位置均不相同，从而导致从光纤射出的光束无法很好地汇聚，另外光束经过准直镜和聚焦透镜后，聚焦位置和脉冲到达时间也不同，还会对功率密度和峰值电场强度造成损耗，光纤耦合难度较大还会造成实验操作不便；因此，如何在光源和样品均无法移动或不易移动的情况下，且在不改变光束本身性质的情况下改变光对样品入射角，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
34.基于此本技术提供了一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统，可以实现在不改变光源和样品位置、不改变光束特性的情况下，改变光束射向样品的入射角度。
35.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
36.本发明实施例提供了一种用于改变入射角的光路调节装置，参考图1，图1为本发明实施例提供的一种用于改变入射角的光路调节装置的结构示意图，结合图1，所述光路调节装置包括：光源、可转动镜架结构1、圆弧形导轨2和样品台3。
37.所述圆弧形导轨2所在平面与所述样品台3所在平面垂直，所述样品台3用于放置待测样品4，所述待测样品4的入射点位于所述圆弧形导轨2的圆心；所述圆弧形导轨2具有旋转轴，所述旋转轴垂直于所述圆弧形导轨2所在平面，且经过所述圆弧形导轨2的圆心。
38.所述可转动镜架结构1在第一方向上延伸，且所述可转动镜架结构1在所述第一方向上具有相对的第一端和第二端；所述可转动镜架结构1的第一端固定在所述圆弧形导轨2
上，且基于所述圆弧形导轨2进行滑动；所述可转动镜架结构1的第二端沿所述第一方向延伸至所述旋转轴，所述第一方向平行于所述圆弧形导轨2所在平面，且由所述可转动镜架结构1的第一端指向所述第二端。
39.具体的，在本发明实施例中，为了能够展示出可转动镜架结构1与由可转动镜架结构1出射的第二入射光，在图1中将所述可转动镜架结构1的第二端进行缩短来进行说明，在具体实施时所述可转动镜架结构1的第二端位于所述圆弧形导轨2的旋转轴上；由于所述可转动镜架结构1在第一方向上延伸，第一方向也可以理解为平行于所述圆弧形导轨2所在平面，且由所述圆弧形导轨2指向所述旋转轴，由所述可转动镜架结构1出射的第二入射光与所述第一方向平行，所述待测样品4的入射点为所述第二入射光与所述圆弧形导轨2的旋转轴的交点，所述待测样品4的入射点是固定的，不随着可转动镜架结构1的旋转而转动。
40.具体的，在本发明实施例中，所述可转动镜架结构1在所述第一方向上的长度可以与所述圆弧形导轨2的半径长度相等，即所述可转动镜架结构1的第一端固定在所述圆弧形导轨2上，所述可转动镜架结构1的第二端位于所述圆弧形导轨2的旋转轴上；所述可转动镜架结构1在所述第一方向上的长度可以基于所述可转动镜架结构1内部固定的光学元件的数量而决定，也可以是所述可转动镜架结构1在所述第一方向上的长度大于所述圆弧形导轨2的半径长度，当所述可转动镜架结构1在所述第一方向上的长度大于所述圆弧形导轨2的半径长度时，所述可转动镜架结构1的中间部位固定在所述圆弧形导轨2上，所述可转动镜架结构1的第二端始终在所述旋转轴上保持不变。
41.所述光源用于发出第一入射光，所述第一入射光沿所述旋转轴射向所述可转动镜架结构1的第二端；所述可转动镜架结构1将所述第一入射光转化为第二入射光，所述第二入射光沿所述第一方向射向所述待测样品4。
42.具体的，在本发明实施例中，所述光源发出的第一入射光沿所述旋转轴射向所述可转动镜架结构1的第二端，所述第一入射光是垂直与所述圆弧形导轨2所在平面的；经过可转动镜架结构1将所述第一入射光转化为第二入射光，所述第二入射光是平行于所述圆弧形导轨2所在平面的；当可转动镜架结构1的第一端沿所述圆弧形导轨2运动时，所述可转动镜架结构1的第二端保持不变，所述可转动镜架结构1绕所述圆弧形导轨2的旋转轴转动，所述第二入射光始终平行于所述圆弧形导轨2所在平面，且沿第一方向射向待测样品4，随着可转动镜架结构1绕所述旋转轴转动，可以使得所述第二入射光射向所述待测样品4的入射角度发生了变化。
43.通过上述描述可知，本发明实施例提供的一种用于改变入射角的光路调节装置包括：光源、可转动镜架结构1、圆弧形导轨2和样品台3；由于圆弧形导轨2所在平面与样品台3所在平面垂直，可转动镜架结构1的第一端设置在圆弧形导轨2上，可转动镜架结构1的第二端沿第一方向延伸至圆弧形导轨2的旋转轴，第一方向平行于圆弧形导轨2所在平面，且由可转动镜架结构1的第一端指向第二端，当可转动镜架结构1的第一端沿圆弧形导轨2运动，可转动镜架结构1的第二端在所述旋转轴上保持不变，从而实现可转动镜架结构1绕旋转轴旋转；并且，可转动镜架结构1将光源发出的第一入射光转化为第二入射光，第二入射光沿第一方向射向位于旋转轴上的待测样品4，当可转动镜架结构1绕旋转轴旋转时，第二入射光也绕旋转轴旋转，从而可以改变第二入射光射向待测样品4的入射角度；另外，光源发出的第一入射光沿旋转轴射向可转动镜架结构1的第二端，由于所述可转动镜架结构1的第二
端随着可转动镜架结构1的运动保持不变，从而保证在改变入射角的过程中无需改变光源的位置；第一入射光转化为第二入射光，仅改变光传播的方向，不改变光的特性，如脉冲宽度、拉赫不变量等，从而可以在不改变光源和待测样品4位置、不改变光束特性的情况下，改变光束射向待测样品4的入射角度。
44.可选的，在本发明的另一实施例中，对上述一种用于改变入射角的光路调节装置中可转动镜架结构1进行进一步说明，参考图2，图2为本发明实施例提供的一种可转动镜架结构的示意图，结合图2，所述可转动镜架结构1包括：外框支架，所述外框支架包括多个独立的支撑柱5；所述支撑柱5沿所述第一方向延伸。
45.具体的，在本发明实施例中，以所述第一方向为所述外框支架的轴线，多个所述支撑柱5围绕所述轴线间隔设置，从而形成外框支架；所述支撑柱5的数量和各个支撑柱5之间的间隔可以根据具体情况而决定。
46.可选的，在本发明的另一实施例中，如图2所示，所述可转动镜架结构1还包括：多个反射镜6，多个所述反射镜6固定在所述支撑柱5上；所述第一入射光通过多个所述反射镜6转化为所述第二入射光；所述反射镜6的法向量与多个所述支撑柱5围绕的轴线的夹角为45
°
。
47.具体的，在本发明实施例中，以图2中安装有3个反射镜6为例进行说明，如图2所示，第一反射镜61设置在所述可转动镜架结构1的第二端，且所述第一反射镜61的中心在所述圆弧形导轨2的旋转轴7上，第二反射镜62和第三反射镜63设置在所述可转动镜架结构1的第一端，所述第一反射镜61、第二反射镜62和第三反射镜63的法向量均与多个所述支撑柱5围绕的轴线的夹角为45
°
，多个所述支撑柱5围绕的轴线与所述第一方向重合；所述光源发射出的第一入射光沿所述圆弧形导轨2的旋转轴7射向所述第一反射镜61的中心处，所述第一入射光经过第一反射镜61的反射，沿所述第一方向的反方向射向所述第二反射镜62，再经过所述第二反射镜62反射到所述第三反射镜63，由于所述第二反射镜62与第三反射镜63的法向量均与所述第一方向的夹角为45
°
，经所述第三反射镜63反射后得到的第二入射光沿所述第一方向从所述可转动镜架结构1的第二端射向所述样品台3上的待测样品4；由于多个所述反射镜6的位置均为固定不变的，当所述第一入射光沿所述圆弧形导轨2的旋转轴7射向位于所述可转动镜架结构1的第二端的第一反射镜61，可转动镜架结构1在平行于所述圆弧形导轨2所在的平面上绕旋转轴7旋转，多个所述反射镜6相对于所述可转动镜架结构1是固定不变的，可转动镜架结构1中的光线传播路径始终不变，如图3所示，图3为本发明实施例提供的另一种可转动镜架结构的示意图，可转动镜架结构1绕旋转轴7旋转后，可转动镜架结构1中的光线传播路径保持不变，所述第二入射光射向位于样品台3上待测样品4的入射角度由图2中的角α变化为图3中的角β；另外，所述支撑柱5上包括但不限定于安装有图3所示的3个反射镜6，还可以安装其他光学元件，如透镜、波片等。
48.需要说明的是，所述第二反射镜62固定在所述可转动镜架结构1的四个长的支撑柱5上，所述第三反射镜63固定在所述可转动镜架结构1的四个短的支撑柱5上，由于所述反射镜6的法向量与多个所述支撑柱5围绕的轴线的夹角均为45
°
，由第二反射镜62射向所述第三反射镜63的光线与所述旋转轴7平行，即垂直于所述圆弧形导轨2所在平面；由于所述待测样品4的入射点位于所述圆弧形导轨2的圆心处，所述第二入射光在所述圆弧形导轨2所在平面上由所述第三反射镜63射向所述待测样品4。
49.可选的，在本发明的另一实施例中，所述可转动镜架结构1还包括：多个固定器，所述固定器所在平面与所述反射镜6所在平面平行，所述反射镜6固定在所述固定器上，所述固定器具有多个通孔，所述支撑柱5通过所述通孔与所述固定器连接。
50.具体的，在本发明实施例中，包括但不限定于采用固定器将所述反射镜6固定在所述支撑柱5上；如图2所示，以所述可转动镜架结构1包括八个支撑柱5为例进行说明，在本发明实施例中可以采用四角各具有一个限位孔的固定器，将反射镜6装入固定器中，将所述可转动镜架结构1的四个支撑柱5分别穿过所述固定器的四个限位孔，所述限位孔的侧面均具有顶丝，当调整好固定器的位置后拧紧顶丝，以使得所述固定器固定在所述支撑柱5上；同理，所述固定器还可以用于将其他光学元件固定在所述支撑柱5上。
51.可选的，在本发明的另一实施例中，如图3所示，所述可转动镜架结构1还包括：多个支持板8；所述支持板8所在平面与所述第一方向垂直，多个所述支持板8在所述第一方向上依次排布，所述支撑柱5沿所述第一方向贯穿所述支持板8。
52.具体的，在本发明实施例中，可以将所述支持板8划分为中间区域和边缘区域；所述支持板8的边缘区域具有一些限位孔，多个所述支撑柱5穿过所述限位孔，以使得所述支撑柱5固定在所述支持板8上；所述支持板8的中间区域还具有多个通孔，以图3所示的可转动镜架结构1为例，由于可转动镜架结构1需要将光线从可转动镜架结构1的第二端反射到第一端，然后再由第一端反射到第二端以射向待测样品4处，这一光线传播路径需要光线的折返，因此一般所述支持板8需要两个通孔，以方便区分在所述可转动镜架结构1中往返的光线。
53.需要说明的是，如图2和图3所示，以支持板8固定有四个支撑柱5的一侧为长边，以支持板8固定有两个支撑柱5的一侧为短边，所述支持板8的短边所在平面与所述圆弧形导轨2所在平面平行。
54.可选的，在本发明的另一实施例中，对上述一种用于改变入射角的光路调节装置的结构进行进一步说明，参考图4，图4为本发明实施例提供的另一种用于改变入射角的光路调节装置的结构示意图，结合图4，所述光路调节装置还包括：
55.固定背板9，所述固定背板9所在平面与所述圆弧形导轨2所在平面平行，所述圆弧形导轨2固定在所述固定背板9上。
56.位于所述样品台3背离所述待测样品4一侧的运动模块10。
57.具体的，在本发明实施例中，所述运动模块10可以在任意方向上进行移动，也可以进行旋转，以使得所述运动模块10带动所述样品台3移动，通过移动样品台3，使样品台3上的待测样品4的入射点位于圆弧形导轨2的圆心处。
58.可选的，基于本发明上述实施例，在本发明另一实施例中还提供了一种用于改变入射角的光路调节系统，参考图5，图5为本发明实施例提供的一种用于改变入射角的光路调节系统的结构示意图，结合图5，所述光路调节系统包括：控制模块11，所述控制模块11用于输出控制指令，以控制上述任一实施例所述的光路调节装置的工作状态。
59.所述光路调节装置还包括：测高模块12和测量模块13；所述测高模块12位于所述待测样品4的上方，所述测高模块12用于对所述待测样品4的高度进行测量，以及用于对所述待测样品4表面入射点附近的区域进行光学成像；所述测量模块13可以用于测量第二反射光射到待测样品4后从待测样品4的表面反射的光，并且所述第二入射光可以是激发光，
激发待测样品4出射光线，所述测量模块13还可以用于测量由待测样品4出射的光。
60.以上对本发明所提供的一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
61.需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
62.还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备所固有的要素，或者是还包括为这些过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
63.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

技术特征：
1.一种用于改变入射角的光路调节装置，其特征在于，所述光路调节装置包括：光源、可转动镜架结构、圆弧形导轨和样品台；所述圆弧形导轨所在平面与所述样品台所在平面垂直，所述样品台用于放置待测样品，所述待测样品的入射点位于所述圆弧形导轨的圆心；所述圆弧形导轨具有旋转轴，所述旋转轴垂直于所述圆弧形导轨所在平面，且经过所述圆弧形导轨的圆心；所述可转动镜架结构在第一方向上延伸，且所述可转动镜架结构在所述第一方向上具有相对的第一端和第二端；所述可转动镜架结构的第一端固定在所述圆弧形导轨上，且基于所述圆弧形导轨进行滑动；所述可转动镜架结构的第二端沿所述第一方向延伸至所述旋转轴，所述第一方向平行于所述圆弧形导轨所在平面，且由所述可转动镜架结构的第一端指向所述第二端；所述光源用于发出第一入射光，所述第一入射光沿所述旋转轴射向所述可转动镜架结构的第二端；所述可转动镜架结构将所述第一入射光转化为第二入射光，所述第二入射光沿所述第一方向射向所述待测样品。2.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，所述可转动镜架结构包括：外框支架，所述外框支架包括多个独立的支撑柱；所述支撑柱沿所述第一方向延伸。3.根据权利要求2所述的光路调节装置，其特征在于，所述可转动镜架结构还包括：多个支持板；所述支持板所在平面与所述第一方向垂直，多个所述支持板在所述第一方向上依次排布，所述支撑柱沿所述第一方向贯穿所述支持板。4.根据权利要求2所述的光路调节装置，其特征在于，所述可转动镜架结构还包括：多个反射镜，多个所述反射镜固定在所述支撑柱上；所述第一入射光通过多个所述反射镜转化为所述第二入射光。5.根据权利要求4所述的光路调节装置，其特征在于，所述反射镜的法向量与多个所述支撑柱围绕的轴线的夹角为45
°
。6.根据权利要求4所述的光路调节装置，其特征在于，所述可转动镜架结构还包括：多个固定器，所述固定器所在平面与所述反射镜所在平面平行，所述反射镜固定在所述固定器上。7.根据权利要求6所述的光路调节装置，其特征在于，所述固定器具有多个通孔，所述支撑柱通过所述通孔与所述固定器连接。8.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，所述光路调节装置还包括：固定背板，所述固定背板所在平面与所述圆弧形导轨所在平面平行，所述圆弧形导轨固定在所述固定背板上。9.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，所述光路调节装置还包括：位于所述样品台背离所述待测样品一侧的运动模块。10.一种用于改变入射角的光路调节系统，其特征在于，所述光路调节系统包括：控制模块，所述控制模块用于输出控制指令，以控制权利要求1-9任一项所述的光路调节装置的工作状态。

技术总结
本发明提供了一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统，该装置中圆弧形导轨所在平面与样品台所在平面垂直，可转动镜架结构在第一方向上延伸，其第一端固定在圆弧形导轨上且基于圆弧形导轨运动，第二端沿第一方向延伸至圆弧形导轨的旋转轴，且在旋转轴上保持不变，以使可转动镜架结构绕旋转轴旋转，第一方向平行于圆弧形导轨所在平面；光源发出的第一入射光与旋转轴重合，无需改变光源的位置；并且可转动镜架结构将与旋转轴重合的第一入射光转化为第一方向上的第二入射光，不改变光的特性，第二入射光随着可转动镜架结构绕旋转轴旋转而移动，从而在不改变光源和样品位置、不改变光束特性的情况下，改变光束射向样品的入射角。入射角。入射角。


技术研发人员：窦润嵩 李博 王磊 高林春 朱慧平 韩郑生
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：2023.06.08
技术公布日：2023/9/9